JP2014178387A - 光偏向モジュール - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光偏向器3はミラー部33と圧電アクチュエータとを備える。圧電アクチュエータは、ミラー部33を含む可動部が回転軸線の周りに固有振動する固有振動周波数のユニポーラ型駆動電圧を圧電変形部の圧電素子層63の印加電圧として供給されて、ミラー部33を回転軸線の周りに揺動させる。制御装置2は、ユニポーラ型駆動電圧の各周期において圧電変形部の湾曲変形が減少する減少側半周期内の所定時間範囲では、ユニポーラ型駆動電圧に代えて、周波数が10kHz以上でありかつ振幅が圧電素子層の分極方向を反転させない範囲となっている交流電圧を圧電素子層63の印加電圧として光偏向器3に供給する。
【選択図】図1
Description
Claims (4)
- 光偏向器と該光偏向器を制御する制御装置とを含む光偏向モジュールであって、
前記光偏向器は、ミラー部と、圧電素子層への印加電圧の大きさに応じて湾曲変形する圧電変形部を有し、前記ミラー部を含む可動部が所定の軸線の周りに固有振動する時の固有振動周波数に等しい周波数のユニポーラ型駆動電圧が、前記圧電素子層への印加電圧として前記制御装置から供給され、前記圧電変形部の湾曲変形により前記ミラー部を前記所定の軸線の周りに揺動させる圧電アクチュエータとを備え、
前記制御装置は、
前記ユニポーラ型駆動電圧の各周期において前記圧電変形部の湾曲変形が減少する減少側半周期内の所定時間範囲では、前記ユニポーラ型駆動電圧に代えて、周波数が10kHz以上で振幅が前記圧電素子層の分極方向を反転させない範囲とある交流電圧を、前記圧電素子層の印加電圧として前記光偏向器に供給することを特徴とする光偏向モジュール。 - 請求項1記載の光偏向モジュールにおいて、
前記所定時間範囲の長さは、前記固有振動周波数の周期の0.3〜0.45であることを特徴とする光偏向モジュール。 - 請求項2記載の光偏向モジュールにおいて、
前記所定時間範囲の開始時刻は、前記減少側半周期の開始時刻より後であり、前記所定時間範囲の終了時刻は、前記減少側半周期の終了時刻より前であることを特徴とする光偏向モジュール。 - 請求項3記載の光偏向モジュールにおいて、
前記光偏向器は、前記ミラー部を前記所定の軸線とは別の軸線の周りに別の固有振動周波数で揺動させるバイポーラ型圧電アクチュエータを備え、
前記交流電圧の周波数は、前記別の固有振動周波数の高調波の周波数から所定値以上ずれている周波数に選定されていることを特徴とする光偏向モジュール。
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---|---|---|---|---|
CN106383403A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-02-08 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种可拉伸变形的超表面彩色显示器件 |
JP2017211576A (ja) * | 2016-05-27 | 2017-11-30 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及び製造方法 |
JP2020020865A (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 三菱電機株式会社 | 光走査装置およびその駆動方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007242607A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-09-20 | Toshiba Corp | 半導体集積回路、mems及び静電型アクチュエータの駆動方法 |
JP2008178173A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
US20140368087A1 (en) * | 2012-01-31 | 2014-12-18 | Panasonic Corporation | Piezoelectric actuator device and method for manufacturing same |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007242607A (ja) * | 2006-02-09 | 2007-09-20 | Toshiba Corp | 半導体集積回路、mems及び静電型アクチュエータの駆動方法 |
JP2008178173A (ja) * | 2007-01-16 | 2008-07-31 | Seiko Epson Corp | アクチュエータ、光スキャナおよび画像形成装置 |
US20140368087A1 (en) * | 2012-01-31 | 2014-12-18 | Panasonic Corporation | Piezoelectric actuator device and method for manufacturing same |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017211576A (ja) * | 2016-05-27 | 2017-11-30 | スタンレー電気株式会社 | 光偏向器及び製造方法 |
CN106383403A (zh) * | 2016-12-08 | 2017-02-08 | 中国科学院光电技术研究所 | 一种可拉伸变形的超表面彩色显示器件 |
JP2020020865A (ja) * | 2018-07-30 | 2020-02-06 | 三菱電機株式会社 | 光走査装置およびその駆動方法 |
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