JP2014146828A - 成膜方法、成膜装置、および成膜装置の使用方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理容器内にSiソースガスとしてジイソプロピルアミノシラン(DIPAS)ガスを供給し且つ酸化種として酸素含有ガスのプラズマを供給し且つ処理温度として室温を使用して、前記処理容器内で被処理体の表面にSiO2膜を形成する成膜処理を行い、先行の前記成膜処理と次の前記成膜処理との間に、前記被処理体を前記処理容器から搬出した状態で、前記処理容器内を排気しつつ前記処理容器内に前記DIPASガスを供給することなく前記酸素含有ガスのプラズマを供給し且つ処理温度として室温を使用した酸化パージ処理を行う。
【選択図】図3
Description
図1は本発明の実施形態に係る成膜装置(縦型プラズマALD装置)を示す断面図である。図2は図1図示の装置の一部を示す横断平面図である。なお、図2においては、加熱機構を省略している。
クリーニングガス供給機構41は、クリーニングガス供給源42と、ガス供給源42から延びるガス配管43とを有している。ガス配管43は途中で分岐して、ガス配管18およびガス配管21に接続されている。
また、プラズマ生成機構30は、このプラズマ区画壁32の両側壁の外面に上下方向に沿って互いに対向するようにして配置された細長い一対のプラズマ電極33と、このプラズマ電極33に給電ライン34を介して接続され高周波電力を供給する高周波電源35とを有している。そして、上記プラズマ電極33に高周波電源35から例えば13.56MHzの高周波電圧を印加することにより酸素含有ガスのプラズマが発生し得る。なお、この高周波電圧の周波数は13.56MHzに限定されず、他の周波数、例えば400kHz等を用いてもよい。
Siソースガスは、例えばトリスジメチルアミノシラン(3DMAS)、テトラキスジメチルアミノシラン(4DMAS)、ビスターシャリブチルアミノシラン(BTBAS)、ジイソプロピルアミノシラン(DIPAS)等のアミノシランガスからなる。
このとき、必要に応じて、プラズマ生成機構30の高周波電源35をオンにして高周波電界を形成し、この高周波電界により酸素含有ガス、例えばO2ガスをプラズマ化する。そして、このようにプラズマ化された酸素含有ガスが酸化種として処理容器1内に供給される。これにより、処理容器1内に堆積して成膜処理においてパーティクル発生の原因となる反応性Si含有物質を含む副生成物膜に対して酸化を行う。この酸化パージ処理における酸化の時間は60〜3600secが好ましい。酸素含有ガスとしては、O2ガスの他、CO2ガス、NOガス、N2Oガス、H2Oガス、O3ガスを挙げることができ、これらを必要に応じて高周波電界によりプラズマ化して酸化種として用いる。酸化種としては、O2プラズマが好ましい。なお、O3ガスを用いる場合にはプラズマは不要である。
クリーニング処理では、処理容器1内に製品用のウエハが搭載されていないウエハボート5を保温筒7に載せた状態で、所定の温度に加熱された処理容器1内にその下方から上昇させることによりロードする。次に、蓋部9でマニホールド3の下端開口部を閉じることにより処理容器1内を密閉空間とする。次に、処理容器1内を排気しながら、クリーニングガス供給源42からガス配管43、18、21、ガス分散ノズル19、22を経て、クリーニングガスとして、例えばHFガス、F2ガス、ClF3ガス等のフッ素含有ガスを処理容器1内に供給する。これにより、処理容器1の内壁、ウエハボート5、保温筒7、ガス分散ノズル19、22に付着した反応生成物を除去する。クリーニング処理の際の処理容器1内の温度は、0〜600℃、好ましく25〜475℃に設定する。
実験において、Siソースガスとして1価のアミノシラン(DIPAS)を用い、酸化種としてO2プラズマを用いてALDにより成膜を繰り返した際のウエハ上の0.05μm以上のパーティクル数を測定した。図5はこの実験の結果を示す図であり、この図から、成膜回数が増加するほどパーティクル数が増加していることがわかる。図6は、図5のうち0.05〜0.2μmの微小パーティクル数と成膜回数(累積膜厚)との関係を示す図である。図6に示すように、パーティクルの大部分が0.05〜0.2μmの範囲の微小なものであることが判明した。
アミノシラン+(O*、O2 *)→SiO2+アミン↑ ・・・(1)
図10(a)はこの実験において用いた比較例のシーケンスを示す図であり、ここで、後処理として、N2ガスをパージガスとして用いてサイクルパージを行った。図10(b)はこの実験において用いた実施例のシーケンスを示す図であり、ここで、後処理として、O2プラズマを用いたパージ(酸化パージ)を行った。
図11(a)、(b)、(c)は、図10(a)、(b)のシーケンスで形成したSiO2膜中の炭素・窒素化合物の分析結果を示す図である。図11(a)、(b)、(c)に示すように、各成膜処理後で行うサイクルパージをO2プラズマパージに代えることにより、炭素・窒素化合物が減少することがわかった。このことから、先行の成膜処理と次の成膜処理との間でO2プラズマパージにより酸化パージ処理することにより、処理容器の内壁に堆積した膜中のアミン系物質の量が減少することが見出された。
すなわち、処理容器内壁に堆積した膜には、主成分であるSiO2の他に、反応生成物であるアミンと、未反応のアミノシランが含まれており、この未反応のアミノシランが気相中に放出されると、酸化種であるO2プラズマと反応して固体の酸化物となり、これが0.2μm以下の微小パーティクルになるものと考えられる。したがって、成膜処理中における処理容器1の内壁に堆積した膜からのアミノシランの放出を減少させることが微小パーティクルの減少に有効である。そのために、本実施形態では先行の成膜処理と次の成膜処理との間にO2プラズマパージ(酸化パージ)を行う。
成膜済みのウエハWを搭載したウエハボート5を処理容器1から搬出した後に行う酸化パージ処理においては、処理容器1内の酸化パージ処理温度を室温とし、真空排気機構VEMによって処理容器1内を排気しながら、下記の操作を行う。
5;ウエハボート
14;酸素含有ガス供給機構
15;Siソースガス供給機構
16;パージガス供給機構
19;ガス分散ノズル
22;ガス分散ノズル
30;プラズマ生成機構
33;プラズマ電極
35;高周波電源
40;加熱機構
100;成膜装置
201;成膜処理
202;酸化パージ処理
W;半導体ウエハ(被処理体)
Claims (11)
- 処理容器内にSiソースガスとしてジイソプロピルアミノシラン(DIPAS)ガスを供給し且つ酸化種として酸素含有ガスのプラズマを供給し且つ処理温度として室温を使用して、前記処理容器内で被処理体の表面にSiO2膜を形成する成膜処理を行う成膜方法であって、
先行の前記成膜処理と次の前記成膜処理との間に、
前記被処理体を前記処理容器から搬出した状態で、前記処理容器内を排気しつつ前記処理容器内に前記DIPASガスを供給することなく前記酸素含有ガスのプラズマを供給し且つ処理温度として室温を使用した酸化パージ処理を行うことを特徴とする成膜方法。 - 前記方法は、前記成膜処理により形成される前記SiO2膜の累積膜厚が2〜5μm内の所定値に到達した後、次に前記成膜処理を行う前に、前記処理容器内に堆積した副生成物膜を除去するクリーニング処理を行うことを更に具備し、前記クリーニング処理は、前記処理容器内を排気しながら前記処理容器内にフッ素含有ガスを供給して、前記副生成物膜をエッチングすることを特徴とする請求項1に記載の成膜方法。
- 前記クリーニング処理は、前記処理容器内の処理温度として室温を使用し、前記フッ素含有ガスとしてHFガスを供給することを特徴とする請求項2に記載の成膜方法。
- 前記成膜処理は、前記DIPASガスを前記処理容器内へ供給する工程と、前記酸素含有ガスを前記処理容器内へ供給する工程を、前記処理容器内に残留しているガスを除去する工程を挟んで交互に実施することを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記酸素含有ガスは、O2ガス、CO2ガス、NOガス、N2Oガス、H2Oガスから選択される少なくとも1種であることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記成膜処理の前記DIPASガスを供給する工程は、前記処理容器内の圧力を13.3〜3990Paに設定し、前記酸素含有ガスのプラズマを供給する工程は、前記酸素含有ガスとしてO2ガスを使用し、前記処理容器内の圧力を13.3〜1333Paに設定することを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 前記酸化パージ処理の前記酸素含有ガスのプラズマを供給する工程は、前記処理容器内の圧力を13.3〜1333Paに設定することを特徴とする請求項6に記載の成膜方法。
- 前記処理容器は、複数の被処理体を多段に保持する保持部材を収容するように構成され、前記酸化パージ処理は、次に前記成膜処理を行うバッチの被処理体を前記保持部材上に準備する操作を前記処理容器外で行うことと並行して行うことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか一項に記載の成膜方法。
- 成膜装置であって、
真空保持可能な縦型の処理容器と、
前記処理容器内で複数の被処理体を多段に保持した状態で保持する保持部材と、
前記処理容器に対して前記保持部材を搬入出する搬入出機構と、
前記処理容器内へSiソースガスとしてジイソプロピルアミノシラン(DIPAS)ガスを供給するソースガス供給機構と、
前記処理容器内へ酸素含有ガスを供給する酸素含有ガス供給機構と、
前記処理容器に取り付けられた前記酸素含有ガスをプラズマ化するプラズマ生成機構と、
前記処理容器内を排気する排気系と、
装置動作を制御する制御機構と、
を具備し、前記制御機構は、
請求項1から請求項8のいずれか一項に記載された成膜方法が実行されるように、前記装置動作を制御することを特徴とする成膜装置。 - 成膜装置の使用方法であって、
前記成膜装置は、
真空保持可能な縦型の処理容器と、
前記処理容器内で複数の被処理体を多段に保持した状態で保持する保持部材と、
前記処理容器内へSiソースガスとしてジイソプロピルアミノシラン(DIPAS)ガスを供給するソースガス供給系と、
前記処理容器内へ酸素含有ガスを供給する酸素含有ガス供給系と、
前記処理容器に取り付けられた前記酸素含有ガスをプラズマ化するプラズマ生成機構と、
前記処理容器内を排気する排気系と、
を具備し、
前記成膜装置による成膜処理は、
前記処理容器内の成膜処理温度として室温を使用し、
前記排気系によって前記処理容器内を排気しながら前記ソースガス供給系から前記処理容器内へ前記DIPASガスを供給する工程と、
前記排気系によって前記処理容器内を排気しながら前記酸素含有ガス供給系から前記処理容器内へ前記酸素含有ガスを供給する工程と、ここで、前記プラズマ生成機構により前記酸素含有ガスをプラズマ化しながら供給し、これにより生成された前記酸素含有ガスに由来するラジカルにより、前記DIPASガスに由来する物質を酸化して前記シリコン酸化膜を形成することと、
を具備し、
先行の前記成膜処理と次の前記成膜処理との間に、
前記被処理体を前記処理容器から搬出した状態で、前記処理容器内を排気しつつ前記処理容器内に前記DIPASガスを供給することなく前記酸素含有ガスのプラズマを供給し且つ処理温度として室温を使用した酸化パージ処理を行うことを特徴とする成膜装置の使用方法。 - 前記方法は、前記成膜処理により形成される前記シリコン酸化膜の累積膜厚が2〜5μm内の所定値に到達した後、次に前記成膜処理を行う前に、前記処理容器内に堆積した副生成物膜を除去するクリーニング処理を行うことを更に具備し、前記クリーニング処理は、前記処理容器内の処理温度として室温を使用し、前記処理容器内を排気しながら前記処理容器内にHFガスを供給して、前記副生成物膜をエッチングすることを特徴とする請求項10に記載の成膜装置の使用方法。
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