JP2014103309A - 発光素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】発光素子は、第1の導電型の第1の半導体層17、活性層15、及び第2の導電型の第2の半導体層13がこの順に積層されている半導体構造層11と、第1の半導体層上に形成された電極19と、第2の半導体層上に形成された散乱電極層25と、散乱電極上に形成された反射層27と、を含む発光素子であって、散乱電極層は、第2の半導体層上に形成され第2の半導体層とオーミック接合を形成しているオーミック部及びオーミック部を貫通して第2の半導体層と非オーミック接合を形成している非オーミック部23を含み、非オーミック部は互いに離間してドット状に形成されている第1の非オーミック部を含み、オーミック部または非オーミック部のいずれかは、活性層からの光に対し透明である。
【選択図】図3
Description
以下に、LED素子を例にして、本発明の実施例に係る半導体素子10について、図1乃至図4を参照しつつ説明する。図1は、本発明の実施例1に係る半導体素子10の散乱電極層(後述する)から見た電極構造を模式的に示す平面図である。また、図2は図1の領域Aの一部拡大図である。図3は図2の3−3線に沿った発光素子10の断面図である。また、図4は、図3の領域Bの一部拡大図である。
11 半導体構造層
13 p型半導体層
15 活性層
17 n型半導体層
19 n電極
21 透光性導電部
23 非オーミック部
23A 連続部
23B ドット部
25 散乱電極層
27 反射層
29 側壁部
Claims (6)
- 第1の導電型の第1の半導体層、活性層、及び第2の導電型の第2の半導体層がこの順に積層されている半導体構造層と、
前記第1の半導体層上に形成された電極と、
前記第2の半導体層上に形成された散乱電極層と、
前記散乱電極上に形成された反射層と、を含む発光素子であって、
前記散乱電極層は、前記第2の半導体層上に形成され前記第2の半導体層とオーミック接合を形成しているオーミック部及び前記オーミック部を貫通して前記第2の半導体層と非オーミック接合を形成している非オーミック部を含み、
前記非オーミック部は互いに離間してドット状に形成されている第1の非オーミック部を含み、
前記オーミック部または前記非オーミック部のいずれかは、前記活性層からの光に対し透明であることを特徴とする発光素子。 - 前記非オーミック部は、前記半導体構造層を挟んで前記電極が形成されている領域と対向する領域に形成されている第2の非オーミック部をさらに有し、前記第1の非オーミック部は前記第2の非オーミック部と離間していることを特徴とする請求項1に記載の発光素子。
- 前記活性層からの光に対し透明な前記オーミック部または前記非オーミック部のいずれかは、前記第2の半導体層の表面に平行な断面における面積が前記第2の半導体層に向かって大きくなるような傾斜面を有することを特徴とする請求項1または2に記載の発光素子。
- 散乱電極層の前記第2の半導体層に接している面における前記複数の第1の非オーミック部の面積占有率が、前記第2の非オーミック部から離間するほど減少することを特徴とする請求項2に記載の発光素子。
- 前記オーミック部は前記活性層からの光に対し透明な透光性導電体からなり、前記非オーミック部は反射性金属材料からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1に記載の発光素子。
- 前記非オーミック部は、透光性絶縁体からなることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1に記載の発光素子。
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