JP2014116396A - 電子部品 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】部品素体1の両主面に第1及び第2の絶縁体2a、2bが形成されている。部品素体1は、磁性体部5と、該磁性体部5の内部に形成された非磁性体部6とを有し、コイル導体7が、非磁性体部6と接するように形成されている。磁性体部6が、金属磁性材料と第1のガラス成分とを含有し、金属磁性材料と第1のガラス成分との総計に対する第1のガラス成分の含有量が、体積比率で45〜60体積%である。また、非磁性体部6は、セラミック材料と第2のガラス成分とを含有し、セラミック材料と第2のガラス成分との総計に対する第2のガラス成分の含有量が、体積比率で69〜80体積%である。
【選択図】図1
Description
磁性体部5中に金属磁性材料に加えて第1のガラス成分を含有させることにより、焼成処理によって金属磁性粒子間には緻密なガラス相を形成することができると共に、見掛け比誘電率が上昇するのを避けることができる。そしてこれにより磁気特性を損なうこともなく、絶縁性が良好で耐吸湿性や耐めっき液性を確保でき、かつ良好な高周波特性の維持に寄与する。
コイル導体7の主面を比誘電率の低いガラスセラミック(セラミック材料+ガラス成分)からなる非磁性体部6と接触させることにより、コイル導体7間で発生する浮遊容量を低減することができ、高周波特性を改善することが可能となる。
Fe−Si−Cr系材料やFe−Si−Al系材料等の金属磁性材料、及びホウケイ酸アルカリ系ガラス等の第1のガラス成分を用意する。
Al2O3等のセラミック材料、及びホウケイ酸アルカリ系等の第2のガラス成分を用意する。
Ag粉末等の導電性材料にワニスや有機溶剤を加えて混練し、これにより導電性材料を主成分とするコイル導体ペーストを作製する。
図2〜図5は、積層成形体の作製工程を示す平面図である。尚、通常は、大判のベースフィルム上に多数の積層成形体を同時に作製する多数個取り方式が採用されるが、本実施の形態では、説明の都合上、1個の積層成形体を作製する場合について説明する。
このようにして作製された積層成形体を熱処理炉に投入し、大気雰囲気下、300〜500℃で約2時間加熱し、脱バインダ処理を行った後、大気雰囲気下、850℃で1時間程度焼成する。そしてこれにより第1〜第12の磁性体層13a〜13l、第1〜第7の非磁性体層11a〜11g、第1〜第4の導体部14a〜14d、及び第1〜第18の導通ビア12a〜12rが共焼結され、部品素体1の両主面に絶縁体2a、2bが形成され、かつコイル導体7が非磁性体部6の内部に形成された焼結体が作製される。尚、この焼成処理で焼結された第1〜第18の導通ビア12a〜12rは、第1〜第3の貫通導体8a〜8cを形成する。
Ag等の導電性材料を主成分とした外部電極用導電性ペーストを用意する。そして、第1及び第2の絶縁体2a、2bから表面露出している第1〜第3の貫通電極8a〜8cの表面に外部電極用導電性ペーストを塗布し、大気雰囲気下、乾燥後、750〜800℃の温度で所定時間焼成処理を行って第1の外部電極3a、3b、及び第2の外部電極4a、4bを形成し、これにより多層基板が作製される。
金属磁性材料としてFe:92.0重量%、Si:3.5重量%、Cr:4.5重量%を含有した平均粒径6μmのFe−Si−Cr系磁性合金粉末を用意した。
これら試料番号A〜Gの磁性体ペーストをPETフィルム上に塗布し、乾燥する処理を繰り返し、厚みが0.5mmの磁性体シートを作製した。
次に、試料番号A〜Gの円板状試料について、重量を測定した後、水中に60分間浸漬し、その後、各試料を引き上げ、表面の水分をスポンジで吸い取って除去した後、水分除去後の重量を測定し、浸漬前後の増加重量に基づいて吸水率を算出した。
セラミック材料として平均粒径が1μmのAl2O3からなるセラミック粉末を用意した。
試料番号a〜gの非磁性体ペーストを使用し、〔実施例1〕と同様の方法・手順で試料番号a〜gの円板状試料及びリング状試料をそれぞれ作製し、さらに前記円板状試料を使用し、〔実施例1〕と同様の方法・手順で焼成後のガラスの体積含有量を求めた。
試料番号a〜gの円板状試料について、〔実施例1〕と同様の方法・手順で吸水率、比抵抗logρ、及び比誘電率εrを求めた。
〔発明を実施するための形態〕で述べた方法・手順に従い、積層成形体を作製した(図2〜図5参照)。
試料番号1〜9の試料各50個について、外観を光学顕微鏡で観察した。
比較例試料として、〔実施例1〕で作製した磁性体ペーストDを使用し、図8に示すように、磁性体原料で形成された部品素体51にコイル導体52が埋設されると共に、該部品素体51の両主面に第1及び第2の絶縁体53a、53bを形成した多層基板を作製した。
本発明試料として試料番号4を使用した。そして、本発明試料及び比較例試料について、インピーダンスアナライザ(アジレント・テクノロジー社製、E4991A)を使用し、0.1MHz〜100MHzの範囲でインダクタンスの周波数特性を測定し、共振周波数を求めた。
2a 第1の絶縁体(絶縁体)
2b 第2の絶縁体(絶縁体)
5、22 磁性体部
6、23 非磁性体部
7、24 コイル導体
Claims (8)
- 部品素体の両主面に絶縁体が形成された電子部品であって、
前記部品素体が、磁性体部と、該磁性体部の内部に形成された非磁性体部とを有すると共に、コイル導体が、少なくともコイルパターンの主面が前記非磁性体部と接するように形成され、
前記磁性体部が、金属磁性材料と第1のガラス成分とを含有すると共に、前記金属磁性材料と前記第1のガラス成分との総計に対する前記第1のガラス成分の含有量が、体積比率で45〜60体積%であり、
前記非磁性体部が、セラミック材料と第2のガラス成分とを含有すると共に、前記セラミック材料と前記第2のガラス成分との総計に対する前記第2のガラス成分の含有量が、体積比率で69〜80体積%であることを特徴とする電子部品。 - 前記第1のガラス成分と前記第2のガラス成分とは、主成分が同一であることを特徴とする請求項1記載の電子部品。
- 前記第1及び第2のガラス成分は、ケイ素、ホウ素及びアルカリ金属元素を主成分としたホウケイ酸アルカリ系ガラスであることを特徴とする請求項1又は請求項2記載の電子部品。
- 前記第1及び第2のガラス成分は、軟化点が650〜800℃であることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の電子部品。
- 前記金属磁性材料は、少なくともFe、Si及びCrを含有したFe−Si−Cr系材料、及び少なくともFe、Si及びAlを含有したFe−Si−Al系材料のうちのいずれかを含むことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の電子部品。
- 前記セラミック材料は、Al2O3を主成分として含有されていることを特徴とする請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の電子部品。
- 前記絶縁体及び非磁性体部は、同一材料で形成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の電子部品。
- 前記絶縁体及び前記部品素体は、酸化性雰囲気下で一体焼結されてなることを特徴とする請求項1乃至請求項7のいずれかに記載の電子部品。
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