JP2014167153A - 成膜装置及びインジェクタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜装置は、成膜中の基板を搬送する搬送機構と、成膜用ガスを前記基板に向けて供給するインジェクタを前記基板の搬送経路に沿って複数設けたインジェクタユニットと、反応物質を生成する反応物質供給ユニットと、を備える。前記インジェクタユニットは、前記インジェクタの間のそれぞれの隙間から前記反応物質を前記成膜成分の層に供給する。前記インジェクタの基板対向面は、前記成膜用ガスを出力する成膜用ガス供給口と、前記成膜用ガス供給口に対して前記基板の搬送方向の両側に設けられ、余分なガスを吸引する第1ガス排気口と、前記第1ガス排気口のそれぞれに対して前記成膜用ガス供給口から遠ざかる側に設けられ、前記成膜成分に対して不活性なガスを供給する不活性ガス供給口と、を有する。
【選択図】 図2
Description
基板の成膜中、前記基板を搬送する搬送機構と、
搬送中の前記基板に成膜用ガスの成膜成分の層を形成するために前記成膜用ガスを前記基板に向けて供給するインジェクタを前記基板の搬送経路に沿って複数設けられたインジェクタユニットと、
前記成膜成分と反応する反応物質を生成する反応物質供給ユニットと、を備える。
前記インジェクタユニットは、前記インジェクタの間のそれぞれの隙間から前記反応物質を前記基板に向けて供給するように構成される。
前記インジェクタのそれぞれの前記基板に対向する基板対向面は、前記成膜用ガスを出力する成膜用ガス供給口と、前記成膜用ガス供給口に対して前記基板の搬送方向の両側に設けられ、前記基板上の余分なガスを吸引する第1ガス排気口と、前記第1ガス排気口のそれぞれに対して前記搬送方向のうち前記成膜用ガス供給口から遠ざかる側に設けられ、不活性なガスを出力する不活性ガス供給口と、を備える。
すなわち、前記インジェクタのそれぞれは、前記インジェクタそれぞれを構成するインジェクタ部材の内部に、前記成膜用ガス供給口、前記第1ガス排気口、及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔が設けられる。前記連続孔のそれぞれは、前記インジェクタ部材の面に開口を備え、前記開口において、成膜用ガス源と接続された成膜用ガス供給管、排気装置と接続された排気管、および、不活性ガス源のいずれか1つと接続された不活性ガス供給管と接続される。前記第1ガス排気口及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔の一部は、前記インジェクタ部材の内部で環状を成している。
前記インジェクタ部材は、前記高さ方向に積層された複数の部材要素によって構成され、
前記部材要素のそれぞれは、前記連続孔を形成するための連続溝が設けられ、前記連続孔のそれぞれは、前記連続溝が設けられた前記部材要素が接合することにより形成される、ことが好ましい。
すなわち、前記インジェクタは、インジェクタ部材により構成され、前記インジェクタ部材の内部に、前記成膜用ガス供給口、前記第1ガス排気口、及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔が設けられる。前記連続孔のそれぞれは、前記インジェクタ部材の面に開口を備え、前記開口において、成膜用ガス源と接続された成膜用ガス供給管、排気装置と接続された排気管、および、不活性ガス源と接続された不活性ガス供給管のいずれか1つと接続される。前記第1ガス排気口及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔の一部は、前記インジェクタ部材の内部で環状を成している。
図1は、本実施形態の成膜装置の概略構成図である。成膜装置10は、成膜容器12と、搬送機構14と、プラズマ生成ユニット16と、インジェクタユニット18と、ガス供給ユニット20と、排気ユニット22と、を有する。
搬送機構14は、基板の成膜中、基板を搬送する。
インジェクタユニット18は、搬送中の基板に成膜用ガスの成膜成分の層を形成するために成膜用ガスを基板に向けて供給するインジェクタを含む。このインジェクタは基板の搬送経路に沿って複数設けられている。
プラズマ生成ユニット16は、上記成膜成分と反応する反応物質を生成するユニットであり、反応物質供給ユニットである。
インジェクタユニット18は、インジェクタの間のそれぞれの隙間から反応物質を基板に向けて供給するように構成されている。インジェクタのそれぞれの基板に対向する基板対向面は、成膜用ガスを出力する成膜用ガス供給口と、成膜用ガス供給口に対して基板の搬送方向の両側に設けられ、基板上の余分なガスを吸引する第1ガス排気口と、この第1ガス排気口のそれぞれに対して搬送方向のうち成膜用ガス供給口から遠ざかる側に設けられ、不活性なガスを出力する不活性ガス供給口と、を備える。
以下、成膜装置10の構成を詳細に説明する。なお、以下説明する実施形態では、成膜用基板として、極めて薄いガラス板や樹脂フィルムであって、ロール状に巻くことのできるウェブ状のフレキシブルな基板を対象として説明する。しかし、本発明で用いる成膜用基板は、ウェブ状のフレキシブルな基板に限定されない。例えば、板状の硬い1枚の基板を成膜用基板とすることもできる。
なお、高周波電源16aに高周波電力を供給する給電線は、成膜容器24の天井面に設けられた孔を通して成膜容器24外のマッチングボックス16cに接続される。このとき、孔は、絶縁体16eでシールされる。また、高周波電極16aの外周には、セラミックス板等を用いた絶縁体板16fが設けられている。これにより、プラズマ生成空間は高周波電極16aの上方の空間から画されている。
本実施形態では、反応物質生成ユニットとして反応物質をプラズマから生成するプラズマ生成ユニット16を用いるが、反応物質生成ユニットは、プラズマ生成ユニット16に限定されない。例えば、オゾンやH2Oやアンモニアを反応物質としてフィルムFに供給する反応物質生成ユニットを用いることもできる。この場合、反応物質の反応活性を高めるために、成膜空間内の温度を100℃以上にすることが望ましい。
インジェクタ18aとダミーインジェクタ18bの上面には、接地導体16bが形成されている。
さらに、インジェクタ18aのそれぞれには、後述する成膜用ガス源20bと接続されたガス供給管と不活性ガス源20dと接続されたガス供給管が接続されている。
反応性ガス源20aが供給する反応性ガスとして、例えば、O2,O3,H2O,N2O,N2,NH3等が用いられる。成膜用ガス源20bが供給する成膜用ガスとして、例えばTMA(トリメチルアルミニウム)、TEMAZ(テトラエチルメチルアミノジルコニウム)、TEMAHf(テトラエチルメチルアミノハフニウム)、アミノシラン等を含む有機金属化合物ガスが用いられる。パージガス源20cが供給するパージガスとして、窒素ガス、アルゴンガス、ネオンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスが用いられる。不活性ガス減22dが供給する不活性ガスとして、窒素ガス、アルゴンガス、ネオンガス、ヘリウムガス等の不活性ガスが用いられる。不活性ガスとは、反応性ガスと成膜用ガスに対して反応しないガスをいう。
一方、フィルムFの搬送時、プラズマ生成空間に反応性ガスが供給され、高周波電圧が印加された高周波電極16aと接地電極16bとの間で反応生成ガスを用いたプラズマPが生成される。このプラズマPがインジェクタ18a間の隙間を通過することにより、フィルムF上に到達する。この時、プラズマの大部分はイオンが中性化して、ラジカル原子あるいはラジカル分子の状態となっている。したがって、インジェクタ18aによる成膜用ガスの供給によってフィルムF上に吸着した原子層単位の成膜成分と上記ラジカル分子あるいはラジカル原子とが反応して薄膜を形成する。インジェクタ18aとインジェクタ18a間の隙間は複数交互に設けられているので、フィルムFの搬送中、徐々にフィルムFに形成される薄膜は厚くなる。
このようにして、成膜装置10は、フィルムFに薄膜を形成することができる。以上が、成膜装置10の説明である。次に、インジェクタ18aの構成を詳細に説明する。
図2(a)は、インジェクタ18aの概略斜視図である。図2(a)は、フィルムFに対向する基板対向面30を上方に向くように図示している。図2(b)は、インジェクタ18aの基板対向面30を説明する図である。
ガス供給ポート34には、不活性ガス供給管42と接続されている。不活性ガス供給管42は、マスフローコントローラ22fを介して不活性ガス源20dと接続されている。マスフローコントローラ22fは、不活性ガスの成膜空間内への供給量を制御する。
ガス供給ポート36には、成膜用ガス供給管44と接続されている。成膜用ガス供給管44は、マスフローコントローラ22eを介して成膜用ガス源20bと接続されている。マスフローコントローラ22eは、成膜用ガスの成膜空間内への供給量を制御する。
ガス排気ポート38,40のそれぞれには、排気管46,48と接続されている。排気管46,48は、排気装置22bと接続されている。
本実施形態では、ガス供給ポート34,36とガス排気ポート38,40は、インジェクタ18aの基板対向面30に設けられているが、これに限られない。ガス供給ポート34,36とガス排気ポート38,40は、インジェクタ18aの他の面に設けられてもよい。
成膜用ガス供給口50は、成膜用ガスを出力する開口である。第1ガス排気口52,52は、成膜用ガス供給口50に対してフィルムFの搬送方向の両側に設けられ、フィルムF上の余分なガスを吸引する開口である。不活性ガス供給口54,54は、第1ガス排気口52,52のそれぞれに対してフィルムFの搬送方向のうち成膜用ガス供給口50から遠ざかる側に設けられ、不活性なガスを出力する。
なお、本実施形態では、第2ガス排気口56,56が設けられているが、必ずしも設けられなくてもよい。しかし、不活性ガスを確実に排気し、隣接するインジェクタ18aとの間の隙間に不活性ガスが流れることにより、成膜に必要なラジカル原子やラジカル分子のフィルムFへの供給を阻害しない点で、第2ガス排気口54,54が設けられることが好ましい。
図3(a)に示すように、インジェクタ18aの内部において、成膜用ガス供給管44と接続したガス供給ポート36から延びる管状の成膜用連続孔が設けられる。この成膜用連続孔は、インジェクタ18aの高さ方向Hに沿って上昇する上昇部60aと、上昇部60aと接続されて、インジェクタ18a内部でインジェクタ18aの幅方向Lに延びる細長い空間を形成する収容部60bと、収容部60bから成膜用ガス供給口50に向けて、高さ方向Hに沿って下降する下降部60c(図3(b)参照)と、を有する。高さ方向Hとは、インジェクタ18aのインジェクタ部材のフィルムFに対向する基板対向面30に対して垂直方向をいう。
さらに、インジェクタ18aの内部において、不活性ガス供給管42と接続したガス供給ポート34から延びる管状の不活性ガス用連続孔が設けられる。この不活性ガス用連続孔は、インジェクタ18aの高さ方向Hに沿って上昇する上昇部64aと、上昇部64aと接続されて、インジェクタ18a内部の上部で環状を成す環状部64bと、環状部64bから不活性ガス供給口54,54に向けて、高さ方向Hに沿って下降する下降部64c(図3(b)参照)と、を有する。
図3(b)に示すように、環状部62b,64b,66b及び収容部60bは、高さ方向Hの異なる位置に設けられている。
部材要素70〜80は、接着剤による接着あるいは溶着により互いに接合してインジェクタ18aを構成することができる。すなわち、部材要素のそれぞれは、連続溝が設けられた部材要素が接合することにより、連続溝同士が組み合わされて、形成される。この場合、部材要素70〜80に設けられた連続溝の接続部分の周囲には必要に応じてガスケットが用いられてシールされる。
このように連続孔が複雑に設けられたインジェクタ18aであっても、部材要素の表面から部材要素毎に連続溝を掘って連続溝を形成することができるので、内部に連続孔を備えるインジェクタ18aを容易に作製することができる。
第1ガス排気口52のそれぞれに対して成膜用ガス供給口50から遠ざかる側に不活性ガス供給口54,54が設けられるので、不活性ガスが成膜用ガスと反応性ガスを分離するバリアガスとして機能し、隣り合う2つのインジェクタ18a間の隙間から反応性ガスのラジカル原子やラジカル分子と成膜用ガスが混合して反応することを防止する。さらに、不活性ガス供給口54,54のそれぞれに対して成膜用ガス供給口50から遠ざかる側に、フィルムF上の余分なガスを吸引する第2ガス排気口56,56が設けられることで、不活性ガスを第2ガス排気口56,56から確実に回収することができる。
12 成膜容器
14 搬送機構
14a,14b 回転ローラ
16 プラズマ生成ユニット
16a 高周波電極
16b 接地電極
16c マッチングボックス
16d 高周波電源
16e 絶縁体
16f 絶縁体板
17 空間仕切り壁
18 インジェクタユニット
18a インジェクタ
18b ダミーインジェクタ
20 ガス供給ユニット
20a 反応性ガス源
20b 成膜用ガス源
20c パージガス源
20d 不活性ガス源
22 排気ユニット
22a,22b 排気装置
24 加熱ヒータ
30 基板対向面
32 開口
34,36 ガス供給ポート
38,40 ガス排気ポート
42 不活性ガス供給管
44 成膜用ガス供給管
46,48 排気管
50 成膜用ガス供給口
50a,54a 部材
52 第1ガス排気口
54 不活性ガス供給口
56 第2ガス排気口
60a,62a,64a,66a 上昇部
60b 収容部
60c,62c,64c,66c 下降部
62b,64b,66b 環状部
前記インジェクタは、インジェクタ部材により構成され、前記インジェクタ部材の内部に、前記成膜用ガス供給口、前記第1ガス排気口、及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔が設けられる。前記連続孔のそれぞれは、前記インジェクタ部材の面に開口を備え、前記開口において、成膜用ガス源と接続された成膜用ガス供給管、排気装置と接続された排気管、および、不活性ガス源と接続された不活性ガス供給管のいずれか1つと接続される。前記第1ガス排気口及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔の一部は、前記インジェクタ部材の内部で環状を成している。
Claims (11)
- 原子層単位で基板に薄膜を形成する成膜装置であって、
基板の成膜中、前記基板を搬送する搬送機構と、
搬送中の前記基板に成膜用ガスの成膜成分の層を形成するために前記成膜用ガスを前記基板に向けて供給するインジェクタを前記基板の搬送経路に沿って複数設けられたインジェクタユニットと、
前記成膜成分と反応する反応物質を生成する反応物質供給ユニットと、を備え、
前記インジェクタユニットは、前記インジェクタの間のそれぞれの隙間から前記反応物質を前記基板に向けて供給するように構成され、
前記インジェクタのそれぞれの前記基板に対向する基板対向面は、前記成膜用ガスを出力する成膜用ガス供給口と、前記成膜用ガス供給口に対して前記基板の搬送方向の両側に設けられ、前記基板上の余分なガスを吸引する第1ガス排気口と、前記第1ガス排気口のそれぞれに対して前記搬送方向のうち前記成膜用ガス供給口から遠ざかる側に設けられ、不活性なガスを出力する不活性ガス供給口と、を備えることを特徴とする成膜装置。 - 前記インジェクタのそれぞれは、前記インジェクタそれぞれを構成するインジェクタ部材の内部に、前記成膜用ガス供給口、前記第1ガス排気口、及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔が設けられ、
前記連続孔のそれぞれは、前記インジェクタ部材の面に開口を備え、前記開口において、成膜用ガス源と接続された成膜用ガス供給管、排気装置と接続された排気管、および、不活性ガス源のいずれか1つと接続された不活性ガス供給管と接続され、
前記第1ガス排気口及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔の一部は、前記インジェクタ部材の内部で環状を成している、請求項2に記載の成膜装置。 - 前記インジェクタ部材の前記基板対向面に対して垂直方向を高さ方向としたとき、
前記連続孔のうち前記環状を成している部分は、前記インジェクタ部材の前記高さ方向の異なる位置に設けられる、請求項2に記載の成膜装置。 - 前記インジェクタ部材の前記基板対向面に対して垂直方向を高さ方向としたとき、
前記インジェクタ部材は、前記高さ方向に積層された複数の部材要素によって構成され、
前記部材要素のそれぞれは、前記連続孔を形成するための連続溝が設けられ、
前記連続孔のそれぞれは、前記連続溝が設けられた前記部材要素が接合することにより、形成される、請求項2または3に記載の成膜装置。 - 前記基板対向面は、さらに、前記基板上の余分なガスを吸引する第2ガス排気口を備え、前記第2ガス排気口は、前記不活性ガス供給口のそれぞれに対して前記搬送方向のうち前記成膜用ガス供給口から遠ざかる側に設けられる、請求項1〜4のいずれか1項に記載の成膜装置。
- さらに、前記搬送機構と、前記インジェクタユニットと、高周波電極を内部空間内に配置する成膜容器を有し、
前記反応物質は、前記成膜容器内で前記高周波電極を用いて形成されたプラズマから生成されるラジカル原子あるいはラジカル分子を含む、請求項1〜5のいずれか1項に記載の成膜装置。 - 成膜装置に用いられるガスを基板に供給するインジェクタであって、
前記インジェクタのそれぞれの前記基板に対向する基板対向面は、前記成膜用ガスの成膜用ガス供給口と、前記成膜用ガス供給口に対して前記基板の搬送方向の両側に設けられ、前記基板上の余分なガスを吸引する第1ガス排気口と、前記第1ガス排気口のそれぞれに対して前記搬送方向のうち前記成膜用ガス供給口から遠ざかる側に設けられ、前記成膜成分に対して不活性なガスを供給する不活性ガス供給口と、を備えることを特徴とするインジェクタ。 - 前記インジェクタは、インジェクタ部材により構成され、前記インジェクタ部材の内部に、前記成膜用ガス供給口、前記第1ガス排気口、及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔が設けられ、
前記連続孔のそれぞれは、前記インジェクタ部材の面に開口を備え、前記開口において、成膜用ガス源と接続された成膜用ガス供給管、排気装置と接続された排気管、および、不活性ガス源と接続された不活性ガス供給管のいずれか1つと接続され、
前記第1ガス排気口及び前記不活性ガス供給口のそれぞれに接続された管状の連続孔の一部は、前記インジェクタ部材の内部で環状を成している、請求項7に記載のインジェクタ。 - 前記インジェクタ部材の前記基板対向面に対して垂直方向を高さ方向としたとき、
前記連続孔のうち前記環状を成している部分は、前記インジェクタ部材の前記基板対向面からの高さ方向の異なる位置に設けられる、請求項8に記載のインジェクタ。 - 前記インジェクタ部材の前記基板対向面に対して垂直方向を高さ方向としたとき、
前記インジェクタ部材は、前記高さ方向に積層された複数の部材要素によって構成され、
前記部材要素のそれぞれは、前記連続孔を形成するための連続溝が設けられ、
前記連続孔のそれぞれは、前記連続溝が設けられた前記部材要素が接合することにより形成される、請求項8または9に記載のインジェクタ。 - 前記基板対向面は、さらに、前記基板上の余分なガスを吸引する第2ガス排気口を備え、前記第2ガス排気口は、前記不活性ガス供給口のそれぞれに対して前記搬送方向のうち前記成膜用ガス供給口から遠ざかる側に設けられる、請求項8〜10のいずれか1項に記載のインジェクタ。
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