JP2014154699A - 基板処理装置、基板搬出方法 - Google Patents

Abstract

【課題】基板処理装置１から搬出された基板１０の収納容器２１０への収納を行う基板生産ライン１００を小型に構成することを可能とする。
【解決手段】検査を受けた基板１０は、基板検査装置１に設けられたプッシャー４３により押し出されつつ装置外部に搬出される。したがって、基板検査装置１の搬出側に収納ラック２１０を配置しておけば、基板検査装置１から搬出されてきた基板１０をプッシャー４３で収納ラック２１０にそのまま押し込むことができ、コンベア３１を備えたアンローダーを要さずに基板１０を収納ラック２１０に収納できる。よって、このような基板検査装置１で基板生産ライン１００を構成すれば、基板検査装置１から搬出された基板１０の収納ラック２１０への収納を行う基板生産ライン１００を小型に構成することが可能となる。
【選択図】図６

Description

この発明は、基板処理装置によって処理を受けた基板を装置外部に搬出する技術に関し、特に基板処理装置から搬出した基板を収納容器に収納するのに適するものである。

従来、基板を生産する基板生産ラインでは、半田等の材料の塗布、部品の実装あるいは検査といった処理を基板に対して行う基板処理装置が用いられる。また、基板処理装置によって処理の施された基板を収納容器に収納して、例えば次工程等への基板運搬に備えるといったことが一般的に行われている。

特に特許文献１では、処理を受けて基板処理装置から搬出された基板を、収納容器に収納するアンローダー（基板収納装置）が提案されている。具体的には、このアンローダーは、コンベアによって収納容器（収納ラック）の手前まで搬送した基板をプッシャーで収納容器に押し込んで、基板を収納容器に収納（アンロード）するものである。したがって、基板処理装置の搬出側にこのようなアンローダーを配置しておけば、基板処理装置から搬出された基板は、コンベアによって搬送された後にプッシャーによって押し込まれて自動的に収納容器に収納される。こうして、収納容器への基板の収納を効率的に行うことが可能となる。

特開平１０−２６１８９５号公報

ところで、上述のとおりアンローダーは、基板処理装置から搬出された基板を収納容器まで搬送するコンベアを備える。このコンベアは、基板処理装置から搬出された基板を受け取って収納容器の手前まで搬送するためにアンローダーにとって必要な機構ではあるが、アンローダーを大きくする要因にもなっていた。したがって、基板生産ラインにアンローダーを組み込もうとすると、コンベアに応じた大きさを具備するアンローダーが基板生産ラインの大きさに影響してしまい、基板生産ラインの小型化を図ることが困難となる場合があった。

この発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、基板処理装置から搬出された基板の収納容器への収納を行う基板生産ラインを小型に構成することを可能とする技術の提供を目的とする。

この発明にかかる基板処理装置は、上記目的を達成するために、基板に対して処理を行って装置外部へ搬出する基板処理装置において、載置された基板を基板搬送方向に搬送するコンベアと、コンベアによって基板処理位置まで搬入された基板に処理を行う処理ヘッドと、処理を受けた基板に基板搬送方向の上流側から当接するプッシャーを備え、プッシャーを基板搬送方向の下流側へ移動させる移動動作によって、処理を受けた基板を押し出してコンベアから装置外部へ搬出する押出ユニットとを備えたことを特徴としている。

この発明にかかる基板搬出方法は、上記目的を達成するために、基板処理装置が処理を行った基板を装置外部へ搬出する基板搬出方法において、載置された基板を基板搬送方向に搬送するコンベアによって基板処理位置まで搬入されて基板処理位置で処理を受けた基板を、移動動作によってコンベアから装置外部へ搬出する工程を備え、移動動作は、基板処理装置に内蔵されたプッシャーを、処理を受けた基板に基板搬送方向の上流側から当接させつつ基板搬送方向の下流側へ移動させて、処理を受けた基板を押し出すことで行われることを特徴としている。

このように構成された発明（基板処理装置、基板搬出方法）では、基板処理装置にプッシャーが設けられており、処理を受けた基板に基板搬送方向の上流側からプッシャーを当接させつつプッシャーを基板搬送方向の下流側へ移動させる移動動作によって、基板が装置外部に搬出される。つまり、処理を受けた基板は、基板処理装置に設けられたプッシャーにより押し出されつつ装置外部に搬出される。したがって、基板処理装置の搬出側に収納容器を配置しておけば、基板処理装置から搬出されてきた基板をプッシャーで収納容器にそのまま押し込むことができ、コンベアを備えたアンローダーを要さずに基板を収納容器に収納できる。よって、このような基板処理装置で基板生産ラインを構成すれば、基板処理装置から搬出された基板の収納容器への収納を行う基板生産ラインを小型に構成することが可能となる。

また、複数の基板に対して順番に処理を行って装置外部へ搬出する基板処理装置において、押出ユニットは、移動動作を完了すると、基板搬送方向の下流側へ向けてプッシャーを戻す戻し動作を行うように、基板処理装置を構成しても良い。つまり、複数の基板に対して順番に処理を行って装置外部に搬出するにあたっては、移動動作を繰り返し実行する必要がある。そこで、移動動作を完了すると、基板搬送方向の下流側へ向けてプッシャーを戻す戻し動作を行うようにすれば、続く移動動作を速やかに開始することができ、スループットの向上を図ることができる。

この際、押出ユニットは、戻し動作によって、移動動作の開始時における基板の位置の基板搬送方向の上流側までプッシャーを戻すように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、続く移動動作をより速やかに開始することが可能となる。

また、押出ユニットは、コンベアが基板処理位置へ向けて基板の搬入を開始してから処理ヘッドが基板処理位置の基板への処理を完了するまでの搬入処理期間に重複して戻し動作を行うように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、続いて処理を受ける基板の基板処理位置への搬入の開始から当該処理の完了までの期間（搬入処理期間）に重複して戻し動作が実行される。そのため、戻し動作の実行のみに費やされる時間を抑制あるいは排除して、スループットの向上を図ることができる。

また、押出ユニットは、プッシャーに伴って移動するストッパーを有し、戻し動作の途中において、基板処理位置の基板搬送方向の下流端に対してストッパーを位置させることで、搬入処理期間に搬入される基板をストッパーにより基板処理位置に停止させるように、基板処理装置を構成しても良い。このようにプッシャーに伴ってストッパーが移動するように構成することで、プッシャーおよびストッパーのそれぞれに移動のための機構を設ける必要がなく、基板処理装置の構成の簡素化を図ることができる。しかも、プッシャーの戻し動作の機会を利用して、ストッパーによる搬入基板の基板処理位置への停止が併せて行われるため、プッシャーおよびストッパーを別々の機会で移動させるのに比べて、これらの移動を能率的に実行することができる。

また、押出ユニットは、プッシャーを鉛直方向に駆動する鉛直駆動部を有し、搬入処理期間中の基板に対して基板搬送方向に重なる区間では、鉛直駆動部によって基板から鉛直方向へプッシャーを外しつつプッシャーを戻して戻し動作を行うように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、搬入処理期間に伴って搬入および処理を受ける基板と、戻し動作に伴って移動するプッシャーとの干渉を確実に抑止することができる。

この際、押出ユニットは、プッシャーを鉛直方向に昇降自在に保持する保持部と、保持部を基板搬送方向に移動させるロッドレスシリンダーと、プッシャーの移動範囲に対応して基板搬送方向に延設されて鉛直方向へ移動することでプッシャーを押し遣る延設部材とをさらに有し、鉛直駆動部によって延設部材を昇降させるように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、ロッドレスシリンダーによって保持部を基板搬送方向に移動させることで、保持部に保持されるプッシャーを基板搬送方向へ移動させる。また、このようなプッシャーの移動範囲に対応して基板搬送方向に延設された延設部材が設けられており、鉛直駆動部で延設部材を鉛直方向に移動させることで、移動範囲内での位置によらずプッシャーを鉛直方向へ押し遣ることが可能となっている。そのため、プッシャーを昇降させる駆動原（ここでは鉛直駆動部）を、プッシャーの基板搬送方向への移動に伴って基板搬送方向へ移動させる必要がなく、当該駆動原に接続される電気的配線の引き回し等を簡素化することが可能となる。

また、コンベアは、押出ユニットが移動動作を行っている期間は、基板処理位置への基板の搬入を行わないように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、移動動作を行うプッシャーと搬入基板との干渉を確実に抑止することができる。

また、押出ユニットは、装置外部へ押し出した基板の停止位置を変更可能であるように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、例えば収納容器に基板を押し込む程度を基板の状態（例えば、基板の良否等）に応じて変化させて、後の工程において基板の状態を判別容易にするといった制御が可能となる。

また、押出ユニットは、基板搬送方向に直交する幅方向における基板の幅に応じて幅方向へのプッシャーの位置を調整するように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、基板の幅に応じた個所を押すことができるため、アンバランスな力が作用することによる基板の傾き等を抑制しつつ、適切な移動動作を基板に行うことができる。

また、処理ヘッドは、基板搬送方向へ移動しつつ基板へ処理を実行可能であり、押出ユニットは、処理ヘッドに取り付けられたサブプッシャーをさらに備え、処理を受けた基板を、処理ヘッドを移動させてサブプッシャーで押してからプッシャーでさらに押して、移動動作を行うように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、移動動作に必要となるプッシャーのストロークを短く抑えることができ、プッシャーの駆動機構の小型化を図ることができる。

また、押出ユニットは、コンベアの基板搬送方向の下流端よりもプッシャーを突き出させて、移動動作を行うように、基板処理装置を構成しても良い。このような構成では、移動動作で基板を十分に押し出して、収納容器に基板を確実に収納することができる。

また、処理ヘッドが実行する処理の内容としては種々のものがある。そこで例えば、処理ヘッドは、基板の状態の検査を処理として行うように、基板処理装置を構成しても良い。

以上のように、この発明によれば、基板処理装置の搬出側に収納容器を配置しておけば、基板処理装置から搬出されてきた基板をプッシャーで収納容器にそのまま押し込むことができ、コンベアを備えたアンローダーを要さずに基板を収納容器に収納できる。よって、このような基板処理装置で基板生産ラインを構成すれば、基板処理装置から搬出された基板の収納容器への収納を行う基板生産ラインを小型に構成することが可能となる。

本発明を適用可能な基板検査装置の一例を模式的に示す正面図である。 第１実施形態にかかる基板搬送ユニットの一例を模式的に示す正面図である。 第１実施形態にかかる基板搬送ユニットの一例を模式的に示す平面図である。 図１の基板検査装置を備える基板生産ラインの一例を模式的に示すブロック図である。 第１実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示するフローチャートである。 図５のフローチャートに従って実行される一連の動作を模式的に例示する動作説明図であり、特に検査位置から収納ラックへ基板を搬出する際の動作を例示する。 図５のフローチャートに従って実行される一連の動作を模式的に例示する動作説明図であり、特に検査位置へ基板を搬入する際の動作を例示する。 第２実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示するフローチャートである。 図８のフローチャートに従って実行される一連の動作を模式的に例示する動作説明図であり、特に検査位置へ基板を搬入する際の動作を例示する。 第３実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特にサブプッシャーによるプレ動作を例示する。 第３実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特にプッシャーによる押出動作を例示する。 第４実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特に検査位置から収納ラックへ基板を搬出する際の動作を例示する。 第４実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特に検査位置へ基板を搬入する際の動作を例示する。 、第５実施形態にかかる基板検査装置が備える押出ユニットの一例を模式的に示す平面図である。 第６実施形態にかかる基板検査装置が備える押出ユニットの一例を模式的に示す平面図である。

第１実施形態
図１は、本発明を適用可能な基板検査装置の一例を模式的に示す正面図である。同図および以下に示す図では、基板搬送方向をＸ方向とし、幅方向をＹ方向とし、鉛直方向をＺ方向とするＸＹＺ直交座標を適宜示す。基板検査装置１は、Ｘ方向に基板１０を搬送する基板搬送ユニット３と、基板搬送ユニット３により検査位置Ｐtに搬送された基板１０を検査する検査ヘッド５と、検査ヘッド５をＸＹ平面内で移動させるＸＹ駆動ユニット７とを、ハウジング９に収容した概略構成を備えている。

ハウジング９には、基板搬送方向Ｘの上流側（図１右側）に開口する搬入口９１と、基板搬送方向Ｘの下流側（図１左側）に開口する搬出口９２とが設けられている。そして、基板搬送ユニット３は、搬入口９１を介して装置１の外部（図１右側）から搬入した基板１０を検査位置Ｐtまで搬送する。さらに、基板搬送ユニット３は、検査位置Ｐtで検査を受けた基板Ｓを搬出口９２を介して装置１の外部（図１左側）へ搬出する。

検査ヘッド５は、例えば特開２０１１−１３３３０６号公報の検査ユニットと同様の構成を具備するものであり、照明部５１、撮像部５３およびレーザー計測部５５を有して、検査位置Ｐtに固定された基板１０に対して検査を行う。具体的には、基板１０には部品１１が半田付けによって実装されており、検査ヘッド５は、基板１０に対する部品１１の半田付けの状態を検査する。

照明部５１は、鉛直方向Ｚに開口する開口部５１aが頂部に形成されたドーム形のフレームの内側に、複数の発光素子（図示省略）を配列した構成を備える。そして、照明部５１は、鉛直方向Ｚの下方に対向する検査対象範囲に発光素子からの光を照射する。これによって、検査対象範囲に対しては、鉛直方向Ｚの上方から光が照射される。撮像部５３は、ＣＣＤ(Charge Coupled Device)カメラで構成されており、照明部５１の開口部５１aを介して鉛直方向Ｚの上方から検査対象範囲に臨む。そして、撮像部５３は、照明部５１によって照らされた検査対象範囲の像を撮像する。また、レーザー計測部５５は、検査対象範囲にレーザー光を照射する発光部５５aと、検査対象範囲で反射された光を受光する受光部５５bとを有し、検査対象範囲までの鉛直方向Ｚへの距離を測定するものである。

そして、検査ヘッド５は、撮像部５３により撮像した検査対象範囲のＸＹ面内における二次元画像と、レーザー計測部５５で取得した検査対象範囲までの鉛直方向Ｚへの距離とに基づいて検査対象範囲の三次元形状を把握して、半田付けの状態を検査する。具体的には、検査ヘッド５は、ＸＹ面内を移動することで、検査位置Ｐtに固定された基板Ｓの半田接合箇所（基板１０に部品１１を半田接合した箇所）に検査対象範囲を合せて、各半田接合箇所での半田付けの状態を検査する。ちなみに、検査ヘッド５のＸＹ面内での移動は、ＸＹ駆動ユニット７によって行われる。ＸＹ駆動ユニット７は、いわゆるＸＹテーブルと同様の構成を具備しており、検査ヘッド５を構成する照明部５１、撮像部５３およびレーザー計測部５５を一体的に移動させる。

図２は、第１実施形態にかかる基板搬送ユニットの一例を模式的に示す正面図である。図３は、第１実施形態にかかる基板搬送ユニットの一例を模式的に示す平面図である。続いては、基板搬送ユニット３について詳述する。基板搬送ユニット３は、検査ヘッド５の鉛直方向Ｚの下方に配置され、コンベア３１（例えば、ベルトコンベア）によって基板１０を基板搬送方向Ｘへ搬送する概略構成を備える。コンベア３１は、基板搬送方向Ｘへ延設されており、その上に載置された基板Ｓを基板搬送方向Ｘへ搬送する。具体的には、基板搬送ユニット３は、幅方向Ｙに間隔を空けて並ぶ２本のコンベア３１を有し、これらコンベア３１に幅方向Ｙから跨いで載置された基板Ｓを基板搬送方向Ｘへ搬送する。

各コンベア３１に対してはコンベアフレーム３２が設けられており、各コンベア３１は対応するコンベアフレーム３２によって支持されている。そして、各コンベア３１は、コンベアフレーム３２に取り付けられたコンベアモーターＭ31によって基板搬送方向Ｘに駆動される。つまり、コンベアモーターＭ31を制御することで、基板１０を２本のコンベア３１によって装置外部から検査位置Ｐtに搬入したり、基板位置Ｐtから装置外部へ搬出したりできる。さらに、２本のコンベアフレーム３２の少なくとも一方は、コンベア３１を伴って幅方向Ｙに可動となっている。したがって、可動のコンベアフレーム３２を移動させることで、２本のコンベア３１の幅方向Ｙへの間隔を、基板１０の幅方向Ｙへのサイズ（すなわち、幅）に応じて調整することができる。

コンベア３１の鉛直方向Ｚの下方には、基板固定部３３が設けられている。基板固定部３３は、昇降ピン３３１およびピンシリンダー３３２を有しており、ピンシリンダー３３２によって昇降ピン３３１を鉛直方向Ｚへ昇降させることができる。昇降ピン３３１は、検査位置Ｐtの基板搬送方向Ｘの下流端に対して設けられており、上昇した状態においてコンベア３２による基板１０の搬送経路上に位置する一方、下降した状態においてコンベア３２による基板１０の搬送経路から外れる。

さらに、基板固定部３３は、突上部材３３５、昇降テーブル３３６、テーブルシリンダー３３７を有しており、テーブルシリンダー３３７によって昇降する昇降テーブル３３６の上に突上部材３３５を配置した構成を備える。したがって、テーブルシリンダー３３７によって突上部材３３５を鉛直方向Ｚへ昇降させることができる。突上部材３３５は、上昇した状態において検査位置Ｐtにある基板１０を突き上げてコンベアフレーム３２に圧接する。これによって、基板１０は、検査位置Ｐtに固定される。一方、突上部材３３５は、下降した状態において基板１０とコンベアフレーム３２との圧接を解除する。これによって、基板１０は、検査位置Ｐtへの固定から解放される。

さらに、基板搬送ユニット３は、コンベア３１から搬出口９２を介して装置外部へ基板１０を搬出する押出ユニット４を備える。押出ユニット４は、基板搬送方向Ｘへ移動自在なプッシャー４０によって基板１０をコンベア３１から装置外部へ押し出すものであり、プッシャー４０を移動させる機構として、水平シリンダー４１および鉛直シリンダー４２を具備する。水平シリンダー４１は、基板搬送方向Ｘに平行なストロークを有するロッドレスシリンダーであり、スライダー４１１を基板搬送方向Ｘ（あるいは、その逆方向）へ移動させる。鉛直シリンダー４２は、水平シリンダー４１のスライダー４１１に取り付けられて、鉛直方向Ｚに平行なストロークを有するロッドシリンダーであり、ロッド４２１を鉛直方向Ｚへ昇降させる。なお、水平シリンダー４１および鉛直シリンダー４２としては、例えばエアシリンダー等を用いることができる。

水平シリンダー４１によって基板搬送方向Ｘへ移動自在である鉛直シリンダー４２のロッド４２１の上端には、プッシャー４３が取り付けられている。したがって、水平シリンダー４１を動作させることで、鉛直シリンダー４２に伴ってプッシャー４３を基板搬送方向Ｘへ移動させることができる。具体的には、プッシャー４３の先端４３a（基板搬送方向Ｘの下流端）は、基板搬送方向Ｘにおいて検査位置Ｐtより上流側の位置から、コンベア３１の先端３１a（基板搬送方向Ｘの下流端）より下流側の位置まで移動できる。また、鉛直シリンダー４２を動作させることで、プッシャー４３を鉛直方向Ｚへ昇降させることができる。具体的には、プッシャー４３のセンタ４３aは、上昇した状態においてコンベア３２による基板１０の搬送経路上に位置する一方、下降した状態においてコンベア３２による基板１０の搬送経路から外れる。

このような基板搬送ユニット３は、検査位置Ｐtへの基板１０の搬入、検査位置Ｐtへの基板１０の固定／解放、および検査位置Ｐtからの基板１０の搬出といった一連の動作を次のようにして実行する。基板１０の搬入にあたっては、コンベア３１によって検査位置Ｐtへ向けて搬送される基板１０を、上昇した状態にある昇降ピン３３１が待ち受ける。検査位置Ｐtに到達した基板１０は、検査位置Ｐtの基板搬送方向Ｘの下流端に接する昇降ピン３３１に当接する。こうして、昇降ピン３３１によって、基板１０が検査位置Ｐtに停止させられる。基板１０の検査位置Ｐtへの到着はセンサー３３８によって検出可能となっており、コンベア３１はセンサー３３８の検出結果に基づいて、基板１０の検査位置Ｐtへの到着と同時に停止する。

こうして基板１０の搬入が完了すると、突上部材３３５が上昇して基板１０を検査位置Ｐtへ固定する。検査位置Ｐtへ固定された基板１０に対しては、検査ヘッド５が検査を行う。そして、基板１０への検査が完了すると、突上部材３３５が下降して基板１０の検査位置Ｐtへの固定が解除される。基板１０の搬出にあたっては、上昇した状態にあるプッシャー４３が、基板搬送方向Ｘの上流側から検査位置Ｐtにある基板１０に対向する。続いて、プッシャー４３は、基板搬送方向Ｘへ移動することで、基板１０を基板搬送方向Ｘへ押し出してコンベア３１から装置外部へ搬出する。

以上が基板検査装置１の概略構成である。ところで、基板生産ラインにおいては、上記の基板検査装置１は、基板１０を検査するのみならず、アンローダーの有する収納ラックに検査済みの基板１０を収納することができる。そこで、基板生産ラインにおける基板検査装置１の動作について詳述する。

図４は、図１の基板検査装置を備える基板生産ラインの一例を模式的に示すブロック図である。基板生産ライン１００は、上述の基板検査装置１の他に、アンローダー２００およびホストコンピューターＨＣを備える。図１〜図３を用いた上記説明では詳述しなかったが、基板検査装置１は基板検査制御部１Ｃを具備しており、基板１０の搬入、固定／解放、搬出といった基板１０の搬送制御や、検査ヘッド５による基板１０の検査は、基板検査制御部１Ｃが装置各部を制御することで実行される。特に、基板１０の搬送制御は、テーブルシリンダー３３７、コンベアモーターＭ31、水平シリンダー４１および鉛直シリンダー４２を制御することで実行される。

アンローダー２００は、基板検査装置１の基板搬送方向Ｘの下流側に配置されており、基板検査装置１のプッシャー４３により押し出された基板１０を収納ラック２１０に収納する。収納ラック２１０は、鉛直方向に設けられた複数のスロットを有し、各スロットに基板１０を収納するものであり、例えば特開平１０−２６１８９５号公報の収納ラックストッカと類似の構成を具備する。さらに、アンローダー２００は、収納ラック２１０を鉛直方向Ｚへ昇降させる昇降機構２２０を備える。昇降機構２２０は、収納ラック２１０を昇降させて、基板検査装置１から基板１０が押し出される位置へ空きスロットを対向させものである。具体的には、昇降機構２２０は、基板１０がスロットに収納される度に、スロット１つ分だけ収納ラック２１０を下降させて、基板検査装置１から基板１０が押し出される位置へ空きスロットを対向させる。昇降機構２２０のかかる動作は、アンローダー２００に設けられたアンローダー制御部２００Ｃによって制御される。なお、アンローダー２００は、収納ラック２１０まで基板１０を搬送するためのコンベアを備えない。

そして、ホストコンピューターＨＣからの指示に従って、基板検査制御部１Ｃおよびアンローダー制御部２００Ｃがそれぞれの制御動作を行うことで、基板検査装置１で検査を受けた複数の基板１０をアンローダー２００の収納ラック２１０に順次収納することができる。続いては、基板１０を検査して収納ラック２１０に収納する一連の動作について詳述する。

図５は、第１実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示するフローチャートである。なお、図５では、基板搬送方向Ｘの方向を特に「Ｘ軸順方向」と称し、基板搬送方向Ｘの逆方向を特に「Ｘ軸逆方向」と称している。図６は、図５のフローチャートに従って実行される一連の動作を模式的に例示する動作説明図であり、特に検査位置から収納ラックへ基板を搬出する際の動作を例示する。図７は、図５のフローチャートに従って実行される一連の動作を模式的に例示する動作説明図であり、特に検査位置へ基板を搬入する際の動作を例示する。

図６の「基板検査中」の欄に示すように、検査ヘッド５が検査位置Ｐtの基板１０へ検査を行っている間は、プッシャー４３の先端４３aは、検査位置Ｐtよりも基板搬送方向Ｘの上流側で鉛直方向Ｚに下降した待機位置Ｐwで待機する。図６の「基板検査完了」の欄に示すように、検査位置Ｐtでの基板１０の検査が完了すると、検査位置Ｐtへの基板１０の固定が解除されるとともに、ステップＳ１００が実行されてプッシャー４３が上昇する。これによって、プッシャー４３の先端４３aは、基板搬送方向Ｘの上流側から検査位置Ｐtの基板１０に対向する。ステップＳ１０１では、プッシャー４３が基板搬送方向Ｘへ移動を開始する。

図６の「押出動作開始」の欄に示すように、プッシャー４３は、その先端４３aが基板１０の基板搬送方向Ｘの上流端に当接する押出開始位置Ｐsまで基板搬送方向Ｘへ移動して、基板１０を基板搬送方向Ｘへ押し始める。さらに、図６の「押出動作終了」の欄に示すように、プッシャー４３は、その先端４３aがコンベア３１の基板搬送方向Ｘの下流端から突出する押出終了位置Ｐeまで基板搬送方向Ｘへ移動して、基板１０を収納ラック２１０のスロット２１１に収納する。こうして、プッシャー４３を押出開始位置Ｐsから押出終了位置Ｐeまで基板搬送方向Ｘへ移動させることで、検査を受けた基板１０に基板搬送方向Ｘの上流側からプッシャー４３を当接させつつプッシャー４３を基板搬送方向Ｘの下流側を移動させる押出動作が実行される。これによって、検査を受けた基板１０が押し出されてコンベア３２から基板検査装置１の外部の収納ラック２１０へ搬出される。

ステップＳ１０２では、基板１０の収納ラック２１０への収納が押出動作によって完了したかが確認される。そして、基板１０の収納ラック２１０への収納完了が確認されると（ステップＳ１０２で「ＹＥＳ」）、ステップＳ１０３で全基板検査が完了したかが確認される。全基板検査が完了している場合（ステップＳ１０３で「ＹＥＳ」の場合）は、図５のフローチャートが終了する一方、基板検査が残っている場合（ステップＳ１０３で「ＮＯ」の場合）は、後続のステップへと進んで、プッシャー４３を基板搬送方向Ｘの逆方向へ戻す動作（ステップＳ１０４〜Ｓ１０８）と、基板１０を検査位置Ｐtへ搬入して検査する動作（ステップＳ１０９〜Ｓ１１２）とが並行して実行される。

ステップＳ１０４では、基板搬送方向Ｘの逆方向へのプッシャー４３の移動が開始される。ステップＳ１０５では、プッシャー４３の移動開始から所定時間が経過したか否かが確認される。この所定時間は、プッシャー４３と収納ラック２１０とを鉛直方向Ｚへ相対移動させてもプッシャー４３と収納ラック２１０とが干渉しないまで、プッシャー４３が収納ラック２１０から基板搬送方向Ｘへ離れるのに要する時間以上に設定される。所定時間の経過が確認されると（ステップＳ１０５で「ＹＥＳ」）、ステップＳ１０６が実行されて、プッシャー４３が下降される。これによって、図７の「プッシャー下降」の欄に示すように、コンベア３１による基板１０の搬送経路から鉛直方向Ｚの下方にプッシャー４３が外れる。また、ステップＳ１０７では、１個のスロット２１１の分だけ収納ラック２１０を下降させて、基板検査装置１から基板１０が押し出される位置へ空きスロット２１１を対向させる。なお、ステップＳ１０６、Ｓ１０７は、逆の順にシリアルに実行しても良いし、パラレルに実行しても良い。プッシャー４３は、コンベア３１による基板１０の搬送経路に対する鉛直方向Ｚの下方で基板搬送方向Ｘの逆方向への移動を継続して（図７の「検査位置に基板到着」の欄）、待機位置Ｐwへ到る（図７の「待機位置へプッシャー移動」の欄）。そして、ステップＳ１０８では、プッシャー４３が待機位置Ｐwへ到着したか否かが確認される。

一方、ステップＳ１０９では、検査位置Ｐtへの基板１０の搬入が開始され、続くステップＳ１１０では、基板１０の検査位置Ｐtへの到着が確認される。図７の「検査位置に基板到着」の欄に示すように基板１０が検査位置Ｐtに到着すると（ステップＳ１１０で「ＹＥＳ」）、ステップＳ１１１で検査ヘッド５による基板１０への検査が開始される。そして、ステップＳ１１２では、基板１０への検査が完了したか否かが確認される。

このように、押出終了位置Ｐeから待機位置Ｐwまで基板搬送方向Ｘの逆方向にプッシャー４３を移動させる動作（戻し動作）と、基板１０を検査位置Ｐtへ搬入して検査する動作（搬入検査動作）とが並行して実行される。この際、プッシャー４３の移動は、基板１０の搬送経路から外れた位置で行われるため、プッシャー４３と基板１０との干渉が回避されている。そして、プッシャー４３の待機位置Ｐwへの到着が確認され（ステップＳ１０８で「ＹＥＳ」）、なおかつ基板１０の検査完了が確認されると（ステップＳ１１２で「ＹＥＳ」）、ステップＳ１００に戻って、図５のフローチャートが繰り返し実行される。これによって、複数の基板１０に対して順番に、検査を行って収納ラック２１０へ収納することができる。

以上に説明したように、第１実施形態では、基板検査装置１にプッシャー４３が設けられており、検査を受けた基板１０に基板搬送方向Ｘの上流側からプッシャー４３を当接させつつプッシャー４３を基板搬送方向Ｘの下流側へ移動させる押出動作によって、基板１０が装置外部に搬出される。つまり、検査を受けた基板１０は、基板検査装置１に設けられたプッシャー４３により押し出されつつ装置外部に搬出される。したがって、基板検査装置１の搬出側に収納ラック２１０を配置しておけば、基板検査装置１から搬出されてきた基板１０をプッシャー４３で収納ラック２１０にそのまま押し込むことができ、コンベア３１を備えたアンローダーを要さずに基板１０を収納ラック２１０に収納できる。よって、このような基板検査装置１で基板生産ライン１００を構成すれば、基板検査装置１から搬出された基板１０の収納ラック２１０への収納を行う基板生産ライン１００を小型に構成することが可能となる。

また、第１実施形態では、複数の基板１０に対して順番に検査を行って装置外部の収納ラック２１０へ搬出する。ただし、このように複数の基板１０に対して順番に処理を行って装置外部に搬出するにあたっては、押出動作を繰り返し実行する必要がある。これに対して、第１実施形態では、押出動作が完了すると、基板搬送方向Ｘの下流側へ向けてプッシャー４３を戻す戻し動作が実行されるため、続く押出動作を速やかに開始することができ、スループットの向上を図ることができる。

また、第１実施形態の戻し動作では、押出動作の開始時における基板１０の位置（検査位置Ｐt）の基板搬送方向Ｘの上流側の位置（待機位置Ｐw）までプッシャー４３が戻される。その結果、続く押出動作をより速やかに開始することが可能となっている。

また、第１実施形態では、コンベア３１が検査位置Ｐtへ向けて基板１０の搬入を開始してから検査ヘッド５が検査位置Ｐtの基板１０への検査を完了するまでの搬入処理期間に重複して戻し動作が実行される。すなわち、続いて検査を受ける基板１０の検査位置Ｐtへの搬入の開始から当該検査の完了までの期間（搬入処理期間）に重複して戻し動作が実行される。そのため、戻し動作の実行のみに費やされる時間を抑制あるいは排除して、スループットの向上を図ることができる。

また、第１実施形態では、押出ユニット５は、プッシャー４３を鉛直方向Ｚに駆動する鉛直シリンダー４２を有する。そして、搬入処理期間中の基板１０に対して基板搬送方向Ｘに重なる区間では、鉛直シリンダー４３によって基板１０から鉛直方向Ｚへ外しつつプッシャー４３を戻して、戻し動作が実行される。このような構成では、搬入処理期間に伴って搬入および処理を受ける基板１０と、戻し動作に伴って移動するプッシャー４３との干渉を確実に抑止することができる。

また、第１実施形態では、押出ユニット５が押出動作を行っている期間は、検査位置Ｐtへの基板１０の搬入が実行されない。このような構成では、押出動作を行うプッシャー４３と搬入基板１０との干渉を確実に抑止することができる。

また、第１実施形態では、押出ユニット５は、コンベア３１の基板搬送方向Ｘの下流端よりもプッシャー４３を突き出させて押出動作を行う。このような構成では、押出動作で基板１０を十分に押し出して、収納ラック２１０に基板１０を確実に収納することができる。

第２実施形態
図８は、第２実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示するフローチャートである。なお、図８では、基板搬送方向Ｘの方向を特に「Ｘ軸順方向」と称し、基板搬送方向Ｘの逆方向を特に「Ｘ軸逆方向」と称している。図９は、図８のフローチャートに従って実行される一連の動作を模式的に例示する動作説明図であり、特に検査位置へ基板を搬入する際の動作を例示する。以下では、これらの図を用いて第１実施形態との差異を中心に説明する。ただし、第１実施形態と共通する構成を具備することで同様の効果を第２実施形態においても奏し得ることは言うまでもない。

この実施形態では、プッシャー４３の基板搬送方向Ｘの上流側にストッパー４４が接合されており、プッシャー４３とストッパー４４とを一体的に基板搬送方向Ｘおよび鉛直方向Ｚへ移動させることが可能となっている。そして、プッシャー４３の戻し動作の途中において、ストッパー４４により搬入基板１０を検査位置Ｐtに停止させる停止動作が実行される。つまり、ストッパー４４が、第１実施形態での昇降ピン３３１と同様の機能を担っており、第２実施形態では、昇降ピン３３１やピンシリンダー３３２は排されている。

図８のステップＳ２００〜Ｓ２０３に示すように、第２実施形態においても第１実施形態のステップＳ１００〜Ｓ１０３と同様のフローが実行される。これによって、押出動作が実行されて、検査を受けた基板１０が収納ラック２１０に収納されるとともに、全基板検査が終了したかが確認される。そして、全基板検査が完了している場合（ステップＳ２０３で「ＹＥＳ」の場合）は、図８のフローチャートが終了する一方、基板検査が残っている場合（ステップＳ２０３で「ＮＯ」の場合）は、後続のステップへと進んで、プッシャー４３を基板搬送方向Ｘの逆方向へ戻す動作（ステップＳ２０４〜Ｓ２１０）と、基板１０を検査位置Ｐtへの搬入して検査する動作（ステップＳ２１１〜Ｓ２１４）とが並行して実行される。

ステップＳ２０４では、基板搬送方向Ｘの逆方向へのプッシャー４３およびストッパー４４の移動が開始される。ステップＳ２０５では、図９の「当接位置にストッパー到着」の欄に示すように、ストッパー４４の後端４４a（基板搬送方向Ｘの上流端）が検査位置Ｐtの基板搬送方向Ｘの下流端に接する当接位置Ｐpまで、プッシャー４３およびストッパー４４が基板搬送方向Ｘの逆方向へ移動したかが確認される。そして、プッシャー４３およびストッパー４４が当接位置Ｐpに到着したことが確認されると（ステップＳ２０５で「ＹＥＳ」）、プッシャー４３およびストッパー４４が当接位置Ｐpで停止される（ストップＳ２０６）。また、ステップＳ２０７では、１個のスロット２１１の分だけ収納ラック２１０を下降させて、基板検査装置１から基板１０が押し出される位置へ空きのスロット２１１を対向させる。

一方、ステップＳ２０４と並行してステップＳ２１１が開始されて、基板１０の検査位置Ｐtへの搬入が開始される。これによって、当接位置Ｐpで停止するストッパー４４は、検査位置Ｐtに基板１０が到達するのを待ち受ける。そして、図９の「検査位置に基板到着」の欄に示すように、基板１０は検査位置Ｐtに到達すると、当接位置Ｐpで停止するストッパー４４に当接して基板搬送方向Ｘへの移動を停止する。これと同時に、ステップＳ２１２において、基板１０が検査位置Ｐtに到着したこと（ＹＥＳ）が確認される。

ステップＳ２０７、Ｓ２１２の両方が完了すると、プッシャー４３の戻し動作の続き（ステップＳ２０８〜Ｓ２１０）と、基板１０の検査（ステップＳ２１３〜Ｓ２１４）が並行して実行される。ステップＳ２０８では、プッシャー４３が下降される。これによって、図９の「プッシャー下降」の欄に示すように、コンベア３１による基板１０の搬送経路、換言すれば、検査位置Ｐtで停止する基板１０から鉛直方向Ｚの下方にプッシャー４３が外れる。続くステップＳ２０９では、基板搬送方向Ｘの逆方向へのプッシャー４３の移動が開始される。その結果、プッシャー４３は、検査位置Ｐtで停止する基板１０に対する鉛直方向Ｚの下方で基板搬送方向Ｘの逆方向へ移動して待機位置Ｐwへ到る（図９の「待機位置へプッシャー移動」の欄）。そして、ステップＳ２１０では、プッシャー４３が待機位置Ｐwへ到着したか否かが確認される。

一方、ステップＳ２１３では、検査位置Ｐtで停止する基板１０に対する検査が開始され、ステップＳ２１４では、基板１０への検査が完了したか否かが確認される。こうして、プッシャー４３の待機位置Ｐwへの到着が確認され（ステップＳ２１０で「ＹＥＳ」）、なおかつ基板１０の検査完了が確認されると（ステップＳ２１４で「ＹＥＳ」）、ステップＳ２００に戻って、図８のフローチャートが繰り返し実行される。これによって、複数の基板１０に対して順番に、検査を行って収納ラック２１０へ収納することができる。

以上に説明したように、第２実施形態においても、検査を受けた基板１０は、基板検査装置１に設けられたプッシャー４３により押し出されつつ装置外部に搬出される。したがって、基板検査装置１の搬出側に収納ラック２１０を配置しておけば、基板検査装置１から搬出されてきた基板１０をプッシャー４３で収納ラック２１０にそのまま押し込むことができ、コンベア３１を備えたアンローダーを要さずに基板１０を収納ラック２１０に収納できる。よって、このような基板検査装置１で基板生産ライン１００を構成すれば、基板検査装置１から搬出された基板１０の収納ラック２１０への収納を行う基板生産ライン１００を小型に構成することが可能となる。

また、第２実施形態では、押出ユニット４は、プッシャー４３に伴って移動するストッパー４４を有する。そして、押出ユニット４は、戻し動作の途中において、検査位置Ｐtの基板搬送方向Ｘの下流端に対してストッパー４４を位置させることで、搬入処理期間に搬入される基板１０をストッパー４４によって検査位置Ｐtに停止せる。このようにプッシャー４３に伴ってストッパー４４が移動するように構成することで、プッシャー４３およびストッパー４４のそれぞれに移動のための機構を設ける必要がなく、基板検査装置１の構成の簡素化を図ることができる。しかも、プッシャー４３の戻し動作の機会を利用して、ストッパー４４による搬入基板１０の検査位置Ｐtへの停止が併せて行われるため、プッシャー４３およびストッパー４４を別々の機会で移動させるのに比べて、これらの移動を能率的に実行することができる。

第３実施形態
図１０は、第３実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特にサブプッシャーによるプレ動作を例示する。図１１は、第３実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特にプッシャーによる押出動作を例示する。以下では、これらの図を用いて上記実施形態との差異を中心に説明する。ただし、上記実施形態と共通する構成を具備することで同様の効果を第３実施形態においても奏し得ることは言うまでもない。

この実施形態では、サブプッシャー５７が鉛直シリンダー５８を介して検査ユニット５に取り付けられている。したがって、サブプッシャー５７は、検査ユニット５に伴ってＸＹ平面を移動自在であるとともに、鉛直シリンダー５８の動作に伴って鉛直方向Ｚに移動自在となっている。そして、サブプッシャー５７とプッシャー４３とが協働して、検査位置Ｐtから収納ラック２１０への基板の搬出を実行する。具体的には、サブプッシャー５７によって検査位置Ｐtから基板搬送方向Ｘに基板１０を押すプレ動作を行った後に、プッシャー４３によって基板１０を収納ラック２１０へ押し出す押出動作を行う。なお、プレ動作の間は、プッシャー４３は待機位置Ｐwで待機するが、図１０に示すように、第３実施形態では、プッシャー４３の待機位置Ｐwが検査位置Ｐtより基板搬送方向Ｘの下流側に設定されている。

図１０の「プレ動作開始」の欄に示すように、サブプッシャー５７は、基板１０への検査が完了に伴って、検査位置Ｐtにある基板１０に基板搬送方向Ｘの上流側から当接して、プレ動作を開始する。さらに、図１０の「プレ動作終了」の欄に示すように、サブプッシャー５７は、基板１０に当接しつつ基板搬送方向Ｘへ移動することで基板１０を基板搬送方向に押して、プレ動作を完了する。これによって、基板１０の基板搬送方向Ｘの上流端が、待機位置Ｐwのプッシャー４３よりも基板搬送方向Ｘの下流側に位置する。なお、図１０、図１１の例では、プレ動作の完了時点において、基板１０の一部が収納ラック２１０内に進入しているが、プレ動作の完了時点における基板１０の停止位置は適宜変更可能である。そして、図１０の「サブプッシャー退避」の欄に示すように、プレ動作が完了すると、サブプッシャー５７は、基板搬送方向Ｘの上流側へ向けて基板１０から退避する。

図１１の「プッシャー上昇」の欄に示すように、サブプッシャー５７の退避が完了すると、プッシャー４３が上昇する。これによって、プッシャー４３は、基板搬送方向Ｘの上流側から基板１０に対向する。これに続いて、プッシャー４３は基板搬送方向Ｘへ移動して押出動作を行う。そして、図１１の「押出動作終了」の欄に示すように、プッシャー４３は、コンベア３１の基板搬送方向Ｘの下流端から突出する押出終了位置Ｐeまで基板搬送方向Ｘへ移動して、基板１０を収納ラック２１０のスロット２１１に収納する（押出動作）。

以上に説明したように、第３実施形態においても、検査を受けた基板１０は、基板検査装置１に設けられたプッシャー４３により押し出されつつ装置外部に搬出される。したがって、基板検査装置１の搬出側に収納ラック２１０を配置しておけば、基板検査装置１から搬出されてきた基板１０をプッシャー４３で収納ラック２１０にそのまま押し込むことができ、コンベア３１を備えたアンローダーを要さずに基板１０を収納ラック２１０に収納できる。よって、このような基板検査装置１で基板生産ライン１００を構成すれば、基板検査装置１から搬出された基板１０の収納ラック２１０への収納を行う基板生産ライン１００を小型に構成することが可能となる。

また、第３実施形態では、検査ヘッド５に取り付けられたサブプッシャー５７をプッシャー４３の他に有している。そして、検査を受けた基板１０を、検査ヘッド５を移動させてサブプッシャー５７で押してからプッシャー４３でさらに押して、押出動作が実行される。このような構成では、押出動作に必要となるプッシャー４３のストロークを短く抑えることができ、プッシャー４３の駆動機構である水平シリンダー４１の小型化を図ることができる。

第４実施形態
図１２は、第４実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特に検査位置から収納ラックへ基板を搬出する際の動作を例示する。図１３は、第４実施形態において基板を検査して収納ラックに収納する一連の動作を例示する動作説明図であり、特に検査位置へ基板を搬入する際の動作を例示する。以下では、これらの図を用いて上記実施形態との差異を中心に説明する。ただし、上記実施形態と共通する構成を具備することで同様の効果を第４実施形態においても奏し得ることは言うまでもない。

この実施形態では、プッシャー４３を鉛直方向Ｚへ昇降させる機構が異なっている。つまり、水平シリンダー４１のスライダー４１１には、基板搬送方向Ｘに延びる水平棒部材４２１が取り付けられており、水平棒部材４２１にその一端が軸支された回動棒部材４２２の他端にプッシャー４３が取り付けられている。回動棒部材４２２は、寝た状態から立った状態へ変化する方向（図１２、図１３の反時計回り方向）に付勢されている。そして、図１２の「基板検査中」の欄に示すように、プッシャー４３を待機位置Ｐwに位置させている状態では、当接部材４２３が鉛直方向Ｚの上方から回動棒部材４２２に当接して、回動棒部材４２２が寝るため、プッシャー４３は鉛直方向Ｚにおいて下降した状態にある。一方、図１２の「押出動作開始」の欄に示すように、当接部材４２３に対して基板搬送方向Ｘへプッシャー４３を移動させると、当接部材４２３から回動棒部材４２２が外れて、付勢力によって回動棒部材４２２が立つため、プッシャー４３は鉛直方向Ｚにおいて上昇した状態にある。

図１２の「基板検査中」の欄に示すように、検査ヘッド５が検査位置Ｐtの基板１０へ検査を行っている間は、プッシャー４３は、検査位置Ｐtの基板１０の鉛直方向Ｚの直下にある待機位置Ｐwで待機する。このような第３実施形態では、検査位置Ｐtの基板１０に対する検査の完了に伴ってプッシャー４３を上昇させるためには、検査を受けた基板１０をプッシャー４３の上方から退避させる必要がある。そこで、基板検査が完了すると、コンベア３１が基板１０を基板搬送方向Ｘに移動させるプレ動作を実行する。その結果、図１２の「プレ動作終了」の欄に示すように、待機位置Ｐwにあるプッシャー４３の上方から基板１０が基板搬送方向Ｘに外れる。続いて、プッシャー４３は、基板搬送方向Ｘへ移動するのに伴って鉛直方向Ｚに上昇して、基板搬送方向Ｘの上流側から基板１０に対向すると、基板搬送方向Ｘへ移動を開始する。

図１２の「押出動作開始」の欄に示すように、プッシャー４３は、基板１０の基板搬送方向Ｘの上流端に当接する押出開始位置Ｐsまで基板搬送方向Ｘへ移動して、基板１０を基板搬送方向Ｘへ押し始める。さらに、図１２の「押出動作終了」の欄に示すように、プッシャー４３は、コンベア３１の基板搬送方向Ｘの下流端から突出する押出終了位置Ｐeまで基板搬送方向Ｘへ移動して、基板１０を収納ラック２１０のスロット２１１に収納する。こうして、プッシャー４３を押出開始位置Ｐsから押出終了位置Ｐeまで基板搬送方向Ｘへ移動させることで、検査を受けた基板１０に基板搬送方向Ｘの上流側からプッシャー４３を当接させつつプッシャー４３を基板搬送方向Ｘの下流側を移動させる押出動作が実行される。これによって、検査を受けた基板１０が押し出されてコンベア３２から基板検査装置１の外部の収納ラック２１０へ搬出される。

基板検査を継続する場合には、基板搬送方向Ｘの逆方向へのプッシャー４３の移動、すなわち戻し動作が実行されて、プッシャー４３は待機位置Ｐwにまで移動する。また、図１３の「プッシャー下降」の欄に示すように、待機位置Ｐwにおいては、プッシャー４３は、鉛直方向Ｚに下降する。こうして、プッシャー４３が待機位置Ｐwにまで戻ると、図１３の「基板搬入」の欄に示すように、基板１０の搬入が実行される。そして、図１３の「検査位置に基板到着」の欄に示すように、検査位置Ｐtに基板１０が到着すると、基板１０に対する検査が再び実行される。

以上に説明したように、第４実施形態においても、検査を受けた基板１０は、基板検査装置１に設けられたプッシャー４３により押し出されつつ装置外部に搬出される。したがって、基板検査装置１の搬出側に収納ラック２１０を配置しておけば、基板検査装置１から搬出されてきた基板１０をプッシャー４３で収納ラック２１０にそのまま押し込むことができ、コンベア３１を備えたアンローダーを要さずに基板１０を収納ラック２１０に収納できる。よって、このような基板検査装置１で基板生産ライン１００を構成すれば、基板検査装置１から搬出された基板１０の収納ラック２１０への収納を行う基板生産ライン１００を小型に構成することが可能となる。

第５実施形態
図１４は、第５実施形態にかかる基板検査装置が備える押出ユニットの一例を模式的に示す平面図である。なお、以下では、上記実施形態との差異を中心に説明する。ただし、上記実施形態と共通する構成を具備することで同様の効果を第５実施形態においても奏し得ることは言うまでもない。

図１４に示すように、第５実施形態では、一端がコンベアフレーム３１に軸支され、他端が水平シリンダー４１に軸支された棒状のリンク部材４５が設けられている。具体的には、一方のコンベアフレーム３１から水平シリンダー４１に接続されるリンク部材４５と、他方のコンベアフレーム３１から水平シリンダー４１に接続されるリンク部材４５とで構成される対が、水平シリンダー４１の基板搬送方向Ｘの両端それぞれに設けられている。したがって、２本のコンベア３１の幅方向Ｙへの間隔を基板Ｗの幅に応じて調整するために、２本のコンベアフレーム３１のＹ方向への間隔が変化すると、これに応じて水平シリンダー４１の位置も幅方向Ｙへ変化する。その結果、水平シリンダー４１に支持されたプッシャー４３は、２本のコンベア３１の幅方向Ｙの間隔に応じて変位して、基板Ｗの幅の概ね中央に位置することとなる。

このように、第５実施形態では、押出ユニット４は、基板搬送方向Ｘに直交する幅方向Ｙにおける基板１０の幅に応じて幅方向Ｙへのプッシャー４３の位置を調整する。このような構成では、基板１０の幅に応じた個所をプッシャー４３で押すことができるため、アンバランスな力が作用することによる基板１０の傾き等を抑制しつつ、適切な押出動作を基板１０に行うことができる。

第６実施形態
図１５は、第６実施形態にかかる基板検査装置が備える押出ユニットの一例を模式的に示す平面図である。なお、以下では、上記実施形態との差異を中心に説明する。ただし、上記実施形態と共通する構成を具備することで同様の効果を第６実施形態においても奏し得ることは言うまでもない。

図１５に示すように、第６実施形態の押出ユニット４では、保持部４６によってプッシャー４３が鉛直方向Ｚへ昇降自在に支持されている。具体的には、保持部４６は、鉛直方向Ｚに延びて一端にプッシャー４３が取り付けられた鉛直支持棒４６１を、移動部材４６２の貫通孔に嵌入させて、プッシャー４３を支持する。保持部４６の移動部材４６２は、水平シリンダー４１（ロッドレスシリンダー）のスライダー４１１に取り付けられている。そのため、水平シリンダー４１を動作させることで、保持部４６に伴ってプッシャー４３を基板搬送方向Ｘ（あるいは、その逆方向）へ移動させることができる。

さらに、押出ユニット４は、基板搬送方向Ｘにおけるプッシャー４３の移動範囲に対応して、基板搬送方向Ｘへ延設された延設部材４７が設けられている。この延設部材４７は、鉛直方向Ｚの下方から鉛直支持棒４６１の下端に臨んでおり、上昇することによって鉛直支持棒４６１を介してプッシャー４３を鉛直方向Ｚの上方に押し遣ることができる。また、延設部材４７の基板搬送方向Ｘの両端のそれぞれには鉛直シリンダー４２が設けられている、したがって、鉛直シリンダー４２を動作させることで、プッシャー４３を鉛直方向Ｚへ昇降させることができる。

このような構成では、ロッドレスシリンダーである水平シリンダー４１によって保持部４６を基板搬送方向Ｘに移動させることで、保持部４６に保持されるプッシャー４３を基板搬送方向Ｘへ移動させる。また、このようなプッシャー４３の移動範囲に対応して基板搬送方向Ｘに延設された板状の延設部材４７が設けられており、鉛直シリンダー４２で延設部材４７を鉛直方向Ｚに移動させることで、移動範囲内での位置によらずプッシャー４３を鉛直方向Ｚへ押し遣ることが可能となっている。そのため、プッシャー４３を昇降させる駆動原（ここでは鉛直シリンダー４２）を、プッシャー４３の基板搬送方向Ｘへの移動に伴って基板搬送方向Ｘへ移動させる必要がなく、当該駆動原に接続される電気的配線４２aの引き回し等を簡素化することが可能となる。

その他
上述のように、上記実施形態では、基板検査装置１が本発明の「基板処理装置」の一例に相当し、コンベア３１が本発明の「コンベア」の一例に相当し、検査ヘッド５が本発明の「処理ヘッド」の一例に相当し、押出ユニット４が本発明の「押出ユニット」の一例に相当し、プッシャー４３が本発明の「プッシャー」の一例に相当し、押出動作が本発明の「移動動作」の一例に相当し、基板１０が本発明の「基板」の一例に相当し、検査位置が本発明の「基板処理位置」の一例に相当し、基板搬送方向Ｘが本発明の「基板搬送方向」の一例に相当する。また、鉛直方向Ｚが本発明の「鉛直方向」の一例に相当し、鉛直シリンダー４２が本発明の「鉛直駆動部」の一例に相当し、保持部４６が本発明の「保持部」の一例に相当し、水平シリンダー４１が本発明の「ロッドレスシリンダー」の一例に相当し、延設部材４７が本発明の「延設部材」の一例に相当し、サブプッシャー５７が本発明の「サブプッシャー」の一例に相当し、検査が本発明の「処理」の一例に相当する。

なお、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない限りにおいて上述したものに対して種々の変更を加えることが可能である。例えば、プッシャー４３が押出動作を終了する押出終了位置Ｐeは上記の内容に限られず、適宜変更可能である。さらには、装置外部へ押し出した基板１０の停止位置を変更可能であるように構成しても良い。このような構成では、例えば収納ラックに基板１０を押し込む程度を基板１０の状態（例えば、基板の良否等）に応じて変化させて、後の工程において基板１０の状態を判別容易にするといった制御が可能となる。

具体的には、基板１０の検査結果に応じて、押出終了位置Ｐeの位置を基板搬送方向Ｘにおいて異ならせても良い。具体的には、検査結果が良品であった良品基板１０については、良品基板１０の全体が収納ラック２１０に収まる位置ように押出終了位置Ｐeを設定する一方、検査結果が不良であった不良品基板１０については、不良品基板１０の一部が収納ラック２１０からはみ出すように押出終了位置Ｐeを設定しても良い。これによって、収納ラック２１０に収納された基板１０の良否が容易に判別できる。

また、プッシャー４３の待機位置Ｐwや押出開始位置Ｐsについても適宜変更可能であり、戻し動作においてプッシャー４３を戻す位置も適宜変更可能である。さらに、押出ユニット４、プッシャー４３、プッシャー４３を移動させるための機構、あるいはコンベア３１の種類等の装置各部の種々の構成ついても適宜変更が可能である。

また、上記第１、第２実施形態においても、第３、第４実施形態で示したようなプレ動作を、押出動作の前に実行しても良い。具体的には、コンベア３１によって基板１０を検査位置Ｐtから基板搬送方向Ｘへ所定距離だけ移動させてから、プッシャー４３による押出動作を実行すれば良い。

上記実施形態では、基板検査装置１に本発明を適用した例について説明を行った。しかしながら、基板１０に対して部品を実装する部品実装機や、基板１０に対して半田等の液体を塗布する塗布装置に対して本発明を適用することもできる。このような場合、部品実装や液体塗布が本発明の「処理」の一例に相当することとなる。

１…基板検査装置（基板処理装置）
１０…基板
３１…コンベア
４…押出ユニット４
４１…水平シリンダー（ロッドレスシリンダー）
４２…鉛直シリンダー（鉛直駆動部）
４３…プッシャー４３
４４…ストッパー
４６…保持部
４７…延設部材４７
５…検査ヘッド５（処理ヘッド）
５７…サブプッシャー
Ｘ…基板搬送方向
Ｙ…幅方向
Ｚ…鉛直方向
Ｐt…検査位置（基板処理位置）

Claims (14)

1. 基板に対して処理を行って装置外部へ搬出する基板処理装置において、
   載置された前記基板を基板搬送方向に搬送するコンベアと、
   前記コンベアによって基板処理位置まで搬入された前記基板に前記処理を行う処理ヘッドと、
   前記処理を受けた前記基板に前記基板搬送方向の上流側から当接するプッシャーを備え、前記プッシャーを前記基板搬送方向の下流側へ移動させる移動動作によって、前記処理を受けた前記基板を押し出して前記コンベアから前記装置外部へ搬出する押出ユニットと
   を備えたことを特徴とする基板処理装置。
2. 複数の前記基板に対して順番に前記処理を行って前記装置外部へ搬出する請求項１に記載の基板処理装置において、
   前記押出ユニットは、前記移動動作を完了すると、前記基板搬送方向の下流側へ向けて前記プッシャーを戻す戻し動作を行う基板処理装置。
3. 前記押出ユニットは、前記戻し動作によって、前記移動動作の開始時における前記基板の位置の前記基板搬送方向の上流側まで前記プッシャーを戻す請求項２に記載の基板処理装置。
4. 前記押出ユニットは、前記コンベアが前記基板処理位置へ向けて前記基板の搬入を開始してから前記処理ヘッドが前記基板処理位置の前記基板への前記処理を完了するまでの搬入処理期間に重複して前記戻し動作を行う請求項２または３に記載の基板処理装置。
5. 前記押出ユニットは、前記プッシャーに伴って移動するストッパーを有し、前記戻し動作の途中において、前記基板処理位置の前記基板搬送方向の下流端に対して前記ストッパーを位置させることで、前記搬入処理期間に搬入される前記基板を前記ストッパーにより前記基板処理位置に停止させる請求項４に記載の基板処理装置。
6. 前記押出ユニットは、前記プッシャーを鉛直方向に駆動する鉛直駆動部を有し、前記搬入処理期間中の前記基板に対して前記基板搬送方向に重なる区間では、前記鉛直駆動部によって前記基板から前記鉛直方向へ前記プッシャーを外しつつ前記プッシャーを戻して前記戻し動作を行う請求項４または５に記載の基板処理装置。
7. 前記押出ユニットは、前記プッシャーを前記鉛直方向に昇降自在に保持する保持部と、前記保持部を前記基板搬送方向に移動させるロッドレスシリンダーと、前記プッシャーの移動範囲に対応して前記基板搬送方向に延設されて前記鉛直方向へ移動することで前記プッシャーを押し遣る延設部材とをさらに有し、前記鉛直駆動部によって前記延設部材を昇降させる請求項６に記載の基板処理装置。
8. 前記コンベアは、前記押出ユニットが前記移動動作を行っている期間は、前記基板処理位置への前記基板の搬入を行わない請求項１ないし７のいずれか一項に記載の基板処理装置。
9. 前記押出ユニットは、前記装置外部へ押し出した前記基板の停止位置を変更可能である請求項１ないし８のいずれか一項に記載の基板処理装置。
10. 前記押出ユニットは、前記基板搬送方向に直交する幅方向における前記基板の幅に応じて前記幅方向への前記プッシャーの位置を調整する請求項１ないし９のいずれか一項に記載の基板処理装置。
11. 前記処理ヘッドは、前記基板搬送方向へ移動しつつ前記基板へ前記処理を実行可能であり、
    前記押出ユニットは、前記処理ヘッドに取り付けられたサブプッシャーをさらに備え、前記処理を受けた前記基板を、前記処理ヘッドを移動させて前記サブプッシャーで押してから前記プッシャーでさらに押して、前記移動動作を行う請求項１ないし１０のいずれか一項に記載の基板処理装置。
12. 前記押出ユニットは、前記コンベアの前記基板搬送方向の下流端よりも前記プッシャーを突き出させて、前記移動動作を行う請求項１ないし１１のいずれか一項に記載の基板処理装置。
13. 前記処理ヘッドは、前記基板の状態の検査を前記処理として行う請求項１ないし１２のいずれか一項に記載の基板処理装置。
14. 基板処理装置が処理を行った基板を装置外部へ搬出する基板搬出方法において、
    載置された前記基板を基板搬送方向に搬送するコンベアによって基板処理位置まで搬入されて前記基板処理位置で前記処理を受けた前記基板を、移動動作によって前記コンベアから前記装置外部へ搬出する工程を備え、
    前記移動動作は、前記基板処理装置に内蔵されたプッシャーを、前記処理を受けた前記基板に前記基板搬送方向の上流側から当接させつつ前記基板搬送方向の下流側へ移動させて、前記処理を受けた基板を押し出すことで行われることを特徴とする基板搬出方法。
    

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