JP2014116219A - 色収差補正装置および電子顕微鏡 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】色収差補正装置100は、第1多極子110は、光軸OAに沿って配置されている第1部分110a、第2部分110b、および第3部分110cを有し、第1部分110a、第2部分110b、および第3部分110cの各々は、厚みを有し、電場四極子場と磁場四極子場とを重畳した四極子場を発生させ、第1部分110aは、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、第2部分110bは、電場四極子場に比べて磁場四極子場が強く設定され、第3部分110cは、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、第2部分110bで発生する二回非点成分は、第1部分110aおよび第3部分110cで発生する二回非点成分と逆符号であり、第2の電磁場は、第1の電磁場を光軸まわりに90°回転させた場である。
【選択図】図3
Description
電子顕微鏡用の色収差補正装置であって、
第1の電磁場を発生させる第1多極子と、
第2の電磁場を発生させる第2多極子と、
を含み、
前記第1多極子は、光軸に沿って配置されている第1部分、第2部分、および第3部分を有し、
前記第1部分、前記第2部分、および前記第3部分の各々は、電子線の進行方向に対し
て厚みを有し、電場四極子場と磁場四極子場とを重畳した四極子場を発生させ、
前記第1部分は、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、
前記第2部分は、電場四極子場に比べて磁場四極子場が強く設定され、
前記第3部分は、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、
前記第2部分で発生する二回非点成分は、前記第1部分および前記第3部分で発生する二回非点成分と逆符号であり、
前記第2の電磁場は、前記第1の電磁場を光軸まわりに90°回転させた場である。
前記第1の電磁場の電場四極子場成分は、前記光軸に沿って、一定であってもよい。
前記第1多極子は、前記第1部分から前記第3部分まで延出している複数の電極を有し、
前記複数の電極は、前記第1部分、前記第2部分、および前記第3部分に一定の電場四極子場を発生させてもよい。
前記第1多極子と前記第2多極子との間に配置されている転送レンズを含んでいてもよい。
前記第1の電磁場に、四回対称の電場または四回対称の磁場を重畳させる第3多極子と、
前記第2の電磁場に、四回対称の電場または四回対称の磁場を重畳させる第4多極子と、
を含んでいてもよい。
前記第1の電磁場に、三回対称の電場または三回対称の磁場を重畳させる第3多極子と、
前記第2の電磁場に、三回対称の電場または三回対称の磁場を重畳させる第4多極子と、
を含んでいてもよい。
前記第1部分および前記第3部分は、凹レンズ作用を有し、
前記第2部分は、凸レンズ作用を有してもよい。
本発明に係る色収差補正装置を含む。
1.1. 色収差補正装置の構成
まず、第1実施形態に係る色収差補正装置の構成について、図面を参照しながら説明す
る。第1実施形態に係る色収差補正装置は、電子顕微鏡用の色収差補正装置である。ここで、電子顕微鏡とは、観察対象に電子(電子線)を当てて拡大する顕微鏡であり、例えば、透過電子顕微鏡(TEM)、走査型透過電子顕微鏡(STEM)、走査電子顕微鏡(SEM)等である。
10に入射し、転送レンズ130を通って、第2多極子120から射出される。
互に変わっている。四極の磁極114a〜114dは、磁場四極子場を発生させる。
場四極子場によって電子線EBが受ける力FBが大きく設定される(FE<FB)。これにより、第2部分110bは、第1部分110aで発生する二回非点成分とは逆符号の二回非点成分を発生させる。すなわち、第2部分110bでは、第1部分110aとは、逆向きの四極子場を電子線に与える。より具体的には、第2部分110bは、図3(A)および図3(B)に示すように、電子線EBのY軌道EByに二回非点の収束方向の成分を与え、電子線EBのX軌道EBxに二回非点の発散方向の成分を与える四極子場を発生させる。これにより、第2部分110bは、図3(A)に示すように、発散成分を持ったY軌道EByを逆向きに押し戻して二回非点成分を減少させ、かつ、X軌道EBxの二回非点の収束成分を弱める。
0では、電子線EBの軌道の対称性が良好である。
分121,122,123の各々は、電場四極子場と磁場四極子場とを重畳して電磁場重畳の四極子場を発生させる。第2多極子120の3つの部分120a,120b,120cが発生させる電磁場重畳の四極子場によって、第2の電磁場が形成される。すなわち、第2の電磁場は、光軸OAに沿って並ぶ各部分120a,120b,120cがつくる電磁場重畳の四極子場によって構成されている。
部分120aは、コンビネーションアベレーションにより電子線に対して凹レンズ作用を生じさせる。すなわち、第1部分120aは、電子線EBに対する凹レンズ作用を有している。
、電子線EBに対する凹レンズ作用を有している。
次に、第1実施形態に係る色収差補正装置100の動作について説明する。図9は、色収差補正装置100の第1多極子110内および第2多極子120内の電子線の軌道を示す模式図である。図9において、それぞれの円は、角度ごと(10mradごと)の電子線の軌道を示している。以下、図3および図9を参照しながら説明する。
軌道EByが二回非点の発散成分を持ち、X軌道EBxが二回非点の収束成分を持つ。
次に、電子線の進行方向に対して厚みを持った四極子場のコンビネーションアベレーションにより、凹レンズ効果が発生する原理、および第2多極子120で色二回非点収差を相殺できる原理について説明する。
空間(焦点面)での位置のr、傾きをr'(=∂r/∂z)、複素角をΩ、複素角に対する微分Ω'(=∂Ω/∂z)とする。A2を単位長さあたりの二回非点収差係数とすると、二回非点収差(幾何収差)は、A2とΩの複素共役を用いて、下記式で表される。
(5)で表される。
通ると、大きな収差が導入される。そのため、二回非点を持った電子線が第1多極子から射出される場合、電子線が転送レンズから大きな収差を受ける場合がある。これは、アライメント(軸合せ)を困難、複雑にする原因となる。色収差補正装置100によれば、第1多極子110から二回非点成分を持たない電子線EBを射出することができるため、転送レンズ130の収差の影響を低減でき、アライメント(軸合わせ)を簡便に行うことができる。
次に、第1実施形態に係る色収差補正装置の変形例について、図面を参照しながら説明する。
まず、第1変形例について説明する。図10は、第1変形例に係る色収差補正装置200の光学系を示す図である。図11は、色収差補正装置200の第1多極子110および第2多極子120について説明するための図である。図11(A)は、色収差補正装置200の構成を説明するための図である。図11(A)では、電子線EBのX軸方向の典型的なビーム軌道としてX軌道EBxを示し、電子線EBのY軸方向の典型的なビーム軌道
としてY軌道EByを示している。図11(B)は、多極子110,120の各部分110a,110b,110c,120a,120b,120cにおける二回非点成分を示す図である。図11(C)は、多極子110,120の各部分110a,110b,110c,120a,120b,120cで発生するレンズ効果を示す図である。図11(D)は、第1多極子110および第2多極子120で発生する色二回非点成分を示す図である。以下、色収差補正装置200において、上述した色収差補正装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第2変形例について説明する。図12は、第2変形例に係る色収差補正装置300の光学系を示す図である。以下、色収差補正装置300において、上述した色収差補正装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第3変形例について説明する。図13は、第3変形例に係る色収差補正装置400の光学系を示す図である。以下、色収差補正装置400において、上述した色収差補正装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第4変形例について説明する。図14は、第4変形例に係る色収差補正装置500の第1多極子510を模式的に示す平面図である。図15は、第4変形例に係る色収差補正装置500の第1多極子510の極512a,512b,522a、522bを模式的に示す斜視図である。なお、図14は、色収差補正装置500を、光軸OA方向から見た図である。以下、色収差補正装置500において、上述した色収差補正装置100の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
次に、第2実施形態に係る電子顕微鏡について、図面を参照しながら説明する。図16は、第2実施形態に係る電子顕微鏡20の構成を説明するための図である。以下、電子顕微鏡20において、上述した電子顕微鏡10の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。
Claims (8)
- 電子顕微鏡用の色収差補正装置であって、
第1の電磁場を発生させる第1多極子と、
第2の電磁場を発生させる第2多極子と、
を含み、
前記第1多極子は、光軸に沿って配置されている第1部分、第2部分、および第3部分を有し、
前記第1部分、前記第2部分、および前記第3部分の各々は、電子線の進行方向に対して厚みを有し、電場四極子場と磁場四極子場とを重畳した四極子場を発生させ、
前記第1部分は、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、
前記第2部分は、電場四極子場に比べて磁場四極子場が強く設定され、
前記第3部分は、磁場四極子場に比べて電場四極子場が強く設定され、
前記第2部分で発生する二回非点成分は、前記第1部分および前記第3部分で発生する二回非点成分と逆符号であり、
前記第2の電磁場は、前記第1の電磁場を光軸まわりに90°回転させた場である、色収差補正装置。 - 請求項1において、
前記第1の電磁場の電場四極子場成分は、前記光軸に沿って、一定である、色収差補正装置。 - 請求項1または2において、
前記第1多極子は、前記第1部分から前記第3部分まで延出している複数の電極を有し、
前記複数の電極は、前記第1部分、前記第2部分、および前記第3部分に一定の電場四極子場を発生させる、色収差補正装置。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記第1多極子と前記第2多極子との間に配置されている転送レンズを含む、色収差補正装置。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記第1の電磁場に、四回対称の電場または四回対称の磁場を重畳させる第3多極子と、
前記第2の電磁場に、四回対称の電場または四回対称の磁場を重畳させる第4多極子と、
を含む、色収差補正装置。 - 請求項1ないし5のいずれか1項において、
前記第1の電磁場に、三回対称の電場または三回対称の磁場を重畳させる第3多極子と、
前記第2の電磁場に、三回対称の電場または三回対称の磁場を重畳させる第4多極子と、
を含む、色収差補正装置。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記第1部分および前記第3部分は、凹レンズ作用を有し、
前記第2部分は、凸レンズ作用を有する、色収差補正装置。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の色収差補正装置を含む電子顕微鏡。
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