JP2014106172A - 透明電極検査装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 光照射して透光性基板に形成されている透明電極の形状を観察する透明電極検査装置において、装置のコストをUPさせずに、透明電極の種類や状態が様々あっても、精度よく透明電極が観察できるようにする。
【解決手段】 紫外線レーザ光を偏光ビームスプリッタ18にて反射させるか透過させるかのどちらかを選択できるようにし、透過した紫外線レーザ光は検査対象物に反射する方向から照射され、反射した紫外線レーザ光は検査対象物に透過する方向から照射されるようにする。紫外線レーザ光が検査対象物に反射する方向から照射されるときはステージ30を傾斜させ、検査対象物に透過する方向から照射されるときはステージ30を水平にして、検査対象物から出射する紫外線レーザ光の光軸が紫外線カメラ36の光軸と平行になるようにする。また、紫外線レーザ光の光路上への拡散板23,28のセットと除去が可能なようにする。
【選択図】 図1
【解決手段】 紫外線レーザ光を偏光ビームスプリッタ18にて反射させるか透過させるかのどちらかを選択できるようにし、透過した紫外線レーザ光は検査対象物に反射する方向から照射され、反射した紫外線レーザ光は検査対象物に透過する方向から照射されるようにする。紫外線レーザ光が検査対象物に反射する方向から照射されるときはステージ30を傾斜させ、検査対象物に透過する方向から照射されるときはステージ30を水平にして、検査対象物から出射する紫外線レーザ光の光軸が紫外線カメラ36の光軸と平行になるようにする。また、紫外線レーザ光の光路上への拡散板23,28のセットと除去が可能なようにする。
【選択図】 図1
Description
本発明は、透光性基板上に形成されている透明電極または薄いフィルムに形成されている透明電極の検査を、光を照射して形状を観察することにより行う透明電極検査装置に関する。
タッチパネルは、ディスプレイの上に薄い板状のガラス基板を密着させ、その上に透明電極が形成されたフィルム状の透明電極層を接着させ、その上に透明な導電性の層(以下、透明電極層という)や表面層等、いくつかの層を形成させた構造になっている。人が指で表面を触ると、透明電極層の抵抗または静電容量が変化することで入力を検出し、ディスプレイに表示された画像を変化させることができる。透明電極層の電極部分を形成する材料としてはITO(Indium tin
Oxide:酸化インジウム膜)があり、ITOにより形成される透明電極はITO電極と呼ばれている。ITOは可視光に対しては透過率が高く、紫外光に対しては透過率が低い(吸収率が高い)という特質がある。上述のように、タッチパネルは板状のガラス基板の上に透明な層を複数形成させた構造になっているが、透明電極層の透明電極の形状が設定通り精度よく形成されていないと、タッチパネルの表面を触っても入力を検出できないことがある。このため、ガラス基板の上に複数の層を形成した状態での透明電極の形状またはフィルム状の透明電極層のみの状態での透明電極の形状を、光を照射して観察することにより形状に異常がないか検査することが行われている。しかしながら、透明電極は可視光に対しては透過率が高く、目視にしろカメラ撮影にしろ通常の観察では十分な観察ができないという問題がある。このため、例えば下記特許文献1に透明電極が紫外光に対しては透過率が低く、それ以外の箇所は透過率が高いことを利用し、紫外光を照射して透過する紫外光の強度を検出することで透明電極層に存在する欠陥を検出することが示されているように、紫外光を照射して検査する方法が提案されている。
Oxide:酸化インジウム膜)があり、ITOにより形成される透明電極はITO電極と呼ばれている。ITOは可視光に対しては透過率が高く、紫外光に対しては透過率が低い(吸収率が高い)という特質がある。上述のように、タッチパネルは板状のガラス基板の上に透明な層を複数形成させた構造になっているが、透明電極層の透明電極の形状が設定通り精度よく形成されていないと、タッチパネルの表面を触っても入力を検出できないことがある。このため、ガラス基板の上に複数の層を形成した状態での透明電極の形状またはフィルム状の透明電極層のみの状態での透明電極の形状を、光を照射して観察することにより形状に異常がないか検査することが行われている。しかしながら、透明電極は可視光に対しては透過率が高く、目視にしろカメラ撮影にしろ通常の観察では十分な観察ができないという問題がある。このため、例えば下記特許文献1に透明電極が紫外光に対しては透過率が低く、それ以外の箇所は透過率が高いことを利用し、紫外光を照射して透過する紫外光の強度を検出することで透明電極層に存在する欠陥を検出することが示されているように、紫外光を照射して検査する方法が提案されている。
しかしながら、本発明者が紫外光を照射して紫外線カメラにより様々な透明電極を観察したところ、透明電極の違いによってまたは透明電極が形成されている状態によって、紫外光を透過させてカメラ撮影した方が精度よく観察できる場合と紫外光を反射させてカメラ撮影した方が精度よく観察できる場合の2つがあることがわかった。また、フィルム状の透明電極層に紫外光を照射してカメラ撮影しても、紫外光の強度を大きく下げないと透過、反射とも精度よく透明電極を観察することができないことが多くあることがわかった。したがって、紫外光の照射方向が固定されている装置、または紫外光の強度の変化範囲が大きくない装置では、透明電極の種類や状態が異なっていると紫外光を照射して透明電極を観察しても、精度よく観察することができない場合が多くあるという問題がある。また、装置に紫外光光源や紫外線カメラを複数設けて、複数の方向から対象物に紫外光を照射して撮影できるようにしたり、紫外光の強度の変化範囲を大きく調整できるようにしたりすると、装置のコストがUPするという問題がある。
本発明はこの問題を解消するためなされたもので、その目的は、透光性基板上に形成されている透明電極または薄いフィルムに形成されている透明電極の検査を、光を照射して形状を観察することにより行う透明電極検査装置において、装置のコストを大きくUPさせずに、透明電極の種類や状態が様々あっても、精度よく透明電極を観察することができる透明電極検査装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明の特徴は、紫外光を略平行光にて出射する紫外光出射手段と、 紫外光出射手段により出射された紫外光を、第1の紫外光と第2の紫外光に分割する紫外光分割手段と、検査対象物である透明電極が形成された透明な平板を、表面裏面方向に光の透過が可能なようにセットできるステージと、ステージにセットされた検査対象物から出射する紫外光を結像レンズを介して受光することにより検査対象物を撮影する紫外線カメラと、第1の紫外光を光束径を変化させて、検査対象物に、検査対象物で反射した第1の紫外光の光軸が紫外線カメラの光軸と略平行になるように照射する第1の紫外光照射手段と、第2の紫外光を光束径を変化させて、検査対象物に、検査対象物を透過した第2の紫外光の光軸が紫外線カメラの光軸と略平行になるように照射する第2の紫外光照射手段と、第1の紫外光と第2の紫外光の内のいずれか選択した紫外光が、ステージにセットされた検査対象物体に照射されるようにする選択手段と、紫外線カメラが出力する信号により紫外線カメラが撮影した画像を表示する表示手段とを備えたことにある。
これによれば、紫外光を紫外光分割手段により第1の紫外光と第2の紫外光に分割し、第1の紫外光照射手段と第2の紫外光照射手段により、ステージにセットされた検査対象物に、紫外光を反射する方向と透過する方向から照射することができるので、紫外光光源は1つでよい。また、検査対象物で反射した紫外光の光軸と透過した紫外光の光軸を、検査対象物を撮影する紫外線カメラの光軸と平行にしているので、撮影カメラも1つでよい。そして、選択手段により、検査対象物に対し反射する方向と透過する方向のいずれかを選択して紫外光を検査対象物に照射することができる。これによれば、装置のコストを大きくUPさせずに、検査対象物の透明電極を精度よく観察できる紫外光の照射方向を選択することができ、透明電極の種類や状態が様々あっても、精度よく透明電極を観察することができる。
また、上記目的を達成するために、本発明の特徴は、第1の紫外光の光路上と第2の紫外光の光路上の少なくとも1つに、紫外光が検査対象物に照射される前に紫外光を拡散する拡散板が、セットと除去とが選択可能なように設けられ、紫外線カメラの結像レンズは、テレセントリックレンズを用いていることにある。これによれば、拡散板をセットすれば、拡散板により紫外光を拡散させて検査対象物に照射し、テレセントリックレンズにより検査対象物から出射する紫外光において紫外線カメラの光軸に平行な紫外光のみを受光して撮影画像を得ることができる。また、拡散板を除けば、紫外光を平行光のまま検査対象物に照射して、検査対象物から出射する大部分が平行光である紫外光により撮影画像を得ることができる。すなわち、紫外光光源の強度を変化させずとも紫外光の強度を大きく変化させて撮影画像を得ることができる。これによれば、装置のコストを大きくUPさせずに、透明電極が形成された板の厚さが様々あっても照射される紫外光を適切な強度にすることができ、透明電極の種類や状態が様々あっても、精度よく透明電極を観察することができる。
また、本発明の別の特徴は、ステージを、ステージにセットされた検査対象物に照射される第1の紫外光と第2の紫外光の、それぞれの光軸に垂直な回転軸周りに回転させて紫外線カメラの光軸に対するステージの法線方向の角度を変化させる角度可変手段と、角度可変手段を制御して、第1の紫外光が検査対象物に照射されるときは、ステージは法線方向が紫外線カメラの光軸と所定の角度にあり、第2の紫外光が検査対象物に照射されるときは、ステージは法線方向が紫外線カメラの光軸と平行になるようにする角度制御手段を備えたことにある。これによれば、検査対象物にて紫外光を反射させるときは、照射する紫外光を検査対象物の面に対して適切な角度にして、検査対象物で反射した紫外光の光軸を紫外線カメラの光軸と略平行にすることができ、検査対象物に紫外光を透過させるときは、照射する紫外光を検査対象物の面に対して垂直にして、検査対象物を透過した紫外光の光軸を紫外線カメラの光軸と略平行にすることができるので、精度よく透明電極を観察することができる。
また、本発明の別の特徴は、紫外光出射手段は偏光のある紫外光を出射し、紫外光分割手段は偏光ビームスプリッタであって、選択手段は、紫外光出射手段と紫外光分割手段の間の紫外光の光路上に設けられた光学素子の移動または光学素子への信号供給により、偏光ビームスプリッタに入射する紫外光の偏光方向を偏光ビームスプリッタの透過方向と同一にするか、透過方向に対し略90度の角度にするかのいずれかを選択する手段であることにある。これによれば、選択手段を簡単な構成にすることができ、装置のコストを大きくUPさせないようにすることができる。
以下、本発明が適用された透明電極検査装置の実施形態について図面を用いて説明する。図1は、本発明が適用された透明電極検査装置の全体構成図である。この透明電極検査装置は、ステージ30に透明電極が形成された板状またはフィルム状の検査対象物を載せ、紫外光を透過または反射するように照射して紫外線カメラ36で透明電極を撮影して撮影画像を表示装置53に表示し、表示された透明電極の形状を見て合否を判定する装置である。
透明電極検査装置は、本体部1内に備えられた各種部品又は装置10〜36、各種回路42〜46およびコンピュータ部50から構成される。なお、図1では構成をわかりやすくするため、各種回路42〜46およびコンピュータ部50は本体部1の外に描かれているが、実際は各種回路42〜46およびコンピュータ部50のコントローラ51は本体部1内にあり、コンピュータ部50の入力装置52および表示装置53は本体部1の筐体に取り付けられている。
レーザ光源10は後述する光源駆動回路44から駆動電圧および電流が入力すると、紫外線レーザ光を出射する。出射する紫外線レーザ光の偏光方向は、後述する偏光ビームスプリッタ18の透過方向と同一又は90度異なる方向になっている。出射された紫外線レーザ光はコリメーティングレンズ11で平行光になり、偏光方向変更装置12により偏光方向がそのままか、90度回転するかのいずれかになる。すなわち偏光方向変更装置12により紫外線レーザ光の偏光方向は、後述する偏光ビームスプリッタ18の透過方向と同一方向又は90度異なる方向のいずれかになる。
偏光方向変更装置12は、図4に示すような構造になっている。支持部材17は貫通穴17aがあり、紫外線レーザ光はこの貫通穴17aの中心を通過する。長尺状の平板15は1/2波長板16を組み付けており、平板15は長尺状の方形の支持部材17上に載置されるとともに、支持部材17に形成した2本の溝17b,17cに係合して、1/2波長板16と共に図示横方向に直線移動可能となっている。平板15の図示裏面側には図示縦方向に延びた多数の歯が形成されており、これらの歯はモータ13の回転軸の先端に固定された歯車14の外側面に形成した歯に噛み合っている。そして、モータ13の回転により、1/2波長板16は平板15と共に図示横方向に移動する。平板15の図示前面には突起部15aが設けられるとともに、支持部材17の上面前部分には突起部15aを挟む位置にて所定間隔だけ隔てたストッパ部17d,17eが設けられている。これにより、1/2波長板16及び平板15は,突起部15aがストッパ部17d,17eの間に位置する所定範囲内にて移動可能となっている。突起部15aがストッパ部17dに当接した状態のとき、1/2波長板16は支持部材17の貫通穴17aと位置が合い、紫外線レーザ光は偏光方向が90度回転する。また、突起部15aがストッパ部17eに当接した状態のとき、支持部材17の貫通穴17aは遮蔽されず、紫外線レーザ光の偏光方向は変化しない。これにより、モータ13を回転させて平板15の位置を2つのいずれかにすることにより、紫外線レーザ光の偏光方向を、後述する偏光ビームスプリッタ18の透過方向と同一方向又は90度異なる方向のいずれかにすることができる。
偏光ビームスプリッタ18は、入射した紫外線レーザ光をその偏光方向により透過させるか又は反射させる。偏光ビームスプリッタ18を透過した紫外線レーザ光はミラー19で反射し、ビームエキスパンダーを構成するレンズ20,21により光束径が大きくなり、本体部1の筐体のガラス窓22から出射してステージ30に載置された検査対象物に照射される。ガラス窓22には拡散板23を嵌め込んだ枠体のセットと取り外しが可能なようになっている。これにより、検査対象物には拡散板23を介して紫外線レーザ光を照射することも、そのまま紫外線レーザ光を照射することも可能である。また、偏光ビームスプリッタ18で反射した紫外線レーザ光はミラー24とミラー25で反射し、ビームエキスパンダーを構成するレンズ26,27により光束径が大きくなり、拡散板28を介するか、又はそのままステージ30の中央に設けられたガラス窓31を通過してステージ30に載置された検査対象物の裏面に照射される。
本体部1のステージ30部分の立体的構造は図2のようになっている。モータ32は回転軸がステージ30の中心線付近でステージ30の側面に固定され、モータ32の回転軸を延長させたステージ30の反対側側面で別の回転軸に固定され、別の回転軸は軸受部33に回転可能に支持されている。これにより、モータ32の回転によりステージ30も回転する。本体部1のステージ30の下部分には、ストッパ用の平板34が取り付けられており、ステージ30が図示反時計周りに回転すると、平板34に当接して停止する。また、図2では本体部1の筐体により隠れているが、平板34が取り付けられた筐体の対向する側の筐体にもステージ30が水平で停止するためのストッパ用の平板が取り付けられており、ステージ30が図示時計周りに回転すると、その平板に当接してステージ30は停止する。よってモータ32を回転させることにより、ステージ30は図1に点線で示すように傾斜した状態と水平の状態のいずれかの状態になる。また、ステージ30に垂直で装置の正面から見て側面になる本体部1の筐体には、ステージ30の下部分に、拡散板28をセットできる引出部材29が出し入れ可能に備えられている。作業者が取っ手29aを持って引出部材29を引き出し、引き出したままにするか、引出部材29にセットされた拡散板28を取り除いて引出部材29を本体部1内に入れることにより、紫外線レーザ光はそのまま検査対象物の裏面に照射される。また、作業者が引出部材29に拡散板28をセットして引出部材29を本体部1内に入れることにより、紫外線レーザ光は拡散板28を介して検査対象物の裏面に照射される。
本体部1の上部には紫外線カメラ36が備えられており、紫外線カメラ36の下部にある本体部1の筐体には、紫外線カメラ36による撮影が可能なように穴35が開けられている。紫外線カメラ36の光軸(後述する結像レンズ36aの光軸)は検査対象物の裏面に照射された紫外線レーザ光の光軸と略平行である。また、ステージ30が図1に点線で示すように傾斜した状態にあるとき、ステージ30で反射した紫外線レーザ光の光軸とも略平行になるように、紫外線レーザ光の照射位置およびステージ30の傾斜角度が調整されている。なお、検査対象物である透明電極が形成された平板またはフィルムはステージ30と略平行であるので、紫外線カメラ36の光軸は検査対象物で反射した紫外線レーザ光の光軸とも略平行である。紫外線カメラ36は検査対象物に焦点が合っており、紫外線レーザ光が裏面から透過された検査対象物または紫外線レーザ光が表面で反射した検査対象物を撮影する。紫外線カメラ36はデジタルカメラであり、コントローラ51から撮影開始の指令が入力すると、後述するCCDまたはCMOSからできている撮像素子36cの各画素が出力する信号の強度をデジタルデータにして画素の位置データとともにコントローラ51に出力する。コントローラ51は入力したデジタルデータを処理して表示装置53に撮像画像を表示させる。検査対象物中の透明電極は前述のように紫外線レーザ光の透過率が低いので、撮影画像には透明電極の形状が表示される。
紫外線カメラ36はテレセントリックレンズ(テレセントリック光学系)で構成されている。テレセントリックレンズは、図3に示すように対象物から結像レンズ36aの光軸(紫外線カメラ36の光軸)に平行な光(点線)のみが撮像素子36cに入射し、それ以外の光(2点鎖線)は中心に孔の開いた遮光板36bで遮断される。これにより、結像レンズ36aの光軸に平行な光のみによる画像が形成される。この結果、拡散板23,28で拡散させた(光の進行方向をランダムにした)紫外線レーザ光を検査対象物にて反射または透過させたとき、紫外線カメラ36の撮像素子36cに入射する紫外光は大幅に減少するため、板状の検査対象物がフィルム状の透明電極層であったときに、透明電極の形状を精度よく観察できるように撮影を行うことができる。
光源駆動回路44は、コントローラ51から照射開始指令が入力すると、紫外線レーザ光源11から設定された強度の紫外線レーザ光が出射されるように、設定された強度の電流および電圧を紫外線レーザ光源10に供給する。モータ駆動回路42,46は、コントローラ51から回転方向の指令が入力すると、モータ13,32が指令を受けた回転方向に設定された回転速度で回転するようにモータ13,32に駆動信号を出力し、モータ13,32内のエンコーダ13a,32aからのパルス信号の入力が停止すると、駆動信号の出力を停止する。これにより、ストッパによりモータ13,32の回転が停止したときに駆動信号が停止し、1/2波長板16をセットした平板15とステージ30は前述した2つの状態のどちらかになる。コントローラ51は入力装置52から入力された「透過」または「反射」の指令により、回転方向の指令をモータ駆動回路42,46に出力する。入力した指令が「透過」のときは、平板15を偏光ビームスプリッタ18で紫外線レーザ光が反射するような位置にし、ステージ30が水平になるように回転方向の指令を出力する。また、入力した指令が「反射」のときは、平板15を偏光ビームスプリッタ18で紫外線レーザ光が透過するような位置にし、ステージ30が傾斜するように回転方向の指令を出力する。
このように構成された透明電極検査装置において、作業者は透明電極の観察による検査を行うときは、検査対象物の種類によりそのまま紫外線レーザ光を照射すべきか、拡散板を介して紫外線レーザ光を照射すべきかを判断し、拡散板を介するときはガラス窓22に拡散板23の取り付けられた枠体をセットし、引出部材29に拡散板28をセットして本体部1内に入れる。また、そのまま紫外線レーザ光を照射するときは、ガラス窓22には何もセットせず、引出部材29を引き出した状態にするか引出部材29にセットされた拡散板28を取り除く。次に、図示されていない透明電極検査装置の電源を入れ、ステージ30に透明電極が形成された板状の検査対象物を載せた後、入力装置52から「透過」または「反射」のいずれかを入力し、検査開始の指令を入力する。これにより、コントローラ51は回転方向の指令をモータ駆動回路42,46に出力し、照射開始指令を光源駆動回路44に出力し、撮影開始指令を紫外線カメラ36に出力する。この結果、紫外線レーザ光が検査対象物に照射され、表示装置53には紫外線カメラ36の撮影画像が表示される。
作業者は表示装置53に表示された撮影画像を見て、紫外線レーザ光の照射方向を変更した方がよいと判断したとき、またはもう1つ方向からの紫外線照射を行ったときの撮影画像と比較したいときは、入力装置から「反射」または「透過」のいずれかを入力する。これにより、ステージ30の状態が変更されるとともに、検査対象物への紫外線の照射方向が変更され、表示装置53には紫外線の照射方向が変更された撮影画像が表示される。また、作業者は拡散板23又は拡散板28の有無を変更した方がよいと判断したとき、あるいは拡散板23又は拡散板28の有無を変更したときの撮影画像と比較したいときは、前述のように拡散板23又は拡散板28をセットするか取り除く。そして、最も撮影画像が鮮明になる条件を見つけた後、撮影画像に表示された透明電極の形状を見て合格または不合格を判定する。
継続して検査を行いたい検査対象物があり、種類が同一のものであれば、ステージ30に載置された検査対象物を次々に交換して検査を行えばよい。また、継続して検査を行いたい検査対象物の種類が様々であるときは、前述のように検査対象物ごとに紫外線レーザ光の照射方向および拡散板の有無を判断するか、様々な条件で撮影を行って最も撮影画像が鮮明になる条件を見つければよい。そして、検査を終了したいときは、作業者は入力装置52から検査終了の指令を入力する。これにより、コントローラ51は、照射停止指令を光源駆動回路44に出力し、撮影停止指令を紫外線カメラ36に出力する。この結果、紫外線レーザ光は照射されなくなり、紫外線カメラ36からのデジタルデータの出力もなくなり、表示装置53から撮影画像が消える。続いて作業者は図示されていない透明電極検査装置の電源を切る。これにより透明電極検査装置は電源投入前の状態に戻る。
上記のように動作する透明電極検査装置の実施形態よれば、紫外線レーザ光を偏光ビームスプリッタ18により第1の紫外光と第2の紫外光に分割し、第1の紫外光をミラー19とビームエキスパンダーを構成するレンズ20,21を介して、ステージ30にセットされた検査対象物に反射する方向から照射し、第2の紫外光をミラー24,25とビームエキスパンダーを構成するレンズ26,27を介してステージ30にセットされた検査対象物に透過する方向から照射することができるので、紫外光光源は1つでよい。また、検査対象物で反射した紫外光の光軸と透過した紫外光の光軸を検査対象物を撮影する紫外線カメラ36の光軸と平行にしているので、撮影カメラも1つでよい。そして、偏光方向変更装置12を作動させることにより、検査対象物に対し反射する方向と透過する方向のいずれかを選択して紫外光を検査対象物に照射することができる。これによれば、装置のコストを大きくUPさせずに、検査対象物の透明電極を精度よく観察できる紫外光の照射方向を選択できるようにすることができ、透明電極の種類や状態が様々あっても、精度よく透明電極を観察することができる。
また、上記のように動作する透明電極検査装置の実施形態よれば、紫外光が検査対象物に照射される前に紫外光を拡散する拡散板23,28が、セットと除去とが選択可能なように設けられ、紫外線カメラ36の結像レンズ36aは、テレセントリックレンズを用いているので、拡散板23,28をセットすれば、拡散板23,28により紫外光を拡散させて検査対象物に照射し、テレセントリックレンズ36aにより検査対象物から出射する紫外光において紫外線カメラ36の光軸に平行な紫外光のみを受光して撮影画像を得ることができる。また、拡散板23,28を除けば、紫外光を平行光のまま検査対象物に照射して、検査対象物から出射する大部分が平行光である紫外光により撮影画像を得ることができる。すなわち、紫外線レーザ光源の強度を変化させずとも紫外光の強度を大きく変化させて撮影画像を得ることができる。これによれば、装置のコストを大きくUPさせずに、透明電極が形成された板の厚さが様々あっても照射される紫外光を適切な強度にすることができ、透明電極の種類や状態が様々あっても、精度よく透明電極を観察することができる。
また、上記のように動作する透明電極検査装置の実施形態よれば、ステージ30を、ステージ30にセットされた検査対象物に照射される第1の紫外光と第2の紫外光の、それぞれの光軸に垂直な回転軸周りに回転させて紫外線カメラ36の光軸に対するステージ30の法線方向の角度を変化させるモータ32と、モータ32に駆動信号を供給するモータ駆動回路46をコントローラ51からの指令により制御して、第1の紫外光が検査対象物に照射されるときは、ステージ30は法線方向が紫外線カメラ36の光軸と所定の角度にあり、第2の紫外光が検査対象物に照射されるときは、ステージ30は法線方向が紫外線カメラの光軸と平行になるようにしたので、検査対象物にて紫外光を反射させるときは照射する紫外光を検査対象物の面に対して適切な角度にして、検査対象物で反射した紫外光の光軸を紫外線カメラ36の光軸と略平行にすることができ、検査対象物に紫外光を透過させるときは照射する紫外光を検査対象物の面に対して垂直にして、検査対象物を透過した紫外光の光軸を紫外線カメラ36の光軸と略平行にすることができ、精度よく透明電極を観察することができる。
また、上記のように動作する透明電極検査装置の実施形態よれば、紫外線レーザ光源10は偏光のある紫外線レーザ光を出射し、紫外線レーザ光源10と偏光ビームスプリッタ18との間の紫外線レーザ光の光路上に設けられた1/2波長板16の移動により、偏光ビームスプリッタ18に入射する紫外線レーザ光の偏光方向を偏光ビームスプリッタ18の透過方向と同一にするか、透過方向に対し略90度の角度にするかのいずれかにすることで、紫外線レーザ光の検査対象物への照射方向を選択できるようにしたので、装置のコストを大きくUPさせないようにすることができる。
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変形も可能である。
上記実施形態では、紫外線レーザ光源10から出射されコリメーティングレンズ11で平行光にされた紫外線レーザ光の光束径を大きくして、検査対象物における紫外線カメラ36の撮影範囲に紫外光が照射されるようにしたが、検査対象物の撮影範囲に紫外線の平行光が照射されるならば、どのような構成にしてもよい。例えば、紫外線ランプから放射状に出射される紫外光を断面が放物線状のミラーで反射させて紫外線の平行光を得、光束径を適切な大きさにして検査対象物に照射するようにしてもよい。
また、上記実施形態では、1/2波長板16を移動させて、1/2波長板16を紫外線レーザ光が透過するか透過しないかのいずれかにすることで、偏光ビームスプリッタ18に入射する紫外線レーザ光の偏光方向を偏光ビームスプリッタ18の透過方向と同一にするか、透過方向に対し略90度の角度にするかのいずれかにするようにしたが、偏光ビームスプリッタ18に入射する紫外線レーザ光の偏光方向を90度異なる2つの方向にそれぞれすることができれば、どのような方法を用いてもよい。例えば、ファラデーロータに供給する電圧を変化させることにより、ファラデーロータを通過した後の紫外線レーザ光の偏光方向を90度異なる2つの方向にそれぞれするようにしてもよい。
また、上記実施形態では、紫外線レーザ光の偏向方向と偏光ビームスプリッタ18の透過方向との関係を変化させることで、紫外線レーザ光の検査対象物への照射方向を変えることができるようにしたが、別の方法により紫外線レーザ光の検査対象物への照射方向を変えることができるようにしてもよい。例えば、偏光ビームスプリッタ18の位置に入射角が45度になるようにしたミラーを設け、このミラーを移動させて紫外線レーザ光が反射するかそのまま進むかのいずれかになるようにしてもよい。また、紫外線レーザ光の光量損失があってもよければ、偏光ビームスプリッタ18の位置にビームスプリッタを設け、反射および透過した紫外線レーザ光を遮蔽するシャッタをそれぞれ設け、いずれかのシャッタが開くような構成にしてもよい。
また、上記実施形態では、ステージ30を回転させることにより、検査対象物にて反射または透過した紫外線レーザ光の光軸が紫外線カメラ36の光軸と平行になるようにしたが、検査対象物にて反射または透過した紫外線レーザ光の光軸が紫外線カメラ36の光軸と平行になれば、別の方法を用いてもよい。例えば、装置のコストUPおよび大型化を問題にしなければ、2つの紫外線レーザ光の光軸が交差する点を中心に紫外線カメラ36が回転移動する構造にし、紫外線カメラ36を移動させて、検査対象物にて反射または透過した紫外線レーザ光の光軸が紫外線カメラ36の光軸と平行になるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、入力装置52からの入力により、検査対象物に対する紫外線レーザ光の照射方向を選択できるようにしたが、検査の効率が要求されず、装置のコストUPをさらに抑制したければ、作業者が手動でステージ30の角度を変更し、手動で紫外線レーザ光の光路上への1/2波長板の挿入を行うようにしてもよい。
また、上記実施形態では、拡散板23,28の紫外線レーザ光の光路上への挿入および除去を、拡散板23をセットした枠体の取り付けおよび拡散板28をセットした引出部材29の出し入れにより行ったが、拡散板23,28の紫外線レーザ光の光路上への挿入および除去を行うことができるならば、どのような構造を用いてもよい。例えば、装置のコストUPおよび大型化を問題にしなければ、対極位置に開口部と拡散板が配置された円盤を回転させて、紫外線レーザ光が開口部または拡散板のどちらかを通過するような構造にしてもよい。また、上記実施形態では、手動により拡散板の紫外線レーザ光の光路上への挿入および除去を行ったが、装置のコストがUPしてもよければ、入力装置52からの入力によりモータを回転させて拡散板をセットした枠体または円盤が移動または回転して、拡散板の紫外線レーザ光の光路上への挿入および除去が行われるようにしてもよい。
また、上記実施形態では、紫外線レーザ光を拡散板を透過させるか否かを選択するのみであったが、拡散の度合いが異なる拡散板を複数用意しておき、検査対象物の種類に応じて適切な拡散板を選択できるようにしてもよい。
10…紫外線レーザ光源、12…偏光方向変更装置、13…モータ、16…1/2波長板、18…偏光ビームスプリッタ、19,24,25…ミラー、20,21,26,27…レンズ、23,28…拡散板、29…引出部材、30…ステージ、32…モータ、36…紫外線カメラ、42,46…モータ駆動回路、44…光源駆動回路、51…コントローラ、52…入力装置、53…表示装置
Claims (4)
- 紫外光を略平行光にて出射する紫外光出射手段と、
前記紫外光出射手段により出射された紫外光を、第1の紫外光と第2の紫外光に分割する紫外光分割手段と、
検査対象物である透明電極が形成された透明な平板を、表面裏面方向に光の透過が可能なようにセットできるステージと、
前記ステージにセットされた前記検査対象物から出射する紫外光を結像レンズを介して受光することにより前記検査対象物を撮影する紫外線カメラと、
前記第1の紫外光を光束径を変化させて、前記検査対象物に、前記検査対象物で反射した前記第1の紫外光の光軸が前記紫外線カメラの光軸と略平行になるように照射する第1の紫外光照射手段と、
前記第2の紫外光を光束径を変化させて、前記検査対象物に、前記検査対象物を透過した前記第2の紫外光の光軸が前記紫外線カメラの光軸と略平行になるように照射する第2の紫外光照射手段と、
前記第1の紫外光と前記第2の紫外光の内のいずれか選択した紫外光が、前記ステージにセットされた前記検査対象物体に照射されるようにする選択手段と、
前記紫外線カメラが出力する信号により前記紫外線カメラが撮影した画像を表示する表示手段とを備えたことを特徴とする透明電極検査装置。 - 前記第1の紫外光の光路上と前記第2の紫外光の光路上の少なくとも1つに、紫外光が前記検査対象物に照射される前に紫外光を拡散する拡散板が、セットと除去とが選択可能なように設けられ、
前記紫外線カメラの結像レンズは、テレセントリックレンズを用いていることを特徴とする請求項1に記載の透明電極検査装置。 - 前記ステージを、前記ステージにセットされた前記検査対象物に照射される前記第1の紫外光とと前記第2の紫外光の、それぞれの光軸に垂直な回転軸周りに回転させて前記紫外線カメラの光軸に対する前記ステージの法線方向の角度を変化させる角度可変手段と、
前記角度可変手段を制御して、前記第1の紫外光が前記検査対象物に照射されるときは、前記ステージは法線方向が前記紫外線カメラの光軸と所定の角度にあり、前記第2の紫外光が前記検査対象物に照射されるときは、前記ステージは法線方向が前記紫外線カメラの光軸と平行になるようにする角度制御手段を備えたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の透明電極検査装置。 - 前記紫外光出射手段は偏光のある紫外光を出射し、
前記紫外光分割手段は偏光ビームスプリッタであって、
前記選択手段は、前記紫外光出射手段と前記紫外光分割手段の間の紫外光の光路上に設けられた光学素子の移動または前記光学素子への信号供給により、前記偏光ビームスプリッタに入射する紫外光の偏光方向を前記偏光ビームスプリッタの透過方向と同一にするか、前記透過方向に対し略90度の角度にするかのいずれかを選択する手段であることを特徴とする請求項1乃至請求項3に記載の透明電極検査装置。
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