JP2014135326A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】固体撮像装置10は、画素領域11及び周辺回路領域12を有し、かつ第1及び第2の主面を有する半導体基板20と、半導体基板20の第1の主面に設けられ、周辺回路領域12に電気的に接続された配線構造21と、周辺回路領域12かつ半導体基板20の第2の主面に設けられた配線層42と、配線層42の上方に絶縁層を介して設けられた配線層43と、配線層42、43と配線構造21とを電気的に接続し、半導体基板20を貫通する複数の貫通電極40とを含む。
【選択図】 図4
Description
本実施形態では、固体撮像装置として、裏面照射(BSI:backside illumination)構造を有するCMOSイメージセンサを例に挙げて説明する。
以上詳述したように第1の実施形態では、半導体基板20の裏面側の配線層(裏面配線層)22は、第1レベル配線層及び第2レベル配線層を含む2層の配線層を含み、裏面VSS配線42を第1レベル配線層で形成し、裏面VDD配線43を第2レベル配線層で形成するようにしている。また、裏面VSS配線42及び裏面VDD配線43の各々は、周辺回路領域12を覆うようにプレーン状に形成される。
第2の実施形態は、裏面側の第1及び第2レベル配線層の各々に、VSS配線及びVDD配線を配置する。そして、裏面側の第1レベル配線層と第2レベル配線層との膜厚が異なる場合でも、VSS配線とVDD配線との配線抵抗の差を低減するようにしている。
以上詳述したように第2の実施形態によれば、第1の実施形態の効果に加えて、裏面側の第1レベル配線と第2レベル配線層との膜厚が異なる場合でも、VSS配線とVDD配線との抵抗値の差を低減できる。これにより、固体撮像装置10の電源を安定化させることが可能となる。
第2の実施形態において、裏面側の第1レベル配線層で形成された裏面VSS配線42A及び裏面VDD配線43Aの間には、スリットが形成される。また、裏面側の第2レベル配線層で形成された裏面VSS配線42B及び裏面VDD配線43Bの間にも、スリットが形成される。このスリットから周辺回路領域12に光が入射した場合、周辺回路領域12に形成されたMOSFETからリーク電流が発生してしまう。そこで、第3の実施形態は、裏面側の第1レベル配線層に形成されるスリットと、裏面側の第2レベル配線に形成されるスリットとの位置をずらすことで、遮光性をより向上するようにしている。
第4の実施形態は、VSS配線を裏面側の第1レベル配線層で構成し、さらに、信号配線を裏面側の第2レベル配線層で構成するようにしている。これにより、信号配線を伝送する信号を安定化させ、基板表面の半導体素子(能動素子)から発生するノイズの影響を低減する。
以上詳述したように第4の実施形態によれば、ノイズによる誤動作が発生する危険性が特に高い信号は、ノイズ発生源である基板表面のMOSFET群から離れた基板裏面側で配線される。さらに、裏面信号配線63とMOSFET群との間には裏面VSS配線42が配置され、MOSFET群からのノイズを遮蔽している。これにより、ノイズによる誤動作が発生する危険性が特に高い信号へのMOSFET群から発生するノイズの影響を大幅に低減できる。
第5の実施形態は、裏面VSS配線の形状が第4の実施形態と異なり、ドライバMOSFET及びレシーバMOSFETに電源を供給するVSS配線と、それ以外の半導体素子に電源を供給するVSS配線とを分離するようにしている。
第6の実施形態は、第5の実施形態の構成と比べて、信号配線63の形状を一部変更すると共に、裏面VSS配線のスリットを遮光するために遮光膜を追加するようにしている。
第7の実施形態は、第5の実施形態の構成と比べて、信号配線63用の貫通電極60A、60Bの至近のVSS用の貫通電極の形状を変更すると共に、裏面の第2レベル配線層で形成したシールド配線で信号配線63をシールドするようにしている。
上記各実施形態で説明した固体撮像装置10は、デジタルカメラやカメラ付携帯電話など様々なカメラ付電子機器に適用することができる。図27は、本実施形態の固体撮像装置10を用いたデジタルカメラ100のブロック図である。
Claims (5)
- 画素領域及び周辺回路領域を有し、かつ第1及び第2の主面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1の主面に設けられ、前記周辺回路領域に電気的に接続された複数の第1の配線層を有する配線構造と、
前記周辺回路領域かつ前記半導体基板の第2の主面に設けられた第2の配線層と、
前記第2の配線層の上方に絶縁層を介して設けられた第3の配線層と、
前記第2及び第3の配線層と前記配線構造とを電気的に接続し、前記半導体基板を貫通する複数の貫通電極と、
を具備することを特徴とする固体撮像装置。 - 前記第2及び第3の配線層の各々は、前記周辺回路領域にプレーン状に形成されていることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。
- 前記第2の配線層は、スリットによって分離された複数の第1の配線部分からなり、
前記第3の配線層は、スリットによって分離された複数の第2の配線部分からなることを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記画素領域の一部かつ前記半導体基板の第2の主面に設けられた遮光膜をさらに具備し、
前記第2及び第3の配線層は、前記遮光膜と同じ材料で構成されることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の固体撮像装置。 - 前記第2及び第3の配線層は、電源線又は信号線であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の固体撮像装置。
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