JP2014154698A - 光学装置、照明装置、露光装置、デバイス製造方法、及び光学素子の保持方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】光学素子を冷却する。
【解決手段】 ミラー駆動系(アクチュエータ42)により複数のエレメント41の裏面が冷熱源であるベースプレート420の表面に近接する際に、さらに、ミラー冷却系(電極511,512)により複数のエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する。これにより、エレメント41とベースプレート420との接触熱伝達率が大きくなり、真空中で用いられる可動な複数のエレメント41を冷却することが可能となる。
【選択図】図5
【解決手段】 ミラー駆動系(アクチュエータ42)により複数のエレメント41の裏面が冷熱源であるベースプレート420の表面に近接する際に、さらに、ミラー冷却系(電極511,512)により複数のエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する。これにより、エレメント41とベースプレート420との接触熱伝達率が大きくなり、真空中で用いられる可動な複数のエレメント41を冷却することが可能となる。
【選択図】図5
Description
本発明は、光学装置、照明装置、露光装置、デバイス製造方法、及び光学素子の保持方法に係り、特に、光学素子を有する光学装置、該光学装置を備える照明装置、該照明装置により生成される照明光を照射して物体上にパターンを形成する露光装置、該露光装置を用いてデバイスを製造するデバイス製造方法、及び光学素子の保持方法に関する。
半導体素子、液晶表示素子等の電子デバイス(マイクロデバイス)の製造工程の1つであるリソグラフィ工程では、照明光(露光光とも呼ぶ)を、レチクル(又はマスク)及び投影光学系を介して、感光剤(レジスト)が塗布されたウエハ(又はガラスプレート等)上に投射することによって、レチクルに形成されたパターン(の縮小像)をウエハ上の複数のショット領域に逐次転写する投影露光装置が用いられている。
近年、デバイスパターンの微細化に伴い、照明光として波長10〜14nmの極端紫外(EUV: Extreme Ultraviolet)光を用いる投影露光技術(EUV露光技術とも呼ぶ)が注目されている。EUV露光技術では、照明光の波長が短いため、投影光学系等を構成する光学素子としてレンズ等の透過型素子(屈折光学素子)は利用できず、多層膜ミラーを用いた反射型素子(反射光学素子)が利用される。ここで、多層膜ミラーであっても、その反射率は約70%程度と低いため(光吸収率が高いため)、照明光を吸収することにより光学素子が発熱する。
EUV露光技術を採用した露光装置(EUV露光装置)では、特に照明光学系を構成する光学素子に対しては、光源からの強い照明光が照射されるため上述の発熱は特に大きく、さらに、照明光学系内は高真空に置かれるため光学素子の冷却が不可欠となる。ここで、照明光学系において、均一な照度分布を得るためのオプティカル・インテグレータとして、傾動可動な微小な(反射型)光学素子を複数有するフライアイ光学系が配置される(例えば、特許文献1参照)。このため、真空中で用いられる可動な光学素子を冷却する技術が必要とされている。
本発明は、第1の観点からすると、光学素子を有する光学装置であって、前記光学素子の光学面と異なる部分で前記光学素子と接触可能な接触面を有するベースと、前記光学素子が前記ベースから離れた位置で、かつ前記光学素子の前記光学面に光が照射される第1位置と、前記接触面に前記光学素子が接触する第2位置との間で、前記光学素子と前記ベースとを相対的に移動させる移動機構と、前記第2位置から前記ベースに前記光学素子を接触させる力を発生させる発生装置と、を備える光学装置である。
これによれば、発生装置により光学素子をベースに接触させることで、光学素子を冷却することが可能となる。
本発明は、第2の観点からすると、第1の観点に係る光学装置を備える照明装置である。
これによれば、照明精度の高い照明装置が提供される。
本発明は、第3の観点からすると、第2の観点に係る照明装置により生成される照明光を照射して物体上にパターンを形成する露光装置である。
これによれば、露光精度の高い露光装置が提供される。
本発明は、第4の観点からすると、第3の観点に係る露光装置を用いて、デバイスを製造するデバイス製造方法である。
本発明は、第5の観点からすると、光学素子の保持方法であって、前記光学素子の光学面と異なる部分で前記光学素子と接触可能な接触面を有するベースを準備する工程と、前記光学素子が前記ベースから離れた位置で、かつ前記光学素子の前記光学面に光が照射される第1位置と、前記接触面に前記光学素子が接触する第2位置との間で、前記光学素子と前記ベースとを相対的に移動させる工程と、前記第2位置から前記ベースに前記光学素子を接触させる力に発生させる工程と、を含む光学素子の保持方法である。
これによれば、光学素子を冷却することが可能となる。
以下、一実施形態を、図1〜図5に基づいて説明する。
図1には、一実施形態に係る露光装置1の概略的な構成が示されている。露光装置1は、ステップ・アンド・スキャン方式の投影露光装置(いわゆるスキャナ)であり、照明光(露光光とも呼ぶ)ELとして波長5〜20nmの極端紫外(EUV: Extreme Ultraviolet)光を用いる投影露光装置(EUV露光装置とも呼ぶ)である。
後述するように、本実施形態では、第1面(物体面)側が非テレセントリックで第2面(像面)側がテレセントリックな投影光学系POが設けられており、投影光学系POの光軸と平行な方向(像側の主光線と平行な方向)をZ軸方向(Z方向)、これに直交する面内でレチクルとウエハとが相対走査される方向をY軸方向(Y方向)、Z軸及びY軸に直交する方向をX軸方向(X方向)とし、X軸、Y軸、及びZ軸回りの回転(傾斜)方向をそれぞれθx、θy、及びθz方向として説明を行う。
露光装置1は、照明光を生成する照明光学装置3、レチクルRを保持して移動するレチクルステージRST、レチクルRのパターン面(レチクル面)に形成されたパターンの像を感光材(レジスト)が塗布されたウエハW上に投影する投影光学系PO、及びウエハWを保持して移動するウエハステージWSTを備えている。
上記の露光装置1の構成各部のうち、特に、照明光学装置3と投影光学系POとは真空チャンバ2内に収容されている。真空チャンバ2内は、気体による照明光ELの吸収を避けるために、真空ポンプ32A,32Bにより、それぞれ排気管32Aa,32Baを介して、例えば10−5Pa程度まで真空排気されている。また、真空チャンバ2内には、照明光ELの光路上の真空度を上げるために、さらに複数のサブチャンバ(不図示)が設けられている。例えば、投影光学系POを収納するサブチャンバ(不図示)内は、例えば10−5〜10−6Paまで真空排気されている。
照明光学装置3は、真空チャンバ2内の−Y側に配置されている。照明光学装置3は、照明光(EUV光)ELを生成する光源部10及び照明光ELを用いてレチクルRを照明する照明光学系ILSを含む。
光源部10としては、一例としてガスクラスタジェット方式のレーザ励起型プラズマ光源が採用されている。光源部10は、例えばYAGレーザ等の高出力の光源(不図示)と、この光源から出力される光を集光する集光レンズ12と、キセノン、スズ、クリプトン等のターゲットを噴出するノズル14と、回転楕円面状の反射面を有する集光ミラー(放物面鏡)13と、を備える。なお、光源部10と同様のガスクラスタジェット方式のレーザ励起プラズマ光源については、例えば米国特許第5,577,092号に詳細に開示されている。光源(不図示)は、真空チャンバ2外に配置されている。この光源から出射される光は、窓15を介して真空チャンバ2内に入り、集光レンズ12によって集光されて、集光ミラー13の内側でノズル14から噴出されるターゲットに照射される。これにより、プラズマ化したターゲット(多重に電離した多価イオン)から放出されるEUV光(照明光)ELが、集光ミラー13によってその第2焦点130で集光される。
照明光学系ILSは、凹面ミラー21と、オプティカル・インテグレータ(フライアイ光学系)4と、コンデンサ光学系6と、を備える。光源部10から出射され、集光ミラー13の第2焦点130で集光された照明光ELは、凹面ミラー21によって反射されてほぼ平行なビームとなる。
図2には、オプティカル・インテグレータ(フライアイ光学系)4の構成が概略的に示されている。オプティカル・インテグレータ4は、レチクルRのパターン面(レチクル面)と光学的に共役な位置(又はその近傍)に配置される第1反射型インテグレータ(単に反射型インテグレータとも呼ぶ)22と、投影光学系POの瞳面と光学的に共役な位置(又はその近傍)に配置される第2反射型インテグレータ(単に反射型インテグレータとも呼ぶ)23から構成され、凹面ミラー21で反射された照明光ELの照度分布を均一化する機能を有する。フライアイ光学系の構成の詳細は、例えば米国特許第6,452,661号明細書に開示されている。
第1反射型インテグレータ22は、基準平面(例えば、照明光学装置3の光軸と直交する面)に沿って2次元配置された複数(例えば400個)の反射型エレメント(単にエレメントとも呼ぶ)41と、複数のエレメント41(の反射面)のそれぞれを独立に垂直方向及び傾斜方向に駆動する複数のアクチュエータ42と、複数のエレメント41をそれぞれ複数のアクチュエータ42を介して支持するフレーム43と、を有する。なお、図2には、複数のエレメント41と複数のアクチュエータ42とを代表して、4つのエレメント41と、4つのエレメント41をそれぞれ駆動する4つのアクチュエータ42と、が示されている。
複数のエレメント41のそれぞれは、円弧状で所定の曲率の反射面を有する。また、第1反射型インテグレータ22は、略円形状となるように、複数のエレメント41が配列されている。複数のアクチュエータ42は、例えばピエゾ素子を含む。
複数のアクチュエータ42は、ミラー駆動系40(図3参照)により制御される。ミラー駆動系40は、照明条件に応じて、それぞれ複数のアクチュエータ42を介して複数のエレメント41を駆動して、それらの反射面の面位置及び傾きを制御する。これにより、第1反射型インテグレータ22に入射した照明光EL(の分割光)の反射方向、すなわち、照明光EL(の分割光)による第2反射型インテグレータ23上での照射位置が制御される。
第2反射型インテグレータ23は、基準平面(例えば、照明光学装置3の光軸と直交する面)に沿って2次元配置された複数のエレメント231を有する。複数のエレメント231のそれぞれは、矩形状で所定の曲率の反射面を有する。なお、矩形に限らず、円形等、他の形状であっても良い。
第2反射型インテグレータ23では、複数のエレメント231を任意に組み合わせて3つのエレメント群230A,230B,230Cが構成されている。3つのエレメント群230A,230B,230Cは、それぞれ略円形状になるように、エレメント231が配列されている。エレメント群230Aは、中央に位置する1つの照明領域を有する。エレメント群230Bは、エレメント群230Aの照明領域に対して一軸方向の一側と他側(図2において紙面右側と左側)に配置される2つの照明領域を有する。エレメント群230Cは、エレメント群230Aの照明領域に対して一軸方向に垂直な方向の一側と他側(図2において紙面手前と奥)に配置される2つの照明領域を有する。
上述の構成のオプティカル・インテグレータ4において、第1反射型インテグレータ22は、照明光ELを複数(エレメント41の数に等しい)の光束に分割して、第2反射型インテグレータ23に向けて反射する。これにより、第2反射型インテグレータ23のエレメント231の反射面に、光源の光学像(光源像)が形成される。従って、第2反射型インテグレータ23のエレメント群は、多数の光源像からなる二次光源を形成するフィールドミラー群として機能する。
照明光学装置3(オプティカル・インテグレータ4)は、照明条件に応じて、第2反射型インテグレータ23における二次光源の分布を変えることで得られる変形照明により、σ値を例えば0.1〜0.9の値に切り換える。例えば、第2反射型インテグレータ23のエレメント群230Aにより通常照明(コンベント照明)、エレメント群230Bにより2極照明(第1のダイポール照明)、エレメント群230Cにより2極照明(第2のダイポール照明であり、第1のダイポール照明に対して直交する方向に2極が形成される照明)、第2及び第3エレメント群230B,230Cにより4極照明(クワトラポール照明)が形成される。図2では、照明光学装置3は、通常照明(コンベント照明)に対し、第1反射型インテグレータ22に入射した照明光ELを、複数のアクチュエータ42を用いて分割し、第2反射型インテグレータ23のエレメント群230Aに向けて反射することで、二次光源を形成している。詳細は、例えば国際公開第2011/040488号に開示されている。
コンデンサ光学系6は、曲面(凸面)ミラー24と凹面ミラー25とから構成されている。オプティカル・インテグレータ4からの照明光ELは、反射型インテグレータ23と曲面ミラー24との間で集光し、順に曲面ミラー24及び凹面ミラー25により反射され、ブラインド板26Aの円弧状のエッジによりその−Y側が遮光されて整形され、レチクルステージRST上のレチクルRに照射される。
なお、上述の照明光学系ILSの構成は一例であり、例えば、レチクルRに対する照明光ELの入射角を小さくするために、凹面ミラー25とレチクルRとの間に別のミラーを配置しても良い。また、反射型インテグレータ23と曲面ミラー24との間で集光しない光学系でも良い。
本実施形態に係る露光装置1では、照明光ELとして波長の短いEUV光が使用されるため、照明光学系ILS(及び後述する投影光学系PO)を構成する光学素子として、一部のフィルタ(不図示)等を除いて、例えばMo/Be、Mo/Si等の多層膜からなるミラー(多層膜ミラー)が採用されている。
上述のように照明光学装置3(コンデンサ光学系6)から出射される照明光ELにより、レチクルステージRST上のレチクルRのパターン面(レチクル面)が、X軸方向に細長い円弧状の照明領域27R内において、均一な照度分布で照明される。なお、コンデンサ光学系6によって、反射型インテグレータ23を構成するエレメント群(反射ミラー要素群)からの光によりレチクルRが重畳的に照明される。
本実施形態に係る露光装置1では、光学系と同様に、レチクルRとして多層膜ミラー型の反射型レチクルが使用される。反射型レチクルは、例えば、低熱膨張率を有する基板上にMo/Si多層膜を形成し、その上にEUV光を強く吸収するCr,W,Taを用いて吸収体パターンを設けることで、構成される。
照明領域27R内においてレチクルRにより反射された照明光ELは、ブラインド板26Bの円弧状のエッジによりその+Y側が遮光されて整形され、投影光学系POに向けて出射される。なお、ブラインド板26A,26Bの配置は本実施形態における配置に限らず、例えば照明光学系ILS内のレチクル面に対する共役面の近傍でも良い。
レチクルステージRSTは、真空チャンバ2の+Z側に設けられたパーティション8内に配置されている。パーティション8内は、真空ポンプ(不図示)によって、大気圧と真空チャンバ2内の気圧との間の気圧に維持されている。レチクルステージRSTの底面には、レチクルRが、静電チャックRHにより下向きに(パターン面を−Z方向に向けて)吸着保持されている。
レチクルステージRSTは、例えば、磁気浮上型2次元リニアアクチュエータを含むレチクルステージ駆動系RSD(図3参照)によって、水平面(XY平面)内で微小駆動可能に、且つ、走査方向(Y軸方向)に所定ストロークで駆動可能に構成されている。また、レチクルステージRSTは、Z駆動機構(不図示)によって、Z軸方向に駆動可能に、且つ、θx方向及びθy方向に傾動可能に構成されている。レチクルステージRSTのXY平面内の位置(θz方向の回転を含む)は、レーザ干渉計(レチクル干渉計と呼ぶ)RSI(図3参照)によって計測される。その計測結果は、主制御装置31に供給される(図3参照)。主制御装置31は、その計測結果に基づいて、レチクルステージ駆動系RSDを介してレチクルステージRSTを駆動制御する。
レチクルステージRST(レチクルR)の下方には、例えばレチクルRのパターン面に対して斜めに計測光を照射してレチクルRのZ軸方向の位置及び傾斜量を計測する光学式のレチクルオートフォーカス系RF(図1では不図示、図3参照)が配置されている。主制御装置31は、レチクルオートフォーカス系RFからの計測結果に基づいて、Z駆動機構(不図示)を用いてレチクルRの面位置を制御する。
投影光学系POは、レチクルステージRSTの下方(−Z側)、真空チャンバ2内の+Y側に配置されている。投影光学系POは、例えば、6枚のミラーM1〜M6から構成されている。一例として、ミラーM1,M2,M4,M6は凹面鏡であり、残りのミラーM3,M5は凸面鏡である。ミラーM1〜M6は、鏡筒(不図示)により保持されている。投影光学系POは、第1面(物体面)側について非テレセントリックで、第2面(像面)側にテレセントリックな反射光学系であり、その投影倍率は1/4倍等の縮小倍率である。レチクルRにより反射された照明光ELは、順にミラーM1〜M6により反射されて、ウエハステージWST上のウエハWに向けて射出される。
ウエハステージWSTは、投影光学系POの下方(−Z側)、真空チャンバ2の底面上の+Y側に設けられたパーティション7内に配置されている。パーティション7内は、真空ポンプ(不図示)により真空排気されている。これにより、ウエハWを露光する際にレジストから生じるガスによる投影光学系POのコンタミネーションが回避される。ウエハステージWST上には、ウエハWが、静電チャック(不図示)により吸着保持されている。
ウエハステージWSTは、例えば、磁気浮上型2次元リニアアクチュエータを含むウエハステージ駆動系WSD(図3参照)によって、XY平面に平行なガイド面に沿って、Y軸方向及びX軸方向に所定ストロ−クで駆動可能に、且つ、Z軸方向、θx方向、θy方向、及びθz方向にも微小駆動可能に、構成されている。ウエハステージWSTのXY平面内の位置(θz方向の回転を含む)は、レーザ干渉計(ウエハ干渉計と呼ぶ)WSI(図3参照)によって計測される。その計測結果は、主制御装置31に供給される(図3参照)。主制御装置31は、その計測結果に基づいて、ウエハステージ駆動系WSDを介してウエハステージWSTを駆動制御する。
ウエハステージWST上には、レチクルRに形成されたアライメントマーク等を検出する空間像計測系29が配置されている。空間像計測系29からの検出結果は、主制御装置31に供給される(図3参照)。主制御装置31は、その検出結果から投影光学系POの光学特性(諸収差、波面収差等)を求める。
投影光学系POから射出される照明光ELは、パーティション7に形成された開口7aを介して、ウエハステージWST上のウエハWの露光領域27W(照明領域27Rと共役な領域)内に投射される。これにより、レチクルR上の照明領域27R内のパターンの縮小像が、ウエハW上の露光領域27W内に投影される。
図3には、露光装置1の制御系の主要な構成が示されている。制御系は、装置全体を統括制御するマイクロコンピュータ(あるいはワークステーション)などを含む主制御装置31を中心として構成されている。
ウエハW上の1つのショット領域を露光する際には、照明光ELによりレチクルRのパターン面上の照明領域27Rを照明し、投影光学系POに対してレチクルステージRST(レチクルR)とウエハステージWST(ウエハW)とを投影光学系POの投影倍率に応じた速度比で走査方向(Y軸方向)に等速駆動する。この走査露光により、レチクルRのパターンがウエハW上の1つのショット領域に転写される。転写後、ウエハステージWST(ウエハW)をX軸方向にステップ駆動して、次のショット領域に対して同様の走査露光を行う。このように各ショット領域に対する走査露光とショット領域間のステップ駆動とを繰り返すステップ・アンド・スキャン方式の露光処理により、ウエハW上の全てのショット領域にレチクルRのパターンが転写される。
図4には、前述の第1反射型インテグレータ22が有する複数のエレメント41を駆動する駆動系(アクチュエータ42)と複数のエレメント41を冷却するミラー冷却系50の構成が概略的に示されている。ここで、図1からわかるように、フレーム43の法線の方向は、実際には、Z軸に対して所定角度を成す方向であるが、図4では、図示及び説明の便宜上から、フレーム43の法線の方向をZ軸方向に一致させている。図5(A)〜図6(B)においても同様である。
駆動系は、複数のエレメント41のそれぞれを駆動する複数のアクチュエータ42を備える。複数のエレメント41のそれぞれは、3つの支持部材421を用いて、3つの駆動装置422により三点支持されている。3つの支持部材421はエレメント41とフレーム43の間に配置されたベースプレート420に設けられた孔42aに挿通され、それらの一端がエレメント41(の裏面)に固定され、それらの他端がそれぞれ駆動装置422に接続されている。3つの駆動装置422は、フレーム43上に固定されている。3つの駆動装置422と対応する支持部材421とからアクチュエータ42が構成されている。3つの支持部材421のうちの2つはエレメント41の裏面の+X側のY軸方向の両端部近傍にそれぞれ配置され、残りの1つは−X側の中央に配置されている。
3つの駆動装置422のそれぞれは例えばピエゾ素子を含み、支持部材421をZ軸方向に駆動する。これにより、3つの支持部材421によって支持されるエレメント41が、ベースプレート420に対してZ軸方向に近接及び離間するとともにθx方向及びθy方向に傾斜する。複数のアクチュエータ42はミラー駆動系40により制御される。複数のエレメント41のZ位置及び傾斜は、ミラー駆動系40を介して主制御装置31により制御される(図3参照)。
ミラー冷却系50は、ベースプレート420と、複数の冷却素子52を備える。
ベースプレート420は、フレーム43と同様の大きさを有する平板状部材であり、複数の支持部材423を介してフレーム43上に固定された複数の固定部材424により支持されている。複数の固定部材424及び対応する複数の支持部材423は、隣り合うエレメント41相互の間に配置されている。
ベースプレート420には、2つの電極511,512が内設されている。ベースプレートは、この2つの電極511,512を備え、これら電極に電圧を印加することによって発生する吸着力で、エレメント41を吸着する静電チャックとして機能する。
なお、ベースプレート420に1つの電極を内設し、単極方式の静電チャックとして機能させても良い。また、電極の数は1つ又は2つに限定されず、複数の組の電極を設けても良い。
電極511,512にそれぞれ逆符号の同電位をかけて(与えて)、ベースプレート420とエレメント41との間に電圧を印加することにより、後述するように、エレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する。
ベースプレート420は、例えばSiC等、高熱伝導率を有する部材からなり、複数のエレメント41のそれぞれに対応して、それらに対向する一面に対する裏面に複数の冷却素子52が設置されている。冷却素子52は、例えばペルチェ素子等を含む。複数の冷却素子52の下端は、フレーム43上に配置された配管53に接続されている。ミラー冷却系50では、外部から配管53に冷却水が供給される。これにより、冷却素子52を介して、ベースプレート420の熱が効率よく排熱される。なお、冷却素子52及び配管53は、ベースプレート420内に設けられても良い。また、冷却素子52及び配管53を電極511,512の周囲に設け、電極511,512及びベースプレート420を冷却する構成にしても良い。
第1反射型インテグレータ22が有する複数のエレメント41の冷却(間歇冷却)について説明する。
露光時には、図4に示されるように、主制御装置31は、ミラー駆動系40を介して、アクチュエータ42を用いて複数のエレメント41をベースプレート420から離間し、照明条件に応じて傾斜する。これにより、第1反射型インテグレータ22は、照明光ELを第2反射型インテグレータ23に向けて反射する。露光中に複数のエレメント41は照明光ELを受光することにより発熱するため、露光が行われていないとき(非露光時)に複数のエレメント41を冷却することとする。
非露光時(例えば、第1反射型インテグレータ22に露光光が照射されていない時)には、図5(A)に示されるように、主制御装置31は、ミラー駆動系40を制御し、アクチュエータ42(3つの支持部材421)を用いて3つの支持部材421を白抜き矢印の方向(+Z方向)に駆動して、エレメント41の裏面をベースプレート420の表面に近接(接触)させる。この状態で、主制御装置31は、さらに、電極511,512に電圧を印加することによって、黒塗り矢印により示されるように、エレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する。これにより、ベースプレート420は冷熱源の役割を果たし、エレメント41の熱はベースプレート420に移動する。ベースプレート420は冷却素子52により冷却され、その熱は配管53内を通る冷却水により排熱される。
なお、エレメント41の裏面に、電極511,512による吸着力が及ぶのであれば、エレメント41の裏面がベースプレート420の表面に近接(接触)する状態に限らず、エレメント41の裏面がベースプレート420の表面近傍で離間する状態において、電極511,512による吸着力を用いてエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着することとしても良い。
冷却終了後、主制御装置31は、電極511,512への電圧印加を停止してエレメント41の吸着を解除し、アクチュエータ42を用いて複数のエレメント41をベースプレート420から離間する。
ここで、電極511,512への電圧印加をオフにしても、残留電荷による残留吸着力によりエレメント41の吸着を解除できない場合も考えられる。かかる場合、電極511,512と別に、エレメント41に接続する別の電極(不図示)を設け、それぞれの電極に同符号の同電位をかけることで、強制的にベースプレート420からエレメント41を剥離することとしても良い。また、エレメントが残留吸着力によりベースプレートに吸着している状態において、アクチュエータ42を駆動させて、ベースプレート420からエレメント41を剥離させても良い。
上述の複数のエレメント41の冷却(間歇冷却)では、アクチュエータ42を用いてエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に近接(接触)する。しかし、本実施形態に係る露光装置1では、照明光学系内は高真空に置かれるためエレメント41とベースプレート420との接触は弱く、すなわち接触熱抵抗が大きく(接触熱伝達率が小さく)、エレメント41を十分に冷却することができない。そこで、さらに、電極511,512を用いてエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する。これにより、エレメント41とベースプレート420の接触が強くなり、より正確には接触面積が大きくなり、これにより接触熱抵抗が小さく(接触熱伝達率が大きく)なるため、エレメント41を十分に冷却することが可能となる。
ただし、アクチュエータ42が、エレメント41がベースプレート420に接触した後、さらにエレメント41がベースプレートに押し付けることが可能な駆動力を発生する場合には、ベースプレート内の電極を省略しても良い。
すなわち、電極511,512を用いず、アクチュエータ42のみを用いてエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に強く接触することとしても良い。
以上詳細に説明したように、本実施形態に係る露光装置1におけるフライアイ光学系4(第1反射型インテグレータ22)では、ミラー駆動系40(アクチュエータ42)により複数のエレメント41の裏面が冷熱源であるベースプレート420の表面に近接する際に、さらに、ミラー冷却系50により複数のエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する。これにより、エレメント41とベースプレート420との接触熱伝達率が大きくなり、特に真空中で用いられる可動な複数のエレメント41を冷却することが可能となる。
また、電極511,512を用いて複数のエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着するのに加えて、冷却素子52を設け、配管53に冷却水を供給することで、ベースプレート420の熱を排熱することができ、複数のエレメント41を効率良く冷却することが可能となる。
また、本実施形態に係るフライアイ光学系4(第1反射型インテグレータ22)を備える照明光学系ILSを用いることにより、高い照明精度が得られる。また、本実施形態に係る照明光学系ILSにより生成される照明光を照射してウエハW上にパターンを形成することにより、高い露光精度が得られる。
なお、本実施形態では、複数のエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する手段として電極511,512による静電力を利用したが、これに限らず、例えば磁力(電磁力)、分子間力、機械力等を利用することとしても良い。
図6(A)は、磁力を利用して複数のエレメント41をベースプレート420に吸着する第1反射型インテグレータ22の変形構成例が示されている。この例では、電極511,512に代えて、ベースプレート420内の上部に複数の電磁石55が配置されている。これに対し、複数のエレメント41のそれぞれをFe,Ni,Co等の強磁性体を用いて構成することとする。
複数のエレメント41を冷却する際には、主制御装置31は、アクチュエータ42(ミラー駆動系40)を用いて、エレメント41の裏面をベースプレート420の表面に近接(接触)させ、この状態において、さらに、複数の電磁石55を用いて(それらを構成するコイルに電流を供給して)、エレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着する。冷却終了後、主制御装置31は、複数の電磁石55を解除して(それらを構成するコイルへの電流の供給を停止して)、エレメント41の吸着を解除し、アクチュエータ42(ミラー駆動系40)を用いて複数のエレメント41をベースプレート420から離間させる。あるいは、エレメント41本体を熱伝導率の高いCu等を用いて構成し、ベースプレート420に対向する面にFe,Ni,Co等の強磁性体から成る複数の小片を所定間隔で配置するようにして良い。このようにすることにより、エレメント41の冷却を効率良く行えるとともに、複数の電磁石55を解除して(それらを構成するコイルへの電流の供給を停止して)、エレメント41の吸着を解除することができる。
ここで、複数のエレメント41のそれぞれの熱伝導率を向上するために、エレメント41本体を熱伝導率の高いCu等を用いて構成し、その内部に磁性流体を充填して、複数のエレメント41を構成することとしても良い。或いは、図6(B)に示されるように、エレメント41本体を熱伝導率の高いCu等を用いて構成し、ベースプレート420に対向する一面にネオジム磁石等の複数の磁石56を間隔を設けて配置することとしても良い。かかる場合、複数の電磁石55を構成するコイルに電流を供給してエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に吸着し、冷却終了後、コイルに逆電流を供給することでエレメント41の裏面をベースプレート420の表面から強制的に剥離することができる。
また、分子間力を利用して複数のエレメント41をベースプレート420に吸着する場合、複数のエレメント41の裏面とこれに対向するベースプレート420の表面を鏡面加工する。これにより、アクチュエータ42(ミラー駆動系40)を用いてエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に近接(接触)すると、複数のエレメント41の裏面とベースプレート420の表面との間に分子間力(引力)が働き、複数のエレメント41の裏面がベースプレート420の表面に吸着される。なお、ベースプレート420を加圧する加圧手段(不図示)を設け、これを用いてベースプレート420を微小変形することで、或いはエレメント41とベースプレート420との少なくとも一方を接触面内に平行な方向に駆動する駆動手段(不図示)を設け、これを用いてエレメント41とベースプレート420とを相対的に移動することで、複数のエレメント41をベースプレート420から剥離することとしても良い。また、複数のエレメント41の裏面とベースプレート420の表面との間に働く分子間力(引力)が強い場合、分子間力(引力)を適度に調整するために、複数のエレメント41の裏面若しくはベースプレート420の表面又はこれらの両方を部分的に鏡面加工することとしても良い。
また、機械力を利用する場合、長ストロークのアクチュエータ42と独立の微小ストロークで強い駆動力を発する(第2)アクチュエータを設ける。第2アクチュエータは、例えばフレーム43上に設けられ、ベースプレート420に設けられた孔を挿通する支持部材を用いてエレメント41をフレーム43側に駆動する。アクチュエータ42によりエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に近接(接触)させ、さらに第2アクチュエータによりエレメント41の裏面をベースプレート420の表面に強く押し付ける。第2アクチュエータは、電極511,512に代えて設けることとしても良いし、電極511,512に併せて設けることとしても良い。また、前述の磁力(電磁力)、分子間力等を利用する場合に併せて設けることとしても良い。
また、上述の第2アクチュエータによりエレメント41をフレーム43とは反対側に駆動することで、エレメント41の裏面をベースプレート420の表面から強制的に剥離することとしても良い。
なお、上述の実施形態では、正瞳タイプの投影光学系について例示したが、これに限らず、逆瞳タイプの投影光学系であっても良い。なお、逆瞳タイプの投影光学系とは、マスクが配置された物体面を挟んで投影光学系の反対側に所定距離だけ離れた位置に入射瞳を有する投影光学系である。逆瞳タイプの投影光学系を適用した場合、コンデンサ光学系6を構成する曲面ミラー24と凹面ミラー25とを設ける必要がないので、露光装置のスループットが向上する。
なお、上述の実施形態において、パターンを形成する基板としては、半導体デバイス製造用の半導体ウエハのみならず、ディスプレイデバイス用のガラスプレート、薄膜磁気ヘッド用のセラミックウエハ、フィルム部材、或いは露光装置で用いられるマスク又はレチクルの原版(合成石英、シリコンウエハ)等、他の基板でも良い。
また、上述の実施形態では、露光装置が、ステップ・アンド・スキャン方式の走査型露光装置である場合について説明したが、これに限らず、ステップ・アンド・リピート方式の静止型投影露光装置に上記実施形態を適用しても良い。また、ショット領域とショット領域とを合成するステップ・アンド・スティッチ方式の縮小投影露光装置、プロキシミティー方式の露光装置、又はミラープロジェクション・アライナーなどにも上記実施形態を適用することができる。さらに、例えば米国特許第6,590,634号明細書、米国特許第5,969,441号明細書、米国特許第6,208,407号明細書などに開示されているように、複数のウエハステージを備えたマルチステージ型の露光装置にも上記実施形態を適用できる。また、例えば米国特許第7,589,822号明細書などに開示されているように、ウエハステージとは別に、計測部材(例えば、基準マーク、及び/又はセンサなど)を含む計測ステージを備える露光装置にも上記実施形態は適用が可能である。
さらに、例えば米国特許第6,611,316号に開示されているように、2つのマスクのパターンを投影光学系を介して基板上で合成し、1回の走査露光によって基板上の1つのショット領域をほぼ同時に二重露光する露光装置などにも上記実施形態を適用することができる。
また、露光装置の用途は、半導体素子製造用の露光装置に限られず、例えば、液晶表示素子製造用又はディスプレイ製造用の露光装置、有機EL、薄膜磁気ヘッド、撮像素子(CCD等)、マイクロマシン、DNAチップ、レチクル又はマスク等を製造するための露光装置にも広く適用できる。
また、上記実施形態においては、照明光ELがEUV光である場合を例にして説明したが、照明光ELとして、例えば水銀ランプから射出される輝線(g線、h線、i線)及びKrFエキシマレーザ光(波長248nm)等の遠紫外光(DUV光)、ArFエキシマレーザ光(波長193nm)及びF2レーザ光(波長157nm)等の真空紫外光(VUV光)等を用いることもできる。
以上のように、本実施形態に係る露光装置は、本願請求の範囲に挙げられた各構成要素を含む各種サブシステムを、所定の機械的精度、電気的精度、光学的精度を保つように、組み立てることで製造される。これら各種精度を確保するために、この組み立ての前後には、各種光学系については光学的精度を達成するための調整、各種機械系については機械的精度を達成するための調整、各種電気系については電気的精度を達成するための調整が行われる。各種サブシステムから露光装置への組み立て工程は、各種サブシステム相互の、機械的接続、電気回路の配線接続、気圧回路の配管接続等が含まれる。この各種サブシステムから露光装置への組み立て工程の前に、各サブシステム個々の組み立て工程があることはいうまでもない。各種サブシステムの露光装置への組み立て工程が終了したら、総合調整が行われ、露光装置全体としての各種精度が確保される。なお、露光装置の製造は温度およびクリーン度等が管理されたクリーンルームで行うことが望ましい。
半導体素子などの電子デバイスは、デバイスの機能・性能設計を行うステップ、この設計ステップに基づいたレチクルを製作するステップ、シリコン材料からウエハを製作するステップ、前述した実施形態に係る露光装置(パターン形成装置)及びその露光方法によりマスク(レチクル)のパターンをウエハに転写するリソグラフィステップ、露光されたウエハを現像する現像ステップ、レジストが残存している部分以外の部分の露出部材をエッチングにより取り去るエッチングステップ、エッチングが済んで不要となったレジストを取り除くレジスト除去ステップ、デバイス組み立てステップ(ダイシング工程、ボンディング工程、パッケージ工程を含む)、検査ステップ等を経て製造される。この場合、リソグラフィステップで、上記実施形態に係る露光装置を用いて前述の露光方法が実行され、ウエハ上にデバイスパターンが形成されるので、高集積度のデバイスを生産性良く製造することができる。
EL…照明光(露光光)、PO…投影光学系、R…レチクル、RSD…レチクルステージ駆動系、RSI…レチクル干渉計、RST…レチクルステージ、W…ウエハ、WSI…ウエハ干渉計、WSD…ウエハステージ駆動系、WST…ウエハステージ、1…露光装置、3…照明光学装置、4…オプティカル・インテグレータ(フライアイ光学系)、22,23…反射型インテグレータ、31…主制御装置、40…ミラー駆動系、41…反射型エレメント、42…アクチュエータ、420…ベースプレート、43…フレーム、511,512…電極、52…冷却素子、53…配管、55…電磁石、56…磁石。
Claims (19)
- 光学素子を有する光学装置であって、
前記光学素子の光学面と異なる部分で前記光学素子と接触可能な接触面を有するベースと、
前記光学素子が前記ベースから離れた位置で、かつ前記光学素子の前記光学面に光が照射される第1位置と、前記接触面に前記光学素子が接触する第2位置との間で、前記光学素子と前記ベースとを相対的に移動させる移動機構と、
前記第2位置から前記ベースに前記光学素子を接触させる力を発生させる発生装置と、を備える光学装置。 - 前記発生装置は、
前記移動機構とは別に設けられることを特徴とする請求項1に記載の光学装置。 - 前記発生装置は、
前記接触面に前記光学素子を吸着させる吸着装置を有する請求項1又は2に記載の光学装置。 - 前記吸着装置は、
前記接触させる力として、静電力を利用した吸着機構を有する請求項3に記載の光学装置。 - 前記ベースは、前記ベース内に設けられた電極を有し、
前記吸着機構は、前記電極に電圧を印加することにより前記光学素子を前記ベースに吸着する請求項4に記載の光学装置。 - 前記吸着装置は、
前記接触させる力として、磁力を利用した吸着機構を有する請求項3に記載の光学装置。 - 前記光学素子は、少なくとも一部に磁性体または強磁性体を含み、
前記ベースは、前記ベース内に設けられた電磁石を備え、
前記吸着装置は、前記電磁石に電流を流すことにより前記光学素子を前記ベースに吸着する請求項6に記載の光学装置。 - 前記ベースの温度を調整する温度調整装置と、
前記温度調整装置との間で熱を交換するヒートシンクと、をさらに備え、
前記吸着装置は、前記ベースに設けられ、
前記ベースに対して前記光学素子から離れる方向に、前記吸着装置、前記温度調整装置、前記ヒートシンクの順で配置されることを特徴とする請求項4〜7のいずれか一項に記載の光学装置。 - 前記発生装置は、
前記接触面に前記光学素子を押し付ける押付機構を有する請求項1又は2に記載の光学装置。 - 前記発生装置は、
前記第2位置から前記第1位置に前記光学素子を移動する際に、前記接触させる力と反する力を前記光学素子に発生させる請求項1〜9のいずれか一項に記載の光学装置。 - 前記移動機構は、
前記光学素子の光学面とは異なる部分で、前記光学素子を保持することを特徴とする請求項1〜10のいずれか一項に記載の光学装置。 - 前記光学素子を前記ベースから離す脱離装置をさらに備える請求項1〜11のいずれか一項に記載の光学装置。
- 請求項1〜12のいずれか一項に記載の光学装置を備える照明装置。
- 請求項13に記載の照明装置により生成される照明光を照射して物体上にパターンを形成する露光装置。
- 請求項14に記載の露光装置を用いて、デバイスを製造するデバイス製造方法。
- 光学素子の保持方法であって、
前記光学素子の光学面と異なる部分で前記光学素子と接触可能な接触面を有するベースを準備する工程と、
前記光学素子が前記ベースから離れた位置で、かつ前記光学素子の前記光学面に光が照射される第1位置と、前記接触面に前記光学素子が接触する第2位置との間で、前記光学素子と前記ベースとを相対的に移動させる工程と、
前記第2位置から前記ベースに前記光学素子を接触させる力に発生させる工程と、を含む光学素子の保持方法。 - 前記発生させる工程は、
前記接触面に前記光学素子を吸着させる請求項16に記載の光学素子の保持方法。 - 前記発生させる工程は、
前記接触させる力として、静電力を利用する請求項16又は17に記載の光学素子の保持方法。 - 前記発生させる工程は、
前記第2位置から前記第1位置に前記光学素子を移動する際に、前記接触させる力と反する力を前記光学素子に発生させる請求項16〜18のいずれか一項に記載の光学素子の保持方法。
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WO2018061212A1 (ja) * | 2016-09-30 | 2018-04-05 | ギガフォトン株式会社 | チャンバ装置、ターゲット生成方法および極端紫外光生成装置 |
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2013
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