JP2014112739A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】実施形態の半導体装置は、第1面、及び第2面を有する第1導電型の半導体基板と、前記第1面側に設けられた第1電極と、前記第2面側に設けられた第2導電型の第1半導体領域と、前記第1半導体領域に設けられた第1導電型の第2半導体領域と、前記第2面上に設けられた絶縁膜と、前記絶縁膜を介して前記第1半導体領域及び前記第2半導体領域上に設けられたゲート電極と、前記絶縁膜及び前記第2面上に設けられ、前記第1半導体領域及び前記第2半導体領域に電気的に接続された第2電極と、前記ゲート電極に電気的に接続され、前記第2半導体領域の直上には設けられていないゲートパッドと、を有する。
【選択図】図1
Description
(半導体装置1aの構造)
第1の実施形態に係る半導体装置1aの構造について、図1、図2及び図3を参照しながら説明する。図1は第1の実施形態に係る半導体装置1aの平面構造を示す平面図、図2は図1のA−A’線における断面を示す断面図、及び図3は図1のB−B’線における断面を示す断面図を示している。なお、図1に示す平面図は、図2及び図3で示すゲート酸化膜13とソース電極15を省略している。
次に半導体装置1aの動作について説明する。
第1の実施形態の半導体装置1aの効果について、比較例を参照して説明する。
以下に、図6及び図7を用いて第2の実施形態について説明する。なお、第2の実施形態について、第1の実施形態と同様の点については説明を省略し、異なる点について説明する。
第2の実施形態に係る半導体装置1cの構造について、図6及び図7を参照しながら説明する。図6は第2の実施形態に係る半導体装置1cの平面構造を示す平面図、図7は図6のA−A’線における断面を示す断面図を示している。
半導体装置1cの動作は半導体装置1aと同様である。
第2の実施形態の半導体装置1cの効果について説明する。
以下に、図8及び図9を用いて第3の実施形態について説明する。なお、第3の実施形態について、第1の実施形態と同様の点については説明を省略し、異なる点について説明する。
第3の実施形態に係る半導体装置1dの構造について、図8及び図9を参照しながら説明する。図8は第3の実施形態に係る半導体装置1dの平面構造を示す平面図、図9は図8のA−A’線における断面を示す断面図を示している。
半導体装置1dの動作は半導体装置1aと同様である。
第3の実施形態の半導体装置1dの効果について説明する。
以下に、図10、図11、及び図12を用いて第4の実施形態について説明する。なお、第4の実施形態について、第1の実施形態と同様の点については説明を省略し、異なる点について説明する。
第4の実施形態に係る半導体装置1eの構造について、図10、図11、及び図12を参照しながら説明する。図10は第4の実施形態に係る半導体装置1eの平面構造を示す平面図、図11は図10のA−A’線における断面を示す断面図、及び図12は図10のB−B’線における断面を示す断面図を示している。
半導体装置1eの動作は半導体装置1aと同様である。
第4の実施形態の半導体装置1eの効果について説明する。
Claims (2)
- 第1面、及び第2面を有する第1導電型の半導体基板と、
前記第1面側に設けられた第1電極と、
前記半導体基板の前記第2面側に設けられた第2導電型の第1半導体領域と、
前記第1半導体領域に選択的に設けられた第1導電型の第2半導体領域と、
前記第2面上に設けられた絶縁膜と、
前記絶縁膜を介して前記第1半導体領域及び前記第2半導体領域上に設けられたゲート電極と、
前記絶縁膜及び前記第2面上に設けられ、前記第1半導体領域及び前記第2半導体領域に電気的に接続された第2電極と、
前記ゲート電極に電気的に接続され、前記第2半導体領域の直上には設けられていないゲートパッドと、
を有する半導体装置。 - 前記ゲートパッドは、前記第2面側において、前記第2電極に囲まれている請求項1に記載の半導体装置。
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