JP2014173468A5 - - Google Patents

Description

本発明は、動翼部と静翼部とを多段に積層した排気部を有する真空ポンプに適用されるものである。
本発明の好ましい実施形態による真空ポンプの静翼部は２枚以上の分割静翼部により構成され、分割静翼部の各々は周方向の両端部に突合端部を有し、各分割静翼部のそれぞれの突合端部を互いに突き合わせて静翼部が形成され、分割静翼部の各々は、スペーサで挟持される外周リムと、静翼部の内周側先端に位置する内周リムと、外周リムと内周リムとの間に設けられた複数のステータ翼とを有し、複数の分割静翼部が互いに突き合わされる外周リムの突合端部において、少なくとも一方の外周リムには、対向する他方の外周リムとの間に隙間を形成する切欠きが形成されている。
好ましい実施形態においては、分割静翼部の各々は平板から同一形状に作製され、各分割静翼部の突合端部の一方においては、内周リムの突合端面と、外周リムの突合端面とが第１の突合せ面として形成され、突合端部の他方には、内周リムの突合端面と、外周リムの端面と、内周リムと外周リムとを接続するブリッジの端面とが第２の突合せ面として形成され、第１の突合せ面と第２の突合せ面が互いに当接して静翼部を形成する。
好ましい実施形態においては、前記切欠きは、外周リムにおいて周方向に所定幅、径方向に所定長さの矩形形状として設けられている。
好ましい実施形態においては、複数の分割静翼部が突合される内周リムの少なくとも一方の端面には、当該内周リムから屈曲された屈曲部が設けられている。このような構成は、突き合わせの作業性を効率的にする観点から好ましい。

Claims (4)

1. 多段に配置された動翼部間にスペーサにより挟持された静翼部がそれぞれ配置されて成る排気機能部を有する真空ポンプにおいて、
   前記静翼部は２枚以上の分割静翼部により構成され、
   前記分割静翼部の各々は周方向の両端部に突合端部を有し、各分割静翼部のそれぞれの突合端部を互いに突き合わせて前記静翼部が形成され、
   前記分割静翼部の各々は、前記スペーサで挟持される外周リムと、前記静翼部の内周側先端に位置する内周リムと、前記外周リムと前記内周リムとの間に設けられた複数のステータ翼とを有し、
   前記複数の分割静翼部が互いに突き合わされる外周リムの突合端部において、少なくとも一方の外周リムには、対向する他方の外周リムとの間に隙間を形成する切欠きが形成されている真空ポンプ。
2. 請求項１に記載の真空ポンプにおいて、
   前記分割静翼部の各々は平板から同一形状に作製され、
   前記各分割静翼部の突合端部の一方においては、前記内周リムの突合端面と、前記外周リムの突合端面が第１の突合せ面として形成され、前記突合端部の他方には、前記内周リムの突合端面と、前記外周リムの端面と、前記内周リムと前記外周リムとを接続するブリッジの端面とが第２の突合せ面として形成され、
   前記第１の突合せ面と第２の突合せ面が互いに当接して前記静翼部を形成する真空ポンプ。
3. 請求項１または２に記載の真空ポンプにおいて、
   前記切欠きは、前記外周リムにおいて周方向に所定幅、径方向に所定長さの矩形形状として設けられている真空ポンプ。
4. 請求項１乃至３のいずれか１項に記載の真空ポンプにおいて、
   前記複数の分割静翼部が突合される内周リムの少なくとも一方の端面には、当該内周リムから屈曲された屈曲部が設けられている真空ポンプ。