JP2014181631A - クライオポンプ、及び非凝縮性気体の真空排気方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】クライオポンプ10は、シールド開口26を画定するシールド前端28と、シールド底部34と、シールド前端28とシールド底部34との間に延在するシールド側部36と、を備える放射シールド30と、放射シールド30より低温に冷却されるクライオパネルアセンブリ20と、を備える。クライオパネルアセンブリ20は、複数の第1吸着パネル60を備える第1パネル配列61と、各々が複数の第2吸着パネル62を備える複数の第2パネル配列63と、を備える。第1パネル配列61は、各々がシールド側部36に露出されている多数の吸着区画を、複数の第2パネル配列63と協働して格子状に形成する。
【選択図】図2
Description
複数の第1吸着パネルを備える第1パネル配列と、各々が複数の第2吸着パネルを備える複数の第2パネル配列と、を備え、前記放射シールドより低温に冷却されるクライオパネルアセンブリと、を備え、
前記第1パネル配列は、各々が前記シールド側部に露出されている多数の吸着区画を、前記複数の第2パネル配列と協働して格子状に形成することを特徴とするクライオポンプ。
前記複数の第2吸着パネルは、隣接する2つの第2吸着パネルが向かい合うようにして前記軸方向を囲む周方向に配列されていることを特徴とする実施形態1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。
Claims (8)
- シールド開口を画定するシールド前端と、シールド底部と、前記シールド前端と前記シールド底部との間に延在するシールド側部と、を備える放射シールドと、
複数の第1吸着パネルを備える第1パネル配列と、各々が複数の第2吸着パネルを備える複数の第2パネル配列と、を備え、前記放射シールドより低温に冷却されるクライオパネルアセンブリと、を備え、
前記第1パネル配列は、各々が前記シールド側部に露出されている多数の吸着区画を、前記複数の第2パネル配列と協働して格子状に形成することを特徴とするクライオポンプ。 - 前記複数の第1吸着パネル及び前記複数の第2吸着パネルの各々は、前記シールド開口から実質的に視認不能であるように定められている吸着領域を備えることを特徴とする請求項1に記載のクライオポンプ。
- 前記複数の第2吸着パネルの各々は、前記シールド開口から実質的に視認不能であるように定められた形状を有することを特徴とする請求項1または2に記載のクライオポンプ。
- 前記複数の第1吸着パネルが前記複数の第2パネル配列と交互に並べられ、前記複数の第2吸着パネルが前記複数の第1吸着パネルに対し角度をなして配置されていることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のクライオポンプ。
- 前記複数の第1吸着パネルは、第1吸着パネル各々の前面を前記シールド開口に向けるようにして前記クライオポンプの軸方向に配列されており、
前記複数の第2吸着パネルは、隣接する2つの第2吸着パネルが向かい合うようにして前記軸方向を囲む周方向に配列されていることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のクライオポンプ。 - 前記複数の第2吸着パネルは、シールド開口側で隣接する第1吸着パネルからシールド底部側に突き出すようにその第1吸着パネルに取り付けられていることを特徴とする請求項1から5のいずれかに記載のクライオポンプ。
- クライオポンプの放射シールドと前記放射シールドより低温に冷却されるクライオパネルアセンブリとの間に非凝縮性気体分子を受け入れることと、
前記クライオパネルアセンブリの格子状吸着パネル配列に非凝縮性気体分子を吸着することと、を備え、
前記格子状吸着パネル配列は、各々が前記放射シールドの側部に露出されている多数の吸着区画を備えることを特徴とする非凝縮性気体の真空排気方法。 - シールド開口を画定するシールド前端と、シールド底部と、前記シールド前端と前記シールド底部との間に延在するシールド側部と、を備える放射シールドと、
前記シールド開口と前記シールド底部との間で重層的に配置されている複数の吸着区画列を備え、前記放射シールドより低温に冷却されるクライオパネルアセンブリと、を備え、
前記複数の吸着区画列の各々は、複数の吸着区画を備え、
前記複数の吸着区画の各々は、その吸着区画を覆う天井部と、前記シールド側部に露出されている開口部と、を備えることを特徴とするクライオポンプ。
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Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4494381A (en) * | 1983-05-13 | 1985-01-22 | Helix Technology Corporation | Cryopump with improved adsorption capacity |
JPH0192591A (ja) * | 1987-10-01 | 1989-04-11 | Anelva Corp | クライオポンプ |
Family Cites Families (11)
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---|---|---|---|---|
US4530213A (en) * | 1983-06-28 | 1985-07-23 | Air Products And Chemicals, Inc. | Economical and thermally efficient cryopump panel and panel array |
US4718240A (en) | 1985-03-01 | 1988-01-12 | Helix Technology Corporation | Cryopump regeneration method and apparatus |
JPS62502276A (ja) * | 1985-03-01 | 1987-09-03 | ヘリックス・テクノロジ−・コ−ポレ−ション | 低温ポンプの再生方法および装置 |
US4718241A (en) * | 1985-10-31 | 1988-01-12 | Helix Technology Corporation | Cryopump with quicker adsorption |
JPH0355829Y2 (ja) * | 1986-07-15 | 1991-12-12 | ||
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US20090038319A1 (en) * | 2007-08-08 | 2009-02-12 | Sumitomo Heavy Industries, Ltd. | Cryopanel and Cryopump Using the Cryopanel |
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4494381A (en) * | 1983-05-13 | 1985-01-22 | Helix Technology Corporation | Cryopump with improved adsorption capacity |
JPH0192591A (ja) * | 1987-10-01 | 1989-04-11 | Anelva Corp | クライオポンプ |
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