JP2014180592A - 塗布工具 - Google Patents

Abstract

【課題】簡単な構造とされ、塗工の初期か安定期かに係わらずマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できること。
【解決手段】隣り合うヘッド部材２同士の間に形成されたマニホールド４内には、該マニホールド４に塗布液を供給する供給口１６が開口され、ヘッド部材２同士の間には、マニホールド４内に突出する整流部１８を備えた整流板１５が挟持され、整流部１８は少なくとも供給口１６に対応する位置に配置され、ヘッド部材２には、該ヘッド部材２の外面７とマニホールド４とを連通する貫通孔１３が形成され、貫通孔１３にはピン部材１４が挿通され、ピン部材１４はマニホールド４内に突出可能とされ、ピン部材１４が、貫通孔１３内を進退移動するとともに整流部１８を押し込み又は引き込んで該整流部１８を変形させることにより、整流部１８と供給口１６との距離が調整可能とされている。
【選択図】図１

Description

本発明は、シート状部材やパネル状部材などの被塗布物の表面に、塗布液を塗布する際に使用される塗布工具に関するものである。

従来、この種の塗布工具として、一対のヘッド部材が隣接配置され、これらヘッド部材同士の間に形成されたマニホールド、及び該マニホールドに連通するとともにヘッド部材の先端側に向けて開口されたスリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する構成のスロットダイが知られている（例えば、下記特許文献１を参照）。

塗布工具に供給される塗布液は、ヘッド部材内（ヘッド部材同士の突き合わせ面部分）のマニホールドに一時的に保持され、該マニホールドからスリットへと流通し、スリットからヘッド部材の先端部（刃先エッジ）を介して被塗布物に塗布される。このようにマニホールドからスリットを通して塗布液が吐出されることで、被塗布物に塗布液が均一に塗布されるようになされている。

マニホールドは、長尺の矩形板状をなすヘッド部材の延在方向に沿って該ヘッド部材内を延びており、その断面形状は例えば円形や半円形、台形（矩形）等とされている。マニホールド内には、該マニホールドに塗布液を供給する供給口が開口しており、該供給口は、例えばマニホールドの前記延在方向に沿う中央部や端部に配置される。

尚、下記特許文献１の塗布工具では、隣接するヘッド部材同士の間に、マニホールドを囲うように、該マニホールドのスリット側を向く一方以外の三方を塞ぐコ字板状をなすシム部材が配設されており、該シム部材の一部がマニホールド内に突出している。このようなシム部材を用いることで、供給口からマニホールド内に流入する塗布液を該マニホールド全体に均等に分散させて、被塗布物に対して塗布液を均一に吐出するようにしている。

特開２０１１−２４０２４９号公報

しかしながら、前記従来の塗布工具においては、塗布精度を高めることに改善の余地があった。
すなわち、特許文献１の構成では、ヘッド部材同士の間にシム部材を配設して塗工を行った結果、スリットから被塗布物への前記延在方向に沿う塗布量（塗布厚）が不均一であった場合には、該シム部材をヘッド部材から取り外して他の形状のシム部材に交換する必要があり、調整作業が困難で手間がかかっていた。また、形状の異なるシム部材を複数用意しなければならず、部品管理が煩雑であるとともに、これらシム部材の製作費用が嵩んでいた。

また、塗工の初期（塗り始め）と安定期（塗工が安定した状態）とでは、被塗布物への塗布量が該被塗布物の幅方向（つまりスリットの延在する方向）に沿って若干変化することがあり、このような変化に、塗布装置を停止することなく対応することができなかった。

具体的に、例えば供給口がマニホールドの中央部に配置された場合において、特に塗工の初期段階では、前記中央部への塗布液の充填が早く、両端部への塗布液の充填が遅くなるため、この時間差に起因してマニホールドに内圧差が生じることになる。このようにマニホールドに内圧差が生じると、内圧が低い部位に対応するスリット幅に対して、内圧が高い部位に対応するスリット幅が大きくなりやすくなり、塗布精度を確保することが難しかった。すなわち、スリット幅が該スリットの延在する方向に沿う各部で異なることに起因して、被塗布物への塗布量が該被塗布物の幅方向に沿って一定となりにくかった。

尚、前述した塗布量の均一性に係る問題は、塗工の初期段階において生じやすいが、それ以外でも、例えば塗布液の粘度が中／高粘度である場合（粘度が高い場合）に、マニホールドからスリットへ供給される塗布液の流量がやはり不均一になりやすく、塗布精度が確保できなかった。
すなわち、塗布液の粘度が高い場合には、スリットの延在する方向の中央部におけるスリット幅が、該スリットの両端部におけるスリット幅よりも大きくなりやすく、前記中央部から被塗布物に塗布される塗布液の膜厚が、前記両端部から塗布される塗布液の膜厚よりも厚くなりやすかった。
このような現象を抑制して、塗工の初期段階や塗布液の性質（粘度）に係わらず、塗布精度を安定して高めることが要求されていた。

ここで、塗布精度を高める目的で、例えば、ヘッド部材のスリット幅が大きくなりやすい部分（つまりマニホールドの内圧が高くなりやすい部分に対応するスリット部分）について、当該部分を対向する他のヘッド部材側へ向けて押圧可能な構造を用いて、前記スリット幅を強制的に狭くする調整方法が考えられる。
しかしながらこの場合、マニホールドの内圧のバラつきをより増大させることとなり、またスリット幅の変動が広範囲に起こりやすくなるなど、調整が困難になることから好ましくない。また、この調整方法の場合、構造が複雑になり、製造費用が嵩み、ヘッド部材の形状自体についても制約を受けやすくなる。

本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、簡単な構造とされつつも、塗工の初期か安定期かに係わらずマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる塗布工具を提供することを目的としている。

このような課題を解決して、前記目的を達成するために、本発明は以下の手段を提案している。
すなわち、本発明は、複数のヘッド部材が隣接配置され、隣り合う前記ヘッド部材同士の間に形成されたマニホールド、及び該マニホールドに連通するとともに前記ヘッド部材の先端側に向けて開口されたスリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具であって、前記マニホールドは、前記ヘッド部材の延在方向に沿って延びており、前記マニホールド内には、該マニホールドに塗布液を供給する供給口が開口され、前記ヘッド部材同士の間には、前記マニホールド内に突出する整流部を備えた整流板が挟持されており、前記整流部は、少なくとも前記供給口に対応する位置に配置され、前記ヘッド部材には、該ヘッド部材の外面と前記マニホールドとを連通する貫通孔が形成され、前記貫通孔には、ピン部材が挿通され、該ピン部材は前記マニホールド内に突出可能とされており、前記ピン部材が、前記貫通孔内を進退移動するとともに、前記整流部を押し込み又は引き込んで該整流部を変形させることにより、前記整流部と前記供給口との距離が調整可能とされていることを特徴とする。

本発明の塗布工具によれば、隣接するヘッド部材同士の間に整流板が挟持されており、該整流板のうちマニホールド内に突出する整流部が、少なくとも供給口に対応して配置されているので、ピン部材を進退移動させてこの整流部を押し込むか、又は引き込むことで、該整流部を変形させるとともに、この整流部と供給口との距離を調整できることから、下記の効果を奏功する。

すなわち、例えば整流部を変形させて供給口に接近移動させることで、この供給口からマニホールド内に流入した塗布液が該整流部に当てられつつ、マニホールド内における供給口以外の部位へ向けても供給されやすくなる。つまり整流部によって、塗布液がマニホールド内の供給口以外の部位に送液されやすくなるので、このマニホールドの内圧を、供給口付近で高めてしまうようなことが抑制されるとともに該マニホールドの延在する方向に沿って均一にすることが可能となる。これにより、マニホールドに連通するスリットの開口幅（スリット幅）が延在方向に沿ってばらつくようなことも抑制されるので、被塗布物への塗布が精度よく均一に行われる。

つまり従来では、例えば供給口がマニホールドの延在方向の中央部に配置された場合に、該中央部への塗布液の充填が早く、両端部への塗布液の充填が遅くなるため、この時間差に起因してマニホールドに内圧差が生じることから、塗布精度を確保することが難しかった。一方、本発明によれば、整流部によってマニホールド内全体に均一に、かつ略同時に塗布液を充填することが可能になり、マニホールドの内圧差を抑制できる。従って、塗工の初期段階（塗り始め）から塗布精度を十分に高めることができる。

さらに、ピン部材により整流部の押し込み量、又は引き込み量を調整することによって、該整流部と供給口との距離を適宜調整できることから、たとえ塗工中においてスリットから被塗布物へ吐出される塗布量が前記延在方向に沿う各部で不均一となった場合であっても（つまり塗布精度が十分に確保できなかった場合でも）、塗布工具の外部からピン部材を進退移動させる簡単な操作によって、塗布精度を高精度に維持できる。

具体的に、例えば、スリットのうち前記延在方向に沿う供給口に対応するスリット部分（例えば前記延在方向の中央部に位置するスリット部分）からの塗布量が、前記延在方向に沿う供給口以外の部位に対応するスリット部分（例えば前記延在方向の両端部に位置するスリット部分）からの塗布量に比べて多かった場合には、ピン部材により整流部を変形させて供給口に接近させることで、前記供給口に対応するスリット部分への送液を妨げることが可能であり、これにより塗布液を前記供給口以外の部位に対応するスリット部分へと流しやすくするように調整できる。また、前記供給口に対応するスリット部分からの塗布量が、前記供給口以外の部位に対応するスリット部分からの塗布量に比べて少ない場合には、ピン部材により整流部を変形させて供給口から離間させることで、前記供給口に対応するスリット部分へ塗布液を流しやすくするように調整できる。

これにより、例えば中／高粘度の塗布液に対しても、前述した整流部の位置調整によって塗布液を供給口付近から前記延在方向に遠ざけるように送液することができ、マニホールドの内圧を前記延在方向に沿って容易に均一にすることが可能である。つまり、塗布液の性質（粘度）に応じて、ピン部材により整流部を変形させる量（変形量）を適宜調整して、マニホールド内に所望の塗布液の流れを作ることが可能であり、各種塗布液に対応して、容易に塗布精度を高めることができる。
具体的に、高い粘度の塗布液の塗工においては、スリットの前記延在方向の中央部での口開き現象を軽減することが可能になり、塗り始めの塗布液の膜厚が均一になる。また、低粘度の塗布液の塗工では、塗り始めまで整流部を供給口に近づけておき、マニホールドの内圧が均一となった後は、整流部を供給口から離間させてもよい。

このように本発明では、塗布液の性質（粘度）に応じてピン部材により整流部を適宜変形させることで、該整流部と供給口との相対位置を調整し、被塗布物への塗布精度を高品位に安定して確保することができる。また塗工中においても、ピン部材により整流部を変形させることができ、つまり塗工の初期又は安定期に係わらず、塗布装置を停止させることなく塗布精度を高品位に維持できることから、生産性が向上する。

以上から、本発明の塗布工具は、塗工の初期か安定期かに係わらずマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる。また、前述のように顕著な効果を奏功しつつも、構造が簡単であり、製作費用が抑えられ、部品管理も容易である。

また、本発明の塗布工具において、前記整流部が、弾性変形可能であることとしてもよい。

この場合、ピン部材と整流部とを複雑な構成を用いて連結するようなことなく、上述した作用効果を簡単に得ることができる。すなわち、例えばピン部材の突端部（マニホールド内に突出する先端部）を整流部に当接可能とし、該ピン部材により整流部をマニホールド内に押し込んで該整流部を弾性変形させることができる。また、このように整流部が弾性変形した状態から、ピン部材を引き込む（後退させる）ことで該ピン部材による押圧が解除され、該整流部を復元変形させることができる。
従って、簡単な構成によって上述した効果を得ることができる。

また、本発明の塗布工具において、前記整流部が変形することで、該整流部の端縁と、前記マニホールドの内面との距離が調整可能とされていることとしてもよい。

この場合、ピン部材により整流部が変形させられることで、該整流部の端縁と、マニホールドの内面との距離が変化させられて、これらの間を流れる塗布液の流量が調整される。従って、上述した整流部と供給口との距離の調整とあわせて、より迅速に調整を行うことが可能である。

また、本発明の塗布工具において、前記ヘッド部材同士の間における前記延在方向の両端部には、前記スリットの前記延在方向に沿う長さ及び開口幅を設定する端部板がそれぞれ配設されており、前記整流板が、前記端部板と一体に形成されていることとしてもよい。

この場合、整流部を備えた整流板と、端部板とが一体に形成されていることから、部品点数が削減される。またこの場合、例えば、整流板及び端部板からなるコ字状とされた板状部材（シム部材）の外形を、ヘッド部材の外形に合わせて形成することで、ヘッド部材に対するシム部材の位置決めが容易化されるとともに、マニホールド内において整流部を所定位置に高精度に配置できる。

また、本発明の塗布工具において、前記整流部は、前記マニホールド内で前記延在方向に沿って延びており、前記整流部の前記延在方向に直交する高さが、前記供給口から前記延在方向に離間するに従い小さくされていることとしてもよい。

この場合、整流部の高さが、供給口から前記延在方向に離間するに従い小さくなることに伴って、該整流部の端縁とマニホールドの内面との隙間（距離）は、供給口から前記延在方向に離間するに従い大きくなるので、供給口に対応するスリット部分への送液量を抑制しつつ、該供給口以外の部位に対応するスリット部分へと塗布液を送液することが、簡単な構成により実現できる。

また、本発明の塗布工具において、前記整流部は、前記マニホールド内で前記延在方向に分割された複数の羽根部からなり、それぞれの前記羽根部に対応して前記ピン部材が複数設けられるとともに、これらのピン部材によって各羽根部が個別に変形させられることとしてもよい。

この場合、整流部の各羽根部を、対応する各ピン部材により個別に変形させて、該整流部と供給口との距離を微調整できることから、マニホールド内の塗布液の流れをより精細に調整可能である。

また、本発明の塗布工具において、前記ヘッド部材の前記貫通孔と、前記ピン部材とが、螺合されていることとしてもよい。

この場合、ピン部材による整流部の押し込み量又は引き込み量を高精度に設定しやすい。また、マニホールド内において変形させられた整流部の配置位置を、安定して維持しやすい。

本発明の塗布工具によれば、簡単な構造とされつつも、塗工の初期か安定期かに係わらずマニホールドの内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる。

本発明の一実施形態に係る塗布工具を示す側断面図（縦断面図）である。 図１の塗布工具のシム部材を示す正面図である。 シム部材の変形例を示す正面図である。 シム部材の変形例を示す正面図である。

以下、本発明の一実施形態に係る塗布工具１について、図面を参照して説明する。
本実施形態の塗布工具１は、例えば可撓性を有するシート状部材やパネル状部材などの被塗布物の表面に、塗布液を所定の膜厚となるように塗布するスロットダイである。この塗布工具１は、低粘度から中／高粘度まで種々の塗布液に適用可能である。

図１に示されるように、本実施形態の塗布工具１は、対向配置される一対のヘッド部材２と、これらヘッド部材２同士の間に形成されたマニホールド４と、該マニホールド４に連通するとともにヘッド部材２の先端側に向けて開口されたスリット３と、を備えている。
ここで、ヘッド部材２は、長尺の矩形板状又はブロック状をなしており、前記一対のヘッド部材２同士は、その厚さ方向に隣接するように対向配置されている。本明細書においては、ヘッド部材２が延在するその長手方向（図１の紙面に垂直な方向）を塗布工具１の延在方向Ｌといい、ヘッド部材２の厚さ方向を塗布工具１の幅方向Ｗといい、これら延在方向Ｌ及び幅方向Ｗに垂直な方向を塗布工具１の高さ方向Ｈという。また、高さ方向Ｈのうち、ヘッド部材２間からスリット３が外部に開口される向き（被塗布物に塗布液が吐出される向き）を先端側（ヘッド部材２の先端側であり、図１における上側）といい、スリット３が外部に開口される向きとは反対側を基端側（ヘッド部材２の基端側であり、図１における下側）という。

この塗布工具１は、ヘッド部材２の先端（刃先エッジ）を被塗布物に対向配置させるとともに、ヘッド部材２間に開口するスリット３の延在方向（ヘッド部材２の延在方向Ｌと同一の向き）を被塗布物の幅方向に一致させるようにして不図示の塗布装置に装着される。そして、塗布液タンクから供給ポンプによってマニホールド４内に供給される塗布液が、該マニホールド４からスリット３内を流通してヘッド部材２の先端（スリット３開口部）から吐出されることにより、この塗布工具１の幅方向Ｗに沿うように移動（走行）する被塗布物の表面に対して、塗布液が所定の膜厚（層厚）となるように塗布される。

ヘッド部材２は、ステンレス鋼等の金属材料からなり、図１に示される縦断面視（側断面視）で、台形状をなしている。ヘッド部材２において、前記台形の上底をなすとともに幅方向Ｗの外側を向く外面７、及び、前記台形の下底をなすとともに幅方向Ｗの内側を向く内面（突き合わせ面）８は、それぞれ幅方向Ｗに垂直な平面状をなしている。隣り合う一対のヘッド部材２の内面８同士は、隙間をあけて対向配置されており、前記隙間にスリット３が画成されている。

スリット３は、一対のヘッド部材２の内面８と、該ヘッド部材２同士の間に挟持されたシム部材１１とによって画成された塗布液の流通空間（隙間）であり、ヘッド部材２間においてマニホールド４に対応する部位から先端側の領域に形成されているとともに、ヘッド部材２の先端側に向けて開口されている一方、ヘッド部材２の基端側及び延在方向Ｌの両側に向けては開口されていない。

図２において、シム部材１１は、一対の端部板１２と、これら端部板１２同士を繋ぐ整流板１５と、を備えている。端部板１２は、隣接するヘッド部材２同士の間における延在方向Ｌの両端部にそれぞれ配設されており、スリット３の延在方向Ｌに沿う長さ及び開口幅（スリット幅）を設定している。整流板１５は、ヘッド部材２同士の間において、マニホールド４内及びその基端側（図２における下側）に配置されている。

シム部材１１は、全体としてはヘッド部材２の先端側（図２における上側）に向けて開口するコ字状又はＵ字状の板状をなしている。そして、図２に２点鎖線で示される矩形状のマニホールド４の先端側に位置するとともに、該マニホールド４の延在方向Ｌに対応する領域（一対の端部板１２間に位置する領域）が、スリット３となっている。尚、図示の例では、スリット３の延在方向Ｌに沿う長さが、マニホールド４の前記長さよりも若干小さくされている。

また、隣接配置された一対のヘッド部材２同士は、スリット３側（先端側）に向けて開口する前記シム部材１１を互いの内面８同士の間に挟んだ状態でボルト等により連結されており、これにより、スリット幅が所定値（シム部材１１の厚さであり、具体的には端部板１２の厚さに相当）となるように設定されている。尚、シム部材１１の詳しい構成については後述する。

図１に示されるように、ヘッド部材２において基端側を向く基端面９は、高さ方向Ｈに垂直な平面となっている。
ヘッド部材２において先端側を向く先端面１０は、幅方向Ｗの内側（つまり幅方向Ｗの中央側、スリット３側）に向かうに従い漸次先端側に向かって傾斜している。また、先端面１０における幅方向Ｗの内側の端部は、該端部以外の部位よりも先端側に向けて突出するエッジ部６とされており、一対のヘッド部材２のエッジ部６同士はスリット３を画成する隙間をあけて対向配置されている。またエッジ部６は、延在方向Ｌに長尺とされた矩形板状をなしており、エッジ部６の先端部（刃先エッジ）同士の間に、スリット３の開口部が形成されている。尚、エッジ部６は先端面１０に突設されていなくてもよく、この場合、ヘッド部材２において先端面１０と内面８とが交差する稜線部分が、該ヘッド部材２の刃先エッジとなる。

また本実施形態では、一対のヘッド部材２の先端部にエッジ部６が一体に形成されているが、これに限らず、例えば超硬合金等の硬質材料からなるエッジ部６を別体として作製し、ヘッド部材２の先端部にろう付けや着脱機構により配設してもよい。

一対のヘッド部材２は、互いに異なる形状を有している。図１において、幅方向Ｗに対向する一対のヘッド部材２Ａ、２Ｂのうち、一方のヘッド部材２Ａの幅方向Ｗに沿う長さは、他方のヘッド部材２Ｂの幅方向Ｗに沿う長さよりも大きくなっている。
また、一方のヘッド部材２Ａの内面８における高さ方向Ｈの中央部には、該内面８から窪まされるとともに延在方向Ｌに沿って延びる断面半円形状又は断面半長円形状の溝穴５が形成されており、該溝穴５と、この溝穴５に対応する他方のヘッド部材２Ｂの平面状をなす内面８部分とが幅方向Ｗに対向配置されることで、断面円形状又は断面半長円形状のマニホールド４が形成されている。

図２に２点鎖線で示すように、溝穴５は、ヘッド部材２Ａの内面８に矩形状に開口されているとともに、延在方向Ｌに沿って延びており、これによりマニホールド４もヘッド部材２の延在方向Ｌに沿って延びている。また、マニホールド４内には、該マニホールド４に塗布液を供給する供給口１６が開口されている。

図２において、供給口１６は、マニホールド４における延在方向Ｌに沿う両端部同士の間の中間領域に開口しており、図示の例では、供給口１６は、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う中央部（前記中間領域の延在方向Ｌの中央）に開口している。
具体的に、本実施形態では、図１に示される一対のヘッド部材２Ａ、２Ｂのうち一方のヘッド部材２Ａにのみ、基端面９と溝穴５とを連通する液供給路２１が形成されており、該液供給路２１においてマニホールド４の内周面に開口する部分が前記供給口１６となっている。また図示の例では、供給口１６は、マニホールド４の高さ方向Ｈに沿う中央部から基端部に開口している。液供給路２１は、不図示の供給ポンプに接続されている。尚、液供給路２１は、塗布工具１の外部に設置された前記供給ポンプとマニホールド４内とを連通可能にヘッド部材２に形成されていればよいことから、その形状や配置は本実施形態で示される例に限定されない。

また、図１において、他方のヘッド部材２Ｂには、該ヘッド部材２Ｂの外面７とマニホールド４とを連通する貫通孔１３が形成されており、図示の例では、該貫通孔１３は幅方向Ｗに沿って延びている。また、この貫通孔１３には、ピン部材１４が挿通されているとともに、該ピン部材１４はマニホールド４内に突出可能とされている。
本実施形態では、ヘッド部材２Ｂの貫通孔１３と、ピン部材１４とは、螺合されており、貫通孔１３の中心軸回りにピン部材１４を回転させることで、該ピン部材１４が図１に示される両矢印の向きに進退可能とされている。

そして、図２に示される正面視で（シム部材１１を板厚方向から見て）、シム部材１１の端部板１２は、高さ方向Ｈに長い矩形状をなしており、整流板１５は、延在方向Ｌに長い概略矩形状又は五角形状をなしている。本実施形態では、シム部材１１の端部板１２と整流板１５とが、一体に形成されており、これら板１２、１５の板厚が互いに同一とされている。また、図２において符号１９で示されるものは、シム部材１１を板厚方向に貫通する複数のボルト挿通孔であり、これらのボルト挿通孔１９には、ヘッド部材２同士を連結するためのボルトが挿通される。

また、整流板１５は、ヘッド部材２同士の間に挟持される支持部１７と、該支持部１７からマニホールド４内に突出して形成された整流部１８と、を備えている。図２に示される正面視で、支持部１７は、延在方向Ｌに沿って延びる矩形状をなしており、ヘッド部材２間においてマニホールド４の基端側に配置される。またこの正面視で、整流部１８は、支持部１７から先端側（図２における上側であり、スリット３側）へ向かうに従い漸次延在方向Ｌの長さが短くなる凸Ｖ字状又は三角形状をなしている。

整流板１５の整流部１８は、弾性変形可能であり、マニホールド４内における少なくとも供給口１６に対応する位置に配置されている。本実施形態では、シム部材１１全体（端部板１２及び整流板１５）が、弾性変形可能な金属バネや樹脂材料等により形成されている。

また、整流部１８は、マニホールド４内で延在方向Ｌに沿って延びており、該整流部１８の延在方向Ｌに直交する高さ（図２における高さ方向Ｈに沿う長さ、つまり板幅）が、供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い小さくされている。図２の例では、整流部１８の延在方向Ｌに沿う長さは、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う長さよりも若干小さく設定されている。
また、整流部１８において支持部１７とは反対側（先端側）を向く端縁に位置する凸状の先端１８ａは、延在方向Ｌに沿う供給口１６に対応する位置に配置されている。また、整流部１８の前記端縁と、マニホールド４の内面との間には、隙間が設けられている。

図１において、ピン部材１４のうちマニホールド４内に突出する突端部（マニホールド４側を向く先端部）は、整流部１８における延在方向Ｌに沿う中央部（供給口１６に対応する部分）に当接されており、より詳しくは、前記中央部の先端１８ａ近傍に当接されている。そして、ピン部材１４が、貫通孔１３内を進退移動するとともに、整流部１８を押し込み又は引き込んで該整流部１８を変形させることにより、整流部１８と供給口１６との距離が調整可能とされている。

具体的には、前述のように整流部１８が変形させられることにより、該整流部１８は供給口１６に対して接近又は離間されつつ、これとは反対にスリット３に対しては離間又は接近される。また、整流部１８が変形することで、該整流部１８の先端１８ａを含む前記端縁と、マニホールド４の内面（内周面）との距離が調整可能とされている。

すなわち、図１において、ピン部材１４がマニホールド４内に前進して整流部１８が供給口１６側へ向けて変形（弾性変形）させられると、該整流部１８の先端１８ａを含む前記端縁は、マニホールド４の内面に接近させられていき、供給口１６とスリット３との間における塗布液の流路（つまり流路の断面積）が狭められるようになっている。またこれとは反対に、ピン部材１４がマニホールド４内から後退して整流部１８が供給口１６から離間する向きに変形（復元変形）させられると、該整流部１８の前記端縁は、マニホールド４の内面から離間させられていき、供給口１６とスリット３との間における塗布液の流路が拡げられるようになっている。

また、ピン部材１４が、貫通孔１３に対して進退移動する範囲は、整流部１８が弾性変形可能な範囲内に設定されている。つまりピン部材１４の移動範囲は、整流部１８が復元不能に塑性変形する範囲にまでは設定されていない。また本実施形態では、ピン部材１４の突端部がマニホールド４内に突出されていない状態においては、整流部１８はヘッド部材２Ｂの内面８に当接可能とされている。尚、図示の例では、ピン部材１４の突端部は、整流部１８側に向かうに従い縮径するテーパ状又は半球面状とされている。

以上説明した本実施形態の塗布工具１によれば、隣接するヘッド部材２同士の間に整流板１５が挟持されており、該整流板１５のうちマニホールド４内に突出する整流部１８が、少なくとも供給口１６に対応して配置されているので、ピン部材１４を進退移動させてこの整流部１８を押し込むか、又は引き込むことで、該整流部１８を変形させるとともに、この整流部１８と供給口１６との距離を調整できることから、下記の効果を奏功する。

すなわち、例えば整流部１８を変形させて供給口１６に接近移動させることで、この供給口１６からマニホールド４内に流入した塗布液が該整流部１８に当てられつつ、マニホールド４内における供給口１６以外の部位へ向けても供給されやすくなる。つまり整流部１８によって、塗布液がマニホールド４内の供給口１６以外の部位に送液されやすくなるので、このマニホールド４の内圧を、供給口１６付近で高めてしまうようなことが抑制されるとともに該マニホールド４の延在する方向に沿って均一にすることが可能となる。これにより、マニホールド４に連通するスリット３の開口幅（スリット幅）が延在方向Ｌに沿ってばらつくようなことも抑制されるので、被塗布物への塗布が精度よく均一に行われる。

つまり従来では、例えば供給口がマニホールドの延在方向の中央部に配置された場合に、該中央部への塗布液の充填が早く、両端部への塗布液の充填が遅くなるため、この時間差に起因してマニホールドに内圧差が生じることから、塗布精度を確保することが難しかった。一方、本実施形態によれば、整流部１８によってマニホールド４内全体に均一に、かつ略同時に塗布液を充填することが可能になり、マニホールド４の内圧差を抑制できる。従って、塗工の初期段階（塗り始め）から塗布精度を十分に高めることができる。

さらに、ピン部材１４により整流部１８の押し込み量、又は引き込み量を調整することによって、該整流部１８と供給口１６との距離を適宜調整できることから、たとえ塗工中においてスリット３から被塗布物へ吐出される塗布量が延在方向Ｌに沿う各部で不均一となった場合であっても（つまり塗布精度が十分に確保できなかった場合でも）、塗布工具１の外部からピン部材１４を進退移動させる簡単な操作によって、塗布精度を高精度に維持できる。

具体的に、例えば、スリット３のうち延在方向Ｌに沿う供給口１６に対応するスリット３部分（本実施形態では延在方向Ｌの中央部に位置するスリット３部分）からの塗布量が、延在方向Ｌに沿う供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分（例えば延在方向Ｌの両端部に位置するスリット３部分）からの塗布量に比べて多かった場合には、ピン部材１４により整流部１８を変形させて供給口１６に接近させることで、前記供給口１６に対応するスリット３部分への送液を妨げることが可能であり、これにより塗布液を前記供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分へと流しやすくするように調整できる。また、前記供給口１６に対応するスリット３部分からの塗布量が、前記供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分からの塗布量に比べて少ない場合には、ピン部材１４により整流部１８を変形させて供給口１６から離間させることで、前記供給口１６に対応するスリット３部分へ塗布液を流しやすくするように調整できる。

これにより、例えば中／高粘度の塗布液に対しても、前述した整流部１８の位置調整によって塗布液を供給口１６付近から延在方向Ｌに遠ざけるように送液することができ、マニホールド４の内圧を延在方向Ｌに沿って容易に均一にすることが可能である。つまり、塗布液の性質（粘度）に応じて、ピン部材１４により整流部１８を変形させる量（変形量）を適宜調整して、マニホールド４内に所望の塗布液の流れを作ることが可能であり、各種塗布液に対応して、容易に塗布精度を高めることができる。
具体的に、高い粘度の塗布液の塗工においては、スリット３の延在方向Ｌの中央部での口開き現象を軽減することが可能になり、塗り始めの塗布液の膜厚が均一になる。また、低粘度の塗布液の塗工では、塗り始めまで整流部１８を供給口１６に近づけておき、マニホールド４の内圧が均一となった後は、整流部１８を供給口１６から離間させてもよい。

このように本実施形態では、塗布液の性質（粘度）に応じてピン部材１４により整流部１８を適宜変形させることで、該整流部１８と供給口１６との相対位置を調整し、被塗布物への塗布精度を高品位に安定して確保することができる。また塗工中においても、ピン部材１４により整流部１８を変形させることができ、つまり塗工の初期又は安定期に係わらず、塗布装置を停止させることなく塗布精度を高品位に維持できることから、生産性が向上する。

以上から、本実施形態の塗布工具１は、塗工の初期か安定期かに係わらずマニホールド４の内圧を均一にでき、塗布精度を高められるとともに、その精度を安定して維持できる。また、前述のように顕著な効果を奏功しつつも、構造が簡単であり、製作費用が抑えられ、部品管理も容易である。

また、整流部１８が、弾性変形可能とされているので、ピン部材１４と整流部１８とを複雑な構成を用いて連結するようなことなく、上述した作用効果を簡単に得ることができる。すなわち、本実施形態のようにピン部材１４の突端部を整流部１８に当接可能とし、該ピン部材１４により整流部１８をマニホールド４内に押し込んで該整流部１８を弾性変形させることができる。また、このように整流部１８が弾性変形した状態から、ピン部材１４を引き込む（後退させる）ことで該ピン部材１４による押圧が解除されて、該整流部１８を復元変形させることができる。従って、簡単な構成によって上述した効果を得ることができる。

また、整流部１８が変形することで、該整流部１８の先端１８ａを含む前記端縁と、マニホールド４の内面との距離が調整可能とされているので、下記の効果を奏功する。
すなわち、ピン部材１４により整流部１８が変形させられることで、該整流部１８の前記端縁と、マニホールド４の内面との距離が変化させられて、これらの間を流れる塗布液の流量が調整される。従って、上述した整流部１８と供給口１６との距離の調整とあわせて、より迅速に調整を行うことが可能である。

また、整流部１８を備えた整流板１５と、端部板１２とが一体に形成されていることから、部品点数が削減される。また本実施形態においては、これらの整流板１５及び端部板１２が一体に形成されてシム部材１１とされており、該シム部材１１が概略コ字状をなしているので、このシム部材１１の外形を、ヘッド部材２の外形に合わせて形成することで、ヘッド部材２に対するシム部材１１の位置決めが容易化されているとともに、マニホールド４内において整流部１８が所定位置に高精度に配置されることとなる。

また、整流部１８の高さが、供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い小さくされていることから、これに伴って、該整流部１８において先端側（図２における上側）を向く端縁と、マニホールド４の内面との隙間（距離）は、供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い大きくなるので、供給口１６に対応するスリット３部分への送液量を抑制しつつ、該供給口１６以外の部位に対応するスリット３部分へと塗布液を送液することが、簡単な構成により実現できる。
尚、本実施形態では、整流部１８において先端側を向く端縁が、先端１８ａを頂点として延在方向Ｌに向かうに従い漸次基端側へ向けて直線状に延びて形成されているが、これに限定されるものではなく、例えば整流部１８の前記端縁は、先端１８ａから延在方向Ｌに向かうに従い段階的に基端側へ向かう階段状や折れ線状とされていてもよい。

また、ヘッド部材２の貫通孔１３と、ピン部材１４とが、螺合されているので、ピン部材１４による整流部１８の押し込み量又は引き込み量を高精度に設定しやすい。また、マニホールド４内において変形させられた整流部１８の配置位置（弾性変形した状態）を、安定して維持しやすい。

また、供給口１６が、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う中央部に開口しているので、該マニホールド４の両端部における内圧差を抑制しやすく、よって前述した塗布精度を高められるという効果が簡単に、安定的に、かつより顕著に得られることになる。

尚、本発明は前述の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。

例えば、前述の実施形態では、塗布工具１が一対のヘッド部材２を備えているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、塗布工具１は、３つ以上のヘッド部材２を備えるとともに、これらが幅方向Ｗに並べられて配設されていて、隣り合うヘッド部材２同士の間に、スリット３及びマニホールド４がそれぞれ形成され、各マニホールド４内に整流部１８が変形可能とされてそれぞれ配設されていてもよい。
この場合、一度の塗布工程において、被塗布物に対して各スリット３から複数種類の塗布液を吐出可能であり、被塗布物の表面に塗布液が複数の膜（層）をなすように塗布される。

また、前述の実施形態では、ヘッド部材２同士の間に画成されるスリット３が、図１において、塗布工具１の上側に向けて開口されているように記載されているが、これに限定されるものではない。すなわち、被塗布物に対する塗布工具１の設置姿勢は、前述の実施形態で説明したものに限定されるわけではなく、例えば、スリット３が下側に向けて開口されていてもよい。

また、一方のヘッド部材２Ａの溝穴５と他方のヘッド部材２Ｂの平面状の内面８によりマニホールド４が断面半円形状又は断面半長円形状をなしているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、一方のヘッド部材２Ａのみならず他方のヘッド部材２Ｂにも溝穴５が形成されており、これらヘッド部材２Ａ、２Ｂの溝穴５同士が幅方向Ｗに対向配置されることで、断面円形状又は断面長円形状のマニホールド４が形成されていてもよい。また、マニホールド４の形状は、上記したもの以外の断面多角形状や断面楕円形状等であってもよい。

また、前述の実施形態では、供給口１６が、マニホールド４における延在方向Ｌに沿う両端部間の中間領域に開口しており、具体的には、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う中央部に開口しているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、供給口１６は、例えばマニホールド４の延在方向Ｌに沿う一端部又は他端部に開口していてもよく、この場合、整流板１５の整流部１８は、その支持部１７から先端側へ向けて突出する高さ（板幅）が、供給口１６に対応する部位において最も大きくされるとともに該供給口１６から延在方向Ｌに離間するに従い小さくされて、塗布液を供給口１６から延在方向Ｌに離間させる向きに送液可能に形成されることが好ましい。

また、前述の実施形態では、整流部１８の延在方向Ｌに沿う長さが、マニホールド４の延在方向Ｌに沿う長さに対応しており、つまり整流部１８の延在方向Ｌの両端が、溝穴５の延在方向Ｌの両端面に接近して配置されている例を示したが、これに限定されるものではない。
すなわち、整流部１８は、マニホールド４内における少なくとも供給口１６に対応する位置に配置されて、該供給口１６から流入する塗布液をこの供給口１６から延在方向Ｌに離間させる向きに送液可能な整流作用を有していればよいことから、例えば、整流部１８の延在方向Ｌの両端が、マニホールド４の延在方向Ｌの両端面から延在方向Ｌの内側（中央側）に大きく離間して配置されていても構わない。

つまり、整流板１５の整流部１８の形状は、所望の塗布液の整流作用が得られるものであればよいことから、前述の実施形態で説明したものに限定されることはなく、例えば、整流部１８が延在方向Ｌに延びる長尺の矩形状等からなる多角形状や半長円形状とされていてもよい。さらに、整流部１８は、延在方向Ｌに延びていなくてもよい。
また、整流部１８において最も板幅が大きくなる先端１８ａ部分が、供給口１６に対応して配置されていなくても構わない。

ここで、図３及び図４に示されるものは、前述した実施形態の塗布工具１におけるシム部材１１の変形例である。
図３に示される例では、シム部材１１は、一対の端部板１２と、これら端部板１２間に配置される整流板２５と、を一体に備えている。整流板２５は、支持部１７と、該支持部１７からマニホールド４内に突出する整流部２８と、を備えている。そして、整流部２８は、マニホールド４内で延在方向Ｌに分割された複数の羽根部２９からなり、それぞれの羽根部２９に対応してピン部材１４が複数設けられるとともに、これらのピン部材１４によって各羽根部２９が個別に変形（弾性変形及び復元変形）させられる構成となっている。

具体的に、図３に示される正面視で（シム部材１１を板厚方向から見て）、各羽根部２９は、矩形状をなしており、延在方向Ｌに隣り合う羽根部２９同士の間には、高さ方向Ｈに延びる幅狭の分割スリット３０がそれぞれ形成されている。これにより整流部２８は、互いに干渉することなく変形可能とされた複数の羽根部２９を備えている。
図示の例では、整流部２８の羽根部２９が５つ設けられており、これら羽根部２９のうち、延在方向Ｌの中央に位置する羽根部２９が供給口１６に対応して配置されている。また、これら羽根部２９のうち、延在方向Ｌの両端部に位置する羽根部２９の延在方向Ｌに沿う長さは、延在方向Ｌの両端部以外に配置された羽根部２９の延在方向Ｌに沿う長さよりも短くされている。また、これら羽根部２９が、支持部１７からスリット３側へ向けて突出する高さは、互いに同一とされている。

また、整流部２８の各羽根部２９に対応して、ヘッド部材２Ｂには貫通孔１３が延在方向Ｌに間隔をあけて複数穿設されており、各貫通孔１３には、マニホールド４内に突出可能とされてピン部材１４がそれぞれ螺合されている。
また、図４に示される例のように、マニホールド４内に延在方向Ｌに間隔をあけて複数（図示の例では２つ）の供給口１６が開口されており、各供給口１６に対応して、整流部２８の羽根部２９がそれぞれ配置されていてもよい。

これら図３及び図４に示される変形例によれば、整流部２８の各羽根部２９を、対応する各ピン部材１４により個別に変形させて、該整流部２８と供給口１６との距離を微調整できることから、マニホールド４内の塗布液の流れをより精細に調整可能である。

また、整流部１８、２８が、弾性変形可能であるとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、整流部１８、２８における支持部１７との連結部分にヒンジ部を設けて変形可能とし（つまり整流部１８、２８をヒンジ部回りに回動させることで変形させ）、かつピン部材１４の突端部と整流部１８、２８とを機械的に連結した構成としてもよい。尚、この場合ピン部材１４は、整流部１８、２８に対して離脱不能とされつつ、該ピン部材１４の中心軸回りに回動自在に連結されることが好ましい。この場合も、前述の実施形態で説明したものと同様の効果を得ることができる。

また、ピン部材１４が整流部１８、２８に対して離脱不能に連結される構成の場合には、該ピン部材１４及び貫通孔１３は、一方のヘッド部材２Ａに設けられていてもよい。この場合、ピン部材１４がマニホールド４から離間する向きに後退することで、整流部１８、２８が供給口１６側へ向けて引き込まれ、弾性変形させられることになる。

また、前述の実施形態では、貫通孔１３が、ヘッド部材２Ｂ内において幅方向Ｗに沿って延びているとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、例えば、図１に示される縦断面視で、貫通孔１３は、幅方向Ｗに対して傾斜するように延びていてもよい。具体的に、貫通孔１３が、ヘッド部材２Ｂ内を幅方向Ｗに沿う内側（中央側）へ向かうに従い漸次基端側へ向けて傾斜して延びていてもよく、この場合、該貫通孔１３の中心軸の延長線が、整流部１８、２８の変形範囲における移動軌跡上から外れにくくなり、整流部１８、２８をピン部材１４により押し込み又は引き込む動作が安定しやすくなる効果が期待できる。

また、ヘッド部材２Ｂの貫通孔１３と、ピン部材１４とは、螺合されていなくてもよい。ただし、これらが螺合されている場合には、ピン部材１４による整流部１８、２８の押し込み量や引き込み量を微調整しやすく、かつ安定的に維持しやすいことから、好ましい。

また、前述の実施形態では、整流部１８が変形することで、該整流部１８の先端１８ａを含む前記端縁と、マニホールド４の内面との距離が調整可能であるとしたが、これに限定されるものではない。すなわち、整流部１８が変形した前後において、該整流部１８の前記端縁と、マニホールド４の内面との距離が一定とされていても構わない。ただし、整流部１８の変形により前記距離が調整可能とされた場合には、マニホールド４内における塗布液の流れを大きく変化させやすくなり、該マニホールド４の内圧を迅速に均等にできることから、好ましい。

また、前述の実施形態では、整流板１５が、端部板１２と一体に形成されているとしたが、これに限定されるものではなく、これら板１５、１２が別体に設けられていても構わない。ただし、整流板１５及び端部板１２が一体とされていることにより、部品点数を削減でき、ヘッド部材２間への設置容易性や、供給口１６に対する整流部１８の位置精度を高めやすくなることから、好ましい。

その他、本発明の趣旨から逸脱しない範囲において、前述の実施形態、変形例及び尚書き等で説明した各構成（構成要素）を組み合わせてもよく、また、構成の付加、省略、置換、その他の変更が可能である。また本発明は、前述した実施形態によって限定されることはなく、特許請求の範囲によってのみ限定される。

１ 塗布工具
２ ヘッド部材
３ スリット
４ マニホールド
７ 外面
１２ 端部板
１３ 貫通孔
１４ ピン部材
１５、２５ 整流板
１６ 供給口
１８、２８ 整流部
１８ａ 先端（端縁）
２９ 羽根部
Ｌ 延在方向

Claims (7)

1. 複数のヘッド部材が隣接配置され、隣り合う前記ヘッド部材同士の間に形成されたマニホールド、及び該マニホールドに連通するとともに前記ヘッド部材の先端側に向けて開口されたスリットを通して、被塗布物に塗布液を塗布する塗布工具であって、
   前記マニホールドは、前記ヘッド部材の延在方向に沿って延びており、
   前記マニホールド内には、該マニホールドに塗布液を供給する供給口が開口され、
   前記ヘッド部材同士の間には、前記マニホールド内に突出する整流部を備えた整流板が挟持されており、
   前記整流部は、少なくとも前記供給口に対応する位置に配置され、
   前記ヘッド部材には、該ヘッド部材の外面と前記マニホールドとを連通する貫通孔が形成され、
   前記貫通孔には、ピン部材が挿通され、該ピン部材は前記マニホールド内に突出可能とされており、
   前記ピン部材が、前記貫通孔内を進退移動するとともに、前記整流部を押し込み又は引き込んで該整流部を変形させることにより、前記整流部と前記供給口との距離が調整可能とされていることを特徴とする塗布工具。
2. 請求項１に記載の塗布工具であって、
   前記整流部が、弾性変形可能であることを特徴とする塗布工具。
3. 請求項１又は２に記載の塗布工具であって、
   前記整流部が変形することで、該整流部の端縁と、前記マニホールドの内面との距離が調整可能とされていることを特徴とする塗布工具。
4. 請求項１〜３のいずれか一項に記載の塗布工具であって、
   前記ヘッド部材同士の間における前記延在方向の両端部には、前記スリットの前記延在方向に沿う長さ及び開口幅を設定する端部板がそれぞれ配設されており、
   前記整流板が、前記端部板と一体に形成されていることを特徴とする塗布工具。
5. 請求項１〜４のいずれか一項に記載の塗布工具であって、
   前記整流部は、前記マニホールド内で前記延在方向に沿って延びており、
   前記整流部の前記延在方向に直交する高さが、前記供給口から前記延在方向に離間するに従い小さくされていることを特徴とする塗布工具。
6. 請求項１〜５のいずれか一項に記載の塗布工具であって、
   前記整流部は、前記マニホールド内で前記延在方向に分割された複数の羽根部からなり、
   それぞれの前記羽根部に対応して前記ピン部材が複数設けられるとともに、これらのピン部材によって各羽根部が個別に変形させられることを特徴とする塗布工具。
7. 請求項１〜６のいずれか一項に記載の塗布工具であって、
   前記ヘッド部材の前記貫通孔と、前記ピン部材とが、螺合されていることを特徴とする塗布工具。

Images