JP2014127115A5 - - Google Patents
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Description
本発明において単位図形が仮の境界線Ｒに沿ってずれる距離は単位図形２１を構成する辺の線幅以上、１００μｍ以下であることが好ましく、さらに好ましくは単位図形２１を構成する辺の線幅の１．５倍以上４０μｍ以下である。また、図２においては仮の境界線Ｒに沿って右方向にダミー部１２の金属パターンがずれているが、ずれる方向は左右方向のいずれでも良い。なお、図２の面内上で境界線Ｒに対して直交する方向に対するズレは無いことが好ましく、具体的にはずれる距離が単位図形２１および２２の線幅を超えないことが好ましい。また図２においては、単位図形２２は単位図形２１と合同の図形であるが、本発明においては、合同であることが視認性の観点で最も好ましいものの、必ずしも合同である必要は無く、略一致の形状でも好ましい。本発明において、略一致とは辺の長さ、格子の角度、辺の位置、辺の太さがほぼ一致していることを言い、辺の長さの場合、±１０％以内の範囲、格子の角度の場合、±５°以内の範囲、辺の位置の場合、辺の長さの±１０％の範囲内、辺の太さ（線幅）が±５０％の範囲内のズレにある場合を言う。
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