JP2014121733A - 集光レーザー光を用いて基層を含む部品を合わせて溶接するための方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザー光を部品の間の共通表面に集中させることによって、基層を含む部品を合わせて溶接する方法であり、焦点12のエネルギーは、同時に両方の部品5,13における物質を溶融し、集光レーザー光10は、溶融した物質が固まるとき統合溶接シーム15を形成する速度で互いに移動しない部品に関して移動するよう設けられる。本発明の特徴は、結合される表面が3次元的であるとき、レーザー光10の焦点12の高さ位置が、共通表面にある精度で集中させるレーザー光の前を進む光線7a,7bの測定結果に従って変えられる。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の溶接方法の装置構成である立体図である。
図2は、図1のA−Aで示される断面図である。
図3は、図2において示される点zから、本発明の方法を使用して溶接する動作を示す。
図4,5は、本発明を使用して円形溶接が行われた、上から見られる状態のような図を示す。
Claims (4)
- 第1部品(5)および第2部品(13)のような、基層を含むガラスおよび/または半導体基層のような部品を合わせて溶接するための方法であって、
a.前記部品(5,13)は、共通平面がそれらの間に形成されるように、一方が他方の上に配置され、
b.レーザー光は、レーザー光(10)の焦点(12)エネルギーが同時に両部品(5,13)の材料を溶融するために前記共通平面に集中され、
c.前記集光レーザー光(10)は、溶接される、互いに移動しない部品(5,13)に関して、前記溶融された物質が部品を結合する溶接シームを形成するときの速度(v)で移動するよう設定され、
d.前記集光レーザー光(10)の焦点(12)の高さ位置は、部品(5,13)の共通平面(e)の高さ位置に従って、ある段階の精度で溶接されるように溶接段階の間変更され、
e.前記焦点(12)の前記高さ位置は、(i)〜(iii)のように変更され、
(i)前記測定装置(4)の光線(7a,7b)は、前記レーザー光の進行経路上に、前記集光レーザー光(10)の前において、ある距離(a)を空けて、ある点(8,8.1,8.2など)における前記第1部品(5)の前記第1平面(5’)の高さ位置情報を測定し、前記測定装置(4)は、この情報を前記コンピュータ(9)に入力し、
(ii)前記コンピュータ(9)は、前記点(8,8.1,8.2など)からの前記測定情報に基づいて、これら点の前記高さ位置が例えば基準レベル(6)のような、あるレベルに関して達成されるように、前記測定情報を処理し、
(iii)前記コンピュータ(9)は、前記レーザー光(10)の焦点(12)が測定点(8,8.1,8.2など)において、前記実際の点の値に、前記第1部品(5)の厚み(s)を加えることによって達成される高さ位置、すなわち共通平面領域(e)内にある高さ位置に集中されるように、少なくとも前記第1部品(5)の厚み(s)、すなわち上側と下側の間の距離とともに、補正された高さの値を、例えば基準レベル(6)のようなあるレベルからのレンズ(3)またはレンズ組の距離を変更する前記制御ユニット(11)に入力し、
(f)前記部品(5,13)に関して、前記光線(7a,7b)および集光レーザー光(10)の進行方向は、溶接工程の間、基準レベル(6)のレベルの方向において、一般的な作業ユニット1および/または部品(5,13)の作業ユニット1の向きを変えることによって、または、円形溶接のような、横または斜めの直線的な溶接以外の溶接を行う場合に適切ないくつかの他の方法によって、変更されることを特徴とする、方法。 - 前記第1部品(5)を、前記方法によって使用される前記レーザー光(10)の波長に対して透過性を有する基層を含む他方の部品(13)に溶接することによって結合するために使用されることを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記方法によって達成される前記溶接シームの前記高さ(h)は、30−250μmであることを特徴とする、請求項1または2に記載の方法。
- 前記方法を用いて、前記レーザー光(10)が来る側にいて、前記第2部品(13)に、前記第1部品(5)を結合するとき、前記第1部品(5)の前記厚み(s)が30−3000μmであることを特徴とする、請求項1〜3のいずれかに記載の方法。
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