JP2014121873A5 - - Google Patents
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- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Claims (11)
- 基板と、該基板上に設けられるインク吐出エネルギー発生素子と、該基板上に設けられインク流路を形成する流路形成部材と、該インク吐出エネルギー発生素子と対向する位置にインク吐出口を有する吐出口形成部材と、を備えるインク吐出ヘッドの製造方法であって、
前記インク吐出口が、外部に開口する側に断面積が一定である部分と、該部分から前記インク吐出エネルギー発生素子側に向けて断面積が大きくなる部分とを有し、
基板上に流路形成部材となる第一のネガ型感光性レジストを形成する工程と、
前記第一のネガ型感光性レジスト上に吐出口形成部材となる第二のネガ型感光性レジストを形成する工程と、
前記第一のネガ型感光性レジストと前記第二のネガ型感光性レジストとを一部混合して相溶層を形成する工程と、
前記第二のネガ型感光性レジスト及び前記相溶層を一括露光し、現像することでインク吐出口を形成する工程と、を含むインク吐出ヘッドの製造方法。 - 前記基板上に前記第一のネガ型感光性レジストを塗布又は転写により形成する工程と、
前記第一のネガ型感光性レジストを選択的に露光して、インク流路パターンを潜像させる工程と、
前記第一のネガ型感光性レジスト上に前記第二のネガ型感光性レジストを塗布または転写により形成する工程と、
前記第二のネガ型感光性レジスト上に溶媒を塗布することで、前記第一のネガ型感光性レジストと前記第二のネガ型感光性レジストとを一部混合して前記相溶層を形成する工程と、
前記第二のネガ型感光性レジスト及び前記相溶層を選択的に一括露光してインク吐出口パターンを潜像させる工程と、
前記第一のネガ型感光性レジスト、前記第二のネガ型感光性レジスト及び前記相溶層を一括現像してインク流路及び前記インク吐出口を形成する工程と、を含む請求項１に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。 - 前記基板上に前記第一のネガ型感光性レジストを塗布又は転写により形成する工程と、
前記第一のネガ型感光性レジストを選択的に露光して、インク流路パターンを潜像させる工程と、
前記第一のネガ型感光性レジスト上に前記第二のネガ型感光性レジストを塗布または転写により形成する工程と、
前記第二のネガ型感光性レジスト上に溶媒を含む第三の材料を塗布することで、前記第一のネガ型感光性レジストと前記第二のネガ型感光性レジストとを一部混合して前記相溶層を形成する工程と、
前記第二のネガ型感光性レジスト、前記第三の材料及び前記相溶層を選択的に一括露光してインク吐出口パターンを潜像させる工程と、
前記第一のネガ型感光性レジスト、前記第二のネガ型感光性レジスト、前記第三の材料及び前記相溶層を一括現像してインク流路及び前記インク吐出口を形成する工程と、を含む請求項１に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第三の材料が撥水性を有する請求項３に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第三の材料に含まれる前記溶媒の割合が５質量％以上、７０質量％以下である請求項３又は４に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第二のネガ型感光性レジストと、前記溶媒との溶解度パラメータ（ＳＰ値）の差の絶対値が３．０以下である請求項２から５のいずれか１項に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
- 前記溶媒の沸点が２２０℃以下である請求項２から６のいずれか１項に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第二のネガ型感光性レジストが溶媒を含有し、前記第二のネガ型感光性レジスト上に塗布される溶媒の沸点が、前記第二のネガ型感光性レジストに含まれる溶媒の沸点以下の温度である請求項２から７のいずれか１項に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第二のネガ型感光性レジストが溶媒を含有し、該溶媒が、前記第二のネガ型感光性レジスト上に塗布される溶媒と同一である請求項２から８のいずれか１項に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
- 前記基板上に前記第一のネガ型感光性レジストを塗布又は転写により形成する工程と、
前記第一のネガ型感光性レジストを選択的に露光して、インク流路パターンを潜像させる工程と、
前記第一のネガ型感光性レジスト上に前記第二のネガ型感光性レジストを加熱しながら塗布または転写し、前記第一のネガ型感光性レジストと前記第二のネガ型感光性レジストとを一部混合して前記相溶層を形成する工程と、
前記第二のネガ型感光性レジスト及び前記相溶層を選択的に一括露光してインク吐出口パターンを潜像させる工程と、
前記第一のネガ型感光性レジスト、前記第二のネガ型感光性レジスト及び前記相溶層を一括現像してインク流路及び前記インク吐出口を形成する工程と、を含む請求項１に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第二のネガ型感光性レジストの露光に対する感度が、前記第一のネガ型感光性レジストの露光に対する感度よりも高い請求項１から１０のいずれか１項に記載のインク吐出ヘッドの製造方法。
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