JP2014133933A - Laminate mask, and manufacturing method of laminate mask - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method of a laminate mask that is formed by laminating metal sheets and resin sheets and is hardly damaged.SOLUTION: A manufacturing method of a laminate mask 20 comprises a step for etching a laminate body 30 having a resin layer 34 and a metal layer 32 laminated on the resin layer 34 to segment the metal layer 32 into a plurality of metal sheets 21 and forming first holes 61 in the metal sheets 21, a step for radiating a laser beam into each first hole 61 to form second holes 62 that penetrate the resin layer 34 and communicate with the first holes 61 in the resin layer 34, and a step for cutting the resin layer 34 in a region between adjacent metal sheets 21 in a plan view, segmenting the resin layer 34 into a plurality of resin sheets 24 to manufacture a laminate mask 20 having the resin sheets 24 and the metal sheets 21.

Description

本発明は、金属製シートと樹脂製シートとが積層された積層マスクに関し、とりわけ、所望のパターンでパターニングを行うために用いられる積層マスクに関する。また、本発明は、この積層マスクを製造する製造方法に関する。   The present invention relates to a laminated mask in which a metal sheet and a resin sheet are laminated, and more particularly to a laminated mask used for patterning in a desired pattern. The present invention also relates to a manufacturing method for manufacturing the laminated mask.

従来、所望のパターンで配列された孔を含む蒸着用マスクを用い、所望のパターンで薄膜を形成する方法が知られている。そして、昨今においては、例えば有機ＥＬ表示装置の製造時において有機材料を基板上に蒸着する場合等、蒸着によって極めて高精細なパターニングを行うことが強く要望されている。   Conventionally, a method of forming a thin film with a desired pattern using a vapor deposition mask including holes arranged in a desired pattern is known. In recent years, for example, when an organic material is vapor-deposited on a substrate at the time of manufacturing an organic EL display device, it is strongly desired to perform extremely high-definition patterning by vapor deposition.

そこで、近年では、金属製シートと樹脂製シートとを積層させた積層シートに、複数の貫通孔を形成して作製される積層マスクの開発が進められている。このような積層マスクによれば、金属製シートと樹脂製シートとの物理的乃至化学的特性の相違を利用して、樹脂製シートに微細な孔を所望のパターンで高精度に配列することができると期待されている。   Therefore, in recent years, development of a laminated mask produced by forming a plurality of through holes in a laminated sheet obtained by laminating a metal sheet and a resin sheet has been promoted. According to such a laminated mask, fine holes can be arranged in a desired pattern with high accuracy using a difference in physical or chemical properties between a metal sheet and a resin sheet. It is expected to be possible.

このような積層マスクは、一例として以下のようにして製造され得る。先ず、帯状の金属層と帯状の樹脂層とが積層された積層体をエッチングして、金属層を複数の金属製シートに分断し、且つ、金属製シートに第１孔を形成する。次に、樹脂層に、当該樹脂層を貫通し且つ第１孔に通じる第２孔を形成する。これにより、第１孔および第２孔からなる貫通孔孔が形成される。そして、金属製シートの外輪郭に沿って樹脂層を手作業で引き裂いて複数の樹脂製シートに分断する。これにより、金属製シートと樹脂製シートとを有する積層マスクが作製される。   Such a laminated mask can be manufactured as follows as an example. First, the laminated body in which the band-shaped metal layer and the band-shaped resin layer are stacked is etched to divide the metal layer into a plurality of metal sheets and to form first holes in the metal sheet. Next, a second hole that penetrates the resin layer and communicates with the first hole is formed in the resin layer. Thereby, the through-hole which consists of a 1st hole and a 2nd hole is formed. Then, the resin layer is torn manually along the outer contour of the metal sheet and divided into a plurality of resin sheets. Thereby, the lamination mask which has a metal sheet and a resin sheet is produced.

しかしながら、樹脂層を手作業で引き裂いて複数の樹脂製シートに分断すると、樹脂製シートの外輪郭の形状を安定させることができない。また、樹脂層を手作業で引き裂いて複数の樹脂製シートに分断する際に、積層マスクにキズや凹みを付けたり、積層された金属製シートと樹脂製シートとが剥離してしまうことがあり、歩留まりの低下を引き起こしていた。すなわち、従来の製造方法では、積層マスクを安定して作製することができない。   However, if the resin layer is torn manually and divided into a plurality of resin sheets, the shape of the outer contour of the resin sheet cannot be stabilized. Also, when tearing the resin layer manually and dividing it into multiple resin sheets, the laminated mask may be scratched or dented, or the laminated metal sheet and resin sheet may peel off. , Was causing a drop in yield. That is, the conventional manufacturing method cannot stably produce a laminated mask.

また、手作業で引き裂いて樹脂製シートを分断する場合、作製された積層マスクの平面視において、金属製シートの外輪郭が、部分的または全体的に、樹脂製シートの外輪郭よりも外側に位置することもある。このような積層マスクは、取り扱い中（例えば搬送中や開梱中）に、金属製シートが、外部の部位、部材等（例えば梱包ケース）と接触し、破損してしまうことがある。すなわち、従来の積層マスクは、取り扱い中に損傷しやすいといった不具合を有している。   In addition, when the resin sheet is divided by tearing manually, the outer contour of the metal sheet is partially or entirely outside the outer contour of the resin sheet in the plan view of the produced laminated mask. May be located. In such a laminated mask, a metal sheet may come into contact with an external part, member, etc. (for example, a packing case) during handling (for example, during transportation or unpacking), and may be damaged. That is, the conventional laminated mask has a defect that it is easily damaged during handling.

本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、積層マスクを安定して作製することができる製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、損傷しにくい積層マスクを提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above points, and an object of the present invention is to provide a production method capable of stably producing a laminated mask. Another object of the present invention is to provide a laminated mask that is not easily damaged.

本発明による積層マスクの製造方法は、
樹脂層と、前記樹脂層上に積層された金属層と、を有する積層体の前記金属層をエッチングして、複数の金属製シートに分断し、且つ、前記金属製シートに第１孔を形成する工程と、
各第１孔内にレーザ光を照射して、前記樹脂層を貫通し且つ前記第１孔に通じる第２孔を前記樹脂層に形成する工程と、
平面視において隣り合う前記金属製シートの間となる領域にて前記樹脂層を切断して、前記樹脂層を複数の樹脂製シートに分断し、前記樹脂製シートと前記金属製シートとを有する積層マスクを作製する工程と、
を備える。 A method for manufacturing a laminated mask according to the present invention includes:
Etching the metal layer of the laminate having a resin layer and a metal layer laminated on the resin layer to divide the metal layer into a plurality of metal sheets, and to form a first hole in the metal sheet And a process of
Irradiating each first hole with laser light to form a second hole in the resin layer that penetrates the resin layer and communicates with the first hole;
A laminate having the resin sheet and the metal sheet, the resin layer being cut into a plurality of resin sheets by cutting the resin layer in a region between the metal sheets adjacent in plan view. Producing a mask;
Is provided.

本発明による積層マスクの製造方法における前記樹脂層を切断する工程において、レーザ光を照射して前記樹脂層を切断してもよい。   In the step of cutting the resin layer in the method for manufacturing a laminated mask according to the present invention, the resin layer may be cut by irradiating a laser beam.

本発明による積層マスクの製造方法における前記樹脂層を切断する工程において照射されるレーザ光は、スポット径を調整可能になっており、前記レーザ光のスポット径を調整することにより、前記金属製シートの外輪郭と前記樹脂製シートの外輪郭との平面視におけるズレを調整してもよい。   The laser beam irradiated in the step of cutting the resin layer in the method for manufacturing a laminated mask according to the present invention can adjust the spot diameter, and the metal sheet can be adjusted by adjusting the spot diameter of the laser beam. The deviation in plan view between the outer contour of the resin sheet and the outer contour of the resin sheet may be adjusted.

本発明による積層マスクの製造方法において、平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭よりも内側に位置していてもよい。   In the laminated mask manufacturing method according to the present invention, the outer contour of the metal sheet may be located inside the outer contour of the resin sheet in plan view.

本発明による積層マスクの製造方法において、平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭と重なっていてもよい。   In the laminated mask manufacturing method according to the present invention, the outer contour of the metal sheet may overlap with the outer contour of the resin sheet in plan view.

本発明による積層マスクは、
金属製シートと、
前記金属製シートに積層された樹脂製シートと、
を備え、
前記金属製シートおよび前記樹脂製シートを貫通する複数の貫通孔が形成されており、
平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭よりも内側に位置している。 The laminated mask according to the present invention is
A metal sheet;
A resin sheet laminated on the metal sheet;
With
A plurality of through holes penetrating the metal sheet and the resin sheet are formed,
In a plan view, the outer contour of the metal sheet is located inside the outer contour of the resin sheet.

あるいは、本発明による積層マスクは、
金属製シートと、
前記金属製シートに積層された樹脂製シートと、
を備え、
前記金属製シートおよび前記樹脂製シートを貫通する複数の貫通孔が形成されており、
平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭と重なっている。 Alternatively, the laminated mask according to the present invention is:
A metal sheet;
A resin sheet laminated on the metal sheet;
With
A plurality of through holes penetrating the metal sheet and the resin sheet are formed,
In plan view, the outer contour of the metal sheet overlaps with the outer contour of the resin sheet.

本発明による前記いずれかの積層マスクにおいて、前記貫通孔は、前記金属製シートに形成された第１孔と、前記樹脂製シートに形成された第２孔と、により形成されていてもよい。   In any one of the laminated masks according to the present invention, the through hole may be formed by a first hole formed in the metal sheet and a second hole formed in the resin sheet.

本発明による積層マスクにおいて、
前記金属製シートは、前記樹脂製シートと反対側の第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有し、
前記樹脂製シートは、前記金属製シート側の第３面および前記第３面とは反対側の第４面を有し、
前記金属製シートの法線方向に沿った断面における各第１孔の輪郭は、前記金属製シートのシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、前記金属製シートの法線方向に沿って前記第１面の側から前記第２面の側へ向かうにつれて、前記金属製シートのシート面に平行な方向に互いに接近していく一対の第１部分を有し、
前記樹脂製シートの法線方向に沿った前記断面における各第２孔の輪郭は、前記樹脂製シートのシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、前記樹脂製シートの法線方向に沿って前記第３面の側から前記第４面の側へ向かうにつれて、前記樹脂製シートのシート面に平行な方向に互いに接近していく一対の第２部分を有してもよい。 In the laminated mask according to the present invention,
The metal sheet has a first surface opposite to the resin sheet and a second surface opposite to the first surface;
The resin sheet has a third surface on the metal sheet side and a fourth surface opposite to the third surface,
The outline of each first hole in the cross section along the normal direction of the metal sheet is disposed to face the direction parallel to the sheet surface of the metal sheet, and each is the normal direction of the metal sheet. A pair of first portions that approach each other in a direction parallel to the sheet surface of the metal sheet as it goes from the first surface side to the second surface side along
The outline of each second hole in the cross section along the normal direction of the resin sheet is disposed to face the direction parallel to the sheet surface of the resin sheet, and each is a normal line of the resin sheet. You may have a pair of 2nd part which mutually approaches in the direction parallel to the sheet | seat surface of the said resin-made sheets as it goes to the said 4th surface side from the said 3rd surface side along a direction.

本発明による積層マスクにおいて、前記金属製シートの法線方向に沿った前記断面において、前記第１部分は、湾曲形状となっていてもよい。   In the laminated mask according to the present invention, the first portion may have a curved shape in the cross section along the normal direction of the metal sheet.

本発明による積層マスクにおいて、前記金属製シートの法線方向に沿った断面において、前記第１部分の両端部を結ぶ線分が前記金属製シートの法線方向に対してなす角度は、前記第２部分の両端部を結ぶ線分が前記金属製シートの法線方向に対してなす角度よりも大きくてもよい。   In the laminated mask according to the present invention, in a cross section along the normal direction of the metal sheet, an angle formed by a line segment connecting both ends of the first portion with respect to the normal direction of the metal sheet is A line segment connecting both end portions of the two portions may be larger than an angle formed with respect to the normal direction of the metal sheet.

本発明による積層マスクの製造方法によれば、積層マスクを安定して作製することができる。また、本発明による積層マスクによれば、外部との接触によって損傷してしまうことを効果的に防止することができる。   According to the method for manufacturing a laminated mask according to the present invention, the laminated mask can be stably produced. Moreover, according to the laminated mask by this invention, it can prevent effectively that it will damage by the contact with the exterior.

図１は、本発明の第１の実施の形態による積層マスクを含む積層マスク装置の一例を示す概略斜視図である。FIG. 1 is a schematic perspective view showing an example of a laminated mask apparatus including a laminated mask according to the first embodiment of the present invention. 図２は、図１に示す積層マスク装置を用いて蒸着する方法を説明するための図である。FIG. 2 is a view for explaining a method of vapor deposition using the laminated mask apparatus shown in FIG. 図３は、図１に示された積層マスクを示す平面図である。FIG. 3 is a plan view showing the laminated mask shown in FIG. 図４は、図１に示された積層マスクを拡大して示す部分拡大平面図である。FIG. 4 is a partially enlarged plan view showing the laminated mask shown in FIG. 1 in an enlarged manner. 図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿った断面における断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view taken along line VV in FIG. 図６は、積層マスクの作用を説明するための図である。FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the laminated mask. 図７は、図１に示す積層マスクの製造方法の一例を説明するための図であり、積層体から中間シートを作製する工程を示す。FIG. 7 is a diagram for explaining an example of a method for manufacturing the laminated mask shown in FIG. 1, and shows a step of producing an intermediate sheet from the laminated body. 図８は、積層体の金属製シートにレジストパターンを形成する方法を説明するための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining a method of forming a resist pattern on a metal sheet of a laminate. 図９は、金属製シートをエッチングする方法を説明するための図である。FIG. 9 is a diagram for explaining a method of etching a metal sheet. 図１０は、図１に示す積層マスクの製造方法の一例を説明するための図であり、中間シートから積層マスクを作製する工程を示す。FIG. 10 is a diagram for explaining an example of the manufacturing method of the laminated mask shown in FIG. 1, and shows a process of producing the laminated mask from the intermediate sheet. 図１１は、中間シートにレーザ光を照射して第２孔を形成する方法を説明するための図である。FIG. 11 is a diagram for explaining a method of forming the second hole by irradiating the intermediate sheet with laser light. 図１２は、中間シートにレーザ光を照射して樹脂層を複数の樹脂製シートに分断する方法を説明するための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining a method of dividing the resin layer into a plurality of resin sheets by irradiating the intermediate sheet with laser light. 図１３は、本発明の第２の実施の形態による積層マスクを示す平面図である。FIG. 13 is a plan view showing a laminated mask according to the second embodiment of the present invention. 図１４は、隣り合う貫通孔の壁面同士が接続された積層マスクを示し、（ａ）は、部分平面図であり、（ｂ）は、図１４（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面における断面図である。FIG. 14 shows a laminated mask in which the wall surfaces of adjacent through holes are connected, (a) is a partial plan view, and (b) is a cross section taken along the line AA in FIG. FIG. 図１５は、貫通孔の他の配置例を示す部分拡大平面図である。FIG. 15 is a partially enlarged plan view showing another arrangement example of the through holes. 図１６は、ガラス基板に施されるパターニングの他の例を示す部分平面図である。FIG. 16 is a partial plan view showing another example of patterning applied to a glass substrate. 図１７は、ガラス基板に施されるパターニングの更に他の例を示す部分平面図である。FIG. 17 is a partial plan view showing still another example of patterning applied to a glass substrate. 図１８は、図１６に示すガラス基板に用いられ得る、赤色蒸着材料用の積層マスクの部分平面図である。FIG. 18 is a partial plan view of a laminated mask for red vapor deposition material that can be used for the glass substrate shown in FIG. 16. 図１９は、図６に対応する図であって、従来の両側からエッチングされた金属板からなる積層マスクを用いて蒸着する方法を説明するための図である。FIG. 19 is a view corresponding to FIG. 6 for explaining a conventional method of vapor deposition using a laminated mask made of a metal plate etched from both sides.

≪第１の実施の形態≫
以下、図１乃至図１２を参照して本発明による積層マスクおよび積層マスクの製造方法の第１の実施の形態について説明する。ここで図１乃至図１２は本発明の第１の実施の形態を説明するための図である。なお、以下の実施の形態では、有機ＥＬディスプレイ装置を製造する際に有機発光材料を所望のパターンでガラス基板上にパターニングするために用いられる蒸着用の積層マスクおよび積層マスクの製造方法を例にあげて説明する。ただし、このような適用に限定されることなく、種々の用途に用いられる積層マスクおよび積層マスクの製造方法に対し、本発明を適用することができる。 << First Embodiment >>
A first embodiment of a laminated mask and a method for producing the laminated mask according to the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 12 are diagrams for explaining the first embodiment of the present invention. In the following embodiments, an example of a layered mask for vapor deposition used for patterning an organic light emitting material on a glass substrate in a desired pattern when manufacturing an organic EL display device and a method for manufacturing the layered mask are given as examples. I will explain. However, the present invention is not limited to such an application, and the present invention can be applied to a laminated mask used for various purposes and a method for producing the laminated mask.

最初に、本実施の形態による積層マスクの製造方法により製造され得る積層マスクを含む積層マスク装置の一例について、主に図１乃至図６を参照して説明する。ここで、図１は、本実施の形態による積層マスクを含む積層マスク装置の一例を示す斜視図であり、図２は、図１に示す積層マスク装置の使用方法を説明するための図である。   First, an example of a laminated mask apparatus including a laminated mask that can be manufactured by the method for manufacturing a laminated mask according to the present embodiment will be described mainly with reference to FIGS. Here, FIG. 1 is a perspective view showing an example of a laminated mask device including the laminated mask according to the present embodiment, and FIG. 2 is a diagram for explaining a method of using the laminated mask device shown in FIG. .

図１に示すように、本実施の形態における積層マスク装置１０は、矩形状の積層マスク２０と、積層マスク２０の周縁部に取り付けられたフレーム１５と、を備えている。積層マスク２０は、金属製シート２１と、当該金属製シート２１に積層された樹脂製シート２４と、を備え、積層マスク２０には、金属製シート２１および樹脂製シート２４を貫通する複数の貫通孔２５が形成されている。この積層マスク装置１０は、図２に示すように、積層マスク２０がガラス基板４２に対面するようにして、蒸着装置４０内に支持される。そして、不図示の磁石によって、積層マスク２０とガラス基板４２とが密着するように付勢される。蒸着装置４０内には、この積層マスク装置１０を挟んだガラス基板４２の下方に、蒸着材料（一例として、有機発光材料）４８を収容するるつぼ４４と、るつぼ４４を加熱するヒータ４６とが配置されている。るつぼ４４内の蒸着材料４８は、ヒータ４６からの加熱により、気化または昇華してガラス基板４２の表面に付着するようになる。上述したように、積層マスク２０には多数の貫通孔２５が形成されており、蒸着材料４８はこの貫通孔２５を介してガラス基板４２に付着する。この結果、積層マスク２０の貫通孔２５の位置に対応した所望のパターンで、蒸着材料４８がガラス基板４２の表面に成膜される。   As shown in FIG. 1, the laminated mask device 10 according to the present embodiment includes a rectangular laminated mask 20 and a frame 15 attached to the peripheral edge of the laminated mask 20. The lamination mask 20 includes a metal sheet 21 and a resin sheet 24 laminated on the metal sheet 21, and the lamination mask 20 includes a plurality of penetrations that penetrate the metal sheet 21 and the resin sheet 24. A hole 25 is formed. As shown in FIG. 2, the laminated mask device 10 is supported in the vapor deposition device 40 so that the laminated mask 20 faces the glass substrate 42. And the lamination mask 20 and the glass substrate 42 are urged | biased by the magnet not shown so that it may contact | adhere. In the vapor deposition apparatus 40, a crucible 44 for accommodating a vapor deposition material (for example, an organic light emitting material) 48 and a heater 46 for heating the crucible 44 are disposed below the glass substrate 42 sandwiching the laminated mask apparatus 10. Has been. The vapor deposition material 48 in the crucible 44 is vaporized or sublimated by heating from the heater 46 and adheres to the surface of the glass substrate 42. As described above, a large number of through holes 25 are formed in the laminated mask 20, and the vapor deposition material 48 adheres to the glass substrate 42 through the through holes 25. As a result, the vapor deposition material 48 is formed on the surface of the glass substrate 42 in a desired pattern corresponding to the position of the through hole 25 of the laminated mask 20.

図３に、図１に示された積層マスク２０の平面図を示す。図３に示すように、積層マスク２０の金属製シート２１の外輪郭２１１は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。同様に、樹脂製シート２４の外輪郭２４１は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。そして、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１は、樹脂製シート２４の外輪郭２４１よりも内側に位置している。言い換えると、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１は、樹脂製シート２４の外輪郭２４１によって取り囲まれている。なお、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１の一部が樹脂製シート２４の外輪郭２４１と点状乃至局所的に重なっているような場合でも、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１が樹脂製シート２４の外輪郭２４１よりも内側に位置しているとみなすことができる。   FIG. 3 is a plan view of the laminated mask 20 shown in FIG. As shown in FIG. 3, the outer contour 211 of the metal sheet 21 of the laminated mask 20 has a substantially rectangular shape in plan view, more precisely, a substantially rectangular shape in plan view. Similarly, the outer contour 241 of the resin sheet 24 has a substantially rectangular shape in a plan view, and more precisely, a substantially rectangular shape in a plan view. In the plan view, the outer contour 211 of the metal sheet 21 is located inside the outer contour 241 of the resin sheet 24. In other words, the outer contour 211 of the metal sheet 21 is surrounded by the outer contour 241 of the resin sheet 24 in plan view. Note that, in plan view, even when a part of the outer contour 211 of the metal sheet 21 overlaps the outer contour 241 of the resin sheet 24 in a dotted or local manner, It can be considered that the outer contour 211 is located inside the outer contour 241 of the resin sheet 24.

このような形態によれば、平面視において、シート状の金属製シート２１の外輪郭２１１がシート状の樹脂製シート２４の外輪郭２４１よりも内側に位置しているため、積層マスク２０の取り扱い中（例えば搬送中や開梱中）に、金属製シート２１よりも耐衝撃性のある樹脂製シート２４が、外部の部位、部材等（例えば梱包ケース）に金属製シート２１よりも先に接触し、樹脂製シート２４が緩衝作用を示して外部の部材等からの加重を吸収する。このため、金属製シート２１にまで加重があまり伝わらず、金属製シート２１が破損することを防止することができる。他方で、樹脂製シート２４は金属製シート２１よりも耐衝撃性を有するため、外部の部材等からの加重が樹脂製シート２４に加わっても、当該樹脂製シート２４が破損するおそれは極めて少なくなる。   According to such a form, since the outer contour 211 of the sheet-like metal sheet 21 is located on the inner side of the outer contour 241 of the sheet-like resin sheet 24 in plan view, the handling of the laminated mask 20 is performed. During transport (for example, during transport or unpacking), the resin sheet 24 that is more resistant to impact than the metal sheet 21 comes into contact with external parts, members, etc. (for example, a packing case) before the metal sheet 21. The resin sheet 24 exhibits a buffering action and absorbs a load from an external member or the like. For this reason, it is possible to prevent the metal sheet 21 from being damaged because the load is not transmitted so much to the metal sheet 21. On the other hand, since the resin sheet 24 has higher impact resistance than the metal sheet 21, even if a load from an external member or the like is applied to the resin sheet 24, there is very little possibility that the resin sheet 24 is damaged. Become.

図示する例では、樹脂製シート２４の外輪郭２４１は、平面視において、第１縁部２４２と、当該第１縁部２４２に対向する第２縁部２４３と、第１縁部２４２の一端部および第２縁部２４３の一端部の間を延びる第３縁部２４４と、第１縁部２４２の他端部および第２縁部２４３の他端部の間を延び第３縁部２４４に対向する第４縁部２４５と、を含んでいる。   In the illustrated example, the outer contour 241 of the resin sheet 24 includes a first edge 242, a second edge 243 facing the first edge 242, and one end of the first edge 242 in plan view. And a third edge 244 extending between one end of the second edge 243 and a third edge 244 extending between the other end of the first edge 242 and the other end of the second edge 243. And a fourth edge 245.

本実施の形態では、前述したように、樹脂製シート２４の外輪郭２４１が平面視において矩形状になっており、積層マスク２０の対向する２つの縁部が互いに平行になっている。この場合、積層マスク２０の取り扱い中、例えば輸送中に、平面視において隙間をほどんど設けずに複数の積層マスク２０を並べて配置することができる。このような形態によれば、積層マスク２０の取り扱い中に、ある積層マスク２０が動いてしまっても、隣り合う積層マスク２０に強く接触することはない。このため、積層マスク２０が破損することを効果的に防止することができる。   In the present embodiment, as described above, the outer contour 241 of the resin sheet 24 has a rectangular shape in plan view, and two opposing edges of the laminated mask 20 are parallel to each other. In this case, during the handling of the laminated mask 20, for example, during transportation, a plurality of laminated masks 20 can be arranged side by side with few gaps in plan view. According to such a form, even if a certain laminated mask 20 moves during handling of the laminated mask 20, it does not come into strong contact with the adjacent laminated mask 20. For this reason, it can prevent effectively that the lamination | stacking mask 20 is damaged.

一方、金属製シート２１の外輪郭２１１は、平面視において、第５縁部２１２と、当該第５縁部２１２に対向する第６縁部２１３と、第５縁部２１２の一端部および第６縁部２１３の一端部の間を延びる第７縁部２１４と、第５縁部２１２の他端部および第６縁部２１３の他端部の間を延び第７縁部２１４に対向する第８縁部２１５と、を含んでいる。このうち、金属製シート２１の第５縁部２１２と樹脂製シート２４の第１縁部２４２とが、互いに平行に近接して配置され、金属製シート２１の第６縁部２１３と樹脂製シート２４の第２縁部２４３とが、互いに平行に近接して配置され、金属製シート２１の第７縁部２１４と樹脂製シート２４の第３縁部２４４とが、互いに平行に近接して配置され、金属製シート２１の第８縁部２１５と樹脂製シート２４の第４縁部２４５とが、互いに平行に近接して配置されている。このような形態によれば、金属製シート２１のシート面に沿った任意の方向において、金属製シート２１の外輪郭２１１は、樹脂製シート２４の外輪郭２４１とある程度の間隔を空けて配置されるようになる。このため、金属製シート２１のシート面に沿ったどの方向においても、金属製シート２１が破損することを防止することができる。   On the other hand, the outer contour 211 of the metal sheet 21 includes a fifth edge 212, a sixth edge 213 facing the fifth edge 212, one end of the fifth edge 212, and the sixth edge in the plan view. A seventh edge 214 extending between one end portions of the edge portion 213 and an eighth portion extending between the other end portion of the fifth edge portion 212 and the other end portion of the sixth edge portion 213 and facing the seventh edge portion 214. Edge 215. Among them, the fifth edge 212 of the metal sheet 21 and the first edge 242 of the resin sheet 24 are arranged in close proximity to each other, and the sixth edge 213 of the metal sheet 21 and the resin sheet are arranged. 24, the second edge 243 of the metal sheet 21 and the third edge 244 of the resin sheet 24 are arranged in parallel and close to each other. In addition, the eighth edge 215 of the metal sheet 21 and the fourth edge 245 of the resin sheet 24 are arranged close to each other in parallel. According to such a configuration, the outer contour 211 of the metal sheet 21 is arranged with a certain distance from the outer contour 241 of the resin sheet 24 in an arbitrary direction along the sheet surface of the metal sheet 21. Become so. For this reason, it is possible to prevent the metal sheet 21 from being damaged in any direction along the sheet surface of the metal sheet 21.

一例として、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１と樹脂製シート２４の外輪郭２４１との間の間隔は、１ｍｍ以下に設定される。当該間隔が１ｍｍを超えると、法線方向ｎｄからの加重が樹脂製シート２４の縁部に掛かったときに、当該樹脂製シート２４が、金属製シート２１の外輪郭２１１と重なる領域付近から大きく撓んで破損してしまうおそれがある。   As an example, in a plan view, the interval between the outer contour 211 of the metal sheet 21 and the outer contour 241 of the resin sheet 24 is set to 1 mm or less. When the distance exceeds 1 mm, when the load from the normal direction nd is applied to the edge of the resin sheet 24, the resin sheet 24 is greatly increased from the vicinity of the region overlapping the outer contour 211 of the metal sheet 21. There is a risk of bending and breaking.

このような積層マスク２０の樹脂製シート２４は、優れた強度および弾性をもつ方が好ましい。更に、積層マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置４０の内部に保持されるため、樹脂製シート２４は、熱膨張率が低く、耐熱性を有する方が好ましい。このような樹脂製シート２４として、例えばいわゆるエンジニアリングプラスチックやスーパーエンジニアリングプラスチックが用いられる。具体的には、エンジニアリングプラスチックとして、例えばポリアミド（ＰＡ）やポリカーボネート（ＰＣ）が挙げられ、スーパーエンジニアリングプラスチックとして、例えば、ポリイミド（ＰＩ）や非晶ポリアレート（ＰＡＲ）が挙げられる。これらのうち、樹脂製シート２４としてポリイミドが特に好ましい。ポリイミドは、強固な分子構造をもち、イミド結合が強い分子間力を発揮するため、市場で入手可能な高分子材料のうち極めて高い機械的乃至物理的特性を示す。このため、ポリイミドは、優れた強度および高弾性を呈し、取り扱い中に、外部の部材等からの加重を効果的に吸収することができる。   It is preferable that the resin sheet 24 of the laminated mask 20 has excellent strength and elasticity. Furthermore, since the laminated mask apparatus 10 is held inside the vapor deposition apparatus 40 that is in a high temperature atmosphere, the resin sheet 24 preferably has a low coefficient of thermal expansion and heat resistance. As such a resin sheet 24, for example, so-called engineering plastic or super engineering plastic is used. Specifically, examples of the engineering plastic include polyamide (PA) and polycarbonate (PC), and examples of the super engineering plastic include polyimide (PI) and amorphous polyarate (PAR). Of these, polyimide is particularly preferable as the resin sheet 24. Polyimide has a strong molecular structure and exhibits a strong intermolecular force with an imide bond, and therefore exhibits extremely high mechanical or physical properties among commercially available polymer materials. For this reason, polyimide exhibits excellent strength and high elasticity, and can effectively absorb a load from an external member or the like during handling.

一方、金属製シート２１は、優れた強度を有し、熱膨張率が低い方が好ましい。このような金属製シート２１として、磁石によって積層マスク２０とガラス基板４２とが密着するように付勢される場合には、磁性材が用いられ、一般に、ニッケルー鉄合金が用いられる。一方、磁石による付勢が行われない場合には、銅やステンレス等も用いることができる。   On the other hand, the metal sheet 21 preferably has excellent strength and a low coefficient of thermal expansion. As such a metal sheet 21, a magnetic material is used when the laminated mask 20 and the glass substrate 42 are urged by a magnet so as to be in close contact with each other, and generally a nickel-iron alloy is used. On the other hand, when urging by a magnet is not performed, copper, stainless steel, or the like can be used.

次に、積層マスク２０に形成された貫通孔２５について説明する。図１および図３に示すように、積層マスク２０の金属製シート２１は、貫通孔２５が形成された有孔領域２２と、貫通孔２５が形成されておらず、有孔領域２２の周囲を取り囲む領域を占める無孔領域２３と、を有している。図１および図３に示すように、各有孔領域２２は、平面視において略四角形形状、さらに正確には平面視において略矩形状の輪郭を有している。   Next, the through hole 25 formed in the laminated mask 20 will be described. As shown in FIGS. 1 and 3, the metal sheet 21 of the laminated mask 20 includes a perforated region 22 in which the through holes 25 are formed and a perforated region 22 in which the through holes 25 are not formed. And a non-porous region 23 occupying a surrounding region. As shown in FIGS. 1 and 3, each of the perforated regions 22 has a substantially rectangular shape in a plan view, more precisely, a substantially rectangular shape in a plan view.

本実施の形態において、複数の有孔領域２２は、積層マスク２０の一辺と平行な一方向に沿って所定の間隔を空けて配置されるとともに、前記一方向と直交する他方向に沿って所定の間隔を空けて配置されている。本実施の形態において、一つの有孔領域２２が一つの有機ＥＬディスプレイ装置に対応するようになっている。すなわち、図１に示された積層マスク装置１０（積層マスク２０）によれば、多面付蒸着が可能となっている。   In the present embodiment, the plurality of perforated regions 22 are arranged at a predetermined interval along one direction parallel to one side of the laminated mask 20 and predetermined along another direction orthogonal to the one direction. Are arranged with an interval of. In the present embodiment, one perforated region 22 corresponds to one organic EL display device. That is, according to the laminated mask apparatus 10 (laminated mask 20) shown in FIG.

また、図１および図３に示すように、各有孔領域２２に形成された複数の貫通孔２５は、当該有孔領域２２において、一方向に沿って等しい間隔をあけて並べて配置されている。また、各貫通孔２５は、前記一方向に直交する他方向と平行に、有孔領域２２の一端から他端まで細長く延びている。   As shown in FIGS. 1 and 3, the plurality of through holes 25 formed in each perforated region 22 are arranged side by side at equal intervals in one direction in the perforated region 22. . In addition, each through hole 25 is elongated from one end of the perforated region 22 to the other end in parallel with the other direction orthogonal to the one direction.

ここで、図４および図５を参照して貫通孔２５について更に詳述する。図４は、積層マスク２０を金属製シート２１側から示す部分平面図であり、図５は、図４のＶ−Ｖ線に沿った断面図である。図５に示すように、金属製シート２１は、樹脂製シート２４と反対側の第１面２１ａおよび第１面２１ａとは反対側の第２面２１ｂを有している。樹脂製シート２４は、金属製シート２１側の第３面２４ｃおよび第３面２４ｃとは反対側の第４面２４ｄを有している。複数の貫通孔２５は、金属製シート２１の第１面２１ａと樹脂製シート２４の第４面２４ｄとの間に渡って延びている。また、第１面２１ａから第４面２４ｄに向け、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った各位置における金属製シート２１のシート面に沿った断面での各貫通孔２５の断面積が、しだいに小さくなっていく。とりわけ図示された例では、第１面２１ａから第４面２４ｄに向け、各貫通孔２５の断面積は、小さくなるように変化し続けている。   Here, the through hole 25 will be described in more detail with reference to FIGS. 4 and 5. 4 is a partial plan view showing the laminated mask 20 from the metal sheet 21 side, and FIG. 5 is a cross-sectional view taken along the line V-V in FIG. As shown in FIG. 5, the metal sheet 21 has a first surface 21a opposite to the resin sheet 24 and a second surface 21b opposite to the first surface 21a. The resin sheet 24 has a third surface 24c on the metal sheet 21 side and a fourth surface 24d opposite to the third surface 24c. The plurality of through holes 25 extend between the first surface 21 a of the metal sheet 21 and the fourth surface 24 d of the resin sheet 24. Moreover, the cross-sectional area of each through-hole 25 in the cross section along the sheet surface of the metal sheet 21 at each position along the normal direction nd of the metal sheet 21 from the first surface 21a to the fourth surface 24d. , Gradually getting smaller. In particular, in the illustrated example, the cross-sectional area of each through hole 25 continues to change so as to decrease from the first surface 21a to the fourth surface 24d.

なお、本明細書において、「シート面」とは、対象となるシート状乃至帯状の部材を全体的かつ大局的に見た場合において対象となるシート状部材の平面方向と一致する面のことを指す。本実施の形態では、金属製シート２１の第１面２１ａおよび第２面２１ｂは、金属製シート２１のシート面、樹脂製シート２４のシート面、樹脂製シート２４の第３面２４ａおよび第４面２４ｂと平行になっている。また、金属製シート２１のシート面に直交する法線方向と、樹脂製シート２４のシート面に直交する法線方向とは、互いに平行になっており、これらの法線方向を同一の符号ｎｄを用いて示す。   In this specification, the “sheet surface” refers to a surface that coincides with the planar direction of the target sheet-like member when the target sheet-like or belt-like member is viewed as a whole and globally. Point to. In the present embodiment, the first surface 21 a and the second surface 21 b of the metal sheet 21 are the sheet surface of the metal sheet 21, the sheet surface of the resin sheet 24, and the third surface 24 a and the fourth surface of the resin sheet 24. It is parallel to the surface 24b. Further, the normal direction orthogonal to the sheet surface of the metal sheet 21 and the normal direction orthogonal to the sheet surface of the resin sheet 24 are parallel to each other, and these normal directions are denoted by the same symbol nd. It shows using.

図５に示すように、各貫通孔２５は、金属製シート２１に形成された第１孔２８と、樹脂製シート２４に形成された第２孔２９と、により形成されている。金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った断面における各第１孔２８の輪郭、言い換えると、金属製シート２１のシート面に直交した法線方向ｎｄに沿った断面にて各第１孔２８の壁面の形状（壁面が画成する線分）は、金属製シート２１のシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿って第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向かうにつれて、金属製シート２１のシート面に平行な方向に互いに接近していく一対の第１部分２８ａを有している。一方、樹脂製シート２４の法線方向ｎｄに沿った断面における各第２孔２９の輪郭、言い換えると、樹脂製シート２４のシート面に直交した法線方向ｎｄに沿った断面にて各第２孔２９の壁面の形状（壁面が画成する線分）は、樹脂製シート２４のシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、樹脂製シート２４の法線方向ｎｄに沿って第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて、樹脂製シート２４のシート面に平行な方向に互いに接近していく一対の第２部分２９ａを有している。   As shown in FIG. 5, each through hole 25 is formed by a first hole 28 formed in the metal sheet 21 and a second hole 29 formed in the resin sheet 24. The outline of each first hole 28 in the cross section along the normal direction nd of the metal sheet 21, in other words, each first hole 28 in the cross section along the normal direction nd orthogonal to the sheet surface of the metal sheet 21. The shape of the wall surface (the line segment that the wall surface defines) is arranged to face the direction parallel to the sheet surface of the metal sheet 21, and each of the wall surfaces is first along the normal direction nd of the metal sheet 21. It has a pair of 1st part 28a which approaches mutually in the direction parallel to the sheet | seat surface of the metal sheets 21 as it goes to the 2nd surface 21b side from the surface 21a side. On the other hand, the outline of each second hole 29 in the cross section along the normal direction nd of the resin sheet 24, in other words, each second cross section in the cross section along the normal direction nd orthogonal to the sheet surface of the resin sheet 24. The shape of the wall surface of the hole 29 (the line segment that the wall surface defines) is arranged facing the direction parallel to the sheet surface of the resin sheet 24, and each of them is along the normal direction nd of the resin sheet 24. As it goes from the third surface 24 c side to the fourth surface 24 d side, it has a pair of second portions 29 a that approach each other in a direction parallel to the sheet surface of the resin sheet 24.

図５に示すように、一対の第１部分２８ａは、第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向かうにつれて互いに接近していく。すなわち、一対の第１部分２８ａは、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿って第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向かうにつれて、金属製シート２１のシート面に平行な方向に沿って互いに接近していく。別の見方をみすれば、一対の第１部分２８ａは、第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向かうにつれて先細りになるテーパ形状になっている。   As shown in FIG. 5, the pair of first portions 28a approach each other as they go from the first surface 21a side to the second surface 21b side. That is, the pair of first portions 28a are parallel to the sheet surface of the metal sheet 21 from the first surface 21a side to the second surface 21b side along the normal direction nd of the metal sheet 21. Along with each other. From another point of view, the pair of first portions 28a has a tapered shape that tapers from the first surface 21a toward the second surface 21b.

更に、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った断面において、第１部分２８ａは、湾曲形状となっている。図示された第１部分２８ａの断面輪郭は、当該第１部分２８ａ上の任意の地点における、金属製シート２１の法線方向ｎｄに対する傾斜角度が、当該地点よりも法線方向ｎｄに沿って第１面２１ａ側となる地点における傾斜角度より大きくなっている。すなわち、第１部分２８ａは、第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向かうにつれて法線方向ｎｄに対する傾斜角度が徐々に大きくなっていく。この場合、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った断面において、第１部分２８ａの両端部を結ぶ線分Ｌ１に対して、第１部分２８ａは、第２面２１ｂ側に位置することになる。なお、この第１部分２８ａの形状は、後述する製造方法におけるエッチング液による浸食の等方性によって画成されるようになる。このため、第１孔２８の中心を通る金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った任意の断面において、第１部分２８ａは、湾曲形状となり得る。   Furthermore, in the cross section along the normal direction nd of the metal sheet 21, the first portion 28a has a curved shape. The cross-sectional contour of the illustrated first portion 28a is such that the inclination angle with respect to the normal direction nd of the metal sheet 21 at an arbitrary point on the first portion 28a is higher along the normal direction nd than the point. It is larger than the inclination angle at the point on the first surface 21a side. That is, the inclination angle of the first portion 28a with respect to the normal direction nd gradually increases from the first surface 21a side toward the second surface 21b side. In this case, in the cross section along the normal line direction nd of the metal sheet 21, the first portion 28a is positioned on the second surface 21b side with respect to the line segment L1 connecting both ends of the first portion 28a. Become. Note that the shape of the first portion 28a is defined by the isotropic property of erosion by the etching solution in the manufacturing method described later. For this reason, in an arbitrary cross section along the normal direction nd of the metal sheet 21 passing through the center of the first hole 28, the first portion 28a can have a curved shape.

一方、一対の第２部分２９ａは、図５に示すように、第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて互いに接近していく。すなわち、一対の第２部分２９ａは、樹脂製シート２４の法線方向ｎｄに沿って第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて、樹脂製シート２４のシート面に平行な方向に互いに接近していく。別の見方をすれば、一対の第２部分２９ａは、第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて先細りになるテーパ形状になっている。   On the other hand, as shown in FIG. 5, the pair of second portions 29a approach each other as they go from the third surface 24c side to the fourth surface 24d side. That is, the pair of second portions 29a are parallel to the sheet surface of the resin sheet 24 from the third surface 24c side to the fourth surface 24d side along the normal direction nd of the resin sheet 24. Approach each other. From another point of view, the pair of second portions 29a has a tapered shape that tapers from the third surface 24c side toward the fourth surface 24d side.

本実施の形態では、樹脂製シート２４の法線方向ｎｄに沿った断面において、第２部分２９ａは、直線状になっている。すなわち、第２部分２９ａ上の任意の地点において法線方向ｎｄに対する傾斜角度が一定になっている。   In the present embodiment, in the cross section along the normal direction nd of the resin sheet 24, the second portion 29a is linear. That is, the inclination angle with respect to the normal direction nd is constant at an arbitrary point on the second portion 29a.

また、図５に示すように、本実施の形態では、第１孔２８の第１面２１ａにおける開口の断面積と、第１孔２８の第２面２１ｂにおける開口の断面積と、第２孔２９の第３面２４ｃにおける開口の断面積と、第２孔２９の第４面２４ｄにおける開口の断面積とは、この順に小さくなっていく。とりわけ、第１孔２８の第２面２１ｂにおける開口の断面積が第２孔２９の第３面２４ｃにおける開口の断面積よりも大きいため、第１部分２８ａと第２部分２９ａとの間には、金属製シート２１のシート面に平行な平坦部２６が形成されている。本実施の形態では、平坦部２６は、樹脂製シート２４の第３面２４ｃによって規定されている。もっとも、第１部分２８ａと第２部分２９ａとの間に平坦部２６は必ずしも形成されていなくてもよく、第１部分２８ａと第２部分２９ａとが連接されてもよい。   Further, as shown in FIG. 5, in the present embodiment, the sectional area of the opening in the first surface 21a of the first hole 28, the sectional area of the opening in the second surface 21b of the first hole 28, and the second hole The sectional area of the opening in the third surface 24c of the 29 and the sectional area of the opening in the fourth surface 24d of the second hole 29 become smaller in this order. In particular, since the cross-sectional area of the opening in the second surface 21b of the first hole 28 is larger than the cross-sectional area of the opening in the third surface 24c of the second hole 29, there is a gap between the first portion 28a and the second portion 29a. A flat portion 26 parallel to the sheet surface of the metal sheet 21 is formed. In the present embodiment, the flat portion 26 is defined by the third surface 24 c of the resin sheet 24. But the flat part 26 does not necessarily need to be formed between the 1st part 28a and the 2nd part 29a, and the 1st part 28a and the 2nd part 29a may be connected.

ここで、図６に、積層マスク装置１０を用いてガラス基板４２に蒸着材料４８を蒸着させる状態を示す。図６に示すように、積層マスク装置１０は蒸着装置４０に収容された場合、金属製シート２１の第１面２１ａが蒸着材料４８を保持したるつぼ４４側に位置し、樹脂製シート２４の第４面２４ｄがガラス基板４２に対面する。すなわち、図６に示すように、蒸着材料４８は次第に断面積が小さくなっていく積層マスク２０の貫通孔２５を通過してガラス基板４２に付着する。図６に示すように、蒸着材料４８は、るつぼ４４からガラス基板４２に向けてガラス基板４２の法線方向に沿って移動するだけでなく、ガラス基板４２の法線方向に対して大きく傾斜した方向に移動することもある。このとき、貫通孔２５の断面形状が図６の点線で示す輪郭を有していたとすると、斜めに移動する蒸着材料４８は、積層マスク２０に付着してガラス基板４２まで到達しない。結果として、蒸着材料４８を所望の量だけガラス基板４２に付着させ難くなり、蒸着材料４８の利用効率が低下すると共に、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう。   Here, FIG. 6 shows a state in which the deposition material 48 is deposited on the glass substrate 42 using the laminated mask device 10. As shown in FIG. 6, when the laminated mask device 10 is accommodated in the vapor deposition device 40, the first surface 21 a of the metal sheet 21 is located on the crucible 44 side holding the vapor deposition material 48, and the resin sheet 24 The four surfaces 24d face the glass substrate 42. That is, as shown in FIG. 6, the vapor deposition material 48 adheres to the glass substrate 42 through the through holes 25 of the laminated mask 20 whose cross-sectional area is gradually reduced. As shown in FIG. 6, the vapor deposition material 48 not only moves along the normal direction of the glass substrate 42 from the crucible 44 toward the glass substrate 42, but is also greatly inclined with respect to the normal direction of the glass substrate 42. It may move in the direction. At this time, if the cross-sectional shape of the through hole 25 has an outline indicated by a dotted line in FIG. 6, the vapor deposition material 48 that moves obliquely does not adhere to the laminated mask 20 and reach the glass substrate 42. As a result, it becomes difficult to adhere the vapor deposition material 48 to the glass substrate 42 by a desired amount, the use efficiency of the vapor deposition material 48 is lowered, and the edge of the vapor deposition pattern is blurred.

すなわち、蒸着材料の利用効率（成膜効率：ガラス基板４２に付着する割合）を高めて高価な蒸着材料を節約し、且つ、高精細なパターニングを行うためには、積層マスク２０のシート面に直交する図５や図６の断面において、第１面２１ａ側の第１部分２８ａの端部および第２面２１ｂ側の第１部分２８ａの端部を結ぶ直線Ｌ１と、金属製シート２１の法線方向ｎｄと、によってなされる角度θ１（図５参照）が大きい方がよい。ただし、ガラス基板４２への垂線に対して大きな角度をなすようにしてガラス基板４２に向けて移動する蒸着材料の割合は少ない。そして、本件発明者らが確認したところ、前述の直線Ｌ１が法線方向ｎｄに対してなす角度θ１が３０°以上となっていれば、蒸着材料の利用効率は十分な値となった。 That is, in order to increase the utilization efficiency (deposition efficiency: rate of adhesion to the glass substrate 42) of the vapor deposition material to save expensive vapor deposition material and perform high-definition patterning, the sheet surface of the laminated mask 20 is used. In the cross section of FIG. 5 and FIG. 6 orthogonal to each other, the straight line L1 connecting the end of the first portion 28a on the first surface 21a side and the end of the first portion 28a on the second surface 21b side, and the method of the metal sheet 21 The angle θ 1 (see FIG. 5) formed by the line direction nd is preferably large. However, the ratio of the vapor deposition material that moves toward the glass substrate 42 so as to form a large angle with respect to the perpendicular to the glass substrate 42 is small. And when the present inventors confirmed, if the angle (theta) 1 which the above-mentioned straight line L1 makes with respect to the normal line direction nd was 30 degrees or more, the utilization efficiency of vapor deposition material became a sufficient value.

更に、図５に示すように、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った断面において、第１部分２８ａの両端部を結ぶ線分Ｌ１が当該金属製シート２１の法線方向ｎｄに対してなす角度θ１は、第２部分２９ａの両端部を結ぶ線分Ｌ２が金属製シート２１の法線方向ｎｄに対してなす角度θ２よりも大きい方が好ましい。このような形態によれば、第２部分２９ａを規定する壁面に囲まれる領域に向かっていく蒸着材料４８が、第１部分２８ａを規定する壁面に遮られ難くなる。加えて、金属製シート２１の第１面２１ａの面積が減少し、このため、第１面２１ａに付着する蒸着材料４８の量を低減することができる。これらの結果、蒸着材料４８を所望の量だけガラス基板４２に付着させ易くなり、蒸着材料４８の利用効率を更に高めることができる。 Further, as shown in FIG. 5, in the cross section along the normal direction nd of the metal sheet 21, a line segment L1 connecting both ends of the first portion 28 a is relative to the normal direction nd of the metal sheet 21. angle theta 1 is better line segment L2 connecting the both ends of the second portion 29a is larger than the angle theta 2 which makes with the normal line direction nd of the metal sheet 21 is preferred. According to such a form, the vapor deposition material 48 which goes to the area | region enclosed by the wall surface which prescribes | regulates the 2nd part 29a becomes difficult to be interrupted | blocked by the wall surface which prescribes | regulates the 1st part 28a. In addition, the area of the first surface 21a of the metal sheet 21 is reduced, so that the amount of the vapor deposition material 48 attached to the first surface 21a can be reduced. As a result, the deposition material 48 can be easily attached to the glass substrate 42 by a desired amount, and the utilization efficiency of the deposition material 48 can be further increased.

このような第１孔２８が形成された金属製シート２１の厚みは、一例として、２０〜３０μｍ程度のものが用いられる。金属製シート２１の厚みが３０μｍ以下になると、第２部分２９ａを規定する壁面に囲まれる領域に向かっていく蒸着材料４８が、第１部分２８ａを規定する壁面に遮られ難くなるため、蒸着材料４８が第１孔２８を通過し易い。このため、蒸着材料４８を所望の量だけ安定してガラス基板４２に付着させることができるようになり、高精細なパターンでの蒸着を行うことに寄与する。一方、金属製シート２１の厚みが２０μｍ未満になると、積層マスク２０の取り扱い中に、例えば積層マスク２０の搬送中に、当該積層マスク２０を破損してしまう虞が高まる。とりわけ、有機ＥＬ表示装置を製造する際に例えば蒸着材料４８を所望のパターンでガラス基板４２上にパターニングするために用いられる積層マスク２０においては、本実施の形態のように、同一方向に細長く延びる複数の貫通孔２５が短ピッチで並べて配置されていることがある。このような積層マスク２０を取り扱う場合、積層マスク２０に作用する力によって、積層マスク２０の孔と孔との間が切断されてしまったり、孔と孔との間を線状に延びる部分同士がからまったりするといった不具合が生じるおそれがある。   As an example, the thickness of the metal sheet 21 in which the first hole 28 is formed is about 20 to 30 μm. When the thickness of the metal sheet 21 is 30 μm or less, the vapor deposition material 48 heading toward the region surrounded by the wall surface defining the second portion 29a is not easily blocked by the wall surface defining the first portion 28a. 48 easily passes through the first hole 28. For this reason, the vapor deposition material 48 can be stably adhered to the glass substrate 42 by a desired amount, which contributes to vapor deposition with a high-definition pattern. On the other hand, when the thickness of the metal sheet 21 is less than 20 μm, the risk of damaging the laminated mask 20 during handling of the laminated mask 20, for example, during transportation of the laminated mask 20 increases. In particular, in manufacturing the organic EL display device, for example, in the laminated mask 20 used for patterning the vapor deposition material 48 on the glass substrate 42 in a desired pattern, it is elongated in the same direction as in the present embodiment. A plurality of through holes 25 may be arranged side by side at a short pitch. When handling such a laminated mask 20, the force acting on the laminated mask 20 cuts between the holes of the laminated mask 20, or the portions extending linearly between the holes are There is a risk of troubles such as getting tangled.

一方、第２孔２９が形成された樹脂製シート２４の厚みは、一例として、２〜１０μｍ程度のものが用いられる。樹脂製シート２４の厚みが１０μｍ以下になると、第２孔２９の壁面に蒸着材料４８が付着し難くなるため、蒸着材料４８が貫通孔２５を著しく通過し易くなる。このため、蒸着材料４８を所望の量だけ安定してガラス基板４２に付着させることができるようになり、高精細なパターンでの蒸着を行うことが可能になる。一方、樹脂製シート２４の厚みが２μｍ未満になると、樹脂製シート２４の取り扱い中に、例えば樹脂製シート２４の搬送中に、当該樹脂製シート２４を破損してしまう虞が高まる。すなわち、樹脂製シート２４の強度が大きく低下してしまうため、工業上の利用が困難になる。   On the other hand, the thickness of the resin sheet 24 in which the second holes 29 are formed is, for example, about 2 to 10 μm. When the thickness of the resin sheet 24 is 10 μm or less, the vapor deposition material 48 is less likely to adhere to the wall surface of the second hole 29, so that the vapor deposition material 48 significantly passes through the through hole 25. For this reason, the vapor deposition material 48 can be stably attached to the glass substrate 42 by a desired amount, and vapor deposition with a high-definition pattern can be performed. On the other hand, when the thickness of the resin sheet 24 is less than 2 μm, there is a high possibility that the resin sheet 24 will be damaged during the handling of the resin sheet 24, for example, during the conveyance of the resin sheet 24. That is, since the strength of the resin sheet 24 is greatly reduced, industrial use becomes difficult.

ところで、従来の蒸着マスクでは、例えば特開２００４−３９３１９号公報に記載されているように、金属板の両方の側の面からエッチングして複数の貫通孔を形成していた。図１９に、特開２００４−３９３１９号公報に記載された蒸着マスクを用いて蒸着する方法を示す。図１９に示す蒸着マスクでは、フォトリソグラフィー技術を用いたエッチングによって孔２ａが形成される。このエッチングにおいては、金属板２のうちのレジスト膜で覆われていない領域から浸食が開始される。その後、浸食は、金属板２の厚さ方向のみに進むのではなく、金属板２のシート面に沿った方向にも進む。したがって、エッチングによって先細りした孔２ａが形成されていく。このため、金属板２の両方の側の面からエッチングを行った場合、図１９に示すように、金属板２の厚さ方向の端部以外において孔２ａ内に張り出し部３が形成される。張り出し部３は、孔２ａの壁面のうち、金属板２の板面に沿って最も孔２ａの内側に入り込んだ部分を形成し、したがって、金属板２を厚さ方向から観察した場合には、この張り出し部３が孔２ａの開孔領域を画成すようになる。そして、このようなメタルマスク１を用いて蒸着を行った場合、基板４のうちの張り出し部３の裏側に対応する領域に成膜される蒸着膜５の膜厚は安定しない。この結果、蒸着パターンの縁部がぼやけてしまう（蒸着パターンの輪郭がはっきりしない）。またそもそも、孔内に形成される張り出し部の位置や断面形状を制御すること自体が困難である。以上のことから、金属板を両方の側の面からエッチングした場合、極めて高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができない。   By the way, in the conventional vapor deposition mask, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-39319, for example, a plurality of through holes are formed by etching from both sides of the metal plate. FIG. 19 shows a method for vapor deposition using a vapor deposition mask described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-39319. In the vapor deposition mask shown in FIG. 19, the hole 2a is formed by etching using a photolithography technique. In this etching, erosion starts from a region of the metal plate 2 that is not covered with the resist film. Thereafter, the erosion does not proceed only in the thickness direction of the metal plate 2 but also proceeds in the direction along the sheet surface of the metal plate 2. Therefore, the tapered hole 2a is formed by etching. For this reason, when etching is performed from both surfaces of the metal plate 2, the overhanging portion 3 is formed in the hole 2 a other than the end portion in the thickness direction of the metal plate 2 as shown in FIG. 19. The overhang portion 3 forms a portion of the wall surface of the hole 2a that enters the innermost side of the hole 2a along the plate surface of the metal plate 2. Therefore, when the metal plate 2 is observed from the thickness direction, The projecting portion 3 defines an opening area of the hole 2a. When vapor deposition is performed using such a metal mask 1, the film thickness of the vapor deposition film 5 formed in the region corresponding to the back side of the protruding portion 3 of the substrate 4 is not stable. As a result, the edge of the vapor deposition pattern is blurred (the outline of the vapor deposition pattern is not clear). In the first place, it is difficult to control the position and cross-sectional shape of the overhang portion formed in the hole. From the above, when the metal plate is etched from both sides, it is not possible to perform deposition with an extremely fine pattern with high accuracy.

一方、本実施の形態の積層マスク２０では、前述したように、一対の第２部分２９ａは、第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて先細りになるテーパ形状になっている。このような形態によれば、図１９に示す積層マスクとは異なり、貫通孔２５の開孔面積（金属板２１の板面に沿った貫通孔２５の開孔領域の面積）は、金属板２１の法線方向に沿って第１面２１ａと第４面２４ｄとの間の位置ではなく、第４面２４ｄ上で最小となる。したがって、ここで説明する積層マスク２０を用いてガラス基板４２に蒸着を行う場合には、図６に示すように、蒸着材料４８は、その進行方向に依存することなく、ガラス基板４２のうちの、金属板２１の第２面２１ｂ上における貫通孔２５に対面する領域に付着し、当該領域よりも外方となるガラス基板４２上の領域に付着することを効果的に抑制されるようになる。従って、図１９に示す積層マスクに比べて、高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。   On the other hand, in the laminated mask 20 of the present embodiment, as described above, the pair of second portions 29a has a tapered shape that tapers from the third surface 24c side toward the fourth surface 24d side. . According to such a form, unlike the laminated mask shown in FIG. 19, the opening area of the through hole 25 (the area of the opening area of the through hole 25 along the plate surface of the metal plate 21) is It is not the position between the first surface 21a and the fourth surface 24d along the normal direction, but the minimum on the fourth surface 24d. Therefore, when vapor deposition is performed on the glass substrate 42 using the laminated mask 20 described here, the vapor deposition material 48 of the glass substrate 42 does not depend on the traveling direction as shown in FIG. Adhering to a region facing the through-hole 25 on the second surface 21b of the metal plate 21 and effectively adhering to a region on the glass substrate 42 that is outside the region is effectively suppressed. . Therefore, it is possible to perform deposition with a high-definition pattern with higher accuracy than the stacked mask shown in FIG.

上述したように、本実施の形態では、貫通孔２５が各有孔領域２２において等間隔に配置されている。一例として、積層マスク２０（積層マスク装置１０）が携帯電話やデジタルカメラ等のディスプレイ（２〜５インチ程度）を作製するために用いられる場合、貫通孔２５の配列ピッチ（図５参照）は、５８μｍ（４４０ｐｐｉ）以上２５４μｍ（１００ｐｐｉ）以下程度とすることができる。なお、カラー表示を行いたい場合には、貫通孔２５の配列方向（前述の一方向）に沿って積層マスク２０（積層マスク装置１０）とガラス基板４２とを少しずつ相対移動させ、赤色用の有機発光材料、緑色用の有機発光材料および青色用の有機発光材料を順に蒸着させていってもよい。また、積層マスク２０（積層マスク装置１０）が携帯電話のディスプレイを作製するために用いられる場合、各貫通孔２５の配列方向（上述の一方向）に沿った幅（スリット幅）Ｗは、２８μｍ以上８４μｍ以下程度とすることができる。   As described above, in the present embodiment, the through holes 25 are arranged at equal intervals in each perforated region 22. As an example, when the laminated mask 20 (laminated mask device 10) is used to produce a display (about 2 to 5 inches) such as a mobile phone or a digital camera, the arrangement pitch of the through holes 25 (see FIG. 5) is: It can be about 58 μm (440 ppi) or more and 254 μm (100 ppi) or less. When color display is desired, the stacking mask 20 (stacking mask device 10) and the glass substrate 42 are moved relative to each other along the arrangement direction of the through holes 25 (one direction described above), so that the red color is displayed. An organic light emitting material, a green organic light emitting material, and a blue organic light emitting material may be deposited in this order. Further, when the laminated mask 20 (laminated mask device 10) is used for manufacturing a display of a mobile phone, the width (slit width) W along the arrangement direction (one direction described above) of each through-hole 25 is 28 μm. The thickness may be about 84 μm or less.

一方、図１に示すように、積層マスク装置１０のフレーム１５は、矩形状の積層マスク２０の周縁部に取り付けられている。フレーム１５は、積層マスク２０が撓んでしまうことがないように積層マスクを張った状態に保持する。積層マスク２０とフレーム１５とは、例えばスポット溶接により互いに対して固定されている。なお、樹脂製シート２４には、スポット溶接位置に対応して不図示の作業孔が設けられている。   On the other hand, as shown in FIG. 1, the frame 15 of the laminated mask device 10 is attached to the peripheral edge of a rectangular laminated mask 20. The frame 15 holds the laminated mask in a stretched state so that the laminated mask 20 is not bent. The laminated mask 20 and the frame 15 are fixed to each other, for example, by spot welding. The resin sheet 24 is provided with work holes (not shown) corresponding to the spot welding positions.

積層マスク装置１０は、高温雰囲気となる蒸着装置４０の内部に保持される。したがって、積層マスク２０およびフレーム１５は、フレームの撓みや熱応力の発生を防止するため、熱膨張率が低い同一の材料によって作製されていることが好ましい。このような材料として、例えば、３６％Ｎｉインバー材を用いることができる。   The laminated mask device 10 is held inside the vapor deposition device 40 that is in a high temperature atmosphere. Therefore, the laminated mask 20 and the frame 15 are preferably made of the same material having a low coefficient of thermal expansion in order to prevent the frame from being bent and the generation of thermal stress. As such a material, for example, a 36% Ni invar material can be used.

以上のように、本実施の形態によれば、平面視において、シート状の金属製シート２１の外輪郭２１１がシート状の樹脂製シート２４の外輪郭２４１よりも内側に位置している。この場合、積層マスク２０の取り扱い中（例えば搬送中や開梱中）に、金属製シート２１よりも耐衝撃性のある樹脂製シート２４が、外部の部位、部材等（例えば梱包ケース）に金属製シート２１よりも先に接触し、樹脂製シート２４が緩衝作用を示して外部の部材等からの加重を吸収する。このため、金属製シート２１にまで加重があまり伝わらず、金属製シート２１が破損することを防止することができる。他方で、樹脂製シート２４は金属製シート２１よりも耐衝撃性を有するため、外部の部材等からの加重が樹脂製シート２４に加わっても、当該樹脂製シート２４が破損するおそれは極めて少なくなる。この結果、損傷しにくい積層マスク２０が実現される。   As described above, according to the present embodiment, the outer contour 211 of the sheet-like metal sheet 21 is positioned inside the outer contour 241 of the sheet-like resin sheet 24 in plan view. In this case, during handling of the laminated mask 20 (for example, during transportation or unpacking), the resin sheet 24 having a higher impact resistance than the metal sheet 21 is applied to an external part, member, etc. (for example, a packing case). The resin sheet 24 comes into contact before the sheet 21 and absorbs a load from an external member or the like by exhibiting a buffering action. For this reason, it is possible to prevent the metal sheet 21 from being damaged because the load is not transmitted so much to the metal sheet 21. On the other hand, since the resin sheet 24 has higher impact resistance than the metal sheet 21, even if a load from an external member or the like is applied to the resin sheet 24, there is very little possibility that the resin sheet 24 is damaged. Become. As a result, the laminated mask 20 that is not easily damaged is realized.

また、本実施の形態によれば、金属製シート２１に形成された貫通孔２５が、第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向かうにつれて互いに接近していく一対の第１部分２８ａと、各々が対応する側の第１部分２８ａと接続され、第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて互いに接近していく一対の第２部分２９ａと、を含んでいる。このような形態によれば、ガラス基板４２の法線方向から大きく傾斜した方向に移動する蒸着材料４８もガラス基板４２に十分に付着させることができる。これにより、蒸着材料４８の利用効率を大幅に高めることができる。また、樹脂製シート２４の第４面２４ｄ上における貫通孔２５に対面する領域の周辺となるガラス基板４２上の領域に、蒸着膜が不安定な膜厚にて成膜されない。従って、本実施の形態の積層マスク２０によれば、高精細なパターンでの蒸着を所望の厚さで精度良く行うことができる。   Moreover, according to this Embodiment, a pair of 1st part 28a which the through-hole 25 formed in the metal sheets 21 approaches mutually as it goes to the 2nd surface 21b side from the 1st surface 21a side. And a pair of second portions 29a each connected to the corresponding first portion 28a and approaching each other from the third surface 24c side to the fourth surface 24d side. According to such a form, the vapor deposition material 48 that moves in a direction greatly inclined from the normal direction of the glass substrate 42 can be sufficiently adhered to the glass substrate 42. Thereby, the utilization efficiency of the vapor deposition material 48 can be improved significantly. In addition, the vapor deposition film is not formed with an unstable film thickness in a region on the glass substrate 42 around the region facing the through hole 25 on the fourth surface 24 d of the resin sheet 24. Therefore, according to the laminated mask 20 of the present embodiment, vapor deposition with a high-definition pattern can be accurately performed with a desired thickness.

また、本実施の形態によれば、第１部分２８ａは、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った断面において、湾曲形状となっている。この場合、第１部分が直線状に形成されている、すなわち、第１部分の両端部を結ぶ線分Ｌ１と一致するように形成されている場合に比べて、積層マスク２０の薄肉化、軽量化を実現することができる。この一方で、貫通孔２５の壁面がリブを構成して変形に対する耐性は維持される。このため、第１部分が直線状に形成されている場合と比べて、積層マスク２０の撓みはほぼ変化しない。従って、このような形態によれば、積層マスク２０の薄肉化、軽量化を実現しながら、積層マスク２０の撓み防止効果を得ることができる。   Further, according to the present embodiment, the first portion 28 a has a curved shape in the cross section along the normal direction nd of the metal sheet 21. In this case, the laminated mask 20 is thinner and lighter than the case where the first part is formed in a straight line, that is, formed so as to coincide with the line segment L1 connecting both ends of the first part. Can be realized. On the other hand, the wall surface of the through hole 25 constitutes a rib, and the resistance to deformation is maintained. For this reason, compared with the case where the 1st part is formed in the shape of a straight line, the bending of lamination mask 20 does not change almost. Therefore, according to such an embodiment, it is possible to obtain a bending prevention effect of the laminated mask 20 while realizing a reduction in thickness and weight of the laminated mask 20.

とりわけ、有機ＥＬディスプレイ装置では、高価な蒸着材料４８を高精細なパターンで基板４２上にパターニングすることが強く所望されている。このため、本実施の形態の積層マスク２０は、有機ＥＬディスプレイ装置を製造するために用いられる蒸着マスクに特に適している。   In particular, in the organic EL display device, it is strongly desired to pattern the expensive vapor deposition material 48 on the substrate 42 with a high-definition pattern. For this reason, the lamination mask 20 of this Embodiment is especially suitable for the vapor deposition mask used in order to manufacture an organic EL display apparatus.

≪積層マスクの製造方法≫
次に、このような積層マスク２０および蒸着マスク装置１０の製造方法について、主に図７乃至図１１を用いて説明する。このうち、図７および図１０は、積層マスクの製造方法を全体的に説明するための図であり、図８は、金属製シートにレジストパターンを形成する方法を説明するための図であり、図９は、金属製シートをエッチングする方法を説明するための図であり、図１１は、中間シートにレーザ光を照射して第１孔を形成する方法を説明するための図であり、図１２は、中間シートにレーザ光を照射して樹脂層を複数の樹脂製シートに分断する方法を説明するための図である。 <Manufacturing method of laminated mask>
Next, a method for manufacturing the laminated mask 20 and the vapor deposition mask device 10 will be described mainly with reference to FIGS. Among these, FIG. 7 and FIG. 10 are diagrams for explaining the manufacturing method of a laminated mask as a whole, and FIG. 8 is a diagram for explaining a method of forming a resist pattern on a metal sheet. FIG. 9 is a diagram for explaining a method of etching a metal sheet, and FIG. 11 is a diagram for explaining a method of forming the first hole by irradiating the intermediate sheet with laser light. 12 is a diagram for explaining a method of dividing the resin layer into a plurality of resin sheets by irradiating the intermediate sheet with laser light.

図７乃至図１２に示すように、本実施の形態における積層マスクの製造方法は、金属層３２と金属層３２に積層された樹脂層３４とを有する積層体３０を供給する工程と、積層体３０の金属層３２をエッチングして、複数の金属製シート２１に分断し、且つ、金属製シート２１に第１孔６１を形成する工程と、各第１孔６１内にレーザ光を照射して、樹脂層３４を貫通し且つ第１孔６１に通じる第２孔６２を樹脂層３４に形成する工程と、平面視において隣り合う金属製シート２１の間となる領域にて樹脂層３４を切断して、樹脂層３４を複数の樹脂製シート２４に分断する工程と、を備えている。各工程について、以下においてさらに詳細に説明する。   As shown in FIGS. 7 to 12, the method for manufacturing a laminated mask in the present embodiment includes a step of supplying a laminate 30 having a metal layer 32 and a resin layer 34 laminated on the metal layer 32, and a laminate. 30 metal layers 32 are etched and divided into a plurality of metal sheets 21, and the first holes 61 are formed in the metal sheets 21, and each first hole 61 is irradiated with laser light. The resin layer 34 is cut at a region between the step of forming the second hole 62 penetrating the resin layer 34 and communicating with the first hole 61 in the resin layer 34 and between the adjacent metal sheets 21 in plan view. And the step of dividing the resin layer 34 into a plurality of resin sheets 24. Each step will be described in more detail below.

図７に示すように、本実施の形態においては、積層体３０を供給コア３１に巻き取った巻体２９が準備される。そして、この供給コア３１が回転して巻体２９が巻き戻されることにより、図７に示すように帯状に延びる積層体３０が供給される。ここで、積層体３０は、金属層３２が下方に位置するとともに樹脂層３４が上方に位置するようにして、供給される。   As shown in FIG. 7, in the present embodiment, a wound body 29 is prepared by winding the laminated body 30 around a supply core 31. Then, when the supply core 31 rotates and the wound body 29 is rewound, the laminated body 30 extending in a strip shape is supplied as shown in FIG. Here, the laminated body 30 is supplied so that the metal layer 32 is located below and the resin layer 34 is located above.

供給された金属層３２は、エッチング装置（エッチング手段）５０によってエッチング処理を施される。具体的には、まず、金属層３２の一方の面をなす第１面３２ａ上にネガ型感光性レジスト材料を塗布し、当該第１面３２ａ上にレジスト膜３６を形成する。次に、レジスト膜３６のうちの除去したい領域に光を透過させないようにしたガラス乾板３７を準備し、ガラス乾板３７をレジスト膜３６上に配置する。   The supplied metal layer 32 is subjected to an etching process by an etching apparatus (etching means) 50. Specifically, first, a negative photosensitive resist material is applied on the first surface 32a forming one surface of the metal layer 32, and a resist film 36 is formed on the first surface 32a. Next, a glass dry plate 37 is prepared in which light is not transmitted to a region to be removed of the resist film 36, and the glass dry plate 37 is disposed on the resist film 36.

その後、図８に示すように、レジスト膜３６をガラス乾板３７越しに露光し、さらにレジスト膜３６を現像する。以上のようにして、金属層３２の第１面３２ａ上にレジストパターン（単に、レジストとも呼ぶ）３５が形成される。   Thereafter, as shown in FIG. 8, the resist film 36 is exposed through a glass dry plate 37, and the resist film 36 is further developed. As described above, a resist pattern (simply referred to as a resist) 35 is formed on the first surface 32 a of the metal layer 32.

なお、ガラス乾板３７のうちの除去すべきレジスト膜３６に対面する領域を黒色にしておき、露光光として可視光を用いるようにしてもよい。この場合、黒色部分で可視光が吸収されることにより、レジスト膜３６の除去すべき領域には光が入射せず、レジスト膜３６が金属層３２上で光硬化しない。一方、レジスト膜３６の除去すべきでない領域には光が入射して、当該領域におけるレジスト膜３６が金属層３２上で光硬化する。光硬化していないレジスト膜３６は、例えば湯洗によって除去される。   Note that a region of the glass dry plate 37 facing the resist film 36 to be removed may be black, and visible light may be used as exposure light. In this case, visible light is absorbed by the black portion, so that light does not enter the region to be removed of the resist film 36 and the resist film 36 is not photocured on the metal layer 32. On the other hand, light enters a region where the resist film 36 should not be removed, and the resist film 36 in the region is photocured on the metal layer 32. The resist film 36 that has not been photocured is removed by, for example, hot water washing.

次に、図９に示すように、金属層３２上に形成されたレジストパターン３５をマスクとして、エッチング液（例えば塩化第二鉄溶液）３８により積層体３０の金属層３２を第１面３２ａ側からエッチングする。本実施の形態においては、エッチング液３８が、搬送される積層体３０の下方に配置されたエッチング装置５０の下方ノズル５１から、レジストパターン３５越しに積層体３０の金属層３２に向けて噴射される。そして、図９に点線で示すように、金属層３２のうちのレジストパターン３５によって覆われていない領域で、エッチング液３８による浸食が始まる。このエッチング液による浸食は、金属層３２のうちのエッチング液に触れている部分において行われていく。従って、浸食は、金属層３２の厚み方向のみに進むのではなく、金属層３２のシート面に沿った方向にも進んでいく。加えて、本実施の形態では、下方ノズル５１から噴射されるエッチング液３８の流量および噴射時間を制御することができるようになっている。従って、噴射されるエッチング液３８の流量および噴射時間を適切に制御することにより、金属層３２の厚み方向における浸食および金属層３２のシート面に沿った方向における浸食の度合いが調整される。   Next, as shown in FIG. 9, using the resist pattern 35 formed on the metal layer 32 as a mask, the metal layer 32 of the stacked body 30 is moved to the first surface 32a side by an etching solution (for example, ferric chloride solution) 38. Etch from. In the present embodiment, the etching solution 38 is sprayed from the lower nozzle 51 of the etching apparatus 50 disposed below the transported stacked body 30 toward the metal layer 32 of the stacked body 30 through the resist pattern 35. The Then, as shown by a dotted line in FIG. 9, erosion by the etching solution 38 starts in a region of the metal layer 32 that is not covered with the resist pattern 35. The erosion by the etching solution is performed in a portion of the metal layer 32 that is in contact with the etching solution. Therefore, erosion does not proceed only in the thickness direction of the metal layer 32 but also proceeds in the direction along the sheet surface of the metal layer 32. In addition, in the present embodiment, the flow rate and spray time of the etching solution 38 sprayed from the lower nozzle 51 can be controlled. Accordingly, by appropriately controlling the flow rate of the jetted etching solution 38 and the jetting time, the degree of erosion in the thickness direction of the metal layer 32 and the erosion in the direction along the sheet surface of the metal layer 32 are adjusted.

このようなエッチング液３８による浸食によって、金属層３２が複数の金属製シート２１に分断され、且つ、金属製シート２１に第１孔６１が形成される。本実施の形態では、金属製シート２１は、エッチング液による浸食が金属製シート２１の外輪郭２１１をなすようになる部分に沿って進んで、金属層３２を複数の部分に分断することにより形成される。一方、第１孔６１は、エッチング液による浸食が金属層３２の第１面３２ａから当該第１面３２ａに対向する第２面３２ｂまで進んで、曲面状の壁面を有し先細りする形状に形成される。言い換えると、金属層３２の法線方向に沿った断面における第１孔６１の輪郭は、金属層３２の法線方向に沿って第１面３２ａの側から第２面３２ｂの側へ向かうにつれて、金属層３２のシート面に平行な方向に互いに接近していく。とりわけ、本実施の形態では、エッチング液による浸食は、金属層３２のうちのエッチング液に触れている部分において等方的に行われ、各第１孔６１は、金属層３２の法線方向に沿った断面において湾曲形状となるように形成される。そして、第１孔６１は、配列方向と直交する他方向に沿って細長く延びる。   By such erosion by the etching solution 38, the metal layer 32 is divided into a plurality of metal sheets 21, and the first holes 61 are formed in the metal sheet 21. In the present embodiment, the metal sheet 21 is formed by advancing along a portion where the erosion by the etching solution forms the outer contour 211 of the metal sheet 21 and dividing the metal layer 32 into a plurality of portions. Is done. On the other hand, the first hole 61 is formed into a tapered shape having a curved wall surface as the erosion by the etching solution proceeds from the first surface 32a of the metal layer 32 to the second surface 32b opposite to the first surface 32a. Is done. In other words, the outline of the first hole 61 in the cross section along the normal direction of the metal layer 32 is as it goes from the first surface 32a side to the second surface 32b side along the normal direction of the metal layer 32. The metal layers 32 approach each other in a direction parallel to the sheet surface. In particular, in the present embodiment, erosion by the etching solution is isotropically performed in a portion of the metal layer 32 that is in contact with the etching solution, and each first hole 61 is in the normal direction of the metal layer 32. It is formed to have a curved shape in the cross section along. The first holes 61 are elongated along the other direction orthogonal to the arrangement direction.

その後、金属層３２上のレジストパターン３５を除去し、さらに金属層３２を水洗いする。   Thereafter, the resist pattern 35 on the metal layer 32 is removed, and the metal layer 32 is washed with water.

ところで、積層体３０に樹脂層３４が設けられていなかったとすると、浸食によって金属層３２に形成される先細り孔に、既に浸食に用いられ浸食能力が低くなったエッチング液が残留する。その後、金属層３２の孔が第２面３２ｂに達した時、それまで孔内に残留していたエッチング液が第２面３２ｂから流れ出て、浸食能力の高いフレッシュなエッチング液が、形成された孔内に流れ込む。このとき、断面積（開孔面積）が小さくなる孔内の第２面３２ｂ側の領域において液圧が高くなり、孔内の第２面３２ｂ側の領域がフレッシュなエッチング液により激しく浸食される。この結果、第１孔６１の形状および大きさが安定しないといった不具合が生じ得る。しかしながら、本実施の形態によれば、金属層３２を貫通する第１孔６１が形成されたとしても、この第１孔６１は、第２面３２ｂ側の開口を樹脂層３４によって覆われている。このため、金属層３２の第２面３２ｂ上までエッチング液が到達することはない。したがって、従来の方法において生じていた上記不具合を確実に回避することができる。この結果、所望の開孔面積（平面視における第１孔６１の面積）を有した第１孔６１を精度よく形成することができる。   By the way, if the resin layer 34 is not provided in the laminated body 30, the etching solution which has already been used for erosion and has a low erosion capability remains in the tapered hole formed in the metal layer 32 by erosion. After that, when the hole of the metal layer 32 reached the second surface 32b, the etching solution remaining in the hole until then flowed out from the second surface 32b, and a fresh etching solution with high erosion capability was formed. It flows into the hole. At this time, the fluid pressure increases in the region on the second surface 32b side in the hole where the cross-sectional area (opening area) is small, and the region on the second surface 32b side in the hole is eroded violently by the fresh etching solution. . As a result, there may be a problem that the shape and size of the first hole 61 are not stable. However, according to the present embodiment, even if the first hole 61 penetrating the metal layer 32 is formed, the opening on the second surface 32b side of the first hole 61 is covered with the resin layer 34. . For this reason, the etching solution does not reach the second surface 32 b of the metal layer 32. Therefore, it is possible to reliably avoid the above-mentioned problems that have occurred in the conventional method. As a result, the first hole 61 having a desired opening area (area of the first hole 61 in plan view) can be formed with high accuracy.

このようにして、図７に示すように、帯状の樹脂層３４と当該樹脂層３４に支持された複数の金属製シート２１とからなる中間シート６９が得られる。そして、中間シート６９は、当該中間シート６９を狭持した状態で回転する一対の搬送ローラ５２，５２により、巻取コア１９へ搬送され、当該巻取コア１９によって巻体６８として巻取られる。なお、この搬送ローラ５２，５２の回転によって中間シート６９に作用するテンション（引っ張り力）を介し、上述した供給コア３１が回転させられ、巻体２９から積層体３０が供給されるようになっている。   In this way, as shown in FIG. 7, an intermediate sheet 69 composed of the belt-shaped resin layer 34 and the plurality of metal sheets 21 supported by the resin layer 34 is obtained. Then, the intermediate sheet 69 is conveyed to the winding core 19 by the pair of conveying rollers 52 and 52 that rotate while holding the intermediate sheet 69, and is wound as a wound body 68 by the winding core 19. Note that the supply core 31 described above is rotated through the tension (pulling force) acting on the intermediate sheet 69 by the rotation of the conveying rollers 52, 52, and the laminate 30 is supplied from the wound body 29. Yes.

本実施の形態においては、分断された金属製シート２１は、樹脂層３４によって支持され補強されている。したがって、積層体３０の搬送時に、隣り合う第１孔６１との間に作用する応力によって、金属製シート２１の隣り合う第１孔６１の間の部分が切断されてしまったり、隣り合う第１孔６１の間を線状に延びる部分がからまったりするといった不具合を格段に抑制することができる。この結果、エッチング工程において金属製シート２１に形成された微細な第１孔６１の形状をその後に損なってしまうといった不具合を回避することができる。   In the present embodiment, the divided metal sheet 21 is supported and reinforced by the resin layer 34. Therefore, the portion between the adjacent first holes 61 of the metal sheet 21 is cut by the stress acting between the adjacent first holes 61 when the stacked body 30 is conveyed, or the adjacent first The problem that the part extending linearly between the holes 61 becomes tangled can be remarkably suppressed. As a result, it is possible to avoid a problem that the shape of the fine first hole 61 formed in the metal sheet 21 in the etching process is subsequently lost.

なお、上述したように配列方向と直交する方向に沿って細長く延びる第１孔６１を形成する場合、第１孔６１が延びる方向（上述した他方向）と、積層体３０が供給される方向（積層体が搬送される方向）とが略平行となっていることが好ましい。この場合、金属層３２の隣り合う第１孔６１との間の部分が切断されてしまったり、隣り合う第１孔６１の間を線状に延びる部分がからまったりすることを効果的に防止することができる。   In addition, when forming the 1st hole 61 extended elongate along the direction orthogonal to an arrangement direction as mentioned above, the direction (the other direction mentioned above) where the 1st hole 61 is extended, and the direction (the direction which the laminated body 30 is supplied) It is preferable that the direction in which the laminate is conveyed is substantially parallel. In this case, it is possible to effectively prevent a portion between the adjacent first holes 61 of the metal layer 32 from being cut or a portion extending linearly between the adjacent first holes 61 from being tangled. be able to.

次に、図１０に示すように、巻体６８が第２供給コア７４にセットされて、第２供給コア７４の回転に伴い巻体６８から中間シート６９が供給される。中間シート６９がレーザ加工装置（レーザ加工手段）７０まで搬送されると、図１１に示すように、積層体３０は、しわやたるみのない状態でレーザ加工装置７０の保持部７３に保持される。このレーザ加工装置７０には、蒸着マスクに所定のパターンの貫通孔を形成するために用いられ得るそれ自体既知のレーザ加工装置７０が用いられる。レーザ加工装置７０で利用されるレーザとして、ＹＡＧレーザ、炭酸ガスレーザまたは半導体レーザ等が挙げられ、樹脂層３４の材質や第２孔６２の深さ等に応じて適宜選定される。本実施の形態のレーザ加工装置７０は、出力可変のレーザ発振器から発生したレーザ光を所定のスポット径でレーザ照射レンズ７２から照射することができるようになっている。   Next, as shown in FIG. 10, the winding body 68 is set on the second supply core 74, and the intermediate sheet 69 is supplied from the winding body 68 as the second supply core 74 rotates. When the intermediate sheet 69 is conveyed to the laser processing apparatus (laser processing means) 70, as shown in FIG. 11, the laminate 30 is held by the holding portion 73 of the laser processing apparatus 70 without wrinkles or sagging. . As this laser processing apparatus 70, a laser processing apparatus 70 known per se that can be used to form through holes having a predetermined pattern in the vapor deposition mask is used. Examples of the laser used in the laser processing apparatus 70 include a YAG laser, a carbon dioxide laser, a semiconductor laser, and the like, which are appropriately selected according to the material of the resin layer 34, the depth of the second hole 62, and the like. The laser processing apparatus 70 according to the present embodiment can irradiate a laser beam generated from a variable output laser oscillator from a laser irradiation lens 72 with a predetermined spot diameter.

レーザ加工装置７０のレーザ照射レンズ７２から中間シート６９の金属製シート２１の各第１孔６１内にレーザ光が照射されて、当該レーザ光は、第１孔６１の長手方向に沿って動かされる。レーザ光を照射することによって、樹脂層３４の一部が蒸発し除去される。これにより、樹脂層３４を貫通し且つ第１孔６１に通じる第２孔６２が形成される。とりわけ、樹脂層３４は、金属製シート２１側に面する第３面３４ｃ側で多く溶融し、第３面３４ｃの反対側の第４面３４ｄ側に向かうにつれて溶融する量が少なくなっていく。これにより、第２孔６２は、樹脂層３４の第３面３４ｃの側から第４面３４ｄの側へ向けて先細りするテーパ形状に形成される。   Laser light is irradiated into each first hole 61 of the metal sheet 21 of the intermediate sheet 69 from the laser irradiation lens 72 of the laser processing apparatus 70, and the laser light is moved along the longitudinal direction of the first hole 61. . By irradiating the laser beam, a part of the resin layer 34 is evaporated and removed. Thereby, a second hole 62 that penetrates the resin layer 34 and communicates with the first hole 61 is formed. In particular, the resin layer 34 melts much on the third surface 34c side facing the metal sheet 21 side, and the amount of melting decreases toward the fourth surface 34d side opposite to the third surface 34c. Accordingly, the second hole 62 is formed in a tapered shape that tapers from the third surface 34c side of the resin layer 34 toward the fourth surface 34d side.

続いて、図１２に示すように、平面視において隣り合う金属製シート２１の間となる領域にて樹脂層３４が切断されて、樹脂層３４が複数の樹脂製シート２４に分断される。本実施の形態では、レーザ加工装置７０によってレーザ光を樹脂層３４に照射して当該樹脂層３４を切断する。前述したように、レーザ照射レンズ７２から照射されるレーザ光は、スポット径を調整可能になっている。従って、レーザ光のスポット径を調整することにより、金属製シート２１の外輪郭２１１と樹脂製シート２４の外輪郭２４１との平面視におけるズレを調整することができる。   Subsequently, as shown in FIG. 12, the resin layer 34 is cut in a region between the adjacent metal sheets 21 in plan view, and the resin layer 34 is divided into a plurality of resin sheets 24. In the present embodiment, the resin layer 34 is cut by irradiating the resin layer 34 with a laser beam by the laser processing apparatus 70. As described above, the spot diameter of the laser light emitted from the laser irradiation lens 72 can be adjusted. Therefore, by adjusting the spot diameter of the laser beam, it is possible to adjust the deviation in a plan view between the outer contour 211 of the metal sheet 21 and the outer contour 241 of the resin sheet 24.

以上のようにして、第１孔６１を形成された金属製シート２１と、第２孔６２を形成された樹脂製シート２４と、からなる積層マスク２０が得られる。   As described above, the laminated mask 20 including the metal sheet 21 in which the first holes 61 are formed and the resin sheet 24 in which the second holes 62 are formed is obtained.

そして、各積層マスク２０に対してフレーム１５を取り付けることにより、蒸着マスク装置１０が得られる。なお、フレーム１５は、積層マスク２０の金属製シート２１の第１面２１ａに取り付けられてもよいし、樹脂製シート２４の第４面２４ｄ側から金属製シート２１に取り付けられてもよい。   And the vapor deposition mask apparatus 10 is obtained by attaching the flame | frame 15 with respect to each lamination | stacking mask 20. FIG. The frame 15 may be attached to the first surface 21 a of the metal sheet 21 of the laminated mask 20, or may be attached to the metal sheet 21 from the fourth surface 24 d side of the resin sheet 24.

以上のように、本実施の形態によれば、平面視において隣り合う金属製シート２１の間となる領域にて樹脂層３４を切断して、樹脂層３４を複数の樹脂製シート２４に分断し、樹脂製シート２４と金属製シート２１とを有する積層マスク２０を作製する。このような形態によれば、樹脂層３４を手作業で引き裂く必要がないため、樹脂製シート２４の外輪郭２４１の形状を安定して形成することができる。加えて、樹脂層３４を手作業で引き裂く必要がないため、製品にキズや凹みを付けたり、金属層３２と樹脂層３４とを剥離させてしまうことを防止することができる。このため、積層マスク２０を安定した品質で効率よく製造することができる。   As described above, according to the present embodiment, the resin layer 34 is cut in a region between the adjacent metal sheets 21 in plan view, and the resin layer 34 is divided into a plurality of resin sheets 24. Then, the laminated mask 20 having the resin sheet 24 and the metal sheet 21 is produced. According to such a form, since it is not necessary to tear the resin layer 34 manually, the shape of the outer contour 241 of the resin sheet 24 can be stably formed. In addition, since it is not necessary to tear the resin layer 34 by hand, it is possible to prevent the product from being scratched or dented or from peeling the metal layer 32 and the resin layer 34. For this reason, the laminated mask 20 can be efficiently manufactured with stable quality.

また、本実施の形態における積層マスクの製造方法によれば、樹脂層３４を切断する工程において、レーザ光を照射して樹脂層３４を切断する。このような形態によれば、数μｍの厚みからなる樹脂層３４であってもレーザ光によって高精度に切断することができる。このため、樹脂製シート２４の外輪郭２４１の形状を更に安定して形成された積層マスク２０を効率よく製造することができる。   Further, according to the method of manufacturing the laminated mask in the present embodiment, in the step of cutting the resin layer 34, the resin layer 34 is cut by irradiating laser light. According to such a form, even the resin layer 34 having a thickness of several μm can be cut with high accuracy by the laser beam. For this reason, the lamination mask 20 in which the shape of the outer contour 241 of the resin sheet 24 is further stably formed can be efficiently manufactured.

また、本実施の形態における積層マスクの製造方法によれば、レーザ加工装置７０を用いて、各第１孔６１内にレーザ光を照射して樹脂層３４に第２孔６２を形成した後に、当該レーザ加工装置７０を用いて樹脂層３４を切断することができる。このため、樹脂層３４を切断するために中間シート６９を再び位置決めする必要がなくなり、積層マスク２０を効率よく製造することができる。   Further, according to the method of manufacturing the laminated mask in the present embodiment, after forming the second hole 62 in the resin layer 34 by irradiating the laser beam in each first hole 61 using the laser processing apparatus 70, The resin layer 34 can be cut using the laser processing apparatus 70. For this reason, it is not necessary to position the intermediate sheet 69 again in order to cut the resin layer 34, and the laminated mask 20 can be manufactured efficiently.

また、本実施の形態における積層マスクの製造方法によれば、樹脂層３４を切断する工程において照射されるレーザ光のスポット径を調整することにより、金属製シート２１の外輪郭２１１と樹脂製シート２４の外輪郭２４１との平面視におけるズレを調整することができる。このような形態によれば、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１と樹脂製シート２４の外輪郭２４１との間の間隔を適切な大きさに調整することができる。これにより、製造される積層マスク２０において、取り扱い中に、金属製シート２１よりも耐衝撃性のある樹脂製シート２４が、外部の部位、部材等に先に接触し、外部の部材等からの加重を効果的に吸収することができる。   In addition, according to the method for manufacturing a laminated mask in the present embodiment, the outer contour 211 of the metal sheet 21 and the resin sheet are adjusted by adjusting the spot diameter of the laser light irradiated in the step of cutting the resin layer 34. It is possible to adjust a deviation in a plan view with respect to the 24 outer contours 241. According to such a form, the distance between the outer contour 211 of the metal sheet 21 and the outer contour 241 of the resin sheet 24 can be adjusted to an appropriate size in plan view. Thereby, in the laminated mask 20 to be manufactured, during handling, the resin sheet 24 that is more resistant to impact than the metal sheet 21 comes into contact with external parts, members, etc. first, and from the external members, etc. The weight can be absorbed effectively.

加えて、本実施の形態における積層マスクの製造方法によれば、金属層３２と樹脂層３４とからなる積層体３０の金属層３２をエッチングして、複数の金属製シート２１に分断し、且つ、金属製シート２１に第１孔６１を形成する。この場合、第１孔６１は金属層３２を貫通するものの、金属層３２の第２面３２ｂ側の開口は、樹脂層３４によって覆われている。すなわち、第１孔６１は積層体３０を貫通していないため、金属層３２の第２面３２ｂ上までエッチング液が到達することはない。これにより、第１面３２ａから第２面３２ｂに向けてしだいに断面積が小さくなっていく第１孔６１を精度よく形成することができる。   In addition, according to the method for manufacturing a laminated mask in the present embodiment, the metal layer 32 of the laminate 30 including the metal layer 32 and the resin layer 34 is etched to be divided into a plurality of metal sheets 21, and First holes 61 are formed in the metal sheet 21. In this case, although the first hole 61 penetrates the metal layer 32, the opening on the second surface 32 b side of the metal layer 32 is covered with the resin layer 34. That is, since the first hole 61 does not penetrate the stacked body 30, the etching solution does not reach the second surface 32 b of the metal layer 32. Thereby, the first hole 61 whose cross-sectional area gradually decreases from the first surface 32a toward the second surface 32b can be formed with high accuracy.

加えて、本実施の形態における積層マスクの製造方法によれば、各第１孔６１内にレーザ光を照射して、樹脂層３４を貫通し且つ第１孔６１に通じる第２孔６２を樹脂層３４に形成する。各第１孔６１内にレーザ光を照射して第２孔６２を形成することにより、第２孔６２が微細であっても当該第２孔６２を所望の位置に所望の大きさで精度よく形成することができる。とりわけ、第２孔６２の第４面２４ｄにおける開口の精度は、ガラス基板４２に施される蒸着パターンの輪郭を高精度に形成する上で大きく寄与する。本実施の形態によれば、レーザ光のスポット径を調整することにより、第２孔６２の第４面２４ｄにおける開口をも所望の大きさで精度よく形成することができる。これにより、より高精細なパターンでの蒸着を精度良く行うことができる。   In addition, according to the method of manufacturing the laminated mask in the present embodiment, the first holes 61 are irradiated with laser light, and the second holes 62 penetrating the resin layer 34 and leading to the first holes 61 are made of resin. Layer 34 is formed. By irradiating each first hole 61 with a laser beam to form the second hole 62, even if the second hole 62 is fine, the second hole 62 can be accurately placed in a desired size at a desired position. Can be formed. In particular, the accuracy of the opening in the fourth surface 24d of the second hole 62 greatly contributes to forming the outline of the vapor deposition pattern applied to the glass substrate 42 with high accuracy. According to the present embodiment, by adjusting the spot diameter of the laser light, the opening in the fourth surface 24d of the second hole 62 can be accurately formed with a desired size. Thereby, vapor deposition with a higher-definition pattern can be performed accurately.

また、各第２孔６２は、レーザ光を照射することにより、第１孔６１に連通し、第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて互いに接近していくように形成される。このような形態によれば、樹脂製シート２４の第４面２４ｄ上における貫通孔２５に対面する領域の周辺となるガラス基板４２上の領域に、蒸着膜が不安定な膜厚にて成膜されない。従って、製造されたメタルマスク２０を用いて、高精細なパターンでの蒸着を所望の厚さで精度良く行うことができる。   In addition, each second hole 62 is formed so as to communicate with the first hole 61 by being irradiated with laser light, and to approach each other from the third surface 24c side to the fourth surface 24d side. The According to such a form, the vapor deposition film is formed with an unstable film thickness in a region on the glass substrate 42 around the region facing the through hole 25 on the fourth surface 24d of the resin sheet 24. Not. Therefore, using the manufactured metal mask 20, it is possible to accurately perform deposition with a high-definition pattern with a desired thickness.

≪第２の実施の形態≫
次に、図１３を参照して、本発明の第２の実施の形態について説明する。図１３は、本発明の第２の実施の形態による積層マスクを示す平面図である。図１３を参照して説明する第２の実施の形態は、金属製シート２１の外輪郭２１１と樹脂製シート２４の外輪郭２４１との関係が異なるが、その他の構成は、第１の実施形態と同様に構成することができる。第２の実施の形態に関する以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した第１の実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の第１の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。 << Second Embodiment >>
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 13 is a plan view showing a laminated mask according to the second embodiment of the present invention. In the second embodiment described with reference to FIG. 13, the relationship between the outer contour 211 of the metal sheet 21 and the outer contour 241 of the resin sheet 24 is different, but other configurations are the same as in the first embodiment. It can be configured in the same manner. In the following description of the second embodiment and the drawings used in the following description, the parts that can be configured in the same manner as in the first embodiment described above are the same as the corresponding parts in the first embodiment described above. The same reference numerals as those used above will be used, and redundant explanation will be omitted.

図１３に示すように、本実施の形態の積層マスク２０’は、金属製シート２１と、金属製シート２１に積層された樹脂製シート２４’と、を備える。積層マスク２０’には、金属製シート２１および樹脂製シート２４’を貫通する複数の貫通孔２５が形成されている。そして、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１は、樹脂製シート２４’の外輪郭２４１’と重なっている。   As shown in FIG. 13, the laminated mask 20 ′ of the present embodiment includes a metal sheet 21 and a resin sheet 24 ′ laminated on the metal sheet 21. A plurality of through holes 25 penetrating the metal sheet 21 and the resin sheet 24 ′ are formed in the laminated mask 20 ′. In plan view, the outer contour 211 of the metal sheet 21 overlaps the outer contour 241 ′ of the resin sheet 24 ′.

このような本実施の形態によれば、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１は、樹脂製シート２４’の外輪郭２４１’と重なっているため、積層マスク２０の外輪郭の形状が安定している。このため、次工程において、例えば積層マスク２０’の品質検査を行う際に、測定のための位置決めを安定して行うことができる。   According to the present embodiment, since the outer contour 211 of the metal sheet 21 overlaps the outer contour 241 ′ of the resin sheet 24 ′ in plan view, the shape of the outer contour of the laminated mask 20 is the same. stable. For this reason, in the next process, for example, when performing a quality inspection of the laminated mask 20 ', positioning for measurement can be stably performed.

なお、本実施の形態の積層マスク２０’は、上述した第１の実施の形態の積層マスク２０と略同様にして作製される。とりわけ、図１２に示した樹脂層３４を複数の樹脂製シート２４に分断する工程において、レーザ照射レンズ７２から照射されるレーザ光は、スポット径を調整可能になっている。従って、このレーザ光のスポット径を調整することにより、金属製シート２１の外輪郭２１１と樹脂製シート２４の外輪郭２４１とが重なるように、樹脂層３４を切断することができる。   Note that the laminated mask 20 ′ of the present embodiment is manufactured in substantially the same manner as the laminated mask 20 of the first embodiment described above. In particular, in the step of dividing the resin layer 34 shown in FIG. 12 into a plurality of resin sheets 24, the spot diameter of the laser light emitted from the laser irradiation lens 72 can be adjusted. Therefore, by adjusting the spot diameter of the laser beam, the resin layer 34 can be cut so that the outer contour 211 of the metal sheet 21 and the outer contour 241 of the resin sheet 24 overlap.

本実施の形態によれば、平面視において、金属製シート２１の外輪郭２１１は、樹脂製シート２４’の外輪郭２４１’と重なっているため、積層マスク２０の取り扱い中（例えば搬送中や開梱中）に、金属製シート２１と樹脂製シート２４とが、外部の部位、部材等に同時に接触する。従って、積層マスク２０’に加わる加重を金属製シート２１と樹脂製シート２４との両方が積層された状態で受けることができる。このため、金属製シート２１のみで加重を受ける場合よりも、金属製シート２１が破損するおそれを低減することができる。   According to the present embodiment, the outer contour 211 of the metal sheet 21 overlaps the outer contour 241 ′ of the resin sheet 24 ′ in plan view, so that the laminated mask 20 is being handled (for example, being transported or opened). During packaging, the metal sheet 21 and the resin sheet 24 are simultaneously in contact with external parts, members, and the like. Therefore, the load applied to the lamination mask 20 'can be received in a state where both the metal sheet 21 and the resin sheet 24 are laminated. For this reason, the possibility that the metal sheet 21 is damaged can be reduced as compared with the case where the load is applied only by the metal sheet 21.

≪変形例≫
なお、上述した第１の実施の形態および第２の実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した第１の実施の形態および第２の実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。 ≪Modification≫
It should be noted that various modifications can be made to the first embodiment and the second embodiment described above. Hereinafter, an example of modification will be described with reference to the drawings. In the following description and the drawings used in the following description, portions that can be configured in the same manner as in the first embodiment and the second embodiment described above are used for corresponding portions in the above-described embodiment. The same reference numerals as those used will be used, and redundant description will be omitted.

上述した実施の形態において、図５に示すように、隣り合う貫通孔２５の壁面が、互いに離間して配置され、隣り合う貫通孔２５の間に平坦な面が形成されている例を示したが、これに限られない。図１４（ａ）および図１４（ｂ）に、隣り合う貫通孔２５の壁面同士が接続されている例を示す。このうち図１４（ａ）は、部分平面図であり、図１４（ｂ）は、図１４（ａ）のＡ−Ａ線に沿った断面における断面図である。図１４（ａ）および図１４（ｂ）に示す例でも、金属製シート２１の法線方向ｎｄに沿った断面における各第１孔２８の輪郭は、金属製シート２１のシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、第１面２１ａの側から第２面２１ｂの側へ向かうにつれて、互いに接近していく一対の第１部分２８ａを有している。一方、樹脂製シート２４の法線方向ｎｄに沿った断面における各第２孔２９の輪郭は、樹脂製シート２４のシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、第３面２４ｃの側から第４面２４ｄの側へ向かうにつれて、互いに接近していく一対の第２部分２９ａを有している。従って、図１４に示す積層マスク２０も、図５に示す積層マスク２０と同様な作用効果を奏する。   In the above-described embodiment, as shown in FIG. 5, the example is shown in which the wall surfaces of the adjacent through holes 25 are spaced apart from each other and a flat surface is formed between the adjacent through holes 25. However, it is not limited to this. FIG. 14A and FIG. 14B show an example in which the wall surfaces of adjacent through holes 25 are connected to each other. 14A is a partial plan view, and FIG. 14B is a cross-sectional view taken along the line AA of FIG. 14A. 14A and 14B also, the outline of each first hole 28 in the cross section along the normal direction nd of the metal sheet 21 is in a direction parallel to the sheet surface of the metal sheet 21. And each has a pair of first portions 28a that approach each other from the first surface 21a side toward the second surface 21b side. On the other hand, the contours of the second holes 29 in the cross section along the normal direction nd of the resin sheet 24 are arranged to face each other in a direction parallel to the sheet surface of the resin sheet 24, and each of the second holes 29 has a third surface 24c. It has a pair of 2nd part 29a which mutually approaches as it goes to the 4th surface 24d side from the side. Therefore, the laminated mask 20 shown in FIG. 14 has the same effect as the laminated mask 20 shown in FIG.

上述した実施の形態において、図４に示すように、各貫通孔２５が、有孔領域２２の一端から他端まで細長く延びている例を示したが、これに限られない。図１５に、複数の貫通孔１２５の他の配置例を示す。図１５に示す例では、複数の貫通孔１２５は、有孔領域２２において、一方向に沿って等しい間隔を空けて並べて配置されている。また、各貫通孔１２５は、前記一方向に直交する他方向に長手方向を有し、当該他方向に沿って等しいピッチで並べて配置されている。図１５に示す積層マスク１２０は、例えば、図１５のＢ−Ｂ線に沿った断面図において、図５に示す貫通孔２５と略同様な断面形状を有している。従って、図１５に示す積層マスク１２０も、図５に示す積層マスクと同様な作用効果を奏する。   In the above-described embodiment, as shown in FIG. 4, the example in which each through hole 25 is elongated from one end to the other end of the perforated region 22 is shown, but the present invention is not limited thereto. FIG. 15 shows another arrangement example of the plurality of through holes 125. In the example shown in FIG. 15, the plurality of through holes 125 are arranged side by side at equal intervals along one direction in the perforated region 22. Moreover, each through-hole 125 has a longitudinal direction in the other direction orthogonal to the said one direction, and is located in a line with the same pitch along the said other direction. For example, in the cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 15, the laminated mask 120 illustrated in FIG. 15 has substantially the same cross-sectional shape as the through hole 25 illustrated in FIG. 5. Therefore, the laminated mask 120 shown in FIG. 15 has the same effect as the laminated mask shown in FIG.

上述した実施の形態では、１つの積層マスク２０を用いてガラス基板４２にパターニングを行う例を示したがこれに限られない。図１６および図１７に、ガラス基板に施される他の例および更に他の例を示す。図１６および図１７に示す例では、赤色に発光する赤色用の蒸着材料と、緑色に発光する緑色用の蒸着材料と、青色に発光する青色用の蒸着材料と、を用いて、ガラス基板４２にパターニングが行われる。   In the above-described embodiment, an example in which patterning is performed on the glass substrate 42 by using one laminated mask 20 is shown, but the present invention is not limited to this. 16 and 17 show another example and still another example applied to the glass substrate. In the example shown in FIGS. 16 and 17, a glass substrate 42 is formed using a red vapor deposition material that emits red light, a green vapor deposition material that emits green light, and a blue vapor deposition material that emits blue light. Patterning is performed.

図１６および図１７に示す例では、ガラス基板４２に施される蒸着パターン１４０は、複数の第１配列１４１と複数の第２配列１４２とからなり、これら第１配列１４１と第２配列１４２とは、一方向に沿って交互に等しい間隔をあけて並べて配置されている。各第１配列１４１は、一方向に直交する他方向に沿って交互に等しい間隔をあけて並べて配置された、赤色用の蒸着材料からなる赤色パターン１４３と青色用の蒸着材料からなる青色パターン１４５とからなる。一方、各第２配列１４２は、前記他方向に沿って前記間隔と等しい間隔をあけて並べて配置された、緑色用の蒸着材料からなる緑色パターン１４４からなる。各赤色パターン１４３と各青色パターン１４５とは、同一の形状に形成されている。各緑色パターン１４４は、各赤色パターン１４３および各青色パターン１４５よりも短い一方向に沿った長さを有している。図１６に示す例では、緑色パターン１４４は、赤色パターン１４３および青色パターン１４５と同一の他方向に沿った長さを有している。一方、図１７に示す例では、緑色パターン１４４は、赤色パターン１４３および青色パターン１４５よりも長い他方向に沿った長さを有している。   In the example shown in FIGS. 16 and 17, the vapor deposition pattern 140 applied to the glass substrate 42 includes a plurality of first arrays 141 and a plurality of second arrays 142, and the first array 141, the second array 142, and the like. Are arranged side by side at equal intervals alternately along one direction. Each first array 141 has a red pattern 143 made of a red vapor deposition material and a blue pattern 145 made of a blue vapor deposition material, arranged alternately at equal intervals along another direction orthogonal to one direction. It consists of. On the other hand, each 2nd arrangement | sequence 142 consists of the green pattern 144 which consists of the vapor deposition material for green arrange | positioned along the said other direction at intervals equal to the said space | interval. Each red pattern 143 and each blue pattern 145 are formed in the same shape. Each green pattern 144 has a length along one direction shorter than each red pattern 143 and each blue pattern 145. In the example shown in FIG. 16, the green pattern 144 has the same length along the other direction as the red pattern 143 and the blue pattern 145. On the other hand, in the example shown in FIG. 17, the green pattern 144 has a length along the other direction that is longer than the red pattern 143 and the blue pattern 145.

図１６または図１７に示す蒸着パターン１４０をガラス基板４２に施す場合、各パターン１４３、１４４、１４５毎に対応する積層マスクを準備する必要がある。一例として、図１８に、図１６に示す赤色パターン１４３用の積層マスク２２０における貫通孔２２５の配置例を示す。図１８に示す例では、ガラス基板４２に施される赤色パターン１４３に対応して貫通孔２２５が配置されている。図１８に示す積層マスク２２０は、例えば、図１８のＣ−Ｃ線に沿った断面図において、図５に示す貫通孔２５と略同様な断面形状を有している。従って、図１８に示す積層マスク２２０も、図５に示す積層マスクと同様な作用効果を奏する。同様に、図１７に示す赤色パターン１４３用の積層マスク、図１６および図１７に示す緑色パターン１４４用の積層マスク、並びに、図１６および図１７に示す青色パターン１４５用の積層マスクも、図５に示す積層マスクと同様な作用効果を奏する。   When applying the vapor deposition pattern 140 shown in FIG. 16 or FIG. 17 to the glass substrate 42, it is necessary to prepare a laminated mask corresponding to each of the patterns 143, 144, and 145. As an example, FIG. 18 shows an arrangement example of the through holes 225 in the laminated mask 220 for the red pattern 143 shown in FIG. In the example shown in FIG. 18, the through-hole 225 is arranged corresponding to the red pattern 143 applied to the glass substrate 42. For example, the laminated mask 220 shown in FIG. 18 has substantially the same cross-sectional shape as the through hole 25 shown in FIG. Therefore, the laminated mask 220 shown in FIG. 18 has the same effect as the laminated mask shown in FIG. Similarly, the laminated mask for the red pattern 143 shown in FIG. 17, the laminated mask for the green pattern 144 shown in FIGS. 16 and 17, and the laminated mask for the blue pattern 145 shown in FIGS. The same effects as the laminated mask shown in FIG.

１０ 積層マスク装置
１５ フレーム
２０ 積層マスク
２１ 金属板
２１ａ 第１面
２１ｂ 第２面
２２ 有孔領域
２３ 無孔領域
２４ 樹脂製シート
２４ｃ 第３面
２４ｄ 第４面
２５ 貫通孔
２６ 平坦部
２８ 第１孔
２８ａ 第１部分
２９ 第２孔
２９ａ 第２部分
３０ 積層体
３２ 金属層
３２ａ 第１面
３２ｂ 第２面
３４ 樹脂層
３４ｃ 第３面
３４ｄ 第４面
３５ レジストパターン
４０ 蒸着装置
４２ ガラス基板
４８ 蒸着材料
４４ るつぼ
４６ ヒータ
６１ 第１孔
６２ 第２孔
６９ 中間シート
７０ レーザ加工装置
７２ レーザ照射レンズ
２１１ 外輪郭
２４１ 外輪郭 DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Lamination mask apparatus 15 Frame 20 Lamination mask 21 Metal plate 21a 1st surface 21b 2nd surface 22 Perforated area | region 23 Non-perforated area | region 24 Resin sheet | seat 24c 3rd surface 24d 4th surface 25 Through-hole 26 Flat part 28 1st hole 28a 1st portion 29 2nd hole 29a 2nd portion 30 Laminate 32 Metal layer 32a 1st surface 32b 2nd surface 34 Resin layer 34c 3rd surface 34d 4th surface 35 Resist pattern 40 Deposition apparatus 42 Glass substrate 48 Deposition material 44 Crucible 46 heater 61 first hole 62 second hole 69 intermediate sheet 70 laser processing device 72 laser irradiation lens 211 outer contour 241 outer contour

Claims (11)

樹脂層と、前記樹脂層上に積層された金属層と、を有する積層体の前記金属層をエッチングして、複数の金属製シートに分断し、且つ、前記金属製シートに第１孔を形成する工程と、
各第１孔内にレーザ光を照射して、前記樹脂層を貫通し且つ前記第１孔に通じる第２孔を前記樹脂層に形成する工程と、
平面視において隣り合う前記金属製シートの間となる領域にて前記樹脂層を切断して、前記樹脂層を複数の樹脂製シートに分断し、前記樹脂製シートと前記金属製シートとを有する積層マスクを作製する工程と、
を備える、積層マスクの製造方法。 Etching the metal layer of the laminate having a resin layer and a metal layer laminated on the resin layer to divide the metal layer into a plurality of metal sheets, and to form a first hole in the metal sheet And a process of
Irradiating each first hole with laser light to form a second hole in the resin layer that penetrates the resin layer and communicates with the first hole;
A laminate having the resin sheet and the metal sheet, the resin layer being cut into a plurality of resin sheets by cutting the resin layer in a region between the metal sheets adjacent in plan view. Producing a mask;
A method for manufacturing a laminated mask. 前記樹脂層を切断する工程において、レーザ光を照射して前記樹脂層を切断する、請求項１に記載の積層マスクの製造方法。   The method for manufacturing a laminated mask according to claim 1, wherein in the step of cutting the resin layer, the resin layer is cut by irradiating a laser beam. 前記樹脂層を切断する工程において照射されるレーザ光は、スポット径を調整可能になっており、
前記レーザ光のスポット径を調整することにより、前記金属製シートの外輪郭と前記樹脂製シートの外輪郭との平面視におけるズレを調整する、請求項２に記載の積層マスクの製造方法。 The laser beam irradiated in the step of cutting the resin layer can adjust the spot diameter,
The manufacturing method of the lamination | stacking mask of Claim 2 which adjusts the shift | offset | difference in the planar view of the outer contour of the said metal sheet, and the outer contour of the said resin-made sheet | seat by adjusting the spot diameter of the said laser beam. 平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭よりも内側に位置している、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の積層マスクの製造方法。   4. The method for manufacturing a laminated mask according to claim 1, wherein an outer contour of the metal sheet is located on an inner side of an outer contour of the resin sheet in a plan view. 平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭と重なっている、請求項１乃至３のいずれか一項に記載の積層マスクの製造方法。   4. The method of manufacturing a laminated mask according to claim 1, wherein an outer contour of the metal sheet overlaps with an outer contour of the resin sheet in a plan view. 金属製シートと、
前記金属製シートに積層された樹脂製シートと、
を備え、
前記金属製シートおよび前記樹脂製シートを貫通する複数の貫通孔が形成されており、
平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭よりも内側に位置している、積層マスク。 A metal sheet;
A resin sheet laminated on the metal sheet;
With
A plurality of through holes penetrating the metal sheet and the resin sheet are formed,
In plan view, the outer contour of the metal sheet is positioned on the inner side of the outer contour of the resin sheet. 金属製シートと、
前記金属製シートに積層された樹脂製シートと、
を備え、
前記金属製シートおよび前記樹脂製シートを貫通する複数の貫通孔が形成されており、
平面視において、前記金属製シートの外輪郭は、前記樹脂製シートの外輪郭と重なっている、積層マスク。 A metal sheet;
A resin sheet laminated on the metal sheet;
With
A plurality of through holes penetrating the metal sheet and the resin sheet are formed,
In plan view, the outer contour of the metal sheet overlaps with the outer contour of the resin sheet. 前記貫通孔は、前記金属製シートに形成された第１孔と、前記樹脂製シートに形成された第２孔と、により形成されている、請求項６または７に記載の積層マスク。   The laminated mask according to claim 6 or 7, wherein the through hole is formed by a first hole formed in the metal sheet and a second hole formed in the resin sheet. 前記金属製シートは、前記樹脂製シートと反対側の第１面および前記第１面とは反対側の第２面を有し、
前記樹脂製シートは、前記金属製シート側の第３面および前記第３面とは反対側の第４面を有し、
前記金属製シートの法線方向に沿った断面における各第１孔の輪郭は、前記金属製シートのシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、前記金属製シートの法線方向に沿って前記第１面の側から前記第２面の側へ向かうにつれて、前記金属製シートのシート面に平行な方向に互いに接近していく一対の第１部分を有し、
前記樹脂製シートの法線方向に沿った前記断面における各第２孔の輪郭は、前記樹脂製シートのシート面に平行な方向に対向して配置され、各々が、前記樹脂製シートの法線方向に沿って前記第３面の側から前記第４面の側へ向かうにつれて、前記樹脂製シートのシート面に平行な方向に互いに接近していく一対の第２部分を有する、請求項８に記載の積層マスク。 The metal sheet has a first surface opposite to the resin sheet and a second surface opposite to the first surface;
The resin sheet has a third surface on the metal sheet side and a fourth surface opposite to the third surface,
The outline of each first hole in the cross section along the normal direction of the metal sheet is disposed to face the direction parallel to the sheet surface of the metal sheet, and each is the normal direction of the metal sheet. A pair of first portions that approach each other in a direction parallel to the sheet surface of the metal sheet as it goes from the first surface side to the second surface side along
The outline of each second hole in the cross section along the normal direction of the resin sheet is disposed to face the direction parallel to the sheet surface of the resin sheet, and each is a normal line of the resin sheet. It has a pair of 2nd portions which approach each other in the direction parallel to the sheet surface of the resin sheet as it goes from the third surface side to the fourth surface side along the direction. The laminated mask as described. 前記金属製シートの法線方向に沿った前記断面において、前記第１部分は、湾曲形状となっている、請求項９に記載の積層マスク。   The laminated mask according to claim 9, wherein the first portion has a curved shape in the cross section along the normal direction of the metal sheet. 前記金属製シートの法線方向に沿った断面において、前記第１部分の両端部を結ぶ線分が前記金属製シートの法線方向に対してなす角度は、前記第２部分の両端部を結ぶ線分が前記金属製シートの法線方向に対してなす角度よりも大きい、請求項９または１０に記載の積層マスク。   In a cross section along the normal direction of the metal sheet, an angle formed by a line segment connecting both end portions of the first portion with respect to the normal direction of the metal sheet connects both end portions of the second portion. The laminated mask according to claim 9 or 10, wherein a line segment is larger than an angle formed with respect to a normal direction of the metal sheet.
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