JP2014157050A - 硬さ試験機、及び定圧ユニット機構 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧子4aの侵入量に基づいて硬さを算出する手段(CPU61)と、くぼみの寸法に基づいて硬さを算出する手段(CPU61)と、圧子4aの侵入量を検出する際の基準面を有する押込み深さ測定基準部71と、基準面に試料Sを定圧で押し付ける定圧ユニット10と、定圧ユニット10を上下方向に移動させるステージ昇降部9と、を備える。定圧ユニット10は、試料台11の上方への移動を規制する上規制部12aを有し、試料台11を上下方向に移動可能に支持する定圧ユニットケース12と、試料S及び試料台11を上方に付勢する押さえばね14と、を備え、基準面に試料Sが押し付けられた際に、試料台11と上規制部12aとの間に隙間が生じるように形成される。
【選択図】図1
Description
上記のような硬さ試験機として、所定の試験力で圧子を試料に押し付ける際に、圧子が試料に押し込まれて侵入する深さ(圧子が試料に形成するくぼみの深さ)を計測し、当該計測された押込み深さに基づいて硬さを算出するロックウェル硬さ試験機が知られている。
また、所定の試験力で圧子を試料に押し付けて形成したくぼみの対角線の長さを計測し、当該計測された対角線の長さに基づいて硬さを算出するビッカース硬さ試験機が知られている。
また、押込み深さに基づいて硬さを算出する試験であり、ISO14577に規定されている計装化押込み試験を精度よく行うことができる硬さ試験機が知られている(例えば、特許文献3参照)。
一方、上記特許文献3記載の硬さ試験機において、形成されたくぼみの寸法を測定する装置を取り付けることで、計装化押込み試験を含む試験方法の異なる硬さ試験(例えば、計装化押込み試験とビッカース硬さ試験)を行うことはできるが、高価であるという問題点がある。
圧子と、
前記圧子に試験力を負荷し、前記圧子を試料の表面に押し込む試験力負荷手段と、
前記試験力負荷手段により前記試料の表面に押し込まれた前記圧子の侵入量を検出する侵入量検出手段と、
前記試験力負荷手段により前記圧子が前記試料の表面に押し込まれて形成されたくぼみの寸法を検出するくぼみ寸法検出手段と、
前記侵入量検出手段により検出された前記圧子の侵入量に基づいて前記試料の硬さを算出する第1の硬さ算出手段と、
前記くぼみ寸法検出手段により検出された前記くぼみの寸法に基づいて前記試料の硬さを算出する第2の硬さ算出手段と、
前記侵入量検出手段が前記圧子の侵入量を検出する際の基準面を有する基準部と、
前記試料を保持可能な試料保持部を有し、前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部を定圧で押し付ける定圧ユニットと、
前記定圧ユニットを上下方向に移動させる上下装置と、を備え、
前記定圧ユニットは、
前記試料保持部の上方への移動を規制する上規制部を有し、前記試料保持部を上下方向に移動可能に支持する支持部と、
前記試料及び前記試料保持部を上方に付勢する弾性部材と、を備えるとともに、
前記上下装置により上方に移動されて前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部が押し付けられた際に、前記試料保持部と前記上規制部との間に上下方向の隙間が生じるように形成されていることを特徴とする。
前記試料保持部は、上面に前記試料を載置可能であり、
前記弾性部材は、前記試料保持部を下面側から付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料が定圧で押し付けられることを特徴とする。
前記試料保持部は、
前記試料を上下方向に移動可能に収納する収納部と、
前記収納部の上端に設けられ、前記試料の上方への移動を規制する試料規制部と、を有し、
前記弾性部材は、前記試料を下面側から付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料が定圧で押し付けられることを特徴とする。
前記試料保持部は、
前記試料を上下方向に移動可能に収納する収納部と、
前記収納部の上端に設けられ、前記試料の上方への移動を規制する試料規制部と、を有し、
前記弾性部材は、前記試料を下面側から付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料規制部が定圧で押し付けられることを特徴とする。
前記試料保持部は、上面に前記試料を載置可能であり、
前記弾性部材は、前記試料保持部を側方から支持して上方に付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料が定圧で押し付けられることを特徴とする。
圧子の侵入量を検出する際の基準面を有する基準部と、
試料を保持可能な試料保持部を有し、前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部を定圧で押し付ける定圧ユニットと、を備え、
前記定圧ユニットは、
前記試料保持部の上方への移動を規制する上規制部を有し、前記試料保持部を上下方向に移動可能に支持する支持部と、
前記試料及び前記試料保持部を上方に付勢する弾性部材と、を備えるとともに、
前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部が押し付けられた際に、前記試料保持部と前記上規制部との間に上下方向の隙間が生じるように形成されていることを特徴とする。
また、荷重アーム2の後端部には、荷重アーム2を作動させる電磁力を発生させる第1フォースモータ31が接続されている。荷重アーム2は、第1フォースモータ31の動作に伴い、回動軸21を中心として時計回り下方向に回動する。そして、この荷重アーム2の下方向への回動に伴って、荷重軸22を介して圧子軸4に所定の荷重が作用し、圧子軸4は軸下方向に移動する。そして、圧子軸4の先端部に備えられた圧子4aが、試料Sに対して所定の試験力で押し付けられる。
即ち、荷重アーム2は、圧子4aに所定の試験力を伝達する機能を有する。
第1フォースモータ31及び第2フォースモータ32は、例えば、フォースコイルと、フォースコイルに対向するように固定された固定磁石と、等を備えて構成されている。第1フォースモータ31及び第2フォースモータ32は、制御部100から入力される制御信号に従って、固定磁石がギャップにつくる磁界と、ギャップの中に設置されたフォースコイルに流れる電流と、の電磁誘導により発生する力(電磁力)を発生させる。
そして、第1フォースモータ31は、発生させた電磁力により荷重アーム2を回動させて圧子4aに試験力を負荷し、圧子4aを試料Sの表面に押し込む。即ち、第1フォースモータ31は、本発明の試験力負荷手段として機能する。
圧子4aは、例えば、ビッカース用の四角錐圧子(対面角が136±0.5°)や、計装化押込み試験用の圧子などを使用することができ、使用目的に応じて適宜交換することができる。
そして、図1に示すように、ターレット6(ターレット本体61)を回転させて圧子軸4を荷重軸22に対応する配置に切り替えることにより、荷重アーム2の回動に伴い荷重軸22が下方へ移動する動作の作用力を圧子軸4に伝達することが可能となる。これにより、圧子4aを試料Sに押し当て、押し込むことが可能となる。
圧子軸変位検出部7は、例えば、所定の間隔の目盛が刻まれたスケールと、そのスケールの目盛を光学的に読み取るリニアエンコーダとからなり、圧子4aが試料Sに押し込まれる際の圧子軸4の変位量(即ち、試料Sに押し込まれた圧子4aの侵入量(押込み深さ))を検出し、その検出した変位量に基づく圧子軸変位信号を制御部100に出力する。
即ち、圧子軸変位検出部7は、試料Sの表面に押し込まれた圧子4aの侵入量を検出する侵入量検出手段として機能する。
なお、押込み深さ測定基準部71は、圧子4aの交換時やビッカース硬さ試験を行うとき等に取り外すことができるように、ねじ等により着脱可能に取り付けられている。
ステージ昇降部(上下装置)9は、試料ステージ8の下面側に設けられ、制御部100が出力する制御信号に応じて駆動され、試料ステージ8及び定圧ユニット10を上下方向に移動させる。
試料台11は、略角柱状の部材により形成され、上面に試料Sを載置することができるようになっている。また、試料台11は、下端部側に凹部11aが形成されている。
定圧ユニットケース12は、試料ステージ8の上面に載置され、転がりとして機能する試料台ガイド13を介して試料台11を上下方向に移動可能に側方から支持している。また、定圧ユニットケース12は、試料台11の凹部11aに収容された押さえばね14を介して試料台11を下面側から支持している。また、定圧ユニットケース12の上端部には、試料台11の上方への移動を規制する上規制部(試料保持部規制部)12aが設けられている。
押さえばね14は、試料台11に対して、上方から負荷される試験力よりも大きな力で、下面側から付勢している。なお、押さえばね14の剛性は、試験機本体1aや押込み深さ測定基準部71より十分小さいものとなっている。
即ち、定圧ユニット10は、通常時は、図1及び図2に示すように、押さえばね14の付勢力により、試料台11の肩部11bが定圧ユニットケース12の上規制部12aに押し付けられた状態となっている。また、定圧ユニット10は、ステージ昇降部9により試料Sを押込み深さ測定基準部71の試料表面接触部71bの下面に押し付けた際に、押さえばね14の付勢力により試料Sを定圧で押し付ける。
CPU101は、記憶部103に格納された処理プログラム等を読み出して、RAM102に展開して実行することにより、硬さ試験機1全体の制御を行う。
RAM102は、CPU101により実行された処理プログラム等を、RAM102内のプログラム格納領域に展開するとともに、入力データや上記処理プログラムが実行される際に生じる処理結果等をデータ格納領域に格納する。
記憶部103は、例えば、プログラムやデータ等を記憶する記録媒体(図示省略)を有しており、この記録媒体は、半導体メモリ等で構成されている。また、記憶部103は、CPU101が硬さ試験機1全体を制御する機能を実現させるための各種データ、各種処理プログラム、これらプログラムの実行により処理されたデータ等を記憶する。
まず、計装化押込み試験時の動作について説明する。
次に、定圧ユニット10を試料ステージ8の上面に取り付け、定圧ユニット10の試料台11上に試料Sを載置する。
次に、ターレット6を回転して対物レンズ5を試料Sの上方に配置させ、ステージ昇降部9を駆動させて焦点を合わせる。次いで、撮像部10により試料Sの表面を観察し、試料ステージ8を駆動させて所望の試験位置に配置させる。
次に、ターレット6を回転して圧子軸4を試料Sの上方(荷重軸22下)に配置させる(図1参照)。
次に、ステージ昇降部9を駆動させて上昇させ、試料Sを押込み深さ測定基準部71の試料表面接触部71bの下面(基準面)に押し当てる。これにより、試料Sが温度変動により伸縮した場合であっても、その伸縮分をステージ昇降部9の駆動量で自動的に調整することができるので、基準面に試料Sを押し付ける力を定圧とすることができる。そして、更にステージ昇降部9を駆動させて上昇させ、試料表面接触部71bにより上昇を制限される試料台11と、上昇する定圧ユニットケース12の上規制部12aと、の間に隙間P1を生じさせる(図4参照)。このとき、試料台11の上面と定圧ユニットケース12の上面とが略面一となるようになっている。即ち、定圧ユニット10は、ステージ昇降部9により上方に移動されて押込み深さ測定基準部71の試料表面接触部71bの下面に試料Sが押し付けられた際に、試料台11と上規制部12aとの間に上下方向の隙間P1が生じるように形成されている。
次に、制御部100により第1フォースモータ31を駆動させて、荷重アーム2を下方向へと回動させる。この荷重アーム2の下方向への回動に伴い、荷重軸22が押圧されて軸下方向へと移動し、荷重軸22と当接する圧子軸4が軸下方向へと移動する。そして、圧子軸4の先端部に備えられた圧子4aが、所定の試験力で試料Sに押し込まれる。また、試験力を微小に調整したい場合には、制御部100により第2フォースモータ32を駆動させて、圧子軸4に対して微小な試験力を負荷させる。
次に、圧子5が試料Sにくぼみを形成している際の圧子軸6の変位量(押込み深さ)が圧子軸変位検出部20により検出され、当該検出された変位量に基づく圧子軸変位信号が制御部100に出力される。そして、制御部100は、入力された圧子軸変位信号に基づいて、試料Sの硬さや様々な材料特性を算出する。
連続して押込み試験を行う場合は、ステージ昇降部9を駆動させて下降させ、押込み深さ測定基準部71と試料Sとの接触状態を解消する。
そして、ターレット6を回転して対物レンズ5を試料Sの上方に配置させ、ステージ昇降部9を駆動させて焦点を合わせる。次いで、撮像部10により試料Sの表面を観察し、試料ステージ8を駆動させて所望の試験位置に配置させる。以下、上記の処理を繰り返すことにより、所望する全ての試験位置において押込み試験が行われる。
まず、圧子軸4にビッカース硬さ試験用の圧子4aを取り付ける。次いで、試料ステージ8上に試料Sを載置する。なお、ここでの説明では、試料ステージ8上に定圧ユニット10を載置せず、試料Sを直接載置するものとする。
次に、ターレット6を回転して対物レンズ5を試料Sの上方に配置させ、ステージ昇降部9を駆動させて焦点を合わせる。次いで、撮像部10により試料Sの表面を観察し、試料ステージ8を駆動させて所望の試験位置に配置させる。
次に、ターレット6を回転して圧子軸4を試料Sの上方(荷重軸22下)に配置させる。
次に、制御部100により第1フォースモータ31を駆動させて、荷重アーム2を下方向へと回動させる。この荷重アーム2の下方向への回動に伴い、荷重軸22が押圧されて軸下方向へと移動し、荷重軸22と当接する圧子軸4が軸下方向へと移動する。そして、圧子軸4の先端部に備えられた圧子4aが、所定の試験力で試料Sに押し込まれ、くぼみが形成される。また、試験力を微小に調整したい場合には、制御部100により第2フォースモータ32を駆動させて、圧子軸4に対して微小な試験力を負荷させる。
次に、ターレット6を回転して対物レンズ5を試料Sの上方に配置させ、ステージ昇降部9を駆動させて焦点を合わせる。次いで、撮像部10により試料Sの表面を撮像し、試料Sに形成されたくぼみの画像データを制御部100に出力する。そして、制御部100は、入力された画像データを解析し、ビッカース硬さ試験用の圧子4aにより形成された略四角形のくぼみの対角線の長さを算出し、算出された対角線の長さに基づいて試料Sの硬さを算出する。
従って、本実施形態に係る硬さ試験機1によれば、くぼみの長さに基づいて硬さを算出する試験(例えば、ビッカース硬さ試験)を行うことができる。また、押込み試験時に、試料Sは押込み深さ測定基準部71の基準面に押し付けられ、押込み深さ測定の基準が試料Sの表面となるので、機枠ひずみや機枠ひずみの非線形性、機枠のヒステリシスの影響を排除することができる。また、押込み試験時は、試料台11と定圧ユニットケース12の上規制部12aとの間に隙間P1があり、押さえばね14の剛性は試験機本体1aや押込み深さ測定基準部71より十分小さいので、試料S、試料台11、試験機本体1aなどの力の経路に関わる部分が温度変動により伸縮した場合であっても、押込み深さ測定基準部71の基準面に試料Sを押し付ける力が定圧となり、押込み深さ測定の安定性を保つことができる。従って、計装化押込み試験を含む試験方法の異なる硬さ試験を行うことができ、且つ安価である硬さ試験機を提供することができる。
例えば、図5に示す例では、実施形態と比べ、試料Sの構成及び定圧ユニット10の構成が異なっている。なお、説明の簡略化のため、実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
具体的には、図5に示す例では、試料として樹脂材料S11の中に金属製の試料片S12が埋め込まれた樹脂埋め込み試料S1を使用している。なお、樹脂埋め込み試料S1は、試料片S12の水平方向の幅が、試料表面接触部71bの水平方向の幅以上となるように形成される。
変形例1に係る定圧ユニット10Aは、試料Sを保持可能な試料保持部としての試料ホルダ15と、定圧ユニットケース12と、試料台ガイド13と、押さえばね14と、を備えて構成されている。
試料ホルダ15は、樹脂埋め込み試料S1及び樹脂埋め込み試料S1の下面側に載置された押さえばね14を収納する収納部151を備えている。また、試料ホルダ15は、定圧ユニットケース12により試料台ガイド13を介して上下方向に移動可能に外方(側方)から支持されている。また、試料ホルダ15の収納部151の上端部には、定圧ユニットケース12により押さえばね14を介して下面側から支持される樹脂埋め込み試料S1の上面側を係止して上方への移動を規制する試料規制部15aが設けられている。
定圧ユニット10Aは、通常時は、図5に示すように、押さえばね14の付勢力により、樹脂埋め込み試料S1を介して、試料ホルダ15の肩部15bが定圧ユニットケース12の上規制部12aに押し付けられた状態となっている。そして、実施形態と同様、ステージ昇降部9を駆動させて上昇させ、樹脂埋め込み試料S1の試料片S12を押込み深さ測定基準部71の試料表面接触部71bの下面(基準面)に押し付け、試料表面接触部71bにより上昇を制限される試料ホルダ15と、上昇する定圧ユニットケース12と、の間に隙間P1を生じさせる。
また、図6に示す例では、変形例1と比べ、押込み深さ測定基準部71の形状が異なっている。なお、説明の簡略化のため、実施形態及び変形例1と同様の構成については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
具体的には、変形例2に係る押込み深さ測定基準部72は、実施形態及び変形例1に係る押込み深さ測定基準部71の試料表面接触部71bと比べ、試料表面接触部72bの水平方向の幅が広くなるように形成されている。
従って、変形例2に係る硬さ試験機1で押込み試験を行う場合、試料表面接触部72bの下面(基準面)は、樹脂埋め込み試料S1の表面ではなく、試料ホルダ15の試料規制部15aと接触することとなる。即ち、変形例2に係る硬さ試験機1によれば、定圧ユニット10Aは、基準面に試料規制部15aを定圧で押し付けるので、基準面が樹脂埋め込み試料S1と直接接触することがなくなり、表面に凹凸のある樹脂埋め込み試料S1に対しても押込み試験を行うことが可能となる。
また、図7に示す例では、実施形態と比べ、定圧ユニット10の構成が異なっている。なお、説明の簡略化のため、実施形態と同様の構成については、同一の符号を付して、その詳細な説明を省略する。
具体的には、変形例3に係る定圧ユニット10Bは、試料台11Bと、定圧ユニットケース12Bと、を備えて構成されている。
試料台11Bは、略矩形状の板状部材により形成され、上面に試料Sを載置することができるようになっている。また、試料台11Bの周端面には、下端から水平方向に突出した突部111Bが形成されている。
定圧ユニットケース12Bは、試料ステージ8上に載置される下端部121Bと、下端部121Bの上面に載置されるばね支持部122Bと、一端部がばね支持部122Bに固定され、他端部が試料台11Bに固定される弾性部材としてのダイヤフラムばね123Bと、ばね支持部122Bの上面に載置される上規制部124Bと、を備えて構成されている。ここで、ダイヤフラムばね123Bは、試料台11Bを側方から支持して上方に付勢するようになっている。
定圧ユニット10Bは、通常時は、図7(A)に示すように、ダイヤフラムばね123Bの付勢力により、試料台11Bの突部111Bが定圧ユニットケース12Bの上規制部124Bに押し付けられた状態となっている。そして、実施形態と同様、ステージ昇降部9を駆動させて上昇させ、図7(B)に示すように、試料Sを押込み深さ測定基準部71の試料表面接触部71bの下面(基準面)に押し付け、試料表面接触部71bにより上昇を制限される試料台11Bと、上昇する定圧ユニットケース12Bと、の間に隙間P2を生じさせる。
従って、変形例3に係る硬さ試験機1によれば、試料台11Bを側方から支持して上方に付勢するダイヤフラムばね123Bを備えるので、試料台11Bを下面側からではなく、側方から付勢することができることとなって、定圧ユニット10Bの高さを低くすることができる。
例えば、上記実施形態では、ビッカース硬さ試験を行う際に、試料ステージ8上に定圧ユニット10を載置せず、試料Sを直接載置する構成を例示して説明しているが、これに限定されるものではない。即ち、押込み深さ測定基準部71を圧子軸ベース41aの下面に取り付けるとともに、定圧ユニット10を試料ステージ8上に載置した状態で、ビッカース硬さ試験を行うことも可能である。即ち、ビッカース硬さ試験を行う場合、押込み深さ測定基準部71及び定圧ユニット10は、取り付けられていても取り付けられていなくてもよい。
即ち、押込み深さ測定基準部71及び定圧ユニット10からなる定圧ユニット機構は、ビッカース硬さ試験を行うことができる硬さ試験機に取り付けることもできるし、計装化押込み試験を行うことができる硬さ試験機であって、圧子軸変位検出部7の位置が固定されているものに対しても取り付けることができる。
また、上記実施形態では、荷重アーム2を回動させて圧子4aに試験力を負荷する構成を例示して説明しているが、これに限定されるものではない。例えば、荷重アーム2を設けずに、圧子軸4に直接試験力を負荷する構成に本発明を適用してもよい。
1a 試験機本体
2 荷重アーム
21 回動軸
22 荷重軸
3 試験力発生部
31 第1フォースモータ(試験力負荷手段)
32 第2フォースモータ
4 圧子軸
4a 圧子
41 圧子軸保持部
41a 圧子軸ベース
41b 圧子軸ガイド
41c 板ばね
5 対物レンズ
6 ターレット
6a 回転軸
7 圧子軸変位検出部(侵入量検出手段)
71、72 押込み深さ測定基準部(基準部)
71a、72a 孔部
71b、72b 試料表面接触部
8 試料ステージ
9 ステージ昇降部(上下装置)
10、10A、10B 定圧ユニット
11、11B 試料台(試料保持部)
11a 凹部
11b、111B 肩部
12、12B 定圧ユニットケース(支持部)
12a、124B 上規制部
13 試料台ガイド
14 押さえばね(弾性部材)
121B 下端部
122B ばね支持部
123B ダイヤフラムばね(弾性部材)
15 試料ホルダ(試料保持部)
151 収納部
15a 試料規制部
15b 突部
20 撮像部
20a 顕微鏡部
20b CCDカメラ
100 制御部
101 CPU
102 RAM
103 記憶部
S 試料
Claims (6)
- 圧子と、
前記圧子に試験力を負荷し、前記圧子を試料の表面に押し込む試験力負荷手段と、
前記試験力負荷手段により前記試料の表面に押し込まれた前記圧子の侵入量を検出する侵入量検出手段と、
前記試験力負荷手段により前記圧子が前記試料の表面に押し込まれて形成されたくぼみの寸法を検出するくぼみ寸法検出手段と、
前記侵入量検出手段により検出された前記圧子の侵入量に基づいて前記試料の硬さを算出する第1の硬さ算出手段と、
前記くぼみ寸法検出手段により検出された前記くぼみの寸法に基づいて前記試料の硬さを算出する第2の硬さ算出手段と、
前記侵入量検出手段が前記圧子の侵入量を検出する際の基準面を有する基準部と、
前記試料を保持可能な試料保持部を有し、前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部を定圧で押し付ける定圧ユニットと、
前記定圧ユニットを上下方向に移動させる上下装置と、を備え、
前記定圧ユニットは、
前記試料保持部の上方への移動を規制する上規制部を有し、前記試料保持部を上下方向に移動可能に支持する支持部と、
前記試料及び前記試料保持部を上方に付勢する弾性部材と、を備えるとともに、
前記上下装置により上方に移動されて前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部が押し付けられた際に、前記試料保持部と前記上規制部との間に上下方向の隙間が生じるように形成されていることを特徴とする硬さ試験機。 - 前記試料保持部は、上面に前記試料を載置可能であり、
前記弾性部材は、前記試料保持部を下面側から付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料が定圧で押し付けられることを特徴とする請求項1に記載の硬さ試験機。 - 前記試料保持部は、
前記試料を上下方向に移動可能に収納する収納部と、
前記収納部の上端に設けられ、前記試料の上方への移動を規制する試料規制部と、を有し、
前記弾性部材は、前記試料を下面側から付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料が定圧で押し付けられることを特徴とする請求項1に記載の硬さ試験機。 - 前記試料保持部は、
前記試料を上下方向に移動可能に収納する収納部と、
前記収納部の上端に設けられ、前記試料の上方への移動を規制する試料規制部と、を有し、
前記弾性部材は、前記試料を下面側から付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料規制部が定圧で押し付けられることを特徴とする請求項1に記載の硬さ試験機。 - 前記試料保持部は、上面に前記試料を載置可能であり、
前記弾性部材は、前記試料保持部を側方から支持して上方に付勢し、
前記基準部の基準面に前記試料が定圧で押し付けられることを特徴とする請求項1に記載の硬さ試験機。 - 圧子の侵入量を検出する際の基準面を有する基準部と、
試料を保持可能な試料保持部を有し、前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部を定圧で押し付ける定圧ユニットと、を備え、
前記定圧ユニットは、
前記試料保持部の上方への移動を規制する上規制部を有し、前記試料保持部を上下方向に移動可能に支持する支持部と、
前記試料及び前記試料保持部を上方に付勢する弾性部材と、を備えるとともに、
前記基準部の基準面に前記試料又は前記試料保持部が押し付けられた際に、前記試料保持部と前記上規制部との間に上下方向の隙間が生じるように形成されていることを特徴とする定圧ユニット機構。
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- 2013-02-15 JP JP2013027309A patent/JP6033702B2/ja active Active
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