JP2014102289A - 非アルカリ現像型着色組成物、非アルカリ現像型着色転写材料および着色パターン - Google Patents
非アルカリ現像型着色組成物、非アルカリ現像型着色転写材料および着色パターン Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014102289A JP2014102289A JP2012252511A JP2012252511A JP2014102289A JP 2014102289 A JP2014102289 A JP 2014102289A JP 2012252511 A JP2012252511 A JP 2012252511A JP 2012252511 A JP2012252511 A JP 2012252511A JP 2014102289 A JP2014102289 A JP 2014102289A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- development type
- alkali development
- pattern
- layer
- transfer material
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000011161 development Methods 0.000 title claims abstract description 285
- 239000003513 alkali Substances 0.000 title claims abstract description 238
- 239000000203 mixture Substances 0.000 title claims abstract description 183
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 199
- 238000012546 transfer Methods 0.000 title claims description 147
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 claims abstract description 72
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 claims abstract description 36
- 239000000049 pigment Substances 0.000 claims abstract description 35
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims abstract description 27
- 238000004040 coloring Methods 0.000 claims description 151
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 66
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 claims description 58
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 claims description 13
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 claims description 11
- 239000003999 initiator Substances 0.000 claims description 11
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 239000010936 titanium Substances 0.000 claims description 6
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 claims description 5
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 418
- 239000010408 film Substances 0.000 description 105
- 238000000034 method Methods 0.000 description 98
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 86
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 86
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 49
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 41
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 36
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 34
- 230000008569 process Effects 0.000 description 32
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 30
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 29
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 29
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 28
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 25
- -1 polysiloxane Polymers 0.000 description 25
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 24
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 23
- 239000002585 base Substances 0.000 description 23
- 238000004080 punching Methods 0.000 description 23
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 22
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 22
- 239000002070 nanowire Substances 0.000 description 21
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 18
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 15
- FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N D-Glucitol Natural products OC[C@H](O)[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-FSIIMWSLSA-N 0.000 description 14
- 239000000600 sorbitol Substances 0.000 description 14
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 14
- 238000005034 decoration Methods 0.000 description 13
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 13
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 13
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 12
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 12
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 12
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 12
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 11
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 10
- 229940032007 methylethyl ketone Drugs 0.000 description 10
- 239000000047 product Substances 0.000 description 10
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 9
- MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N [3-prop-2-enoyloxy-2-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]methyl]-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C MPIAGWXWVAHQBB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 9
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 9
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 9
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical group C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 8
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 230000001965 increasing effect Effects 0.000 description 8
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 8
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 7
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 7
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 7
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 7
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 7
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 7
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 7
- ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N isocyanuric acid Chemical compound OC1=NC(O)=NC(O)=N1 ZFSLODLOARCGLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 7
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 7
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 7
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 7
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 7
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 6
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 6
- 239000013039 cover film Substances 0.000 description 6
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 6
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 6
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 6
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 6
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 6
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 6
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 6
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 6
- MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 1,2,6-trimethylphenanthrene Chemical compound CC1=CC=C2C3=CC(C)=CC=C3C=CC2=C1C MYWOJODOMFBVCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N D-glucitol Chemical compound OC[C@H](O)[C@@H](O)[C@H](O)[C@H](O)CO FBPFZTCFMRRESA-JGWLITMVSA-N 0.000 description 5
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 5
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 5
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 5
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 5
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 5
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 5
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 5
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229920000620 organic polymer Polymers 0.000 description 5
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 5
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 5
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 5
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 5
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOCCOC(=O)C=C HCLJOFJIQIJXHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 4
- PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N Glycerine Chemical compound OCC(O)CO PEDCQBHIVMGVHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 4
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 4
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 4
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002270 dispersing agent Substances 0.000 description 4
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 4
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 4
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 4
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 4
- 125000003944 tolyl group Chemical group 0.000 description 4
- 239000005341 toughened glass Substances 0.000 description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 4
- PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO PTJWCLYPVFJWMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KEPGNQLKWDULGD-UHFFFAOYSA-N 3-(3-prop-2-enoyloxypropoxy)propyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCCOCCCOC(=O)C=C KEPGNQLKWDULGD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 3
- WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N Benzyl alcohol Chemical compound OCC1=CC=CC=C1 WVDDGKGOMKODPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 3
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 3
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N Vinyl acetate Chemical compound CC(=O)OC=C XTXRWKRVRITETP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 3
- HSZUHSXXAOWGQY-UHFFFAOYSA-N [2-methyl-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HSZUHSXXAOWGQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-prop-2-enoyloxyphenyl)propan-2-yl]phenyl] prop-2-enoate Chemical compound C=1C=C(OC(=O)C=C)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC(=O)C=C)C=C1 FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005396 acrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 3
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 3
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 150000001733 carboxylic acid esters Chemical class 0.000 description 3
- 150000001735 carboxylic acids Chemical class 0.000 description 3
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 3
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 3
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 3
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 3
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 3
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 3
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 3
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N iron Substances [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001755 magnetron sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229920003145 methacrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 3
- 229940117841 methacrylic acid copolymer Drugs 0.000 description 3
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 3
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 3
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 3
- 150000003254 radicals Chemical class 0.000 description 3
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 3
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid Substances OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012719 thermal polymerization Methods 0.000 description 3
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 3
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 3
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 3
- INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-prop-2-enoyloxyethoxy)ethoxy]ethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C=C INQDDHNZXOAFFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO FDSUVTROAWLVJA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000022 2-aminoethyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])N([H])[H] 0.000 description 2
- KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxyethyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCCOC(=O)C=C KUDUQBURMYMBIJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 3-methoxypropyl acetate Chemical compound COCCCOC(C)=O CCTFMNIEFHGTDU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000089 Cyclic olefin copolymer Polymers 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N Ethene Chemical compound C=C VGGSQFUCUMXWEO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N Ethyl urethane Chemical compound CCOC(N)=O JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005977 Ethylene Substances 0.000 description 2
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical group C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N Iron oxide Chemical compound [Fe]=O UQSXHKLRYXJYBZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N Phosphoric acid Chemical compound OP(O)(O)=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M Potassium chloride Chemical compound [Cl-].[K+] WCUXLLCKKVVCTQ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N Propane Chemical compound CCC ATUOYWHBWRKTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M Sodium bicarbonate Chemical compound [Na+].OC([O-])=O UIIMBOGNXHQVGW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane triacrylate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CC)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C DAKWPKUUDNSNPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical group C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000010724 Wisteria floribunda Nutrition 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YPCHGLDQZXOZFW-UHFFFAOYSA-N [2-[[4-methyl-3-[[3-prop-2-enoyloxy-2,2-bis(prop-2-enoyloxymethyl)propoxy]carbonylamino]phenyl]carbamoyloxymethyl]-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound CC1=CC=C(NC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C)C=C1NC(=O)OCC(COC(=O)C=C)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C YPCHGLDQZXOZFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 2
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 2
- AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N benzyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1=CC=CC=C1 AOJOEFVRHOZDFN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol Chemical compound OCCCCO WERYXYBDKMZEQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GKRVGTLVYRYCFR-UHFFFAOYSA-N butane-1,4-diol;2-methylidenebutanedioic acid Chemical compound OCCCCO.OC(=O)CC(=C)C(O)=O.OC(=O)CC(=C)C(O)=O GKRVGTLVYRYCFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 2
- LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N crotonic acid Chemical compound C\C=C\C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-NSCUHMNNSA-N 0.000 description 2
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 2
- SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N diacetone alcohol Chemical compound CC(=O)CC(C)(C)O SWXVUIWOUIDPGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N disiloxane Chemical class [SiH3]O[SiH3] KPUWHANPEXNPJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N epsilon-caprolactam Chemical compound O=C1CCCCCN1 JBKVHLHDHHXQEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-hydroxypropanoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)O LZCLXQDLBQLTDK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical class OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 235000011187 glycerol Nutrition 0.000 description 2
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 2
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- LDHQCZJRKDOVOX-IHWYPQMZSA-N isocrotonic acid Chemical compound C\C=C/C(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-IHWYPQMZSA-N 0.000 description 2
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 2
- 125000005397 methacrylic acid ester group Chemical group 0.000 description 2
- LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N methylenebutanedioic acid Natural products OC(=O)CC(=C)C(O)=O LVHBHZANLOWSRM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002071 nanotube Substances 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052762 osmium Inorganic materials 0.000 description 2
- SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N osmium atom Chemical compound [Os] SYQBFIAQOQZEGI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000005702 oxyalkylene group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 2
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920001451 polypropylene glycol Polymers 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 239000012286 potassium permanganate Chemical class 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 2
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 230000003678 scratch resistant effect Effects 0.000 description 2
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 2
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 2
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 229910052718 tin Inorganic materials 0.000 description 2
- LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N trans-crotonic acid Natural products CC=CC(O)=O LDHQCZJRKDOVOX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 2
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 2
- OAKFFVBGTSPYEG-UHFFFAOYSA-N (4-prop-2-enoyloxycyclohexyl) prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC1CCC(OC(=O)C=C)CC1 OAKFFVBGTSPYEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N (R)-(-)-Propylene glycol Chemical class C[C@@H](O)CO DNIAPMSPPWPWGF-GSVOUGTGSA-N 0.000 description 1
- FGTUGLXGCCYKPJ-SPIKMXEPSA-N (Z)-but-2-enedioic acid 2-[2-(2-hydroxyethoxy)ethoxy]ethanol Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O.OC(=O)\C=C/C(O)=O.OCCOCCOCCO FGTUGLXGCCYKPJ-SPIKMXEPSA-N 0.000 description 1
- 229920003067 (meth)acrylic acid ester copolymer Polymers 0.000 description 1
- SORHAFXJCOXOIC-CCAGOZQPSA-N (z)-4-[2-[(z)-3-carboxyprop-2-enoyl]oxyethoxy]-4-oxobut-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(=O)OCCOC(=O)\C=C/C(O)=O SORHAFXJCOXOIC-CCAGOZQPSA-N 0.000 description 1
- GJZFGDYLJLCGHT-UHFFFAOYSA-N 1,2-diethylthioxanthen-9-one Chemical compound C1=CC=C2C(=O)C3=C(CC)C(CC)=CC=C3SC2=C1 GJZFGDYLJLCGHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VDYWHVQKENANGY-UHFFFAOYSA-N 1,3-Butyleneglycol dimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC(C)CCOC(=O)C(C)=C VDYWHVQKENANGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGBWMWKMTUSNKE-UHFFFAOYSA-N 1-(2-methylprop-2-enoyloxy)hexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCCCCC(OC(=O)C(C)=C)OC(=O)C(C)=C OGBWMWKMTUSNKE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOBUAPTXJKMNCT-UHFFFAOYSA-N 1-prop-2-enoyloxyhexyl prop-2-enoate Chemical compound CCCCCC(OC(=O)C=C)OC(=O)C=C VOBUAPTXJKMNCT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VYMSWGOFSKMMCE-UHFFFAOYSA-N 10-butyl-2-chloroacridin-9-one Chemical compound ClC1=CC=C2N(CCCC)C3=CC=CC=C3C(=O)C2=C1 VYMSWGOFSKMMCE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 10H-phenothiazine Chemical compound C1=CC=C2NC3=CC=CC=C3SC2=C1 WJFKNYWRSNBZNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GKZPEYIPJQHPNC-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)propane-1,3-diol prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OC(=O)C=C.OCC(CO)(CO)CO GKZPEYIPJQHPNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 2-(3-fluorophenyl)-1h-imidazole Chemical compound FC1=CC=CC(C=2NC=CN=2)=C1 JAHNSTQSQJOJLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)-2-[(4-methylphenyl)methyl]-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=C(C)C=C1 PUBNJSZGANKUGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 2-Ethylhexyl acrylate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C=C GOXQRTZXKQZDDN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- APJRQJNSYFWQJD-GGWOSOGESA-N 2-[(e)-but-2-enoyl]oxyethyl (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OCCOC(=O)\C=C\C APJRQJNSYFWQJD-GGWOSOGESA-N 0.000 description 1
- APJRQJNSYFWQJD-GLIMQPGKSA-N 2-[(z)-but-2-enoyl]oxyethyl (z)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C/C(=O)OCCOC(=O)\C=C/C APJRQJNSYFWQJD-GLIMQPGKSA-N 0.000 description 1
- HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]ethoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCOCCOCCOC(=O)C(C)=C HWSSEYVMGDIFMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UNCGZTFKGOWFIW-UHFFFAOYSA-N 2-[3-(2-chlorophenyl)-4,5-diphenyl-4H-imidazol-2-ylidene]-4,5-diphenylimidazole Chemical compound ClC1=C(C=CC=C1)N1C(N=C(C1C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1)=C1N=C(C(=N1)C1=CC=CC=C1)C1=CC=CC=C1 UNCGZTFKGOWFIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VIYWVRIBDZTTMH-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-[4-[2-(2-methylprop-2-enoyloxy)ethoxy]phenyl]propan-2-yl]phenoxy]ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound C1=CC(OCCOC(=O)C(=C)C)=CC=C1C(C)(C)C1=CC=C(OCCOC(=O)C(C)=C)C=C1 VIYWVRIBDZTTMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TURITJIWSQEMDB-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-n-[(2-methylprop-2-enoylamino)methyl]prop-2-enamide Chemical compound CC(=C)C(=O)NCNC(=O)C(C)=C TURITJIWSQEMDB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GDHSRTFITZTMMP-UHFFFAOYSA-N 2-methylidenebutanedioic acid;propane-1,2-diol Chemical compound CC(O)CO.OC(=O)CC(=C)C(O)=O.OC(=O)CC(=C)C(O)=O GDHSRTFITZTMMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000003504 2-oxazolinyl group Chemical group O1C(=NCC1)* 0.000 description 1
- VFZKVQVQOMDJEG-UHFFFAOYSA-N 2-prop-2-enoyloxypropyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)COC(=O)C=C VFZKVQVQOMDJEG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 3,5-dimethylhex-1-yn-3-ol Chemical compound CC(C)CC(C)(O)C#C NECRQCBKTGZNMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FQMIAEWUVYWVNB-UHFFFAOYSA-N 3-prop-2-enoyloxybutyl prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OC(C)CCOC(=O)C=C FQMIAEWUVYWVNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 4-(2-methylprop-2-enoyloxy)butyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCCCOC(=O)C(C)=C XOJWAAUYNWGQAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KTZOPXAHXBBDBX-FCXRPNKRSA-N 4-[(e)-but-2-enoyl]oxybutyl (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OCCCCOC(=O)\C=C\C KTZOPXAHXBBDBX-FCXRPNKRSA-N 0.000 description 1
- DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 4-bromo-1,1,1-trifluorobutane Chemical compound FC(F)(F)CCCBr DBCAQXHNJOFNGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 5-(5-carboxythiophen-2-yl)thiophene-2-carboxylic acid Chemical class S1C(C(=O)O)=CC=C1C1=CC=C(C(O)=O)S1 DDFHBQSCUXNBSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 8beta-(2,3-epoxy-2-methylbutyryloxy)-14-acetoxytithifolin Natural products COC(=O)C(C)O LPEKGGXMPWTOCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002126 Acrylic acid copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229910001316 Ag alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- LAKGQRZUKPZJDH-GLIMQPGKSA-N C\C=C/C(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)\C=C/C Chemical compound C\C=C/C(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)\C=C/C LAKGQRZUKPZJDH-GLIMQPGKSA-N 0.000 description 1
- 229940126062 Compound A Drugs 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241000218691 Cupressaceae Species 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N Heterophylliin A Natural products O1C2COC(=O)C3=CC(O)=C(O)C(O)=C3C3=C(O)C(O)=C(O)C=C3C(=O)OC2C(OC(=O)C=2C=C(O)C(O)=C(O)C=2)C(O)C1OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 NLDMNSXOCDLTTB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005057 Hexamethylene diisocyanate Substances 0.000 description 1
- 229910021578 Iron(III) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N Leucocrystal Violet Chemical compound C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(C=1C=CC(=CC=1)N(C)C)C1=CC=C(N(C)C)C=C1 OAZWDJGLIYNYMU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LRYAPECLTRYCTR-UHFFFAOYSA-N NC(=O)C=C.NC(=O)C=C.NC(=O)C=C.NCCNCCN Chemical compound NC(=O)C=C.NC(=O)C=C.NC(=O)C=C.NCCNCCN LRYAPECLTRYCTR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDMUKYUKJKCOEE-SPIKMXEPSA-N OC(=O)\C=C/C(O)=O.OC(=O)\C=C/C(O)=O.OCC(CO)(CO)CO Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O.OC(=O)\C=C/C(O)=O.OCC(CO)(CO)CO YDMUKYUKJKCOEE-SPIKMXEPSA-N 0.000 description 1
- BEAWHIRRACSRDJ-UHFFFAOYSA-N OCC(CO)(CO)CO.OC(=O)CC(=C)C(O)=O.OC(=O)CC(=C)C(O)=O Chemical compound OCC(CO)(CO)CO.OC(=O)CC(=C)C(O)=O.OC(=O)CC(=C)C(O)=O BEAWHIRRACSRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920002845 Poly(methacrylic acid) Polymers 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 1
- 229920001328 Polyvinylidene chloride Polymers 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Propanedioic acid Natural products OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N Ruthenium Chemical compound [Ru] KJTLSVCANCCWHF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910006404 SnO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010044565 Tremor Diseases 0.000 description 1
- OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane trimethacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CC)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C OKKRPWIIYQTPQF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N Vinyl chloride Chemical compound ClC=C BZHJMEDXRYGGRV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GQPVFBDWIUVLHG-UHFFFAOYSA-N [2,2-bis(hydroxymethyl)-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)C(C)=C GQPVFBDWIUVLHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CQHKDHVZYZUZMJ-UHFFFAOYSA-N [2,2-bis(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxypropyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)C=C CQHKDHVZYZUZMJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N [2,2-dimethyl-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(C)(C)COC(=O)C(C)=C ULQMPOIOSDXIGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUOBEAZXHLTYLF-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-2-(prop-2-enoyloxymethyl)butyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(CC)COC(=O)C=C TUOBEAZXHLTYLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)-2-(2-methylprop-2-enoyloxymethyl)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(CO)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C JUDXBRVLWDGRBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAKGQRZUKPZJDH-GGWOSOGESA-N [2-[[(e)-but-2-enoyl]oxymethyl]-3-hydroxy-2-(hydroxymethyl)propyl] (e)-but-2-enoate Chemical compound C\C=C\C(=O)OCC(CO)(CO)COC(=O)\C=C\C LAKGQRZUKPZJDH-GGWOSOGESA-N 0.000 description 1
- SWHLOXLFJPTYTL-UHFFFAOYSA-N [2-methyl-3-(2-methylprop-2-enoyloxy)-2-(2-methylprop-2-enoyloxymethyl)propyl] 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC(C)(COC(=O)C(C)=C)COC(=O)C(C)=C SWHLOXLFJPTYTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 1
- 239000012190 activator Substances 0.000 description 1
- 238000012644 addition polymerization Methods 0.000 description 1
- 229920000180 alkyd Polymers 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000147 aluminium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000003373 anti-fouling effect Effects 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N antimony atom Chemical compound [Sb] WATWJIUSRGPENY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001491 aromatic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 1
- 235000019445 benzyl alcohol Nutrition 0.000 description 1
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- OZQCLFIWZYVKKK-UHFFFAOYSA-N butane-1,3-diol 2-methylidenebutanedioic acid Chemical compound CC(O)CCO.OC(=O)CC(=C)C(O)=O.OC(=O)CC(=C)C(O)=O OZQCLFIWZYVKKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000484 butyl group Chemical group [H]C([*])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000001721 carbon Chemical group 0.000 description 1
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 1
- 239000011203 carbon fibre reinforced carbon Substances 0.000 description 1
- 239000002041 carbon nanotube Substances 0.000 description 1
- 229910021393 carbon nanotube Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 1
- 150000001844 chromium Chemical class 0.000 description 1
- 239000012459 cleaning agent Substances 0.000 description 1
- 238000004581 coalescence Methods 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000006482 condensation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N cyclohexyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OC1CCCCC1 OIWOHHBRDFKZNC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004956 cyclohexylene group Chemical group 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 239000000539 dimer Substances 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 235000013870 dimethyl polysiloxane Nutrition 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N doxepin Chemical compound C1OC2=CC=CC=C2C(=C/CCN(C)C)/C2=CC=CC=C21 ODQWQRRAPPTVAG-GZTJUZNOSA-N 0.000 description 1
- 230000003670 easy-to-clean Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- DAOJMFXILKTYRL-UHFFFAOYSA-N ethane-1,2-diol;2-methylidenebutanedioic acid Chemical compound OCCO.OC(=O)CC(=C)C(O)=O.OC(=O)CC(=C)C(O)=O DAOJMFXILKTYRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940116333 ethyl lactate Drugs 0.000 description 1
- STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N ethylene glycol dimethacrylate Substances CC(=C)C(=O)OCCOC(=O)C(C)=C STVZJERGLQHEKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 1
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 1
- VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N glycidyl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CO1 VOZRXNHHFUQHIL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 239000005400 gorilla glass Substances 0.000 description 1
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 1
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 1
- RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N hexamethylene diisocyanate Chemical compound O=C=NCCCCCCN=C=O RRAMGCGOFNQTLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical compound CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N indium;oxotin Chemical compound [In].[Sn]=O AMGQUBHHOARCQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007641 inkjet printing Methods 0.000 description 1
- RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K iron trichloride Chemical class Cl[Fe](Cl)Cl RBTARNINKXHZNM-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 1
- CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N linalool Chemical compound CC(C)=CCCC(C)(O)C=C CDOSHBSSFJOMGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940002712 malachite green oxalate Drugs 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N maleic acid Chemical compound OC(=O)\C=C/C(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UPHRSURJSA-N 0.000 description 1
- 239000011976 maleic acid Substances 0.000 description 1
- 150000002689 maleic acids Chemical class 0.000 description 1
- WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L manganese(2+);methyl n-[[2-(methoxycarbonylcarbamothioylamino)phenyl]carbamothioyl]carbamate;n-[2-(sulfidocarbothioylamino)ethyl]carbamodithioate Chemical compound [Mn+2].[S-]C(=S)NCCNC([S-])=S.COC(=O)NC(=S)NC1=CC=CC=C1NC(=S)NC(=O)OC WPBNNNQJVZRUHP-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 239000011817 metal compound particle Substances 0.000 description 1
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 1
- JWIUUJBKZANVSK-UHFFFAOYSA-N methanol prop-2-enoic acid Chemical compound C(C=C)(=O)O.CO.CO JWIUUJBKZANVSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N methyl 1,3-benzoxazole-2-carboxylate Chemical compound C1=CC=C2OC(C(=O)OC)=NC2=C1 YDKNBNOOCSNPNS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940057867 methyl lactate Drugs 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 125000000896 monocarboxylic acid group Chemical group 0.000 description 1
- ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N n,n'-methylenebisacrylamide Chemical compound C=CC(=O)NCNC(=O)C=C ZIUHHBKFKCYYJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YQCFXPARMSSRRK-UHFFFAOYSA-N n-[6-(prop-2-enoylamino)hexyl]prop-2-enamide Chemical compound C=CC(=O)NCCCCCCNC(=O)C=C YQCFXPARMSSRRK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N neopentyl glycol Chemical compound OCC(C)(C)CO SLCVBVWXLSEKPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N nitrogen Substances N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N nitrogen group Chemical group [N] QJGQUHMNIGDVPM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000269 nucleophilic effect Effects 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 125000005010 perfluoroalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 229950000688 phenothiazine Drugs 0.000 description 1
- 125000001997 phenyl group Chemical group [H]C1=C([H])C([H])=C(*)C([H])=C1[H] 0.000 description 1
- 150000003009 phosphonic acids Chemical group 0.000 description 1
- 239000012994 photoredox catalyst Substances 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920000233 poly(alkylene oxides) Chemical group 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920006289 polycarbonate film Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 1
- 230000000379 polymerizing effect Effects 0.000 description 1
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 1
- 229920000915 polyvinyl chloride Polymers 0.000 description 1
- 239000004800 polyvinyl chloride Substances 0.000 description 1
- 229920002102 polyvinyl toluene Polymers 0.000 description 1
- 239000005033 polyvinylidene chloride Substances 0.000 description 1
- 229920000036 polyvinylpyrrolidone Polymers 0.000 description 1
- 239000001267 polyvinylpyrrolidone Substances 0.000 description 1
- 235000013855 polyvinylpyrrolidone Nutrition 0.000 description 1
- 239000001103 potassium chloride Substances 0.000 description 1
- 235000011164 potassium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 125000002924 primary amino group Chemical group [H]N([H])* 0.000 description 1
- HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N prop-2-enylbenzene Chemical compound C=CCC1=CC=CC=C1 HJWLCRVIBGQPNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003242 quaternary ammonium salts Chemical class 0.000 description 1
- 229920005604 random copolymer Polymers 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 229910052703 rhodium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010948 rhodium Substances 0.000 description 1
- MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N rhodium atom Chemical compound [Rh] MHOVAHRLVXNVSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004576 sand Substances 0.000 description 1
- 238000007127 saponification reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 229920002379 silicone rubber Polymers 0.000 description 1
- 239000004945 silicone rubber Substances 0.000 description 1
- 235000017557 sodium bicarbonate Nutrition 0.000 description 1
- 229910000030 sodium bicarbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000029 sodium carbonate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 125000000542 sulfonic acid group Chemical group 0.000 description 1
- HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N sulfuric acid;sulfur trioxide Chemical compound O=S(=O)=O.OS(O)(=O)=O HIFJUMGIHIZEPX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 238000004154 testing of material Methods 0.000 description 1
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 1
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011135 tin Substances 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000005424 tosyloxy group Chemical group S(=O)(=O)(C1=CC=C(C)C=C1)O* 0.000 description 1
- VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N trans-butenedioic acid Natural products OC(=O)C=CC(O)=O VZCYOOQTPOCHFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000013638 trimer Substances 0.000 description 1
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 1
- 150000003673 urethanes Chemical class 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- ZTWTYVWXUKTLCP-UHFFFAOYSA-N vinylphosphonic acid Chemical class OP(O)(=O)C=C ZTWTYVWXUKTLCP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000006839 xylylene group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004383 yellowing Methods 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 1
- YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N zinc indium(3+) oxygen(2-) Chemical compound [O--].[Zn++].[In+3] YVTHLONGBIQYBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003754 zirconium Chemical class 0.000 description 1
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical compound O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C08—ORGANIC MACROMOLECULAR COMPOUNDS; THEIR PREPARATION OR CHEMICAL WORKING-UP; COMPOSITIONS BASED THEREON
- C08F—MACROMOLECULAR COMPOUNDS OBTAINED BY REACTIONS ONLY INVOLVING CARBON-TO-CARBON UNSATURATED BONDS
- C08F2/00—Processes of polymerisation
- C08F2/44—Polymerisation in the presence of compounding ingredients, e.g. plasticisers, dyestuffs, fillers
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Medicinal Chemistry (AREA)
- Polymers & Plastics (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Materials For Photolithography (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Liquid Crystal (AREA)
- Devices For Indicating Variable Information By Combining Individual Elements (AREA)
Abstract
【解決手段】黒色顔料と、シリコーン樹脂と、重合性化合物を含み、前記重合性化合物がモノマーまたはオリゴマーであり、かつ、分子内に−Si−O−Si−結合を有さないことを特徴とすることを特徴とする非アルカリ現像型着色組成物。
【選択図】なし
Description
ブラックマトリクスの遮光性を向上させて段差(厚み)を低くする目的で、組成物中に含まれるカーボンブラックなどの遮光成分の含有量を多くする試みがなされている。しかしながら、遮光成分の含有量を多くする方法においては、感度低下に加え、現像性、解像性、ブラックマトリクスのパターン形状に問題があった。すなわち、パターン形状変化など、特性が悪化する問題があった。
遮光性向上は着色剤濃度を上げることで達成できるが、上記した、従来公知の着色感光性樹脂組成物では、着色剤の濃度を上げると、画素のパターン形状がオーバーハングと呼ばれる逆テーパー形状となり、形状が著しく悪化し、次工程での塗工ムラが発生し、その結果、品質や歩留まりの低下を招いていた。また着色剤濃度を上げずに膜厚を厚くすることによっても遮光性を向上することは可能だが、研磨や保護膜等、平坦化工程が必要となり、コストアップの原因となっていた。
このような入力装置(タッチパネル)には、抵抗膜型、静電容量型などがある。静電容量型の入力装置は、単に一枚の基板に透光性導電膜を形成すればよいという利点がある。
このような静電容量型の入力装置においては、指またはタッチペンなどで触れる領域の周囲に加飾層として黒色の額縁を設けることがある。静電容量型入力装置を製造するときには、加飾層を形成した後の工程においてITO透明電極パターンを蒸着などにより形成するが、加飾層の断面が逆テーパー形状であったり、表面凹凸が大きかったりすると、ITO透明電極の断線や、気泡混入の問題が生じることがあった。また、指またはタッチペンなどで触れる領域の周囲の額縁として使用される加飾層は画像表示部に近接していることが多いために目立ちやすく、加飾材の枠内部の直線部にはシャープな直線性が、外観品質を高める観点から求められている。
本発明の目的は上記問題を解決することにある。すなわち、本発明が解決しようとする課題は、断面形状、表面平滑性および直線部の直線性が良好である着色パターンを作製することができる、非アルカリ現像型着色組成物を提供することにある。
すなわち、上記課題を解決するための具体的手段である本発明は以下のとおりである。
[2] [1]に記載の非アルカリ現像型着色組成物は、前記黒色顔料が、カーボンブラックまたはチタンブラックであることが好ましい。
[3] [1]または[2]に記載の非アルカリ現像型着色組成物は、前記黒色顔料が表面被覆されたことが好ましい。
[4] [1]〜[3]のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物は、非アルカリ現像型着色組成物中の前記黒色顔料の含有割合(a)と前記シリコーン樹脂の含有割合(b)の質量比率が、下記式(1)を満たすことが好ましい。
式(1) 0.33≦(a)/(b)≦10
[5] [1]〜[4]のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物は、前記シリコーン樹脂がカルボキシル基、ラジカル重合性基およびアミノ基をいずれも有さないことが好ましい。
[6] [1]〜[5]のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物は、前記重合性化合物がカルボキシル基を有さないことが好ましい。
[7] [1]〜[6]のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物は、前記重合性化合物が(メタ)アクリル基を4つ以上有することが好ましい。
[8] [1]〜[7]のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物は、さらに光重合開始剤または光重合開始系を含むことが好ましい。
[10] [9]に記載の非アルカリ現像型着色転写材料は、前記仮支持体と前記非アルカリ現像型着色組成物層との間に熱可塑性樹脂層を設けたことが好ましい。
[11] [9]または[10]に記載の非アルカリ現像型着色転写材料は、少なくとも前記非アルカリ現像型着色組成物層がパターンを有することが好ましい。
[12] [9]〜[11]のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色転写材料は、前記非アルカリ現像型着色転写材料の全体がパターンを有することが好ましい。
[14] [13]に記載の着色パターンは、[9]〜[12]のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて作製されてなり、パターン基板上に形成するときに、前記非アルカリ現像型着色転写材料の全体が有するパターンが、前記パターン基板のうち少なくとも外周部のパターンに合致することが好ましい。
[16] [15]に記載の静電容量型入力装置は、前面板と、前記前面板の非接触側に少なくとも下記(1)〜(5)の要素を有し、前記(1)加飾層として前記着色パターンを含むことが好ましい。
(1)加飾層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
[17] [15]または[16]に記載の静電容量型入力装置を備えることを特徴とする画像表示装置。
以下に記載する構成要件の説明は、本発明の代表的な実施態様に基づいてなされることがあるが、本発明はそのような実施態様に限定されるものではない。なお、本明細書において「〜」を用いて表される数値範囲は、「〜」の前後に記載される数値を下限値および上限値として含む範囲を意味する。
本発明の非アルカリ現像型着色組成物は、黒色顔料と、シリコーン樹脂と、重合性化合物を含み、前記重合性化合物がモノマーまたはオリゴマーであり、かつ、分子内に−Si−O−Si−結合を有さないことを特徴とすることを特徴とする。
このような構成の非アルカリ現像型着色組成物を用いることで、断面形状、表面平滑性および額縁の直線性が良好である着色パターンを作製することができる。
(黒色顔料)
本発明の非アルカリ現像型着色組成物は、黒色顔料を含む。
黒色顔料としては、例えば、カーボンブラック、チタンブラック、酸化鉄、酸化チタン、黒鉛などが挙げられ、中でも、カーボンブラックまたはチタンブラックが好ましく、カーボンブラックがより好ましい。
これにより本発明の非アルカリ現像型着色組成物を用いて作製した着色パターンの表面平滑性を高めることができる。
前記黒色顔料はこれらの中でも、有機物処理されたことが好ましく、具体的にはシランカップリング剤、エポキシ樹脂やアクリル樹脂などのポリマーで被覆されたことがより好ましい。
表面被覆された黒色顔料としては、公知のものを用いることができる。また、商業的に入手しても、合成してもよく、商業的に入手する場合は、例えば、MA100R(三菱化学株式会社製)などを好ましく用いることができ、合成する場合は、例えば、特開平11−60988に記載の方法などを好ましく用いることができる。
前記黒色顔料を分散させる際に使用する分散機としては、特に制限はなく、例えば、朝倉邦造著、「顔料の事典」、第一版、朝倉書店、2000年、438項に記載されているニーダー、ロールミル、アトライダー、スーパーミル、ディゾルバ、ホモミキサー、サンドミル等の公知の分散機が挙げられる。更に該文献310頁記載の機械的摩砕により、摩擦力を利用し微粉砕してもよい。
本発明の非アルカリ現像型着色組成物は、シリコーン樹脂を含む。本発明の非アルカリ現像型着色組成物はアルカリ現像を必要としないため、シリコーン樹脂を用いることができ、断面形状、表面平滑性および直線部の直線性が良好である着色パターンを作製することができる。また、着色パターンの耐熱性も高めることができる。
前記シリコーン樹脂として公知のものが使用できる。例えば、メチル系ストレートシリコーンレジン、メチルフェニル系ストレートシリコーンレジン、アクリル樹脂変性シリコーンレジン、ポリエステル樹脂変性シリコーンレジン、エポキシ樹脂変性シリコーンレジン、アルキッド樹脂、変性シリコーンレジン及びゴム系のシリコーンレジン等が使用できる。
ここで、本発明の非アルカリ現像型着色転写材料は、前記非アルカリ現像型着色組成物層が光硬化性樹脂と光重合開始剤の組み合わせによる光硬化を必須とするものではなく、前記非アルカリ現像型着色組成物層は光硬化性樹脂や光重合開始剤を含んでいても含んでいなくてもよい。また、熱硬化性であってもよい。
本発明の非アルカリ現像型着色組成物では、前記シリコーン樹脂がカルボキシル基、ラジカル重合性基およびアミノ基をいずれも有さないことが、好ましい。
より好ましいのは、メチル系ストレートシリコーンレジン、メチルフェニル系ストレートシリコーンレジン、アクリル樹脂変性シリコーンレジンであり、特に好ましいのは、メチル系ストレートシリコーンレジン、メチルフェニル系ストレートシリコーンレジンである。これらのシリコーン系レジンは単独で使用しても2種以上を併用してもよく、メチル系ストレートシリコーンレジンおよびメチルフェニル系ストレートシリコーンレジンの併用が好ましく、これらを任意の比率で混合することにより膜物性を制御できる。
式(1) 0.33≦(a)/(b)≦10
本発明の非アルカリ現像型着色組成物を用いて作製した着色パターンの(額縁の)直線部の直線性を高める観点から、(a)/(b)の質量比率が0.33以上であることが好ましく、0.5以上であることが好ましく、1以上であることがより好ましい。
本発明の非アルカリ現像型着色組成物を用いて作製した着色パターンの表面平滑性を高める観点から、(a)/(b)の質量比率が10以下であることが好ましく、5以下であることがより好ましく、4以下であることが特に好ましい。
本発明の非アルカリ現像型着色組成物は、重合性化合物を含み、前記重合性化合物がモノマーまたはオリゴマーであり、かつ、分子内に−Si−O−Si−結合を有さないことを特徴とする。
前記重合性化合物はモノマーまたはオリゴマーであり、モノマーまたはオリゴマーである重合性化合物は、ポリマーに重合性基を有する化合物に比べて、断面形状がより緩やかである点で好ましい。
前記重合性化合物の分子量は200〜3000であることが好ましく、300〜2000であることがより好ましく、350〜1500であることが特に好ましい。
前記重合性化合物は分子内に−Si−O−Si−結合を有さず、例えば、シリコーン樹脂が重合性基を有する化合物は、本発明における前記重合性化合物には該当しない。分子内に−Si−O−Si−結合を有さない重合性化合物は、−Si−O−Si−結合と炭素−炭素二重結合を有する化合物に比べて、転写材料にしたときのしなやかさの観点で好ましい。
前記重合性化合物は、例えば特開2008−256735号公報に挙げられる重合性化合物を選んで用いることができる。
感度の点では1分子あたりの不飽和基含量が多い構造が好ましく、多くの場合、2官能以上が好ましい。また、画像部すなわち硬化膜の強度を高くするためには、3官能以上のものがよく、更に、異なる官能数・異なる重合性基(例えばアクリル酸エステル、メタクリル酸エステル、スチレン系化合物、ビニルエーテル系化合物)のものを併用することで、感度と強度の両方を調節する方法も有効である。硬化感度の観点から、(メタ)アクリル酸エステル構造を2個以上含有する化合物を用いることが好ましく、3個以上含有する化合物を用いることがより好ましく、4個以上含有する化合物を用いることが最も好ましい。また、硬化感度、および、未露光部の現像性の観点では、EO変性体を含有することが好ましい。また、硬化感度、および、露光部強度の観点ではウレタン結合を含有することが好ましい。
また、前記着色層中の他の成分(例えばバインダー樹脂、重合開始剤、色材(顔料、染料等)との相溶性、分散性に対しても、前記重合性化合物の選択・使用法は重要な要因であり、例えば、低純度化合物の使用や、2種以上の併用により相溶性を向上させうることがある。また、基材や後述のオーバーコート層等の密着性を向上せしめる目的で特定の構造を選択することもあり得る。
中でも、ビスフェノールAジアクリレートEO変性体、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレートEO変性体、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートEO変性体などが、市販品としては、DPHA(日本化薬社製)、UA−306H、UA−306T、UA−306I、AH−600、T−600、AI−600(共栄社製)がより好ましい。
このようなモノマー及びオリゴマーとしては、分子中に少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有し、沸点が常圧で100℃以上の化合物が挙げられる。その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート及びフェノキシエチル(メタ)アクリレートなどの単官能アクリレートや単官能メタクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリアクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジアクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、トリ(アクリロイルオキシエチル)シアヌレート、グリセリントリ(メタ)アクリレート;トリメチロールプロパンやグリセリン等の多官能アルコールにエチレンオキシド又はプロピレンオキシドを付加した後(メタ)アクリレート化したもの等の多官能アクリレートや多官能メタクリレートを挙げることができる。
酸性多官能光硬化性化合物としては、(1)水酸基と共に3つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーを二塩基酸無水物で変性することによりカルボキシル基を導入したもの、(2)水酸基と共に3つ以上の光硬化性官能基を有するモノマー又はオリゴマーに、グリシジル基もしくはイソシアネート基とCOOH基とを併せ持つ化合物等を付加することによってカルボキシル基を導入したもの、あるいは(3)3つ以上の光硬化性官能基を有する芳香族化合物を濃硫酸や発煙硫酸で変性することによりスルホン酸基を導入したもの等を用いることができる。また、酸性多官能光硬化性化合物そのものであるモノマーを繰返し単位として含むオリゴマーを、酸性多官能光硬化性化合物として用いてもよい。
酸性多官能光硬化性化合物の例としては、下記一般式(i)、一般式(ii)で表されるものが好ましい。なお、一般式(i)及び一般式(ii)において、T又はGがオキシアルキレン基の場合には、炭素原子側の末端がR、X及びWに結合する。
前記一般式(ii)中、Wは一般式(i)におけるR又はXを表し、6個のWのうち、3個以上のWがRである。Gは一般式(i)におけるTと同義である。Zは−O−もしくは、−OC=ONH(CH2)qNHCOO−を表す。pは0〜20であり、qは1〜8である。一分子内に複数存在するR、X、T、Gは、各々同一であっても、異なっていても良い。)
これらの中で、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、トリペンタエリスリトールオクタ(メタ)アクリレート、上記カルボキシル基含有5官能アクリレートなどが好ましい。また、この他、特開平11−133600号公報に記載の「重合性化合物B」も好適なものとして挙げることができる。
前記非アルカリ現像型着色組成物には、重合性化合物を添加した場合に、それを積極的に重合するための重合開始剤を添加することができる。重合開始剤は、可視光領域に吸収を持っており、加飾材料に望まぬ着色をすることがある。よって、重合開始剤を加飾材料に添加する場合は、その色味に応じて開始剤を選抜する必要がある。
本発明に用いることが出来る重合開始剤は、光重合開始剤(例えば特開2008−256735号に記載してある光重合開始剤)や熱重合開始剤を挙げることが出来る。
前記非アルカリ現像型着色組成物に用いられる前記光重合開始剤としては、特開2011−95716号公報に記載の[0031]〜[0042]に記載の光重合開始剤を用いることができる。
前記非アルカリ現像型着色組成物は、その他の添加剤を含んでいてもよい。前記非アルカリ現像型着色組成物がネガ型材料である場合、前記非アルカリ現像型着色組成物には、界面活性剤、重合禁止剤(熱重合防止剤)を含むことが好ましい。
本発明の非アルカリ現像型着色組成物は、界面活性剤を含むことが好ましい。前記界面活性剤としては、例えば特許第4502784号公報の段落[0017]、特開2009−237362号公報の段落[0060]〜[0071]に記載の界面活性剤などを挙げることができる。その中でも、フッ素系界面活性剤が好ましい。
本発明の非アルカリ現像型着色組成物は、重合禁止剤を含むことが好ましい。前記重合禁止剤としては、特許第4502784号公報の段落[0018]に記載の熱重合防止剤などを挙げることができる。
さらに、本発明の非アルカリ現像型着色組成物に用いることができる添加剤としては、特開2000−310706号公報の段落[0058]〜[0071]に記載のその他の添加剤が挙げられる。
また、本発明の非アルカリ現像型着色組成物の溶剤としては、特開2011−95716号公報の段落[0043]〜[0044]に記載の溶剤を用いることができる。
本発明の非アルカリ現像型着色転写材料は、仮支持体と、該仮支持体上に設けられた本発明の非アルカリ現像型着色組成物を含む非アルカリ現像型着色組成物層とを含むことを特徴とする。
このような構成を有する非アルカリ現像型着色転写材料を用いて着色パターン(例えば、静電容量型入力装置の加飾層)を形成することで、転写後の断面形状、表面平滑性および直線部の直線性が良好である着色パターンを作製することができる。
本発明の非アルカリ現像型着色転写材料は、前記仮支持体と前記非アルカリ現像型着色組成物層との間に熱可塑性樹脂層を設けたことが好ましい。
仮支持体としては、可撓性を有し、加圧下または、加圧および加熱下で著しい変形、収縮もしくは伸びを生じない材料を用いることができる。このような支持体の例として、ポリエチレンテレフタレートフィルム、トリ酢酸セルロースフィルム、ポリスチレンフィルム、ポリカーボネートフィルム等が挙げられ、中でも2軸延伸ポリエチレンテレフタレートフィルムが特に好ましい。
また、仮支持体は透明でもよいし、染料化ケイ素、アルミナゾル、クロム塩、ジルコニウム塩などを含有していてもよい。
また、仮支持体には、特開2005−221726号公報に記載の方法などにより、導電性を付与することができる。
前記非アルカリ現像型着色組成物層は、本発明の非アルカリ現像型着色組成物を、公知の方法で仮支持体上に製膜することにより形成することができる。
黒色顔料を含む非アルカリ現像型着色組成物層の層厚は、他層との厚み差の観点から、0.5〜10μmが好ましく、0.8〜5μmが更に好ましく、1〜3μmが特に好ましい。非アルカリ現像型着色組成物の固形分中の黒色顔料の含有率としては、特に制限はないが、良好な断面形状、表面平滑性、直線部の直線性を維持する観点から、15〜70質量%であることが好ましく、20〜60質量%であることがより好ましく、25〜50質量%であることが更に好ましい。
本明細書でいう全固形分とは非アルカリ現像型着色組成物などの組成物から溶剤等を除いた不揮発成分の総質量を意味する。
感光性フィルムは、仮支持体と着色感光性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層が設けられる。前記熱可塑性樹脂層はアルカリ可溶性であることが好ましい。熱可塑性樹脂層は、下地表面の凹凸(既に形成されている画像などによる凹凸等も含む。)を吸収することができるようにクッション材としての役割を担うものであり、対象面の凹凸に応じて変形しうる性質を有していることが好ましい。
本発明の非アルカリ現像型着色転写材料には、非アルカリ現像型着色組成物層と熱可塑性樹脂層との間に中間層を設けたり、あるいは非アルカリ現像型着色組成物層の表面に保護フィルムなどを更に設けたりして好適に構成することができる。
(非アルカリ現像型着色転写材料の積層方法)
非アルカリ現像型着色転写材料は、特開2006−259138号公報の段落[0094]〜[0098]に記載の感光性転写材料の作製方法に準じて作製することができる。
具体的に中間層を有する感光性フィルムを形成する場合には、仮支持体上に、熱可塑性の有機高分子と共に添加剤を溶解した溶解液(熱可塑性樹脂層用塗布液)を塗布し、乾燥させて熱可塑性樹脂層を設けた後、この熱可塑性樹脂層上に熱可塑性樹脂層を溶解しない溶剤に樹脂や添加剤を加えて調製した調製液(中間層用塗布液)を塗布し、乾燥させて中間層を積層し、この中間層上に更に、中間層を溶解しない溶剤を用いて調製した非アルカリ現像型着色組成物層用塗布液を塗布し、乾燥させて非アルカリ現像型着色組成物層を積層することによって、好適に作製することができる。さらに、形成された前記非アルカリ現像型着色組成物層を前記保護剥離層で覆う工程を有することが好ましい。
仮支持体上に、前記非アルカリ現像型着色組成物層形成用の組成物、前記熱可塑性樹脂層形成用の塗布液、前記中間層形成用の塗布液を塗布する方法としては公知の塗布方法を用いることができる。例えば、スピナー、ホワイラー、ローラーコーター、カーテンコーター、ナイフコーター、ワイヤーバーコーター、エクストルーダー等の塗布機を用いて、それらの塗液を塗布し、乾燥させることにより形成できる。
圧着には、ラミネーター、真空ラミネーター、および、より生産性を高めることができるニップローラーを使用することができる。
前記圧着の条件としては、雰囲気温度20〜45℃、線圧1000〜10000N/mが好ましい。
本発明の非アルカリ現像型着色転写材料は、少なくとも前記非アルカリ現像型着色組成物層がパターンを有することが好ましく、前記非アルカリ現像型着色転写材料の全体がパターンを有することがより好ましい。このようなパターンを有する非アルカリ現像型着色転写材料の製造方法としては特に制限はないが、以下の方法が好ましい。
パターンを有する非アルカリ現像型着色転写材料の作製方法としては、(A)仮支持体および前記非アルカリ現像型着色組成物層を含む非アルカリ現像型着色転写材料に対して、少なくとも前記非アルカリ現像型着色組成物層を厚み方向に貫通する深さであり、かつ、面内方向に直線部分を有する切り込みを入れる工程と、(B)前記非アルカリ現像型着色転写材料の面内方向の一部の領域から前記切り込みの深さまでの前記非アルカリ現像型着色組成物層を取り除く工程を含むことが、高い生産性で、着色パターン(加飾材)の直線部の直線性が高い着色パターンや、該着色パターンを用いた静電容量型入力装置を製造することができる観点から好ましい。
図1は、仮支持体および非アルカリ現像型着色組成物層24を含む非アルカリ現像型着色転写材料30を、非アルカリ現像型着色組成物層24側から見た概略図である。前記(A)工程では、非アルカリ現像型着色組成物層を厚み方向に貫通する深さであり、かつ、面内方向に直線部分を有する切り込みを、例えば図1の点線部に入れることができる。
前記非アルカリ現像型着色転写材料への切り込みは、後述する基板がパターンを有する場合、その基板のパターンに合致した形状のパターンを有する非アルカリ現像型着色転写材料が形成されるように入れることが好ましい。特に、前記基板が、パターンを有するガラス基板である場合、前記非アルカリ現像型着色転写材料をガラス基板に転写した後に、パターンを有するガラス基板外周部を打ち抜かないため、パターンを有するガラス基板外周部の形状にあわせて予め前記非アルカリ現像型着色転写材料の枠外部にも前記(A)工程で切り込みを入れることが好ましい。
図2に、図1に示した非アルカリ現像型着色転写材料のX1−X1’における断面概略図を示す。
図2は、仮支持体26の上に、後述する熱可塑性樹脂層27、中間層28、非アルカリ現像型着色組成物層24および保護剥離層29が積層された非アルカリ現像型着色転写材料30の態様である。なお、非アルカリ現像型着色組成物層は2層以上の積層体であってもよい。
前記(A)仮支持体および非アルカリ現像型着色組成物層を含む非アルカリ現像型着色転写材料に対して、少なくとも着色層を厚み方向に貫通する深さであり、かつ、面内方向に直線部分を有する切り込みを入れる工程の方法としては、特に制限はなく、切り込みの深さも特に制限はない。
(A−1)前記非アルカリ現像型着色転写材料への切り込みを前記非アルカリ現像型着色転写材料の全層を厚み方向に貫通する深さまで入れることを打ち抜きともいう。なお、前記打ち抜きを(A)工程で行う場合は、後述の(B)前記非アルカリ現像型着色転写材料の面内方向の一部の領域から前記切り込みの深さまでの前記非アルカリ現像型着色組成物層を取り除く工程も同時に行われることが好ましい。なお、打ち抜きと非アルカリ現像型着色組成物層の除去を同時に行うことを、くり抜きとも言う。
一方、(A−2)前記非アルカリ現像型着色組成物層を貫通し、かつ前記仮支持体を貫通しない深さの切り込みを入れることをハーフカットともいう。
これらの中でも、(A−1)前記非アルカリ現像型着色転写材料への切り込みを、前記非アルカリ現像型着色転写材料の全層を厚み方向に貫通する深さまで入れることが好ましい。
前記非アルカリ現像型着色転写材料の打ち抜きには、公知の手段を用いることが出来る。
機械式打ち抜き方法としては、例えば、トムソン刃による平抜き、ダイカットロールによる円筒抜きが挙げられる。
光学式打ち抜き方法としては、CO2レーザーカッターを上げることができる。
また、毎葉式でも連続式(ロールトゥロール式)でもよい。
前記ハーフカット方法において切り込みを入れる方法としては特に制限は無く、刃、レーザーなど任意の方法で切り込みを入れることができ、刃で切り込みを入れることが好ましい。また、刃の構造は特に限定されることはない。
前記非アルカリ現像型着色転写材料が、例えば、仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、非アルカリ現像型着色組成物層、保護剥離層の順に積層されて構成されるとき、例えば、刃もしくはレーザーを用いて、保護剥離層の上から、保護剥離層、非アルカリ現像型着色組成物層、中間層を貫き、熱可塑性樹脂層の一部にまで至る切り込みを入れることで、転写する非アルカリ現像型着色組成物層(画像部)と転写しない非アルカリ現像型着色組成物層(非画像部)の間を分離することができる。
パターンを有する非アルカリ現像型着色転写材料の製造方法は、(B)前記非アルカリ現像型着色転写材料の面内方向の一部の領域から前記切り込みの深さまでの前記着色層を取り除く工程を含むことが好ましい。
図3に、(B)工程を行った後の転写材料の構成の概略図を示す。図3は、仮支持体および非アルカリ現像型着色組成物層24を含む転写材料30を、非アルカリ現像型着色組成物層24側から見た概略図である。図3において、前記(B)工程により、非アルカリ現像型着色組成物層が取り除かれた領域25と、非アルカリ現像型着色組成物層(前記着色層のうち取り除かれなかった領域)24が形成される。
前記(A)工程で入れられた、非アルカリ現像型着色組成物層を厚み方向に貫通する深さであり、かつ、面内方向に直線部分を有する切り込み(図1の点線部)で囲まれた前記転写材料の面内方向の一部の領域から前記切り込みの深さまでの前記非アルカリ現像型着色組成物層を取り除くことで、図3の形状の非アルカリ現像型着色転写材料を得ることができる。この製造方法によれば、図3の枠内部21の直線性が高い、着色パターンを、高い生産性で製造することができる。
なお、前記配線取出し部23や、枠外部22が直線部分を有する場合は、その直線性も高くすることができる。
図4に、図3に示した転写材料のX2−X2’における断面概略図を示す。
図4は、仮支持体26の上に、熱可塑性樹脂層27、中間層28、非アルカリ現像型着色組成物層24および保護剥離層29が積層された非アルカリ現像型着色転写材料30を用いたときにおける、前記(B)工程後の非アルカリ現像型着色転写材料の態様である。なお、図4では、前記(A)工程で打ち抜きによって、前記非アルカリ現像型着色転写材料への切り込みを前記非アルカリ現像型着色転写材料の全層を厚み方向に貫通する深さまで入れた場合に、前記(B)工程後に得られる非アルカリ現像型着色転写材料の態様を示した。
一方、ハーフカット方法によってプレカットした場合、非アルカリ現像型着色組成物層の画像部を選択的に基材に転写するには非画像部を転写させない工夫が必要となる。一つの方法は転写前に非画像部の非アルカリ現像型着色組成物層を除去する方法であり、保護剥離層を除去した後、非画像部の非アルカリ現像型着色組成物層と中間層を同時に剥離する方法である。もう一つは非画像部上の保護フィルムを剥がし、引き続いて非アルカリ現像型着色組成物層と中間層を同時に剥離し、さらに画像部上の保護フィルムを剥がす方法である。非アルカリ現像型着色組成物層の画像部を転写直前まで保護する観点から、後者の方が好ましい。
前記保護剥離層を剥離する方法としては特に制限はなく、公知のテープを用いて取り除く方法などを挙げることができる。
図5に、図4の非アルカリ現像型着色組成物層(前記非アルカリ現像型着色組成物層のうち取り除かれなかった残りの領域)24の上に保護剥離層29を有する転写材料30から、保護剥離層29を取り除いた後に得られる、非アルカリ現像型着色転写材料の断面の概略図を示す。
本発明の着色パターンは、本発明の非アルカリ現像型着色組成物または本発明のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて作製されてなることを特徴とする。
本発明の着色パターンは基板上に積層されてなることが好ましい。
また、本発明の着色パターンは、本発明の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて作製されてなり、パターン基板上に形成するときに、前記非アルカリ現像型着色転写材料の全体が有するパターンが、前記パターン基板のうち少なくとも外周部のパターンに合致することが好ましい。
着色パターンを形成する方法は、非アルカリ現像型着色転写材料から前記カバーフィルムを除去するカバーフィルム除去工程と、前記カバーフィルムが除去された前記非アルカリ現像型着色転写材料の前記非アルカリ現像型着色組成物層を基材上に転写する転写工程と、基材上に転写された前記非アルカリ現像型着色組成物層を露光する露光工程と、必要に応じて非アルカリ現像型着色組成物層以外の層を現像して着色パターン画像を得る現像工程と、を有する方法が挙げられる。
パターンを有する非アルカリ現像型着色転写材料を用いる場合、本発明の着色パターンを形成する方法は、(C)前記非アルカリ現像型着色組成物層のうち取り除かれなかった残りの領域を有する非アルカリ現像型着色転写材料を基材に貼り付ける工程を含むことが好ましい。
図6に、図5に示した前記(B)工程後の転写材料から、前記保護剥離層を取り除いた後の転写材料を用いて、前記(C)工程を行った後の態様を示した。
図6中、基材1は、前記非アルカリ現像型着色組成物層(取り除かれなかった領域)24と隣接することが好ましい。
前記(C)工程は、公知のラミネート方法を用いることが好ましい。
非アルカリ現像型着色組成物層の基材表面への転写(貼り合わせ)は、非アルカリ現像型着色組成物層を基材表面に重ね、加圧、加熱することに行われる。貼り合わせには、ラミネータ、真空ラミネータ、および、より生産性を高めることができるオートカットラミネーター等の公知のラミネータを使用することができる。
ラミネート方法は、打ち抜いた非アルカリ現像型着色転写材料を基材に転写することから、毎葉式で精度良く、基材と加飾材料間に気泡が入らない方法が、得率を上げられる観点から好ましい。
具体的には、真空ラミネータの使用を好ましく挙げることができる。
真空ラミネータ装置としては、例えば、高野精機有限会社製のものや、大成ラミネーター株式会社製、FVJ−540R、FV700などを挙げることができる。
ポリエチレンテレフタレート、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、シクロオレフィンポリマー。
また、膜厚は、50〜200μmの範囲で選ぶことが出来る。
基材には、種々のものを用いることが出来るが、前記基材はフィルム基材であってもガラス基材であってもよいが、ガラス基材であることが好ましい。
前記基材がフィルム基材である場合の具体的な素材には、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレート、ポリカーボネート、トリアセチルセルロース、シクロオレフィンポリマーをあげることができ、TAC、PET、PCまたはCOPから選ばれることが好ましい。
前記フィルム基材は、さらに導電性層を有することも好ましい。前記導電性層としては、特表2009−505358号公報に記載のものを好ましく用いることができる。
前記フィルム基材は、さらに少なくとも、耐傷層および防眩層のうち少なくとも一つを有することも好ましい。
本発明の着色パターンを形成する方法は、(D)前記基材に貼り付けられた前記転写材料から前記仮支持体を取り除く工程を含むことが好ましい。
図7に、図6に示した前記(C)工程後の転写材料および基材の積層体を用いて、前記(D)工程を行い、前記仮支持体26を取り除いた後の態様を示した。
本発明の着色パターンを形成する方法は、(E)前記基材に貼りつけられた前記非アルカリ現像型着色転写材料の前記非アルカリ現像型着色組成物層の残りの領域を硬化して加飾材を形成する工程を含むことが好ましい。
また、図8に、前記基材1に貼りつけられた前記非アルカリ現像型着色転写材料の前記非アルカリ現像型着色組成物層24の残りの領域を硬化して、後述の静電容量型入力装置の加飾材として用いられる着色パターン2を形成した後の態様を示す。本発明の着色パターンを形成する方法で得られる着色パターンは、図8における着色パターン(加飾材)2の枠内部21の直線部分における直線性が高いことが好ましい。
本発明の着色パターンを形成する方法に用いられる非アルカリ現像型着色転写材料は、前記非アルカリ現像型着色組成物層の前記(B)工程で除去されなかった残りの領域(パターン)を硬化して加飾層を形成することができる。
非アルカリ現像型着色組成物層が重合性単量体を含んでいれば通常のフォトリソグラフィーの方法によって着色パターンを形成することができるが、本発明の着色パターンを形成する方法は現像工程を含まないことが好ましい。
具体的には、前記基材上に形成された前記非アルカリ現像型着色組成物層の上方に所定のマスクを配置し、その後該マスク、熱可塑性樹脂層、および中間層を介してマスク上方から露光する方法や、予め(A)工程:直線部分を有する切り込みを入れる方法で形成したパターンにマスクを用いずに熱可塑性樹脂層、および中間層を介して露光する方法が挙げられる。
ここで、前記露光の光源としては、前記非アルカリ現像型着色組成物層を硬化しうる波長域の光(例えば、365nm、405nmなど)を照射できるものであれば適宜選定して用いることができる。具体的には、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、メタルハライドランプ等が挙げられる。露光量としては、通常5〜200mJ/cm2程度であり、好ましくは10〜100mJ/cm2程度である。
さらに、前記非アルカリ現像型着色転写材料が熱可塑性樹脂層や中間層を含む場合は、前記(D)工程の後、熱可塑性樹脂層と中間層を除去する工程と有することが好ましい。
これらの工程により、図7のように基材1上に、非アルカリ現像型着色組成物層(取り除かれなかった領域)24、熱可塑性樹脂層27および中間層28を有する構成の積層体から、熱可塑性樹脂層27および中間層28を取り除いて、図9のように基材1に非アルカリ現像型着色組成物層24の残りの領域(取り除かれなかった領域)が積層された態様とすることができる。
また、前記アルカリ現像液には、更に公知の界面活性剤を添加することができる。界面活性剤の濃度は0.01質量%〜10質量%が好ましい。
前記転写工程後にポストベーク工程を含むことが好ましく、前記熱可塑性樹脂層と中間層を除去工程後にポストベークを行う工程を含むことがより好ましい。
本発明では、後述する静電容量型入力装置の(1)加飾層を、本発明の非アルカリ現像型着色転写材料の前記非アルカリ現像型着色組成物層を0.08〜1.2atmの環境下で180〜300℃に加熱して形成することが生産性の観点から好ましい。
前記ポストベークの加熱は0.5atm以上の環境下で行うことがより好ましい。一方、1.1atm以下の環境下で行うことがより好ましく、1.0atm以下の環境下で行うことが特に好ましい。さらに、約1atm(大気圧)環境下で行うことが特別な減圧装置を用いることなく製造コストを低減できる観点からより特に好ましい。
前記ポストベークの温度は、200〜280℃であることがより好ましく、220〜260℃であることが特に好ましい。
前記ポストベークの時間は、20〜150分であることがより好ましく、30〜100分であることが特に好ましい。
前記ポストベークは、空気環境下で行っても、窒素置換環境下で行ってもよいが、空気環境下で行うことが、特別な減圧装置を用いることなく製造コストを低減できる観点から特に好ましい。
本発明の着色パターンを形成する方法は、ポスト露光工程等、その他の工程を有していてもよい。
前記非アルカリ現像型着色組成物層が光硬化性樹脂層を有する場合に前記着色パターンを形成するときは、ポスト露光工程を含むことが好ましい。前記ポスト露光工程は前記非アルカリ現像型着色組成物層の前記基材と接している側の表面方向のみから行っても、前記透明基材と接していない側の表面方向のみから行っても、両面方向から行ってもよい。
本発明の静電容量型入力装置は、本発明の着色パターンを含むことを特徴とする。
本発明の静電容量型入力装置は、前面板と、前記前面板の非接触側に少なくとも下記(1)〜(4)の要素を有し、前記(1)加飾層として前記着色パターンを含むことが好ましい。
(1)加飾層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層
また、本発明の静電容量型入力装置は、第二の電極パターンが透明電極パターンであってもよい。
さらに、本発明の静電容量型入力装置は、さらに下記(5)を有していてもよい。
(5)前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンの少なくとも一方に電気的に接続され、前記第一の透明電極パターンおよび前記第二の透明電極パターンとは別の導電性要素
まず、本発明の静電容量型入力装置の構成について説明する。図11は、本発明の静電容量型入力装置の構成を示す断面図である。図11において静電容量型入力装置10は、前面板1と、加飾層2と、第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、絶縁層5と、導電性要素6と、透明保護層7と、から構成されている。
本発明の静電容量型入力装置10には、図12に示すように、前面板1の一部の領域(図12においては入力面以外の領域)を覆うように加飾層2が設けられている。更に、前面板1には、図12に示すように一部に開口部8を設けることができる。開口部8には、押圧によるメカニカルなスイッチを設置することができる。
前記静電容量静入力装置の製造方法においては、加飾層2が本発明の着色パターンを含み、すなわち、前記加飾層2が本発明の非アルカリ現像型着色組成物または本発明の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて作製されてなることが好ましい。
また、第一の透明電極パターン3と、第二の透明電極パターン4と、絶縁層5と、導電性要素6と、必要に応じて透明保護層7との少なくとも一要素が、仮支持体と熱可塑性樹脂層と光硬化性樹脂層とをこの順で有する感光性フィルムを用いて形成されることが好ましい。
前記絶縁層5および透明保護層7は、感光性フィルムを用いて光硬化性樹脂層を前面板1に転写することで形成することができる。例えば、絶縁層5を形成する場合には、前記光硬化性樹脂層として絶縁性の光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて、第一の透明電極パターンが形成された前記前面板1の表面に前記光硬化性樹脂層を転写することで形成することができる。透明保護層7を形成する場合には、前記光硬化性樹脂層として透明の光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて、各要素が形成された前記前面板1の表面に前記光硬化性樹脂層を転写することで形成することができる。
さらに、遮光性が必要な加飾層2の形成に、光硬化性樹脂層と仮支持体との間に熱可塑性樹脂層を有する特定の層構成を有する感光性フィルムを用いることで感光性フィルムラミネート時の気泡発生を防止し、光モレのない高品位な加飾層2等を形成することができる。
エッチング処理によって、前記第一の透明電極パターン3、第二の透明電極パターン4および別の導電要素6を形成する場合、まず加飾層2等が形成された前面板1の非接触面上にITO等の透明電極層をスパッタリングによって形成する。次いで、前記透明電極層上に前記光硬化性樹脂層としてエッチング用光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて露光・現像によってエッチングパターンを形成する。その後、透明電極層をエッチングして透明電極をパターニングし、エッチングパターンを除去することで、第一の透明電極パターン3等を形成することができる。
前記第一の透明電極パターン3等を、前記導電性光硬化性樹脂層を有する感光性フィルムを用いて形成すると、開口部を有する基板(前面板)でも開口部分からレジスト成分のモレがなく、基板裏側を汚染することなく、簡略な工程で、薄層/軽量化のメリットがあるタッチパネルの製造を可能となる。
さらに、第一の透明電極パターン3等の形成に、導電性光硬化性樹脂層と仮支持体との間に熱可塑性樹脂層を有する特定の層構成を有する感光性フィルムを用いることで感光性フィルムラミネート時の気泡発生を防止し、導電性に優れ抵抗の少ないに第一の透明電極パターン3、第二の透明電極パターン4および別の導電要素6を形成することができる。
永久材を感光性フィルムを用いて形成する場合については、本発明の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて加飾層(黒色)を形成する方法と同様である。
感光性フィルムをエッチングレジスト(エッチングパターン)として用いる場合にも、前記方法と同様にして、レジストパターンを得ることができる。前記エッチングは、特開2010−152155公報の段落[0048]〜[0054]等に記載の公知の方法でエッチング、レジスト剥離を適用することができる。
前記エッチング後、ライン汚染を防ぐために必要に応じて、洗浄工程・乾燥工程を行ってもよい。洗浄工程については、例えば常温で純水により10〜300秒間基材を洗浄して行い、乾燥工程については、エアブローを使用して、エアブロー圧(0.1〜5kg/cm2程度)を適宜調整し行えばよい。
次に、前記静電容量型入力装置の製造方法に用いられる感光性フィルムについて説明する。感光性フィルムは、仮支持体と光硬化性樹脂層との間に熱可塑性樹脂層を有することが好ましい。
本発明に用いる感光性フィルムは、ネガ型材料であってもポジ型材料であってもよい。
前記感光性フィルムの仮支持体、熱可塑性樹脂層、その他の層としては、本発明の非アルカリ現像型着色転写材料における仮支持体、熱可塑性樹脂層と同様のものを用いることができる。また、前記感光性フィルムの作製方法としても、本発明の非アルカリ現像型着色転写材料の作製方法と同様の方法を用いることができる。
感光性フィルムは、その用途に応じて光硬化性樹脂層に添加物を加える。感光性フィルムが導電性光硬化性樹脂層を有する場合は、前記光硬化性樹脂層に導電性繊維等が含有される。
前記重合性化合物としては、特許第4098550号の段落[0023]〜[0024]に記載の重合性化合物を用いることができる。
前記重合開始剤または重合開始系としては、特開2011−95716号公報に記載の[0031]〜[0042]に記載の重合性化合物を用いることができる。
前記導電性光硬化性樹脂層を積層した感光性フィルムを透明電極パターン、あるいは別の導電性要素の形成に用いる場合には、以下の導電性繊維などを光硬化性樹脂層に用いることができる。
ここで、中実構造の繊維を「ワイヤー」と称することがあり、中空構造の繊維を「チューブ」と称することがある。また、平均短軸長さが5nm〜1,000nmであって、平均長軸長さが1μm〜100μmの導電性繊維を「ナノワイヤー」と称することがある。
また、平均短軸長さが1nm〜1,000nm、平均長軸長さが0.1μm〜1,000μmであって、中空構造を持つ導電性繊維を「ナノチューブ」と称することがある。
前記導電性繊維の材料としては、導電性を有していれば、特に制限はなく、目的に応じて適宜選択することができるが、金属およびカーボンの少なくともいずれかが好ましく、これらの中でも、前記導電性繊維は、金属ナノワイヤー、金属ナノチューブ、およびカーボンナノチューブの少なくともいずれかが特に好ましい。
前記金属ナノワイヤーの材料としては、特に制限はなく、例えば、長周期律表(IUPAC1991)の第4周期、第5周期、および第6周期からなる群から選ばれる少なくとも1種の金属が好ましく、第2族〜第14族から選ばれる少なくとも1種の金属がより好ましく、第2族、第8族、第9族、第10族、第11族、第12族、第13族、および第14族から選ばれる少なくとも1種の金属が更に好ましく、主成分として含むことが特に好ましい。
前記銀を主に含有するとは、金属ナノワイヤー中に銀を50質量%以上、好ましくは90質量%以上含有することを意味する。
前記銀との合金で使用する金属としては、白金、オスミウム、パラジウムおよびイリジウムなどが挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよく、2種以上を併用してもよい。
前記金属ナノワイヤーの断面形状は、基材上に金属ナノワイヤー水分散液を塗布し、断面を透過型電子顕微鏡(TEM)で観察することにより調べることができる。
前記金属ナノワイヤーの断面の角とは、断面の各辺を延長し、隣り合う辺から降ろされた垂線と交わる点の周辺部を意味する。また、「断面の各辺」とはこれらの隣り合う角と角を結んだ直線とする。この場合、前記「断面の各辺」の合計長さに対する前記「断面の外周長さ」との割合を鋭利度とした。鋭利度は、例えば図19に示したような金属ナノワイヤー断面では、実線で示した断面の外周長さと点線で示した五角形の外周長さとの割合で表すことができる。この鋭利度が75%以下の断面形状を角の丸い断面形状と定義する。前記鋭利度は60%以下が好ましく、50%以下がより好ましい。前記鋭利度が75%を超えると、該角に電子が局在し、プラズモン吸収が増加するためか、黄色みが残るなどして透明性が悪化してしまうことがある。また、パターンのエッジ部の直線性が低下し、ガタツキが生じてしまうことがある。前記鋭利度の下限は、30%が好ましく、40%がより好ましい。
前記平均短軸長さが、1nm未満であると、耐酸化性が悪化し、耐久性が悪くなることがあり、150nmを超えると、金属ナノワイヤー起因の散乱が生じ、十分な透明性を得ることができないことがある。
前記金属ナノワイヤーの平均短軸長さは、透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子(株)製、JEM−2000FX)を用い、300個の金属ナノワイヤーを観察し、その平均値から金属ナノワイヤーの平均短軸長さを求めた。なお、前記金属ナノワイヤーの短軸が円形でない場合の短軸長さは、最も長いものを短軸長さとした。
前記平均長軸長さが、1μm未満であると、密なネットワークを形成することが難しく、十分な導電性を得ることができないことがあり、40μmを超えると、金属ナノワイヤーが長すぎて製造時に絡まり、製造過程で凝集物が生じてしまうことがある。
前記金属ナノワイヤーの平均長軸長さは、例えば透過型電子顕微鏡(TEM;日本電子(株)製、JEM−2000FX)を用い、300個の金属ナノワイヤーを観察し、その平均値から金属ナノワイヤーの平均長軸長さを求めた。なお、前記金属ナノワイヤーが曲がっている場合、それを弧とする円を考慮し、その半径、および曲率から算出される値を長軸長さとした。
さらに、前記光硬化性樹脂層は、添加剤を用いてもよい。前記添加剤としては、例えば特許第4502784号公報の段落[0017]、特開2009−237362号公報の段落[0060]〜[0071]に記載の界面活性剤や、特許第4502784号公報の段落[0018]に記載の熱重合防止剤、さらに、特開2000−310706号公報の段落[0058]〜[0071]に記載のその他の添加剤が挙げられる。
また、感光性フィルムを塗布により製造する際の溶剤としては、特開2011−95716号公報の段落[0043]〜[0044]に記載の溶剤を用いることができる。
導電性光硬化性樹脂層の層厚は、塗布液の安定性や塗布時の乾燥やパターニング時の現像時間などのプロセス適性の観点から、0.1〜20μmが好ましく、0.5〜18μmが更に好ましく、1〜15μmが特に好ましい。前記導電性光硬化性樹脂層の全固形分に対する前記導電性繊維の含有量は、導電性と塗布液の安定性の観点から、0.01〜50質量%が好ましく、0.05〜30質量%が更に好ましく、0.1〜20質量%が特に好ましい。
前記感光性フィルムを用いて透明保護層を形成する場合、光硬化性樹脂層の層厚は、十分な表面保護能を発揮させる観点から、0.5〜10μmが好ましく、0.8〜5μmが更に好ましく、1〜3μmが特に好ましい。
熱可塑性樹脂層の100℃で測定した粘度が1000〜10000Pa・secの領域にあり、光硬化性樹脂層の100℃で測定した粘度が2000〜50000Pa・secの領域にあり、さらに次式(A)を満たすことが好ましい。
式(A):熱可塑性樹脂層の粘度<光硬化性樹脂層の粘度
本発明の画像表示装置は、本発明の静電容量型入力装置を備えることを特徴とする。
《静電容量型入力装置および静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置の種類》
本発明の製造方法によって得られる静電容量型入力装置、および当該静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置は、『最新タッチパネル技術』(2009年7月6日発行(株)テクノタイムズ)、三谷雄二監修、“タッチパネルの技術と開発”、シーエムシー出版(2004,12)、FPD International 2009 Forum T−11講演テキストブック、Cypress Semiconductor Corporation アプリケーションノートAN2292等に開示されている構成を適用することができる。
《非アルカリ現像型着色組成物の調製》
以下の材料を用いて、下記表1に記載の処方となるように調製した。得られた非アルカリ現像型着色組成物を、それぞれ実施例1〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色組成物とした。
・黒色顔料分散液A:SF Black GB4051(山陽色素株式会社製;樹脂被覆カーボンブラック 25%、分散剤 2%、 樹脂 7.5%、メトキシプロピルアセテート 65.5%)
・黒色顔料分散液B:後述のK顔料分散物1
・黒色顔料分散液C:チタンブラック13M(三菱マテリアル製) 25%、ソルスパース24000 5%、 メトキシプロピルアセテート 70%
・溶剤A:1−メトキシ−2−プロピルアセテート(ダイセル化学(株)製)
・溶剤B:メチルエチルケトン(東燃化学(株)製)
・溶剤C:シクロヘキサノン(東洋合成(株)製)
・シリコーン樹脂A:KR−311(信越化学工業(株)製 ; ストレートシリコーンのキシレン溶液 (固形分50質量%))
・シリコーン樹脂B:KR−300(信越化学工業(株)製 ; ストレートシリコーンのキシレン溶液 (固形分60質量%))
・重合性化合物A:DPHA76(DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬(株)製)のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液 (固形分76質量%))
・重合性化合物B:V802(トリペンタエリスリトールオクタアクリレート、大阪有機化学工業(株)製)
・光重合開始剤A:Irgacure 379 EG(BASFジャパン(株)製)
・光重合開始剤B:Irgacure OXE 01(BASFジャパン(株)製)
・光重合開始剤C:Irgacure OXE 02(BASFジャパン(株)製)
・重合禁止剤:フェノチアジン−1%MEK溶液(東京化成(株)製のメチルエチルケトン溶液 (固形分1質量%))
・フッ素系界面活性剤:F−780F(大日本インキ(株)製のメガファックF−780F;F系界面活性剤のメチルエチルケトン溶液 (固形分30質量%))
・カーボンブラック(商品名:Nipex35、デグッサ社製) :13.1質量%
・下記分散剤1 :0.65質量%
・バインダー1(ベンジルメタクリレート/メタクリル酸=72/28モル比の
ランダム共重合物、重量平均分子量3.7万) :6.72質量%
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート :79.53質量%
実施例1、3〜8、比較例1および2では、非アルカリ現像型着色転写材料を調製し、基板上に得られた転写材料を転写することによって、着色パターンを形成した。
厚さ75μmのポリエチレンテレフタレートフィルム仮支持体の上に、スリット状ノズルを用いて、下記処方H1からなる熱可塑性樹脂層用塗布液を塗布、乾燥させた。次に、下記処方P1からなる中間層用塗布液を塗布、乾燥させた。更に、上記にて調製した処方K1からなる実施例1、3〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色組成物を、非アルカリ現像型着色組成物層用塗布液として用いて、前記中間層塗布液を乾燥させた上に非アルカリ現像型着色組成物層用塗布液を塗布、乾燥させた。このようにして仮支持体の上に乾燥膜厚が15.1μmの熱可塑性樹脂層と、乾燥膜厚が1.6μmの中間層と、光学濃度が4.0となるように乾燥膜厚が2.2μmの非アルカリ現像型着色組成物層を設け、最後に保護フイルム(厚さ12μmポリプロピレンフィルム)を圧着した。こうして仮支持体と熱可塑性樹脂層と中間層(酸素遮断膜)と非アルカリ現像型着色組成物層とが一体となった転写材料を作製し、サンプル名を打ち抜き前の実施例1、3〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色転写材料K1とした。
・メタノール :11.1質量部
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート :6.36質量部
・メチルエチルケトン :52.4質量部
・メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル
メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=
55/11.7/4.5/28.8、分子量=10万、Tg≒70℃)
:5.83質量部
・スチレン/アクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比)=63/37、
重量平均分子量=1万、Tg≒100℃) :13.6質量部
・モノマー1(商品名:BPE−500、新中村化学工業(株)製)
:9.1質量部
・フッ素系界面活性剤 :0.54質量部
上記のフッ素系界面活性剤は、F−780F(大日本インキ(株)製のメガファックF−780F;F系界面活性剤のメチルエチルケトン溶液 (固形分30質量%))
なお、熱可塑性樹脂層用塗布液H1の溶剤除去後の120℃の粘度は1500Pa・secであった。
・ポリビニルアルコール :32.2質量部
(商品名:PVA205、(株)クラレ製、鹸化度=88%、重合度550)
・ポリビニルピロリドン :14.9質量部
(商品名:K−30、アイエスピー・ジャパン(株)製)
・蒸留水 :524質量部
・メタノール :429質量部
A5大の打ち抜き前の実施例1、3〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色転写材料K1(図1にその一部を拡大した概略図を示し、図2に図1のX1−X1’での断面の概略図を示す)を、CO2レーザーカッター(クライムプロダクツ株式会社製 L−CPNC550)を用い、打ち抜かれた後に図3の直線部分を有する枠内部21および直線部分を有する配線取出し部23、外周部22の形状が形成されるように、図1に示した打ち抜き前の非アルカリ現像型着色転写材料K1の点線部分を、保護フィルム側から保護フィルム、非アルカリ現像型着色組成物層(黒色感光層)、中間層、熱可塑性樹脂層および仮支持体をすべて貫通させて、打ち抜いた。得られた転写材料のサンプル名を、打ち抜き後の実施例1、3〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色転写材料K2とした。
この打ち抜きにより、図3の形状の打ち抜き後の実施例1、3〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色転写材料K2が形成され、同時に図3における4辺の枠内部21で囲まれた部分(内側の白色部分)と配線取出し部23、外周部22から、「仮支持体、熱可塑性樹脂層、中間層、非アルカリ現像型着色組成物層(黒色感光層)および保護フィルム」からなる積層体が取り除かれた。打ち抜き後の図3に示した形状の打ち抜き後の実施例1、3〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色転写材料K2における、X2−X2’での断面形状は、図4の形状であった。
次に、真空ラミネーター(クライムプロダクツ株式会社製 V−SE340aaH)を用い、基材である予め必要な形態に加工して強化処理したガラス基板を120℃に暖めた。次に、打ち抜き後の実施例1、3〜8、比較例1および2の非アルカリ現像型着色転写材料K2から、テープを用いて保護フィルム29を剥離し、図5の形状とした。その後、上記で打ち抜いて取り除かれた領域以外の、残りの領域を有する非アルカリ現像型着色転写材料の保護フィルム29を剥離後に露出した非アルカリ現像型着色組成物層24の表面と前記120℃で予備加熱したガラス基板の表面とを重ね合わせ、上記ラミネータで図6のように貼り付けた。
得られた着色パターン(加飾層付きガラス)の、非アルカリ現像型着色組成物層24(マスク2)側からの概略図を図8および10、そのX3−X3’での断面形状の概略図を図9に示した。なお、図8および10の形状は、枠外部の縦幅:100mm、枠外部の横幅:60mm、上枠幅:10mm、下枠幅:12mm、左右枠幅:3mm、四隅半径:6mm、配線取り出し部(縦×横):3×5mmである。
実施例2では、上記にて調製した実施例2の非アルカリ現像型着色組成物を基板上にスクリーン印刷することにより、着色パターンを形成した。
スクリーン印刷機(DP−320、ニューロング精密工業株式会社製)に、25メッシュのマスクで図10の型を作製、設置し、ガラス基板(基材)上に上記にて調製した実施例2の非アルカリ現像型着色組成物:処方K1を塗布液として用いてのスクリーン印刷を行い、ポストベーク(240℃60分)することで、実施例2の着色パターン(加飾材付きガラス)を得た。
上記で得た各実施例および比較例の着色パターン(加飾層付きガラス)の特性の評価方法を以下に示す。また、得られた各実施例および比較例の着色パターンの評価結果を下記表1に記載した。
図10の形状として得られた加飾層付きガラスの着色パターンについて、着色パターンの断面形状をSEM観察し、以下の基準にしたがって評価した。また、実施例1の着色パターンの断面のSEM写真を、図20(A)および(B)に示した。比較例2の着色パターンの断面のSEM写真を、図21(A)および(B)に示した。
◎ :順テーパーであり、角度がなだらか(5°以上30°未満)である。
○ :順テーパーであるが、角度はやや急峻(30°以上〜60°未満)である。
△ :テーパー角が60°以上〜90°未満である。
× :垂直から逆テーパーである。
図10の形状として得られた加飾層付きガラスの着色パターンについて、着色パターンの表面平滑性を以下の基準にしたがって評価した。
◎ :基準面に対する最大の凹凸が5nm未満である。
○ :基準面に対する最大の凹凸が5nm以上20nm未満である。
○△:基準面に対する最大の凹凸が20nm以上40nm未満である。
× :基準面に対する最大の凹凸が40nm以上である。
図10の形状として得られた加飾層付きガラスの着色パターンについて、枠内部の(内側の)直線性を、以下の基準にしたがって評価した。光学顕微鏡顕微鏡(;対物レンズ5倍)を用いて観察し、視野内のエッジ位置のうち、最も膨らんだ箇所(山頂部)と、最もくびれた箇所(谷底部)との差を絶対値として求め、観察した4箇所の平均値を算出した。なお、測定は、図10の上部の枠内部の中央部分(4点)について行った。
○ :30μm未満。
○△:30μm以上80μm未満。
△ :80μm以上200μm未満
× :200μm以上。
《第一の透明電極パターンの形成》
<透明電極層の形成>
ガラス基板上に形成された各実施例および比較例の着色パターンを、加飾層が形成された全面板として、静電容量型入力装置を製造した。
加飾層が形成された前面板を、真空チャンバー内に導入し、SnO2含有率が10質量%のITOターゲット(インジウム:錫=95:5(モル比))を用いて、DCマグネトロンスパッタリング(条件:基材の温度250℃、アルゴン圧0.13Pa、酸素圧0.01Pa)により、厚さ40nmのITO薄膜を形成し、透明電極層を形成した前面板を得た。ITO薄膜の表面抵抗は80Ω/□であった。
前記加飾層形成用感光性フィルムK1の調製において、黒色光硬化性樹脂層用塗布液を、下記処方E1からなるエッチング用光硬化性樹脂層用塗布液に代えた以外は加飾層形成用感光性フィルムK1の調製と同様にして、エッチング用感光性フィルムE1を得た(エッチング用光硬化性樹脂層の膜厚は2.0μmであった)。
・メチルメタクリレート/スチレン/メタクリル酸共重合体
(共重合体組成(質量%):31/40/29、質量平均分子量60000、
酸価163mgKOH/g) :16質量部
・モノマー1(商品名:BPE−500、新中村化学工業(株)製)
:5.6質量部
・ヘキサメチレンジイソシアネートのテトラエチレンオキシドモノ
メタクリレート0.5モル付加物 :7質量部
・分子中に重合性基を1つ有する化合物としてのシクロヘキサンジ
メタノールモノアクリレート :2.8質量部
・2−クロロ−N−ブチルアクリドン :0.42質量部
・2,2−ビス(o−クロロフェニル)−4,4’,5,5’−テトラフェニル
ビイミダゾール :2.17質量部
・マラカイトグリーンシュウ酸塩 :0.02質量部
・ロイコクリスタルバイオレット :0.26質量部
・フェノチアジン :0.013質量部
・界面活性剤(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ(株)製)
:0.03質量部
・メチルエチルケトン :40質量部
・1−メトキシ−2−プロパノール :20質量部
なお、エッチング用光硬化性樹脂層用塗布液E1の溶剤除去後の100℃の粘度は2500Pa・secであった。
加飾層(各実施例および比較例の着色パターン)の形成と同様にして、透明電極層を形成した前面板を洗浄し、カバーフィルムを除去したエッチング用感光性フィルムE1をラミネートした(基材温度:130℃、ゴムローラー温度120℃、線圧100N/cm、搬送速度2.2m/分)。仮支持体を剥離後、露光マスク(透明電極パターンを有す石英露光マスク)面と該エッチング用光硬化性樹脂層との間の距離を200μmに設定し、露光量50mJ/cm2(i線)でパターン露光した。
次に、トリエタノールアミン系現像液(トリエタノールアミン30質量%含有、商品名:T−PD2(富士フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を25℃で100秒間、界面活性剤含有洗浄液(商品名:T−SD3(富士フイルム(株)製)を純水で10倍に希釈した液)を用いて33℃で20秒間処理し、回転ブラシ、超高圧洗浄ノズルで残渣除去を行い、さらに130℃30分間のポストベーク処理を行って、透明電極層とエッチング用光硬化性樹脂層パターンとを形成した前面板を得た。
<絶縁層形成用感光性フィルムW1の調製>
加飾層形成用感光性フィルムK1の調製において、黒色光硬化性樹脂層用塗布液を、下記処方W1からなる絶縁層用光硬化性樹脂層用塗布液に代えた以外は加飾層形成用感光性フィルムK1の調製と同様にして、絶縁層形成用感光性フィルムW1を得た(絶縁層用光硬化性樹脂層の膜厚は1.4μm)。
・バインダー3(シクロヘキシルメタクリレート(a)/メチルメタクリレート(b)/メタクリル酸共重合体(c)のグリシジルメタクリレート付加物(d)(組成(質量%):a/b/c/d=46/1/10/43、質量平均分子量:36000、酸価66mgKOH/g)の1−メトキシ−2−プロパノール、メチルエチルケトン溶液(固形分:45%)) :12.5質量部
・DPHA(ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート、日本化薬(株)製)
のプロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート溶液(76質量%)
:1.4質量部
・ウレタン系モノマー(商品名:NKオリゴUA−32P、新中村化学(株)製
:不揮発分75%、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート:
25%) :0.68質量部
・トリペンタエリスリトールオクタアクリレート(商品名:V#802、
大阪有機化学工業(株)製) :1.8質量部
・ジエチルチオキサントン :0.17質量部
・2−(ジメチルアミノ)−2−[(4−メチルフェニル)メチル]−1−
[4−(4−モルホリニル)フェニル]−1−ブタノン
(商品名:Irgacure379、BASF製) :0.17質量部
・分散剤(商品名:ソルスパース20000、アビシア製) :0.19質量部
・界面活性剤(商品名:メガファックF−780F、大日本インキ製)
:0.05質量部
・メチルエチルケトン :23.3質量部
・MMPGAc(ダイセル化学(株)製) :59.8質量部
なお、絶縁層形成用塗布液W1の溶剤除去後の100℃の粘度は4000Pa・secであった。
<透明電極層の形成>
前記第一の透明電極パターンの形成と同様にして、第一の透明電極パターン、絶縁層パターンを形成した前面板をDCマグネトロンスパッタリング処理し(条件:基材の温度50℃、アルゴン圧0.13Pa、酸素圧0.01Pa)、厚さ80nmのITO薄膜を形成し、透明電極層を形成した前面板を得た。ITO薄膜の表面抵抗は110Ω/□であった。
さらに、第一の透明電極パターンの形成の形成と同様にして、エッチング(30℃50秒間)、エッチング用光硬化性樹脂層を除去(45℃200秒間)することにより、加飾層、第一の透明電極パターン、絶縁層パターン、第二の透明電極パターンを形成した前面板を得た。
前記第一、および第二の透明電極パターンの形成と同様にして、第一の透明電極パターン、絶縁層パターン、第二の透明電極パターンを形成した前面板をDCマグネトロンスパッタリング処理し、厚さ200nmのアルミニウム(Al)薄膜を形成した前面板を得た。
さらに、第一の透明電極パターンの形成の形成と同様にして、エッチング(30℃50秒間)、エッチング用光硬化性樹脂層を除去(45℃200秒間)することにより、加飾層、第一の透明電極パターン、絶縁層パターン、第二の透明電極パターン、第一および第二の透明電極パターンとは別の導電性要素を形成した前面板を得た。
絶縁層の形成と同様にして、前記第一および第二の透明電極パターンとは別の導電性要素まで形成した前面板に、カバーフィルムを除去した絶縁層形成用感光性フィルムW1をラミネートし、仮支持体を剥離後、露光マスクを介さずに露光量50mJ/cm2(i線)で前面露光し、現像、ポスト露光(1000mJ/cm2)、ポストベーク処理を行って、加飾層、第一の透明電極パターン、絶縁層パターン、第二の透明電極パターン、第一および第二の透明電極パターンとは別の導電性要素の全てを覆うように絶縁層(透明保護層)を積層した前面板1を得た。
特開2009−47936号公報に記載の方法で製造した液晶表示素子に、先に製造した前面板を貼り合せ、公知の方法で静電容量型入力装置を構成要素として備えた画像表示装置1を作製した。
上記にて得られた各実施例および比較例の画像表示装置の評価を行った。
上述の各工程において、加飾層、第一の透明電極パターン、絶縁層パターン、第二の透明電極パターン、第一および第二の透明電極パターンとは別の導電性要素を形成した前面板1は、開口部、および裏面に汚れがなく、洗浄が容易であり、かつ、他部材の汚染の問題がなかった。
また、加飾層にはピンホールがなく、光遮蔽性に優れていた。
そして、第一の透明電極パターンと第二の透明電極パターンの間では絶縁性を有していた。
さらに、表示特性に優れた画像表示装置が得られた。
画像表示装置について、気泡を以下の基準にしたがって評価した。
○ :光学顕微鏡で観察し、額縁の部分に気泡がない。
× :光学顕微鏡で観察し、額縁の部分に気泡がある。
画像表示装置について、導通性を以下の基準にしたがって評価した。
○ :第一の透明電極パターン、第二の透明電極パターン、およびこれらとは別の導電性要素の、各々の導通性に問題がない。
× :第一の透明電極パターン、第二の透明電極パターン、およびこれらとは別の導電性要素の、各々の導通性に問題がある。
画像表示装置について、外観を以下の基準にしたがって評価した。
○ :目視で10人が観察し、額縁端の直線性が気になる人が2人以下。
× :目視で10人が観察し、額縁端の直線性が気になる人が3人以上。
一方、シリコーン樹脂の代わりにアクリル樹脂を用いた比較例1の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて製造された比較例1の着色パターンは角度が立っていて断面形状が悪く、段差が多くて表面平滑性が悪く、このような性能の比較例1の着色パターンを用いて製造した画像表示装置は、気泡の発生が生じ、透明電極の断線が生じて導通性が悪く、外観も不良であることがわかった。
また、重合性化合物を添加しなかった比較例2の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて製造された比較例2の着色パターンは直線部の直線性が悪く、このような性能の比較例2の着色パターンを用いて製造した画像表示装置は、外観も不良であることがわかった。
2 加飾層、着色パターン
3 第一の透明電極パターン
3a パッド部分
3b 接続部分
4 第二の透明電極パターン
5 絶縁層
6 導電性要素
7 透明保護層
8 開口部
10 静電容量型入力装置
11 基板(強化処理ガラス)
21 枠内部
22 枠外部
23 配線取出し部
24、24a、24b 非アルカリ現像型着色組成物層(取り除かれなかった領域)
25 非アルカリ現像型着色組成物層が取り除かれた領域
26 仮支持体
27 熱可塑性樹脂層
28 中間層
29 保護剥離層
30 非アルカリ現像型着色転写材料
31 枠外部の縦幅
32 枠外部の横幅
33 上枠幅
34 下枠幅
35 左右枠幅
41 枠内部の縦幅
42 枠内部の横幅
Claims (17)
- 黒色顔料と、シリコーン樹脂と、重合性化合物を含み、
前記重合性化合物がモノマーまたはオリゴマーであり、かつ、分子内に−Si−O−Si−結合を有さないことを特徴とする非アルカリ現像型着色組成物。 - 前記黒色顔料が、カーボンブラックまたはチタンブラックであることを特徴とする請求項1に記載の非アルカリ現像型着色組成物。
- 前記黒色顔料が表面被覆されたことを特徴とする請求項1または2に記載の非アルカリ現像型着色組成物。
- 非アルカリ現像型着色組成物中の前記黒色顔料の含有割合(a)と前記シリコーン樹脂の含有割合(b)の質量比率が、下記式(1)を満たすことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物。
式(1) 0.33≦(a)/(b)≦10 - 前記シリコーン樹脂がカルボキシル基、ラジカル重合性基およびアミノ基をいずれも有さないことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物。
- 前記重合性化合物がカルボキシル基を有さないことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物。
- 前記重合性化合物が(メタ)アクリル基を4つ以上有することを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物。
- さらに光重合開始剤または光重合開始系を含むことを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物。
- 仮支持体と、
該仮支持体上に設けられた請求項1〜8のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物を含む非アルカリ現像型着色組成物層とを含むことを特徴とする非アルカリ現像型着色転写材料。 - 前記仮支持体と前記非アルカリ現像型着色組成物層との間に熱可塑性樹脂層を設けたことを特徴とする請求項9に記載の非アルカリ現像型着色転写材料。
- 少なくとも前記非アルカリ現像型着色組成物層がパターンを有することを特徴とする請求項9または10に記載の非アルカリ現像型着色転写材料。
- 前記非アルカリ現像型着色転写材料の全体がパターンを有することを特徴とする請求項9〜11のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色転写材料。
- 請求項1〜8のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色組成物または請求項9〜12のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて作製されてなることを特徴とする着色パターン。
- 請求項9〜12のいずれか一項に記載の非アルカリ現像型着色転写材料を用いて作製されてなり、
パターン基板上に形成するときに、前記非アルカリ現像型着色転写材料の全体が有するパターンが、前記パターン基板のうち少なくとも外周部のパターンに合致することを特徴とする請求項13に記載の着色パターン。 - 請求項13または14に記載の着色パターンを含むことを特徴とする静電容量型入力装置。
- 前面板と、前記前面板の非接触側に少なくとも下記(1)〜(4)の要素を有し、
前記(1)加飾層として前記着色パターンを含むことを特徴とする請求項15に記載の静電容量型入力装置。
(1)加飾層
(2)複数のパッド部分が接続部分を介して第一の方向に延在して形成された複数の第一の透明電極パターン
(3)前記第一の透明電極パターンと電気的に絶縁され、前記第一の方向に交差する方向に延在して形成された複数のパッド部分からなる複数の第二の電極パターン
(4)前記第一の透明電極パターンと前記第二の電極パターンとを電気的に絶縁する絶縁層 - 請求項15または16に記載の静電容量型入力装置を備えることを特徴とする画像表示装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012252511A JP6061636B2 (ja) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | 非アルカリ現像型着色組成物、非アルカリ現像型着色転写材料および着色パターン |
PCT/JP2013/079084 WO2014077111A1 (ja) | 2012-11-16 | 2013-10-28 | 非アルカリ現像型着色組成物、非アルカリ現像型着色転写材料、着色パターン、静電容量型入力装置および画像表示装置 |
CN201380059765.6A CN104797607B (zh) | 2012-11-16 | 2013-10-28 | 非碱性显影型着色组合物、非碱性显影型着色转印材料、着色图案、静电电容型输入装置及图像显示装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012252511A JP6061636B2 (ja) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | 非アルカリ現像型着色組成物、非アルカリ現像型着色転写材料および着色パターン |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014102289A true JP2014102289A (ja) | 2014-06-05 |
JP6061636B2 JP6061636B2 (ja) | 2017-01-18 |
Family
ID=50731029
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012252511A Active JP6061636B2 (ja) | 2012-11-16 | 2012-11-16 | 非アルカリ現像型着色組成物、非アルカリ現像型着色転写材料および着色パターン |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6061636B2 (ja) |
CN (1) | CN104797607B (ja) |
WO (1) | WO2014077111A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018012535A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 富士フイルム株式会社 | 配線基板の製造方法、配線基板 |
WO2018012203A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 富士フイルム株式会社 | 配線基板の製造方法、及び、配線基板 |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6739537B2 (ja) * | 2016-09-29 | 2020-08-12 | 富士フイルム株式会社 | タッチパネルの製造方法 |
CN109791451B (zh) * | 2016-09-29 | 2021-10-26 | 富士胶片株式会社 | 触摸面板的制造方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08337624A (ja) * | 1995-06-14 | 1996-12-24 | Nippon Shokubai Co Ltd | カーボンブラックグラフトポリマーおよびその製造方法 |
JP2009132887A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-06-18 | Jsr Corp | 水系塗料 |
JP2009222791A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Fujifilm Corp | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化膜および遮光性画像形成方法 |
WO2010071073A1 (ja) * | 2008-12-16 | 2010-06-24 | 昭和電工株式会社 | 硬化性組成物及びその硬化物 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1922545A (zh) * | 2004-01-27 | 2007-02-28 | 旭化成化学株式会社 | 用于可激光雕刻的印刷基底的感光树脂组合物 |
JP4553128B2 (ja) * | 2005-02-02 | 2010-09-29 | 東洋インキ製造株式会社 | 着色組成物、それを用いたカラーフィルタおよびその製造方法 |
US8179622B2 (en) * | 2005-12-22 | 2012-05-15 | Fujifilm Corporation | Photosensitive transfer material, member for display device, process for producing the member, black matrix, color filter, process for producing the color filter, substrate for display device, and display device |
JP5317809B2 (ja) * | 2009-04-20 | 2013-10-16 | 富士フイルム株式会社 | 着色硬化性組成物、着色パターンの形成方法、カラーフィルタ、および液晶表示装置 |
CN102608867B (zh) * | 2012-03-27 | 2014-04-02 | 惠州联大电子材料有限公司 | 感光水显影抗蚀组合物及感光水显影抗蚀干膜 |
-
2012
- 2012-11-16 JP JP2012252511A patent/JP6061636B2/ja active Active
-
2013
- 2013-10-28 CN CN201380059765.6A patent/CN104797607B/zh active Active
- 2013-10-28 WO PCT/JP2013/079084 patent/WO2014077111A1/ja active Application Filing
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08337624A (ja) * | 1995-06-14 | 1996-12-24 | Nippon Shokubai Co Ltd | カーボンブラックグラフトポリマーおよびその製造方法 |
JP2009132887A (ja) * | 2007-10-29 | 2009-06-18 | Jsr Corp | 水系塗料 |
JP2009222791A (ja) * | 2008-03-13 | 2009-10-01 | Fujifilm Corp | 感光性樹脂組成物、感光性樹脂硬化膜および遮光性画像形成方法 |
WO2010071073A1 (ja) * | 2008-12-16 | 2010-06-24 | 昭和電工株式会社 | 硬化性組成物及びその硬化物 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018012535A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 富士フイルム株式会社 | 配線基板の製造方法、配線基板 |
WO2018012203A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2018-01-18 | 富士フイルム株式会社 | 配線基板の製造方法、及び、配線基板 |
JPWO2018012203A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2019-04-18 | 富士フイルム株式会社 | 配線基板の製造方法、及び、配線基板 |
JPWO2018012535A1 (ja) * | 2016-07-15 | 2019-06-20 | 富士フイルム株式会社 | 配線基板の製造方法、配線基板 |
TWI763687B (zh) * | 2016-07-15 | 2022-05-11 | 日商富士軟片股份有限公司 | 配線基板的製造方法、配線基板 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6061636B2 (ja) | 2017-01-18 |
WO2014077111A1 (ja) | 2014-05-22 |
CN104797607B (zh) | 2018-05-01 |
CN104797607A (zh) | 2015-07-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5922008B2 (ja) | 転写フィルムおよび透明積層体、それらの製造方法、静電容量型入力装置ならびに画像表示装置 | |
JP5914392B2 (ja) | 感光性フィルム、静電容量型入力装置の製造方法および静電容量型入力装置、並びに、これを備えた画像表示装置 | |
JP5901451B2 (ja) | 透明積層体、静電容量型入力装置および画像表示装置 | |
JP6284891B2 (ja) | タッチパネル電極保護膜形成用組成物、転写フィルム、透明積層体、タッチパネル用電極の保護膜及びその形成方法、静電容量型入力装置、並びに、画像表示装置 | |
JP6284913B2 (ja) | タッチパネル電極保護膜形成用組成物、転写フィルム、積層体、タッチパネル用電極の保護膜及びその形成方法、静電容量型入力装置、並びに、画像表示装置 | |
JP6170288B2 (ja) | 転写材料、静電容量型入力装置の製造方法および静電容量型入力装置、並びに、これを備えた画像表示装置 | |
JP6336032B2 (ja) | 転写フィルム、転写フィルムの製造方法、透明積層体、透明積層体の製造方法、静電容量型入力装置および画像表示装置 | |
JP5763492B2 (ja) | 静電容量型入力装置の製造方法および静電容量型入力装置、並びに、これを備えた画像表示装置 | |
JP6307036B2 (ja) | 転写フィルム、静電容量型入力装置の電極用保護膜、積層体、積層体の製造方法および静電容量型入力装置 | |
JP6030966B2 (ja) | 透明積層体およびその製造方法 | |
JP2017044965A (ja) | 転写フィルム、静電容量型入力装置の電極保護膜、積層体、積層体の製造方法および静電容量型入力装置 | |
JP6230469B2 (ja) | 転写フィルムおよび透明積層体、それらの製造方法、静電容量型入力装置ならびに画像表示装置 | |
JP6599040B1 (ja) | 転写フィルム、積層体の製造方法、積層体、静電容量型入力装置および画像表示装置 | |
WO2016143892A1 (ja) | 転写フィルム、透明積層体、静電容量型入力装置および画像表示装置 | |
JP6061636B2 (ja) | 非アルカリ現像型着色組成物、非アルカリ現像型着色転写材料および着色パターン | |
JPWO2016009980A1 (ja) | 積層材料の製造方法、積層材料、透明積層体の製造方法、透明積層体、静電容量型入力装置および画像表示装置 | |
JP6155235B2 (ja) | 転写フィルム、透明積層体および静電容量型入力装置 | |
JP6404255B2 (ja) | 転写フィルムおよび透明積層体、それらの製造方法、静電容量型入力装置ならびに画像表示装置 | |
JP6093891B2 (ja) | 透明積層体、静電容量型入力装置および画像表示装置 | |
JP6865867B2 (ja) | 転写フィルムおよび透明積層体、それらの製造方法、静電容量型入力装置ならびに画像表示装置 | |
JP6646107B2 (ja) | 転写フィルムおよび透明積層体、それらの製造方法、静電容量型入力装置ならびに画像表示装置 | |
JP6325019B2 (ja) | 転写材料、静電容量型入力装置の製造方法および静電容量型入力装置、並びに、これを備えた画像表示装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150528 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160531 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160725 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161206 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161213 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6061636 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |