JP2014153357A - 温度測定用パイロメータの校正装置 - Google Patents
温度測定用パイロメータの校正装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014153357A JP2014153357A JP2014018697A JP2014018697A JP2014153357A JP 2014153357 A JP2014153357 A JP 2014153357A JP 2014018697 A JP2014018697 A JP 2014018697A JP 2014018697 A JP2014018697 A JP 2014018697A JP 2014153357 A JP2014153357 A JP 2014153357A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wall
- light
- lid
- light exit
- body housing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 5
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 49
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 43
- 230000005855 radiation Effects 0.000 claims description 41
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims description 22
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 20
- 229910016036 BaF 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 229910004261 CaF 2 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims description 2
- 235000012489 doughnuts Nutrition 0.000 claims description 2
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 17
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 15
- 239000000463 material Substances 0.000 description 13
- 230000005457 Black-body radiation Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006096 absorbing agent Substances 0.000 description 2
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 2
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 2
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 230000036760 body temperature Effects 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- -1 tungsten halogen Chemical class 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/0003—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter
- G01J5/0007—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry for sensing the radiant heat transfer of samples, e.g. emittance meter of wafers or semiconductor substrates, e.g. using Rapid Thermal Processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/02—Constructional details
- G01J5/08—Optical arrangements
- G01J5/0893—Arrangements to attach devices to a pyrometer, i.e. attaching an optical interface; Spatial relative arrangement of optical elements, e.g. folded beam path
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J5/00—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry
- G01J5/52—Radiation pyrometry, e.g. infrared or optical thermometry using comparison with reference sources, e.g. disappearing-filament pyrometer
- G01J5/53—Reference sources, e.g. standard lamps; Black bodies
Abstract
【解決手段】 本発明は、温度測定用パイロメータの測定ばらつきをなくす校正装置に係り、さらに詳しくは、低温の温度をばらつきなしに測定できるように基準値を校正する校正装置に関する。本発明の実施形態による温度測定用パイロメータの校正装置は、輻射エネルギーが放射される輻射空間を有する黒体と、内部空間に前記黒体を設け、前記輻射空間と貫通連結される出光口が形成された出光壁を有するボディハウジングと、前記出光口と向かい合う位置に5μm〜20μmの長波長が透過可能な透明遮断板を備え、前記ボディハウジングの出光壁と結合される出光壁保護蓋体と、前記出光壁保護蓋体を前記ボディハウジングの出光壁に固定する固定体と、を備える。
【選択図】 図3
Description
図6に示すように、ボディハウジングの出光壁100cには、離隔体に形成された蓋体固定孔と向かい合う位置にねじ山内周面を有する蓋体締付溝102が形成されている。このため、各固定体300(たとえば、ねじ山ボルト)が蓋体固定孔201を貫通するときに、ねじ山結合しながら固定体の先端が蓋体締付溝102に嵌め込まれてねじ山結合されることにより、出光壁保護蓋体200をボディハウジングの出光壁100cにねじ山結合によって固定することができる。
40 パイロメータ
41 レンズ
100 ボディハウジング
100c 出光壁
110 黒体
200 出光壁保護蓋体
300 固定体
Claims (11)
- 輻射エネルギーが放射される輻射空間を有する黒体と、
内部空間に前記黒体を設け、前記輻射空間と貫通連結される出光口が形成された出光壁を有するボディハウジングと、
前記出光口と向かい合う位置に5μm〜20μmの長波長が透過可能な透明遮断板を備え、前記ボディハウジングの出光壁と結合される出光壁保護蓋体と、
前記出光壁保護蓋体を前記ボディハウジングの出光壁に固定する固定体と、
を備えることを特徴とする温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記透明遮断板は、BaF2、CaF2、Ge化合物のうちのいずれか一種の材質からなることを特徴とする請求項1に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記透明遮断板は、凸レンズまたは凹レンズ、凸レンズ結合体または凹レンズ結合体、あるいは、凸レンズと凹レンズとの結合体のうちのいずれか一種であることを特徴とする請求項1に記載の温度測定用温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記出光壁保護蓋体は、前記ボディハウジングの出光口と外部を継ぐ通路空間が形成されるように前記ボディハウジングの出光壁に離間して結合されることを特徴とする請求項1に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記出光壁保護蓋体は、
前記ボディハウジングの出光壁と向かい合う内部面と、この内部面の反対面である外部面とを有する蓋体プレートと、
前記出光口と向かい合う位置において前記内部面と外部面を貫通する蓋体貫通口と、
前記蓋体貫通口と貫通連結された中心口を有し、外部面から突出された貫通体であって、前記中心口を遮断する透明遮断板を備える透明遮断板結合体と、
前記内部面から突出されて、突出面が前記ボディハウジングの出光壁と接触可能な離隔体と、
前記離隔体の突出面と外部面を貫通する蓋体固定孔と、
を備えることを特徴とする請求項4に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記内部面の周縁部は、前記蓋体プレートの先端に進むにつれて前記蓋体プレートの厚さを薄くする第1斜面を有することを特徴とする請求項5に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記ボディハウジングの出光壁の周縁部には、前記第1斜面と同じ隙間を有するように前記第1斜面と向かい合う第2斜面が形成されたことを特徴とする請求項6に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記ボディハウジングの出光壁は、
前記出光壁保護蓋体が離間して結合されて覆われる領域である中心出光壁と、
前記出光壁保護蓋体が覆われていない領域である周縁出光壁と、
を備え、
前記中心出光壁の厚さが前記周縁出光壁の厚さよりも小さな厚さ段差を有することを特徴とする請求項5に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記中心出光壁は、
内周と外周を有するドーナツ状を呈し、前記内周は前記出光口に接することを特徴とする請求項8に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。 - 前記出光壁保護蓋体は前記外周の直径よりも小さな直径を有し、前記出光壁保護蓋体が前記中心出光壁の外周内において向かい合って離間して結合されることを特徴とする請求項9に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
- 前記透明遮断板結合体は、
第1内部円周を有し、前記蓋体貫通口の外部面から突出された第1円周突出面を有する第1円周貫通体と、
前記第1内部円周よりも大きな直径を有する第2内部円周を有し、第2内部円周の内部面に形成された第2円周ねじ山を形成した第2円周貫通体と、
内側面と外側面を有し、前記内側面が前記第1円周突出面に載置される透明遮断板と、
前記透明遮断板の外側面と接して前記第2円周ねじ山に沿って結合して、前記透明遮断板を前記第1円周突出面に密着固定する円周リングと、
を備えることを特徴とする請求項5または請求項8に記載の温度測定用パイロメータの校正装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR10-2013-0012781 | 2013-02-05 | ||
KR1020130012781A KR101389003B1 (ko) | 2013-02-05 | 2013-02-05 | 온도측정 파이로미터의 교정 장치 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014153357A true JP2014153357A (ja) | 2014-08-25 |
JP5781644B2 JP5781644B2 (ja) | 2015-09-24 |
Family
ID=50658668
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014018697A Active JP5781644B2 (ja) | 2013-02-05 | 2014-02-03 | 温度測定用パイロメータの校正装置 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9568372B2 (ja) |
JP (1) | JP5781644B2 (ja) |
KR (1) | KR101389003B1 (ja) |
CN (1) | CN103968952B (ja) |
TW (1) | TWI497042B (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014153356A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Ap Systems Inc | 温度測定用パイロメータの校正装置 |
CN107941351A (zh) * | 2016-10-12 | 2018-04-20 | 北京振兴计量测试研究所 | 在真空低温条件下应用的红外定标光源 |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101389003B1 (ko) * | 2013-02-05 | 2014-04-24 | 에이피시스템 주식회사 | 온도측정 파이로미터의 교정 장치 |
CN110031118A (zh) * | 2018-01-11 | 2019-07-19 | 清华大学 | 腔式黑体辐射源以及腔式黑体辐射源的制备方法 |
CN110031116A (zh) * | 2018-01-11 | 2019-07-19 | 清华大学 | 腔式黑体辐射源 |
CN116504685B (zh) * | 2023-06-28 | 2023-09-15 | 盛吉盛半导体科技(北京)有限公司 | 一种红外测温探头校准装置 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6086432A (ja) * | 1983-10-19 | 1985-05-16 | Chino Works Ltd | 黒体炉 |
JPS60118735U (ja) * | 1984-01-21 | 1985-08-10 | 株式会社チノー | 熱遮蔽装置 |
JPS63247587A (ja) * | 1987-04-02 | 1988-10-14 | 株式会社チノー | 温度発生装置 |
JPH01183620A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-21 | Nippon Steel Corp | 光ファイバ用プローブ |
JP2002257642A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 温度校正方法および装置 |
US20080149861A1 (en) * | 2006-12-22 | 2008-06-26 | Wilcken Stephen K | Low-temperature adjustable blackbody apparatus |
KR20110053036A (ko) * | 2009-11-13 | 2011-05-19 | 한국기초과학지원연구원 | 진공 흑체 챔버 |
JP2014153356A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Ap Systems Inc | 温度測定用パイロメータの校正装置 |
Family Cites Families (27)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS57131027A (en) * | 1981-02-06 | 1982-08-13 | Shisaka Kenkyusho:Kk | Black body furnace |
JPS58160828A (ja) * | 1982-03-18 | 1983-09-24 | Chino Works Ltd | 黒体炉 |
JPS60118735A (ja) | 1983-12-01 | 1985-06-26 | Ube Ind Ltd | ポリアミド・ポリオレフィン組成物 |
US4708474A (en) * | 1985-11-14 | 1987-11-24 | United Technologies Corporation | Reflection corrected radiosity optical pyrometer |
US5408100A (en) * | 1991-12-24 | 1995-04-18 | Hughes Missile Systems Company | Chromatic radiance attenuator |
JP3466644B2 (ja) | 1992-08-31 | 2003-11-17 | 株式会社東芝 | ガス絶縁母線 |
TW269726B (en) * | 1995-04-13 | 1996-02-01 | Ind Tech Res Inst | Calibrating device for optical pyrometer |
US5820261A (en) * | 1995-07-26 | 1998-10-13 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a rapid thermal processing system |
JP3204605B2 (ja) * | 1995-09-12 | 2001-09-04 | 日本鋼管株式会社 | 光ファイバー温度計の校正方法 |
US6179465B1 (en) * | 1996-03-28 | 2001-01-30 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for infrared pyrometer calibration in a thermal processing system using multiple light sources |
US6144031A (en) * | 1997-04-21 | 2000-11-07 | Inframetrics Inc. | Infrared video camera system with uncooled focal plane array and radiation shield |
US6293696B1 (en) * | 1999-05-03 | 2001-09-25 | Steag Rtp Systems, Inc. | System and process for calibrating pyrometers in thermal processing chambers |
US6447160B1 (en) * | 1999-11-02 | 2002-09-10 | Advanced Monitors Corp. | Blackbody cavity for calibration of infrared thermometers |
US6940073B1 (en) * | 2002-11-08 | 2005-09-06 | Georgia Tech Research Corporation | Method for determining the concentration of hydrogen peroxide in a process stream and a spectrophotometric system for the same |
US7297938B2 (en) * | 2004-03-22 | 2007-11-20 | Advanced Biophotonics, Inc. | Integrated black body and lens cap assembly and methods for calibration of infrared cameras using same |
US7148450B2 (en) * | 2004-10-20 | 2006-12-12 | Industrial Technology Research Institute | Portable blackbody furnace |
JP4565159B2 (ja) * | 2005-10-14 | 2010-10-20 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 温度定点セル、温度定点装置および温度計校正方法 |
JP4639383B2 (ja) * | 2006-02-24 | 2011-02-23 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 温度定点セル、温度定点装置及び温度計校正方法 |
TWI312861B (en) * | 2007-02-13 | 2009-08-01 | Ind Tech Res Inst | Standard radiation source |
TWI346199B (en) * | 2007-11-30 | 2011-08-01 | Ind Tech Res Inst | Radiation apparatus with capability of preventing heat convection |
EP2251658B1 (en) * | 2009-05-12 | 2012-01-25 | LayTec Aktiengesellschaft | Method for calibrating a pyrometer, method for determining the temperature of a semiconducting wafer and system for determining the temperature of a semiconducting wafer |
CN101666684B (zh) * | 2009-09-28 | 2011-02-02 | 北京航空航天大学 | 一种双圆锥腔体串联结构的毫米波黑体辐射定标源 |
CN101873728B (zh) * | 2010-05-05 | 2012-01-04 | 中国计量学院 | 黑体空腔辐射源 |
CN202013242U (zh) * | 2010-12-22 | 2011-10-19 | 中国计量科学研究院 | 一种带校准附件的黑体辐射源腔体装置 |
US8888360B2 (en) * | 2010-12-30 | 2014-11-18 | Veeco Instruments Inc. | Methods and systems for in-situ pyrometer calibration |
CN102768073A (zh) * | 2011-06-24 | 2012-11-07 | 戈达·乔蒂 | 用于熔融金属等物质温度测量的浸入式传感器及其测量方法 |
KR101389003B1 (ko) * | 2013-02-05 | 2014-04-24 | 에이피시스템 주식회사 | 온도측정 파이로미터의 교정 장치 |
-
2013
- 2013-02-05 KR KR1020130012781A patent/KR101389003B1/ko active IP Right Grant
-
2014
- 2014-01-29 CN CN201410043567.7A patent/CN103968952B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2014-01-29 TW TW103103571A patent/TWI497042B/zh active
- 2014-02-03 JP JP2014018697A patent/JP5781644B2/ja active Active
- 2014-02-05 US US14/173,795 patent/US9568372B2/en active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6086432A (ja) * | 1983-10-19 | 1985-05-16 | Chino Works Ltd | 黒体炉 |
JPS60118735U (ja) * | 1984-01-21 | 1985-08-10 | 株式会社チノー | 熱遮蔽装置 |
JPS63247587A (ja) * | 1987-04-02 | 1988-10-14 | 株式会社チノー | 温度発生装置 |
JPH01183620A (ja) * | 1988-01-14 | 1989-07-21 | Nippon Steel Corp | 光ファイバ用プローブ |
JP2002257642A (ja) * | 2001-03-02 | 2002-09-11 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 温度校正方法および装置 |
US20080149861A1 (en) * | 2006-12-22 | 2008-06-26 | Wilcken Stephen K | Low-temperature adjustable blackbody apparatus |
KR20110053036A (ko) * | 2009-11-13 | 2011-05-19 | 한국기초과학지원연구원 | 진공 흑체 챔버 |
JP2014153356A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Ap Systems Inc | 温度測定用パイロメータの校正装置 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014153356A (ja) * | 2013-02-05 | 2014-08-25 | Ap Systems Inc | 温度測定用パイロメータの校正装置 |
US9500530B2 (en) | 2013-02-05 | 2016-11-22 | Ap Systems Inc. | Apparatus for calibrating pyrometer |
CN107941351A (zh) * | 2016-10-12 | 2018-04-20 | 北京振兴计量测试研究所 | 在真空低温条件下应用的红外定标光源 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201432231A (zh) | 2014-08-16 |
TWI497042B (zh) | 2015-08-21 |
US9568372B2 (en) | 2017-02-14 |
CN103968952B (zh) | 2017-04-12 |
US20140219310A1 (en) | 2014-08-07 |
KR101389003B1 (ko) | 2014-04-24 |
CN103968952A (zh) | 2014-08-06 |
JP5781644B2 (ja) | 2015-09-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5781644B2 (ja) | 温度測定用パイロメータの校正装置 | |
Hartmann | High-temperature measurement techniques for the application in photometry, radiometry and thermometry | |
CN106338469A (zh) | 光学特性测定系统以及光学特性测定系统的校正方法 | |
JP4545812B2 (ja) | 複数の光源を用いたパイロメータの校正 | |
JP2006078501A (ja) | 熱処理システムの赤外パイロメータの校正装置 | |
JPH09119868A (ja) | 熱処理システムにおける赤外線パイロメータキャリブレーションの方法及び装置 | |
US20130343425A1 (en) | Radiation thermometer using off-focus telecentric optics | |
US6641302B2 (en) | Thermal process apparatus for a semiconductor substrate | |
JP5781643B2 (ja) | 温度測定用パイロメータの校正装置 | |
JP2006098295A (ja) | 放射率測定装置 | |
JP6473196B2 (ja) | 医療温度計および医療温度計の使用方法 | |
TWI759489B (zh) | 用於連續頻譜的透射高溫量測術的系統及方法 | |
Virgo et al. | low-Cost, High-Performance Alternatives for Target Temperature Monitoring Using the Near-Infrared Spectrum | |
Mekhontsev et al. | Emissivity evaluation of fixed-point blackbodies | |
Zundong et al. | Precision photoelectric pyrometer and its calibration | |
US20080259994A1 (en) | Infrared Radiation Temperature Measuring System with Error Source Radiance Optical Filtering System and Method Using the Same | |
Scopatz et al. | Comparison of emissivity evaluation methods for infrared sources | |
Poulsen et al. | Temperature and wavelength dependent emissivity of a shocked surface: A first experiment | |
Reichel et al. | Radiation Thermometry—Sources of Uncertainty During Contactless Temperature Measurement |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20141222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150106 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150306 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20150331 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150610 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20150707 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20150715 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5781644 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |