JP2014099446A - 基板処理装置及びバックアップピンの検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】検査時間の短縮化を図る。
【解決手段】表面実装機１０は、プリント基板Ｂを支持するバックアップピン１１と、行列状に複数ずつ並ぶとともにバックアップピン１１が選択的に取り付けられるピン取付凹部１２ａを有する支持プレート１２と、行列状に複数ずつ並ぶピン取付凹部１２ａの中から選択される少なくとも２つのピン取付凹部１２ａの間の配列間隔Ｐ２と一致する配列間隔Ｐ１を間に有する形で並んで配される少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７と、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７を移動させる第１移動機構１４及び第２移動機構１６と、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７がバックアップピン１１に接触したか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を検知するピン検知手段３２と、を備える。
【選択図】図４

Description

本発明は、バックアップピンを検査する機能を備えた基板処理装置、及びバックアップピンの検査方法に関する。

従来、プリント基板の実装面上に各種部品を実装する表面実装機などの基板処理装置においては、プリント基板を裏側から支持するバックアップピンと、バックアップピンが取り付けられる支持プレートとが備えられている。この支持プレートに取り付けられるバックアップピンの配置は、プリント基板の大きさや裏面（バックアップピンによる被支持面）に実装される部品のパターンに応じて異なる。このため、処理するプリント基板の種類に応じて上記したバックアップピンの配置を変更する必要がある。このバックアップピンの配置を変更する作業は、手作業により行われる場合があり、その場合は作業を完了した後にバックアップピンの配置が適切であるか否かを検査している。このようなバックアップピンの検査機能を有する基板処理装置の一例として下記特許文献１，２に記載されたものが知られている。

特開２０１０−１４１０５３号公報 特開２００９−１１５７２５号公報

上記した特許文献１は、バックアップピンが所定の配置パターンで取り付けられた支持プレートを複数用意し、その中から選択されて表面実装機に取り付けられた支持プレートが正しいか否かを検査するためのものであり、プリント基板上に設けた部品実装位置の補正のための基板マークを認識するためのカメラを利用して支持プレートに配置した判定ピンを撮像して画像を取得し、その画像に基づいて判定ピンの配置、つまり支持プレートが正しいか否かを判定するようにしている。一方、上記した特許文献２は、支持プレートに対してバックアップピンが正確に装着されているか否かや、間違った長さのバックアップピンが装着されているか否かを検査するためのものであり、バックアップピンの先端面に照射部から光を照射して得られる反射光を光センサにより受光してバックアップピンの先端面の高さを測定し、先端面の高さが許容高さを外れた場合には、そのバックアップピンに対して光センサによって可視光を照射して視覚的に特定している。

しかしながら、上記した特許文献１は、使用する支持プレートの正否を判定するものであって、支持プレートにおいてバックアップピンが正しい配置で取り付けられたか否かについては判別できない。仮に支持プレートにおけるバックアップピンの配置をカメラにより検査しようとした場合でも、検査に用いるカメラが基板マークを認識するためのものであるため、撮像可能範囲が狭く、検査に時間がかかり過ぎるおそれがあった。一方、上記した特許文献２は、支持プレートに対するバックアップピンの装着の良否や装着されたバックアップピンの長さを検査するためのものであり、バックアップピンの配置を検査するためのものではない。仮に支持プレートにおけるバックアップピンの配置を照射部及び光センサにより検査しようとした場合でも、各バックアップピンを個別に検査する必要があるため、やはり検査に時間がかかり過ぎるおそれがあった。また、光を照射する照射部及び光を受光する光センサが必要となるため、部品点数が増加してコスト増となるおそれもある。

本発明は上記のような事情に基づいて完成されたものであって、検査時間の短縮化を図ることを目的とする。

本発明の基板処理装置は、基板を支持するバックアップピンと、前記基板の板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶとともに前記バックアップピンが選択的に取り付けられるピン取付部を有する支持プレートと、前記バックアップピンに対して前記基板を挟んだ反対側に配されるとともに前記基板に対して実装される実装部品を保持可能とされる部品保持部であって、行列状に複数ずつ並ぶ前記ピン取付部の中から選択される少なくとも２つの前記ピン取付部の間の間隔と一致する間隔を間に有する形で並んで配される少なくとも２つの部品保持部と、少なくとも２つの前記部品保持部を前記基板の板面に沿う２方向についてそれぞれ移動させ且つ前記基板の板面に対する法線方向について移動させる移動部と、少なくとも２つの前記部品保持部が前記バックアップピンに接触したか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を検知するピン検知手段と、を備える。

このようにすれば、基板は、支持プレートにおいて基板の板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶピン取付部に選択的に取り付けられたバックアップピンによって支持される。バックアップピンによって支持された基板に対して、実装部品を保持した部品保持部が、移動部によって基板の板面に沿う２方向に加えて基板の板面に対する法線方向について移動され、それにより実装部品を基板における所定の位置に搭載することが可能とされる。

ところで、基板に実装部品を搭載するのに先立って、支持プレートにおいて行列状に複数ずつ並列配置されたピン取付部には、処理する基板に応じてバックアップピンが選択的に取り付けられる。そして、ピン取付部に対して選択的に取り付けられたバックアップピンの配置が正しいか否かを判別するための検査が行われる。検査を行うに際しては、例えば、移動部によって少なくとも２つの部品保持部を基板の板面に沿う２方向について移動させ、行列状に複数ずつ並ぶピン取付部の中から選択される少なくとも２つのピン取付部と重畳するよう配置するとともに、少なくとも２つの部品保持部を基板の板面に対する法線方向について移動させる。このとき、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの部品保持部のいずれかが接触される。一方、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていなければ、少なくとも２つの部品保持部のいずれかがバックアップピンとは非接触とされる。つまり、ピン検知手段は、少なくとも２つの部品保持部がバックアップピンに接触したか否かに基づいてバックアップピンの有無を検知する。

このように、ピン取付部の中から選択される少なくとも２つのピン取付部間の間隔と一致する間隔となるよう少なくとも２つの部品保持部が配されることで、ピン検知手段によって少なくとも２つのピン取付部についてバックアップピンの有無が一括して検知される。従って、従来のようにカメラ式または光学式でバックアップピンの検査を行うものに比べると、検査にかかる時間の短縮化が図られる。しかも、ピン検知手段は、バックアップピンの有無を接触式で検知するものとされているので、例えばピン取付部に対してバックアップピンが傾いた姿勢で挿入されているか否かなどの不具合の有無についても検査することが可能とされる。

本発明の基板処理装置の実施態様として、次の構成が好ましい。
（１）前記ピン取付部は、前記支持プレートにおいて少なくとも２つの前記部品保持部の並び方向について複数が等間隔に並んで配されており、少なくとも２つの前記部品保持部は、その間の間隔が互いに隣り合う前記ピン取付部間の間隔の整数倍となるよう配されている。このようにすれば、例えば、支持プレートにおけるピン取付部の並列数が部品保持部の並列数よりも多い場合には、少なくとも２つの部品保持部の並び方向について移動部により部品保持部を移動させる際に、部品保持部を同じ距離ずつ移動させて検査を行うことが可能となる。これにより、移動部による部品保持部の移動に係る制御が容易なものとなる。

（２）少なくとも２つの前記部品保持部は、その間の間隔が互いに隣り合う前記ピン取付部間の間隔と等しくなるよう配されている。このようにすれば、少なくとも２つの部品保持部によって支持プレートにおいて隣り合うピン取付部に対してバックアップピンが取り付けられているか否かが一括して検査される。

（３）前記ピン取付部は、前記支持プレートにおける、少なくとも２つの前記部品保持部の並び方向についての並列数が、前記部品保持部の並列数の整数倍となるよう配されている。このようにすれば、バックアップピンの配置を検査するに際して、移動部により部品保持部を基板の板面に対する法線方向について移動させる回数が、部品保持部の並列数に対するピン取付部の並列数の倍数分で済む。これにより、検査にかかる時間をより短縮化することができる。

（４）前記部品保持部には、前記実装部品を吸引保持することが可能な吸引手段が備えられており、前記ピン検知手段は、前記吸引手段により吸引される空気の圧力を検出する圧力検出手段と、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を判定する判定部とを備える。このようにすれば、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの部品保持部のいずれかが接触されるので、その状態で吸引手段によって空気を吸引すると、吸引された空気の圧力は負圧となる。つまり、吸引手段によって吸引される空気の圧力には、バックアップピンの有無に応じて差が生じることになるため、その圧力を圧力検出手段により検出するとともに、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定部により判定することが可能とされる。また、実装部品を吸引保持するための吸引手段を利用してバックアップピンの配置を検知しているから、バックアップピンの検知に伴うコスト増を抑制することができる。

（５）前記ピン検知手段は、前記部品保持部に作用する荷重を検出する荷重検出手段と、検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を判定する判定部とを備える。このようにすれば、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの部品保持部のいずれかが接触されるのに伴い、部品保持部に作用する荷重が荷重検出手段により検出される。従って、検出された荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定部により判定することが可能とされる。

（６）前記移動部は、前記部品保持部を前記基板の板面に対する法線方向について移動させるためのモータ部を少なくとも有しており、前記荷重検出手段は、前記部品保持部を移動させる際に前記モータ部に流される電流値に基づいて前記荷重を検出している。このようにすれば、モータ部によって部品保持部を基板の板面に対する法線方向について移動させる際に、部品保持部がバックアップピンに接触すると、モータ部に流される電流値が高くなる傾向となる。従って、荷重検出手段は、モータ部に流される電流値が高くなれば、荷重が発生していることを検出することが可能とされる。また、部品保持部を基板の板面に対する法線方向について移動させるためのモータ部を利用してバックアップピンの配置を検知しているから、バックアップピンの検知に伴うコスト増を抑制することができる。

次に、本発明のバックアップピンの検査方法は、基板を支持するバックアップピンに対して前記基板を挟んだ反対側に配されるとともに前記基板に対して実装される実装部品を保持可能とされる部品保持部であって、前記基板の板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶとともに前記バックアップピンが選択的に取り付けられるピン取付部を有する支持プレートのうち、少なくとも２つの前記ピン取付部の間の間隔と一致する間隔を間に有する形で並んで配される少なくとも２つの前記部品保持部を、前記基板の板面に沿う２方向について移動部によって移動させて少なくとも２つの前記ピン取付部に対して重畳するよう配する第１移動工程と、少なくとも２つの前記部品保持部を、前記基板の板面に対する法線方向について少なくとも２つの前記ピン取付部に接近するよう前記移動部によって移動させる第２移動工程と、少なくとも２つの前記部品保持部が前記バックアップピンに接触したか否かに基づいてピン検知手段によって前記バックアップピンの有無を検知する検知工程と、を備える。

このようにすれば、まず、第１移動工程では、移動部によって少なくとも２つの部品保持部を基板の板面に沿う２方向について移動させ、支持プレートにおいて行列状に複数ずつ並ぶピン取付部の中から選択される少なくとも２つのピン取付部に対して重畳するよう配する。次に、第２移動工程では、移動部によって少なくとも２つの部品保持部を基板の板面に対する法線方向について移動させ、少なくとも２つの前記ピン取付部に接近させる。続いて、検知工程では、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの部品保持部のいずれかが接触される。一方、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていなければ、少なくとも２つの部品保持部のいずれかがバックアップピンとは非接触とされる。つまり、ピン検知手段により、少なくとも２つの部品保持部がバックアップピンに接触したか否かに基づいてバックアップピンの有無が検知される。以上のようにして、支持プレートにおいて行列状に複数ずつ並列配置されたピン取付部に対して選択的に取り付けられたバックアップピンの配置が正しいか否かが検査される。

このように、検知工程では、ピン取付部の中から選択される少なくとも２つのピン取付部間の間隔と一致する間隔となるよう少なくとも２つの部品保持部が配されることで、ピン検知手段によって少なくとも２つのピン取付部についてバックアップピンの有無が一括して検知される。従って、従来のようにカメラ式または光学式でバックアップピンの検査を行うものに比べると、検査にかかる時間の短縮化が図られる。しかも、ピン検知手段は、バックアップピンの有無を接触式で検知するものとされているので、例えばピン取付部に対してバックアップピンが傾いた姿勢で挿入されているか否かなどの不具合の有無についても検査することが可能とされる。

本発明のバックアップピンの検査方法の実施態様として、次の構成が好ましい。
（１）前記検知工程では、前記部品保持部に備えられ前記実装部品を吸引保持することが可能な吸引手段により空気を吸引するようにし、吸引された空気の圧力を前記ピン検知手段を構成する圧力検出手段により検出するとともに検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を、前記ピン検知手段を構成する判定部により判定するようにしている。このようにすれば、検知工程において、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの部品保持部のいずれかが接触されるので、その状態で吸引手段によって空気を吸引すると、その吸引された空気の圧力は負圧となる。つまり、吸引手段によって吸引される空気の圧力には、バックアップピンの有無に応じた差が生じることになるため、その圧力を圧力検出手段により検出するとともに、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定部により判定することが可能とされる。また、実装部品を吸引保持するための吸引手段を利用してバックアップピンの配置を検知しているから、バックアップピンの検知に伴うコスト増を抑制することができる。

（２）前記検知工程では、前記ピン検知手段を構成する荷重検出手段により前記部品保持部に作用する荷重を検出し、検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を、前記ピン検知手段を構成する判定部により判定するようにしている。このようにすれば、検知工程において、少なくとも２つのピン取付部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの部品保持部のいずれかが接触されるのに伴い、部品保持部に作用する荷重が荷重検出手段により検出される。従って、検出された荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定部により判定することが可能とされる。

（３）前記第２移動工程では、前記移動部に少なくとも有されるモータ部によって少なくとも２つの前記部品保持部を前記基板の板面に対する法線方向について移動させており、前記検知工程では、前記荷重検出手段は、前記モータ部に流される電流値に基づいて前記荷重を検出している。このようにすれば、第２移動工程及び検知工程において、モータ部によって部品保持部を基板の板面に対する法線方向について移動させる際に、部品保持部がバックアップピンに接触すると、モータ部に流される電流値が高くなる傾向となる。従って、荷重検出手段は、モータ部に流される電流値が高くなれば、荷重が発生していることを検出することが可能とされる。また、部品保持部を基板の板面に対する法線方向について移動させるためのモータ部を利用してバックアップピンの配置を検知しているから、バックアップピンの検知に伴うコスト増を抑制することができる。

本発明によれば、検査時間の短縮化を図ることができる。

本発明の実施形態１に係る表面実装機の平面図 図１のii-ii線断面図 吸着ノズルが検査対象であるピン取付凹部群と平面に視て重畳する配置とされた状態を示す図１のiii-iii線断面図 図３から吸着ノズルがバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す図１のiii-iii線断面図 吸着ノズルが検査対象である次のピン取付凹部群と平面に視て重畳する配置とされた状態を示す図１のiii-iii線断面図 図５から吸着ノズルがバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す図１のiii-iii線断面図 表面実装機の電気的構成を示すブロック図 バックアップピンの検査方法の手順を示すフローチャート ピン検知処理の詳細な手順を示すフローチャート 時間に対する吸着ノズル内の負圧の変化を表すグラフ 本発明の実施形態２に係るピン検知処理の詳細な手順を示すフローチャート 時間に対する吸着ノズルに作用する荷重の変化を表すグラフ 本発明の実施形態３に係る表面実装機の電気的構成を示すブロック図 本発明の実施形態４に係る吸着ノズルが検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 吸着ノズルが次の検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 本発明の実施形態５に係る吸着ノズルが検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 吸着ノズルが次の検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 本発明の実施形態６に係る吸着ノズルが検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 吸着ノズルが２番目の検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 吸着ノズルが３番目の検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 本発明の実施形態７に係る吸着ノズルが検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 吸着ノズルが２番目の検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 吸着ノズルが３番目の検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図 吸着ノズルが４番目の検査対象であるピン取付凹部群のバックアップピンに接触可能な位置に達した状態を示す断面図

＜実施形態１＞
本発明の実施形態１を図１から図１０によって説明する。この実施形態１では、プリント基板（基板）Ｂ上に図示しない実装部品を搭載するための表面実装機１０について例示する。プリント基板Ｂは、表面実装機１０の上流側に配された図示しない半田印刷機により表面に半田ペーストが印刷処理された後に、表面実装機１０により実装部品が搭載される処理が行われ、さらに表面実装機１０の下流側に配された図示しないリフロー炉によりリフロー処理が行われることで、実装部品の実装がなされる。なお、各図面の一部にはＸ軸、Ｙ軸及びＺ軸を示しており、各軸方向が各図面で示した方向となるように描かれている。このうちＸ軸方向（第１方向）及びＹ軸方向（第２方向）は、共に水平方向とほぼ一致し、Ｚ軸方向（第３方向）は、鉛直方向とほぼ一致している。また、特に断りがない限りは、上下の記載については鉛直方向を基準とする。

表面実装機１０は、図１に示すように、プリント基板Ｂを鉛直方向の下側から支持するバックアップピン１１と、バックアップピン１１が選択的に取り付けられる支持プレート１２と、バックアップピン１１に対して鉛直方向の上側、つまりプリント基板Ｂを挟んだ反対側に配されるヘッドユニット１３と、ヘッドユニット１３をプリント基板Ｂの板面に沿う２方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向、水平方向）についてそれぞれ移動させる第１移動機構（移動部）１４と、ヘッドユニット１３に設けられて実装部品を吸着保持可能な吸着ヘッド（部品保持部）１５と、ヘッドユニット１３に対して吸着ヘッド１５をプリント基板Ｂの板面に対する法線方向（Ｚ軸方向、鉛直方向）について移動させる第２移動機構（移動部）１６と、を少なくとも備えている。これらに加え、表面実装機１０は、プリント基板Ｂを搬送する図示しないコンベア（基板搬送手段）と、実装部品を供給する図示しない部品供給部とを備えている。なお、この表面実装機１０において、コンベアによるプリント基板Ｂの搬送方向は、プリント基板Ｂの板面に沿うＸ軸方向と一致している。

バックアップピン１１は、図１から図３に示すように、鉛直方向に沿って延在する円柱状をなしており、その鉛直方向の上端面がプリント基板Ｂを支持する支持面とされる。バックアップピン１１は、鉛直方向の下側端部が支持プレート１２に対して挿入されることで、その軸線方向を鉛直方向とほぼ一致した姿勢で支持されるようになっている。支持プレート１２は、その板面がプリント基板Ｂの板面と対向状をなすとともにプリント基板Ｂに対して所定の間隔（バックアップピン１１の長さ分程度の間隔）を空けつつ鉛直方向の下側に配されている。支持プレート１２は、平面に視て横長の方形状をなしており、その長辺方向がＹ軸方向と一致し、短辺方向がＸ軸方向と一致する姿勢とされる。支持プレート１２には、その長辺方向（Ｙ軸方向）を行方向とし、短辺方向（Ｘ軸方向）を列方向として行列状（マトリクス状）に複数ずつ間欠的に並ぶ形でピン取付凹部（ピン取付部）１２ａが形成されている。ピン取付凹部１２ａは、少なくとも鉛直方向の上向き（プリント基板Ｂ側）に開口する形で形成されており、このピン取付凹部１２ａに対してバックアップピン１１を選択的に取り付けることが可能とされる。各ピン取付凹部１２ａには、バックアップピン１１における鉛直方向の下端部が個別に挿入されるようになっている。本実施形態では、ピン取付凹部１２ａは、支持プレート１２において行方向について１２個ずつ、列方向について８個ずつ、合計９６個が所定の間隔を空けつつ並列配置されている。列をなす各ピン取付凹部１２ａは、支持プレート１２においてＸ軸方向に沿ってほぼ等間隔に並んで配されており、同様に行をなす各ピン取付凹部１２ａは、支持プレート１２においてＹ軸方向に沿ってほぼ等間隔に並んで配されている。以下では、ピン取付凹部１２ａがなす列のうち、図１に示す左端（最もヘッドユニット１３に近い側）の列を「第１列」とするとともに、そこから右側に行く毎に「第２列」、「第３列」とし、右端の列を「第１２列」として説明する。なお、図１では、支持プレート１２においてピン取付凹部１２ａに取り付けられたバックアップピン１１を網掛け状にして図示するとともに、バックアップピン１１が取り付けられていないピン取付凹部１２ａを白抜き状にして図示している。

ヘッドユニット１３には、図１及び図３に示すように、Ｘ軸方向に沿って複数の吸着ヘッド１５が間欠的に並んで配されている。本実施形態では、吸着ヘッド１５の並列数が４つとされている。各吸着ヘッド１５の先端には、実装部品を直接的に真空吸着して保持するための吸着ノズル（部品保持部）１７が設けられている。吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７は、共に中空の略円柱状をなしている。各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７には、相互に連通する形で空気の流通路がそれぞれ有されており、これらの流通路内の空気を吸引する吸引手段（流通路共々図示せず）が接続されている。その上で、各吸着ノズル１７には、流通路に連通する形で先端部に図示しない吸着開口部が外部に開口する形で形成されている。そして、各吸着ノズル１７の先端を各実装部品に接触させた状態で吸引手段によって流通路内の空気を吸引することで、負圧を生じさせて各実装部品を吸着することが可能とされる。４つずつの各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７は、ヘッドユニット１３に対してＸ軸方向に沿ってほぼ等間隔に並んで配されている。なお、ヘッドユニット１３には、プリント基板Ｂの角部に形成されたフィデューシャルマーク（位置基準マーク）を認識するためのカメラ（フィデューシャルマーク共々図示せず）が取り付けられることで、プリント基板Ｂとヘッドユニット１３との相対的な位置関係に係る情報を取得することが可能とされる。

第１移動機構１４は、図１に示すように、ヘッドユニット１３をＸ軸方向に沿って移動可能に支持するＸ軸ガイドレール（第１ガイドレール）１８と、Ｘ軸ガイドレール１８をヘッドユニット１３と共にＹ軸方向に沿って移動可能に支持するＹ軸ガイドレール（第２ガイドレール）１９と、を少なくとも備える。さらに、第１移動機構１４は、図７に示すように、Ｘ軸ガイドレール１８に対してヘッドユニット１３をＸ軸方向に沿って移動させる駆動源であるＸ軸モータ部（第１モータ部）２０と、Ｙ軸ガイドレール１９に対してＸ軸ガイドレール１８をヘッドユニット１３と共にＹ軸方向に沿って移動させる駆動源であるＹ軸モータ部（第２モータ部）２１と、Ｘ軸ガイドレール１８に対するヘッドユニット１３のＸ軸方向についての位置を検出するためのＸ軸位置検出手段（第１位置検出手段）２２と、Ｙ軸ガイドレール１９に対するＸ軸ガイドレール１８及びヘッドユニット１３のＹ軸方向についての位置を検出するためのＹ軸位置検出手段（第２位置検出手段）２３と、を少なくとも備える。また、第１移動機構１４は、Ｘ軸モータ部２０の駆動力をヘッドユニット１３に伝達させるためのＸ軸ボールねじ軸と、Ｙ軸モータ部２１の駆動力をＸ軸ガイドレール１８に伝達させるためのＹ軸ボールねじ軸（Ｘ軸ボールねじ軸共々図示せず）とを備える。

第２移動機構１６は、図２に示すように、ヘッドユニット１３に対して各吸着ヘッド１５をＺ軸方向に沿って移動可能に支持するＺ軸ガイドレール（第３ガイドレール）２４を少なくとも備える。さらに、第２移動機構１６は、図７に示すように、ヘッドユニット１３に対して各吸着ヘッド１５をＺ軸方向に沿って移動（昇降）させる駆動源であるＺ軸モータ部（第３モータ部）２５と、各吸着ヘッド１５に対して各吸着ノズル１７をＲ軸方向に沿って回動させる駆動源であるＲ軸モータ部（第４モータ部）２６と、ヘッドユニット１３に対する各吸着ヘッド１５のＺ軸方向についての位置を検出するためのＺ軸位置検出手段（第３位置検出手段）２７と、各吸着ヘッド１５に対する各吸着ノズル１７のＲ軸方向についての位置を検出するためのＲ軸位置検出手段（第４位置検出手段）２８と、を少なくとも備える。なお、ここで言う「Ｒ軸方向」とは、吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の軸線周りの方向のことである。上記したＺ軸ガイドレール２４、Ｚ軸モータ部２５、及びＺ軸位置検出手段２７は、それぞれ各吸着ヘッド１５毎に個別に設けられている。また、Ｒ軸モータ部２６及びＲ軸位置検出手段２８は、それぞれ各吸着ノズル１７毎に個別に設けられている。これにより、各吸着ヘッド１５は、ヘッドユニット１３に対してＺ軸方向について個別に移動（昇降）されるとともに、各吸着ノズル１７は、各吸着ヘッド１５に対してＲ軸方向について個別に回動されるようになっている。なお、図７では、Ｚ軸モータ部２５、Ｒ軸モータ部２６、Ｚ軸位置検出手段２７、及びＲ軸位置検出手段２８を１つずつ代表して記載しているが、実際にはこれらＺ軸モータ部２５、Ｒ軸モータ部２６、Ｚ軸位置検出手段２７、及びＲ軸位置検出手段２８は、ヘッドユニット１３における吸着ヘッド１５（吸着ノズル１７）の設置数分備えられている。

上記した第１移動機構１４及び第２移動機構１６には、図７に示すように、各モータ部２０，２１，２５，２６の駆動を直接的に制御するモータ制御部２９と、各位置検出手段２２，２３，２７，２８により検出された位置情報に基づいてモータ制御部２９の動作を制御する演算処理部３０と、が備えられており、これらモータ制御部２９及び演算処理部３０が各移動機構１４，１６の動作を主体的に制御する主制御部３１を構成している。モータ制御部２９は、各位置検出手段２２，２３，２７，２８からの信号を演算処理部３０に出力するとともに、演算処理部３０からの出力信号に基づいて各モータ部２０，２１，２５，２６に対して適宜に駆動電力を供給するものとされる。演算処理部３０は、モータ制御部２９から入力された各位置検出手段２２，２３，２７，２８からの信号を演算処理することで、各位置情報を取得し、その位置情報に基づいてモータ制御部２９をフィードバック制御するものとされる。

ところで、上記した支持プレート１２においてどのピン取付凹部１２ａにバックアップピン１１を取り付けるか、つまりバックアップピン１１の配置は、実装部品が搭載されるプリント基板Ｂの種類、具体的にはプリント基板Ｂの平面に視た大きさやプリント基板Ｂの裏面（バックアップピン１１により支持される被支持面）に実装される部品のパターンなどに応じて予め定められている。従って、実装処理するプリント基板Ｂの種類を切り替える場合には、実装処理を開始する前に、支持プレート１２が有する各ピン取付凹部１２ａに対してバックアップピン１１を選択的に取り付ける、セッティング作業が行われている。このセッティング作業は、作業者の手作業によって行われる。このセッティング作業が正常に行われれば、バックアップピン１１が予定通りの位置に配置されるので、プリント基板Ｂがバックアップピン１１によって良好に支持されるとともに、プリント基板Ｂの裏面に実装された部品にバックアップピン１１が干渉する事態が生じることが回避される。しかしながら、作業者の手違いなどによりセッティング作業が正常に行われなかった場合には、本来は必要なバックアップピン１１の取り付けが失念されたり、また本来は不要なバックアップピン１１が誤って取り付けられる場合があり、そうなるとプリント基板Ｂの支持が不安定なものとなったり、またプリント基板Ｂの裏側に実装された部品にバックアップピン１１が干渉するおそれがある。

そこで、本実施形態に係る表面実装機１０は、バックアップピン１１のセッティング作業を終えた後にバックアップピン１１の配置を接触式にて検査する検査機能を有している。具体的には、この表面実装機１０は、セッティング作業を行った後に行われる検査において、ヘッドユニット１３に設けられる吸着ヘッド１５の吸着ノズル１７をバックアップピン１１に対して接触させることでバックアップピン１１の有無を検知するピン検知手段３２を有している。

ピン検知手段３２は、図７に示すように、各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７に有される流通路内の空気を吸引する吸引手段により吸引される空気の圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）３３と、圧力センサ３３により検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を判定する演算処理部（判定部）３０と、を少なくとも備えている。さらには、ピン検知手段３２は、演算処理部３０による判定結果を作業者などに報知するためのモニタ部（報知手段）３４と、圧力センサ３３から入力された信号を演算処理部３０に出力し且つ演算処理部３０から出力された判定結果をモニタ部３４に出力する入出力手段３５と、を少なくとも備えている。なお、図７では、吸着ノズル１７及び圧力センサ３３を１つずつ代表して記載しているが、実際にはこれら吸着ノズル１７及び圧力センサ３３は、ヘッドユニット１３における吸着ヘッド１５の設置数分備えられている。

圧力センサ３３は、図１から図３に示すように、吸着ヘッド１５における上端部、つまり吸着ノズル１７側とは反対側の端部に取り付けられており、吸引手段による吸気圧力を例えば機械的に計測することが可能とされる。圧力センサ３３は、各吸着ヘッド１５に対して個別に設けられており、ヘッドユニット１３全体に対しては合計４つ設けられている。ここで、圧力センサ３３を用いてバックアップピン１１の有無を検知する原理について説明する。吸着ノズル１７の先端がバックアップピン１１の先端面に接触すると、その吸着開口部が閉塞されるため、この状態で吸引手段を作動させれば、流通路の空気の圧力が負圧となる。一方、吸着ノズル１７の先端がバックアップピン１１に接触しなければ、その吸着開口部が外部に開口した状態とされるため、この状態で吸引手段を作動させれば、流通路の空気の圧力が大気圧に近い値とほぼ等しくなる。つまり、圧力センサ３３により検出される圧力が負圧に傾いていればバックアップピン１１が存在することが検知され、上記圧力が大気圧に近い値であればバックアップピン１１が存在しないことが検知されるのである。

演算処理部３０は、図７に示すように、圧力センサ３３から出力された信号を演算処理することで、圧力値を算出するとともに、その圧力値を図示しないメモリに格納された閾値と比較し、閾値を超えていればバックアップピン１１が存在すると判定し、閾値を超えていなければバックアップピン１１が存在しないと判定するものとされる。この演算処理部３０による判定の基準値である閾値は、予めバックアップピン１１に対して吸着ノズル１７を接触させつつ吸引手段を作動させた状態で圧力を測定する試験を繰り返し行い、バックアップピン１１に対する吸着ノズル１７の密着度合いが不十分で多少のエアリークが発生した場合であっても、「バックアップピン１１が存在する」との判定結果が得られるように、経験的に導き出された数値である。

図７に示すモニタ部３４は、例えば、液晶パネルなどの表示パネルを備えており、判定結果を表示パネルに画像として表示することが可能とされる。モニタ部３４は、例えば支持プレート１２において行列状に並列配置されたピン取付凹部１２ａの平面配置をグラフィカルに表示するとともに、各ピン取付凹部１２ａの表示色を、バックアップピン１１の配置が正しければ（設計通りであれば）青色とし、バックアップピン１１の配置が間違っていれば赤色とすることで、作業者などにバックアップピン１１の配置の正否を報知することが可能とされる。入出力手段３５は、上記した演算処理部３０と共に主制御部３１に備えられており、各圧力センサ３３及びモニタ部３５に対して電気的に接続されることで、相互間での信号の伝送が可能とされている。

その上で、ヘッドユニット１３に対してＸ軸方向に沿って並列配置された各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７の配列間隔（間隔）Ｐ１は、図３に示すように、支持プレート１２においてＸ軸方向に沿って並んで列をなす各ピン取付凹部１２ａの配列間隔（間隔）Ｐ２とほぼ等しいものとされる。既述した通り、Ｘ軸方向に沿って並ぶ４つずつの各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７は、Ｘ軸方向についてほぼ等間隔に並列配置されているのに対し、列をなす８個の各ピン取付凹部１２ａは、Ｘ軸方向についてほぼ等間隔に並列配置されている。従って、Ｘ軸方向に沿って複数ずつ互いに隣り合う形で並んだ各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７は、Ｘ軸方向に沿って互いに隣り合う形で並んだ複数の各ピン取付凹部１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置（Ｘ軸方向及びＹ軸方向の２方向について一致した配置）とすることが可能とされる。この状態で各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７をＺ軸方向に沿って下向きに移動させると、各ピン取付凹部１２ａにバックアップピン１１が取り付けられていれば、そのバックアップピン１１に対して各吸着ノズル１７が接触されるようになっている。つまり、Ｘ軸方向に沿って並ぶ複数の各ピン取付凹部１２ａに関してバックアップピン１１の有無を一括して検査することが可能とされている。これにより、検査時間の短縮化が図られている。

さらには、支持プレート１２におけるＸ軸方向についての各ピン取付凹部１２ａの並列数は、Ｘ軸方向についての各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７の並列数の２倍とされている。従って、Ｘ軸方向に沿って並ぶ８個のピン取付凹部１２ａからなる一列のピン取付凹部１２ａ群を検査するに際して、Ｘ軸方向に沿って並ぶ各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７をヘッドユニット１３に対してＺ軸方向について移動させる回数が２回で済むとともに、その２回の移動時において全ての吸着ノズル１７がピン取付凹部１２ａの検査に有効に使用されるようになっている。これにより、検査時間の一層の短縮化が図られている。

本実施形態に係る表面実装機１０は、以上のような構造であり、続いてバックアップピン１１の検査方法について説明する。バックアップピン１１の検査方法は、製造するプリント基板Ｂに対応付けられた正しいバックアップピン１１の位置情報を取得するピン位置情報取得工程と、ヘッドユニット１３をＸ軸方向及びＹ軸方向について移動させる第１移動工程と、ヘッドユニット１３に対して各吸着ヘッド１５をＺ軸方向について移動させる第２移動工程と、ピン検知手段３２によりバックアップピン１１の有無を検知する検知工程と、を少なくとも備える。このうち、検知工程には、吸着ノズル１７内の圧力を検出する圧力検出工程と、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を判定する有無判定工程と、バックアップピン１１の有無の判定結果と正しいバックアップピン１１の位置情報とを比較してバックアップピン１１の配置が正しいか否かを判定する配置判定工程と、バックアップピン１１の配置が正しくない場合にモニタ部３４にその旨を報知する報知工程と、が少なくとも含まれている。以下、具体的なバックアップピン１１の検査方法について図８及び図９に示されるフローチャートを用いて詳しく説明する。

まず、演算処理部３０は、図８に示すように、製造するプリント基板Ｂに関する情報を取得する（ステップＳ１０）とともに、そのプリント基板Ｂに対応付けられた正しいバックアップピン１１の位置情報を取得する（ステップＳ１１、ピン位置情報取得工程）。次に、演算処理部３０は、モータ制御部２９を介してＸ軸モータ部２０及びＹ軸モータ部２１を駆動することでヘッドユニット１３をＸ軸方向及びＹ軸方向について移動させる（ステップＳ１２、第１移動工程）。このとき、演算処理部３０は、モータ制御部２９を介してＸ軸位置検出手段２２及びＹ軸位置検出手段２３によりヘッドユニット１３のＸ軸方向及びＹ軸方向についての位置情報を取得することで、４つずつの各吸着ヘッド１５及び各吸着ノズル１７が、支持プレート１２の中から選択される所定の列における図１に示す手前側または同図に示す奥側の４つの各ピン取付凹部１２ａ群と平面に視て重畳する配置とする。続いて、演算処理部３０は、モータ制御部２９を介してＺ軸モータ部２５を駆動することで、図３に示す状態から、ヘッドユニット１３に対して各吸着ヘッド１５をＺ軸方向に沿って鉛直方向の下向きに移動（下降）させる（ステップＳ１３、第２移動工程）。このとき、演算処理部３０は、モータ制御部２９を介してＺ軸位置検出手段２７により各吸着ヘッド１５のＺ軸方向についての位置情報を取得することで、図４に示すように、各吸着ノズル１７の先端面が、バックアップピン１１の先端面に接触可能となる位置に至らせる。

続いて、バックアップピン１１の有無を検知するとともに、検知結果の正否を判定するピン検知処理（ステップＳ１４、検知工程）を行う。このピン検知処理は、ヘッドユニット１３が有する４つの各吸着ノズル１７に関して順次に行われる。ピン検知処理では、図９に示すように、まず、所定の吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の流通路における空気の圧力を検出する（ステップＳ２０、圧力検出工程）。このとき、吸引手段により吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の流通路における空気を吸引するとともに、圧力センサ３３によって流通路における空気の圧力を検出し、圧力センサ３３から出力された信号は、入出力手段３５を介して演算処理部３０に入力される（図７を参照）。演算処理部３０は、入力された信号を演算処理することで圧力の値を算出し、その圧力値を、メモリに格納された閾値と比較し、バックアップピン１１の有無を判定する処理を行う（ステップＳ２１、有無判定工程）。ここで検出される圧力は、バックアップピン１１が存在すれば、吸着ノズル１７の吸着開口部がバックアップピン１１に塞がれるために負圧となるのに対し、バックアップピン１１が存在しなければ、大気圧（ゲージ圧が０）に近い値とほぼ等しくなる。従って、演算処理部３０は、図１０において実線にて示されるグラフのように、圧力値が閾値を超えるのであれば、「バックアップピン１１が存在する」と判定し（ステップＳ２２）、同図において破線にて示されるグラフのように、圧力値が閾値を超えなければ、「バックアップピン１１が存在しない」と判定する（ステップＳ２３）。図１０において、横軸は時間を表し、縦軸は負圧の大きさを表しており、負圧の閾値が一点鎖線により示されている。なお、このピン検知処理は、上記した各吸着ヘッド１５を下降させる処理に並行して行うことが可能である。

このようにしてバックアップピン１１の有無を検知したら、続いて、演算処理部３０は、バックアップピン１１の有無の判定結果を、正しいバックアップピン１１の位置情報と比較し、両者が合致するか否かに基づいてバックアップピン１１の配置が正しいか否かを判定する処理を行う（ステップＳ２４、配置判定工程）。例えば、正しいバックアップピン１１の位置情報が「バックアップピン１１が存在する」となっているのに対し、バックアップピン１１の検知結果が「バックアップピンが存在する」となっていた場合には、演算処理部３０は、位置情報と検知結果とが合致するので「バックアップピン１１の配置が正しい」と判定し（ステップＳ２５）、逆にバックアップピン１１の検知結果が「バックアップピンが存在しない」となっていた場合には、演算処理部３０は、位置情報と検知結果とが合致しないので「バックアップピン１１の配置が正しくない」と判定する（ステップＳ２６）。また、例えば、正しいバックアップピン１１の位置情報が「バックアップピン１１が存在しない」となっているのに対し、バックアップピン１１の検知結果が「バックアップピンが存在しない」となっていた場合には、演算処理部３０は、位置情報と検知結果とが合致するので「バックアップピン１１の配置が正しい」と判定し（ステップＳ２５）、逆にバックアップピン１１の検知結果が「バックアップピンが存在する」となっていた場合には、演算処理部３０は、位置情報と検知結果とが合致しないので「バックアップピン１１の配置が正しくない」と判定する（ステップＳ２６）。演算処理部３０が「バックアップピン１１の配置が正しくない」と判定した場合には、演算処理部３０は、モニタ部３４に判定結果である「バックアップピン１１の配置が正しくない」旨を表示させる（ステップＳ２７、報知工程）。なお、「バックアップピン１１の配置が正しい」と判定した場合にも、モニタ部３４に判定結果を表示させることが可能である。

バックアップピン１１の配置についての判定を終えたら、続いて、演算処理部３０は、全ての吸着ノズル１５に関して処理を行ったか否かを判定する（ステップＳ２８）。行っていれば、ピン検知処理を終了し、行っていなければ、ステップＳ２０に戻って次の吸着ノズル１５に関する処理を行う。このようにしてピン検知処理を終えたら、図８に示すように、各吸着ヘッド１５をＺ軸方向に沿って鉛直方向の上向きに移動（上昇）させ（ステップＳ１５）、図３に示す位置に至らせる。そして、演算処理部３０は、全てのピン取付凹部１２ａを検査したか否かを判定し、検査したのであればバックアップピン１１の検査工程を終了し、検査していないのであれば、ステップＳ１２に戻ってノズルヘッド１３をＸ軸方向及びＹ軸方向について移動させて、図５に示す位置（各吸着ノズル１７が次のピン取付凹部１２ａ群と平面に視て重畳する位置）に至らせた後、各吸着ヘッド１７を下降させて図６に示す位置に至らせることで次のピン取付凹部１２ａ群に関する検査を行う。なお、支持プレート１２において行列状に複数ずつ配されたピン取付凹部１２ａ群の具体的な検査手順としては、例えば支持プレート１２における第１列の図１に示す手前側の４つの各ピン取付凹部１２ａ群を最初に検査してから、次に第１列の同図奥側の４つの各ピン取付凹部１２ａ群を検査し、それ以降は、第２列の同図手前側の４つの各ピン取付凹部１２ａ群、第２列の同図奥側の４つの各ピン取付凹部１２ａ群、の順で検査を行い、最後に第１２列の同図奥側の４つの各ピン取付凹部１２ａ群を検査したところで、バックアップピン１１の検査工程を終了する、というようにすることが可能である。

以上説明したように本実施形態に係る表面実装機（基板処理装置）１０は、プリント基板（基板）Ｂを支持するバックアップピン１１と、プリント基板Ｂの板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶとともにバックアップピン１１が選択的に取り付けられるピン取付凹部（ピン取付部）１２ａを有する支持プレート１２と、バックアップピン１１に対してプリント基板Ｂを挟んだ反対側に配されるとともにプリント基板Ｂに対して実装される実装部品を保持可能とされる吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７（部品保持部）であって、行列状に複数ずつ並ぶピン取付凹部１２ａの中から選択される少なくとも２つのピン取付凹部１２ａの間の配列間隔（間隔）Ｐ２と一致する配列間隔（間隔）Ｐ１を間に有する形で並んで配される少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７と、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７をプリント基板Ｂの板面に沿う２方向（Ｘ軸方向及びＹ軸方向）についてそれぞれ移動させ且つプリント基板Ｂの板面に対する法線方向（Ｚ軸方向）について移動させる第１移動機構１４及び第２移動機構１６（移動部）と、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７がバックアップピン１１に接触したか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を検知するピン検知手段３２と、を備える。

このようにすれば、プリント基板Ｂは、支持プレート１２においてプリント基板Ｂの板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶピン取付凹部１２ａに選択的に取り付けられたバックアップピン１１によって支持される。バックアップピン１１によって支持されたプリント基板Ｂに対して、実装部品を保持した吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７が、第１移動機構１４及び第２移動機構１６によってプリント基板Ｂの板面に沿う２方向に加えてプリント基板Ｂの板面に対する法線方向について移動され、それにより実装部品をプリント基板Ｂにおける所定の位置に搭載することが可能とされる。

ところで、プリント基板Ｂに実装部品を搭載するのに先立って、支持プレート１２において行列状に複数ずつ並列配置されたピン取付凹部１２ａには、処理するプリント基板Ｂに応じてバックアップピン１１が選択的に取り付けられる。そして、ピン取付凹部１２ａに対して選択的に取り付けられたバックアップピン１１の配置が正しいか否かを判別するための検査が行われる。検査を行うに際しては、例えば、第１移動機構１４及び第２移動機構１６によって少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７をプリント基板Ｂの板面に沿う２方向について移動させ、行列状に複数ずつ並ぶピン取付凹部１２ａの中から選択される少なくとも２つのピン取付凹部１２ａと重畳するよう配置するとともに、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７をプリント基板Ｂの板面に対する法線方向について移動させる。このとき、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａのいずれかにバックアップピン１１が取り付けられていた場合には、そのバックアップピン１１に対して少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７のいずれかが接触される。一方、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａのいずれかにバックアップピン１１が取り付けられていなければ、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７のいずれかがバックアップピン１１とは非接触とされる。つまり、ピン検知手段３２は、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７がバックアップピン１１に接触したか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を検知する。

このように、ピン取付凹部１２ａの中から選択される少なくとも２つのピン取付凹部１２ａ間の配列間隔Ｐ２と一致する配列間隔Ｐ１となるよう少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７が配されることで、ピン検知手段３２によって少なくとも２つのピン取付凹部１２ａについてバックアップピン１１の有無が一括して検知される。従って、従来のようにカメラ式または光学式でバックアップピン１１の検査を行うものに比べると、検査にかかる時間の短縮化が図られる。しかも、ピン検知手段３２は、バックアップピン１１の有無を接触式で検知するものとされているので、例えばピン取付凹部１２ａに対してバックアップピン１１が傾いた姿勢で挿入されているか否かなどの不具合の有無についても検査することが可能とされる。

また、ピン取付凹部１２ａは、支持プレート１２において少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の並び方向（Ｘ軸方向）について複数が等間隔に並んで配されており、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７は、その間の配列間隔Ｐ１が互いに隣り合うピン取付凹部１２ａ間の配列間隔Ｐ２の整数倍となるよう配されている。このようにすれば、例えば、支持プレート１２におけるピン取付凹部１２ａの並列数が吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の並列数よりも多い場合には、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の並び方向について第１移動機構１４により吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７を移動させる際に、吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７を同じ距離ずつ移動させて検査を行うことが可能となる。これにより、第１移動機構１４による吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の移動に係る制御が容易なものとなる。

また、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７は、その間の配列間隔Ｐ１が互いに隣り合うピン取付凹部１２ａ間の配列間隔Ｐ２と等しくなるよう配されている。このようにすれば、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７によって支持プレート１２において隣り合うピン取付凹部１２ａに対してバックアップピン１１が取り付けられているか否かが一括して検査される。

また、ピン取付凹部１２ａは、支持プレート１２における、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の並び方向についての並列数が、吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の並列数の整数倍となるよう配されている。このようにすれば、バックアップピン１１の配置を検査するに際して、第２移動機構１６により吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７をプリント基板Ｂの板面に対する法線方向について移動させる回数が、吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７の並列数に対するピン取付凹部１２ａの並列数の倍数分で済む。これにより、検査にかかる時間をより短縮化することができる。

また、吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７には、実装部品を吸引保持することが可能な吸引手段が備えられており、ピン検知手段３２は、吸引手段により吸引される空気の圧力を検出する圧力センサ（圧力検出手段）３３と、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を判定する演算処理部（判定部）３０とを備える。このようにすれば、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａのいずれかにバックアップピン１１が取り付けられていた場合には、そのバックアップピン１１に対して少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７のいずれかが接触されるので、その状態で吸引手段によって空気を吸引すると、吸引された空気の圧力は負圧となる。つまり、吸引手段によって吸引される空気の圧力には、バックアップピン１１の有無に応じて差が生じることになるため、その圧力を圧力センサ３３により検出するとともに、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を演算処理部３０により判定することが可能とされる。また、実装部品を吸引保持するための吸引手段を利用してバックアップピン１１の配置を検知しているから、バックアップピン１１の検知に伴うコスト増を抑制することができる。

次に、本実施形態に係るバックアップピン１１の検査方法は、プリント基板Ｂを支持するバックアップピン１１に対してプリント基板Ｂを挟んだ反対側に配されるとともにプリント基板Ｂに対して実装される実装部品を保持可能とされる吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７であって、プリント基板Ｂの板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶとともにバックアップピン１１が選択的に取り付けられるピン取付凹部１２ａを有する支持プレート１２のうち、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａの間の配列間隔Ｐ２と一致する配列間隔Ｐ１を間に有する形で並んで配される少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７を、プリント基板Ｂの板面に沿う２方向について移動部を構成する第１移動機構１４によって移動させて少なくとも２つのピン取付凹部１２ａに対して重畳するよう配する第１移動工程と、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７を、プリント基板Ｂの板面に対する法線方向について少なくとも２つのピン取付凹部１２ａに接近するよう移動部を構成する第２移動機構１６によって移動させる第２移動工程と、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７がバックアップピン１１に接触したか否かに基づいてピン検知手段３２によってバックアップピン１１の有無を検知する検知工程と、を備える。

このようにすれば、まず、第１移動工程では、移動部を構成する第１移動機構１４によって少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７をプリント基板Ｂの板面に沿う２方向について移動させ、支持プレート１２において行列状に複数ずつ並ぶピン取付凹部１２ａの中から選択される少なくとも２つのピン取付凹部１２ａに対して重畳するよう配する。次に、第２移動工程では、移動部を構成する第２移動機構１６によって少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７をプリント基板Ｂの板面に対する法線方向について移動させ、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａに接近させる。続いて、検知工程では、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａのいずれかにバックアップピン１１が取り付けられていた場合には、そのバックアップピン１１に対して少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７のいずれかが接触される。一方、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａのいずれかにバックアップピン１１が取り付けられていなければ、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７のいずれかがバックアップピン１１とは非接触とされる。つまり、ピン検知手段３２により、少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７がバックアップピン１１に接触したか否かに基づいてバックアップピン１１の有無が検知される。以上のようにして、支持プレート１２において行列状に複数ずつ並列配置されたピン取付凹部１２ａに対して選択的に取り付けられたバックアップピン１１の配置が正しいか否かが検査される。

このように、検知工程では、ピン取付凹部１２ａの中から選択される少なくとも２つのピン取付凹部１２ａ間の配列間隔Ｐ２と一致する配列間隔Ｐ１となるよう少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７が配されることで、ピン検知手段３２によって少なくとも２つのピン取付凹部１２ａについてバックアップピン１１の有無が一括して検知される。従って、従来のようにカメラ式または光学式でバックアップピン１１の検査を行うものに比べると、検査にかかる時間の短縮化が図られる。しかも、ピン検知手段３２は、バックアップピン１１の有無を接触式で検知するものとされているので、例えばピン取付凹部１２ａに対してバックアップピン１１が傾いた姿勢で挿入されているか否かなどの不具合の有無についても検査することが可能とされる。

また、検知工程では、吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７に備えられ実装部品を吸引保持することが可能な吸引手段により空気を吸引するようにし、吸引された空気の圧力をピン検知手段３２を構成する圧力センサ３３により検出するとともに検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を、ピン検知手段３２を構成する演算処理部３０により判定するようにしている。このようにすれば、検知工程において、少なくとも２つのピン取付凹部１２ａのいずれかにバックアップピン１１が取り付けられていた場合には、そのバックアップピン１１に対して少なくとも２つの吸着ヘッド１５及び吸着ノズル１７のいずれかが接触されるので、その状態で吸引手段によって空気を吸引すると、その吸引された空気の圧力は負圧となる。つまり、吸引手段によって吸引される空気の圧力には、バックアップピン１１の有無に応じた差が生じることになるため、その圧力を圧力センサ３３により検出するとともに、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピン１１の有無を演算処理部３０により判定することが可能とされる。また、実装部品を吸引保持するための吸引手段を利用してバックアップピン１１の配置を検知しているから、バックアップピン１１の検知に伴うコスト増を抑制することができる。

＜実施形態２＞
本発明の実施形態２を図１１または図１２によって説明する。この実施形態２では、バックアップピンの有無を検知するに際して吸着ノズルに作用する荷重を利用したものを示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

本実施形態に係るバックアップピンの検査方法に含まれる検知工程には、吸着ノズルに作用した荷重を検出する荷重検出工程と、検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定する有無判定工程と、が少なくとも備えられる。具体的には、バックアップピンの検査方法に係るフローチャートに含まれるピン検知処理では、図１１に示すように、吸着ノズルに作用した荷重を検出し（ステップＳ１２０、荷重検出工程）、検出した圧力値が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定する処理を行う（ステップＳ１２１）。ここで、ステップＳ１２０において吸着ノズルに作用した荷重を検出する具体的な手法について説明する。吸着ヘッドを下降させる際にＺ軸モータ部を駆動させるのであるが、このときＺ軸モータ部に流される電流値は、吸着ノズルに作用する荷重に応じて変動し得るものとされ、無荷重であれば電流値が一定値とされるのに対し、荷重が作用すると電流値が増加する傾向とされている。従って、ステップＳ１２０では、吸着ノズルを下降させる際に駆動されるＺ軸モータ部に流される電流値をモータ制御部によって計測し、測定された電流値を演算処理部によって演算処理することで荷重を算出している。そして、ステップＳ１２１では、演算処理部は、図１２において実線にて示されるグラフのように、荷重値が閾値を超えるのであれば、「バックアップピンが存在する」と判定し（ステップＳ１２２）、同図において破線にて示されるグラフのように、荷重値が閾値を超えなければ、「バックアップピンが存在しない」と判定する（ステップＳ１２３）。図１２において、横軸は時間を表し、縦軸は荷重の大きさを表しており、荷重の閾値が一点鎖線により示されている。

以上説明したように本実施形態に係る表面実装機によれば、ピン検知手段は、吸着ヘッド及び吸着ノズルに作用する荷重を検出するモータ制御部（荷重検出手段）と、検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定する演算処理部（判定部）とを備える。このようにすれば、少なくとも２つのピン取付凹部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの吸着ヘッド及び吸着ノズルのいずれかが接触されるのに伴い、吸着ヘッド及び吸着ノズルに作用する荷重がモータ制御部により検出される。従って、検出された荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を演算処理部により判定することが可能とされる。

また、移動部を構成する第２移動機構は、吸着ヘッド及び吸着ノズルをプリント基板の板面に対する法線方向について移動させるためのＺ軸モータ部（モータ部）を少なくとも有しており、モータ制御部は、吸着ヘッド及び吸着ノズルを移動させる際にＺ軸モータ部に流される電流値に基づいて荷重を検出している。このようにすれば、Ｚ軸モータ部によって吸着ヘッド及び吸着ノズルをプリント基板の板面に対する法線方向について移動させる際に、吸着ヘッド及び吸着ノズルがバックアップピンに接触すると、Ｚ軸モータ部に流される電流値が高くなる傾向となる。従って、モータ制御部は、Ｚ軸モータ部に流される電流値が高くなれば、荷重が発生していることを検出することが可能とされる。また、吸着ヘッド及び吸着ノズルをプリント基板の板面に対する法線方向について移動させるためのＺ軸モータ部を利用してバックアップピンの配置を検知しているから、バックアップピンの検知に伴うコスト増を抑制することができる。

次に、本実施形態に係るバックアップピンの検査方法は、検知工程では、ピン検知手段を構成するモータ制御部（荷重検出手段）により吸着ヘッド及び吸着ノズルに作用する荷重を検出し、検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を、ピン検知手段を構成する演算処理部により判定するようにしている。このようにすれば、検知工程において、少なくとも２つのピン取付凹部のいずれかにバックアップピンが取り付けられていた場合には、そのバックアップピンに対して少なくとも２つの吸着ヘッド及び吸着ノズルのいずれかが接触されるのに伴い、吸着ヘッド及び吸着ノズルに作用する荷重がモータ制御部により検出される。従って、検出された荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を演算処理部により判定することが可能とされる。

また、第２移動工程では、移動部を構成する第２移動機構に少なくとも有されるＺ軸モータ部（モータ部）によって少なくとも２つの吸着ヘッド及び吸着ノズルをプリント基板の板面に対する法線方向について移動させており、検知工程では、モータ制御部は、Ｚ軸モータ部に流される電流値に基づいて荷重を検出している。このようにすれば、第２移動工程及び検知工程において、Ｚ軸モータ部によって吸着ヘッド及び吸着ノズルをプリント基板の板面に対する法線方向について移動させる際に、吸着ヘッド及び吸着ノズルがバックアップピンに接触すると、Ｚ軸モータ部に流される電流値が高くなる傾向となる。従って、モータ制御部は、Ｚ軸モータ部に流される電流値が高くなれば、荷重が発生していることを検出することが可能とされる。また、吸着ヘッド及び吸着ノズルをプリント基板の板面に対する法線方向について移動させるためのＺ軸モータ部を利用してバックアップピンの配置を検知しているから、バックアップピンの検知に伴うコスト増を抑制することができる。

＜実施形態３＞
本発明の実施形態３を図１３によって説明する。この実施形態３は、上記した実施形態２の変形例とも言うべきものであって、吸着ノズル２１７に作用する荷重を荷重センサ３６により検出するようにしたものを示す。なお、上記した実施形態２と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

荷重センサ３６は、図１３に示すように、上記した実施形態１に記載した圧力センサと同様に各吸着ヘッドに対して個別に取り付けられており、吸着ノズル２１７に作用する荷重を機械式で検出することが可能とされている。荷重センサ３６により検出された荷重に係る信号は、入出力手段２３５を介して演算処理部２３０に入力されて演算処理されることで、荷重値として算出される。このような構成であっても、上記した実施形態２と同様に検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいてバックアップピンの有無を判定することができる。

＜実施形態４＞
本発明の実施形態４を図１４または図１５によって説明する。この実施形態４では、ヘッドユニット３１３における吸着ヘッド３１５及び吸着ノズル３１７の設置数を変更したものを示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

本実施形態に係るヘッドユニット３１３には、図１４に示すように、吸着ヘッド３１５及び吸着ノズル３１７が５つずつ設けられている。これに対して支持プレート３１２においてＸ軸方向に沿って列をなすピン取付凹部３１２ａの並列数は、８つとされる。つまり、列をなすピン取付凹部３１２ａの並列数は、吸着ヘッド３１５及び吸着ノズル３１７の設置数の非整数倍とされている。このような構成においては、１つの列をなすピン取付凹部３１２ａを検査するに際しては、例えば１回目の検査では全ての吸着ヘッド３１５及び吸着ノズル３１７を用いてバックアップピン３１１の有無を検知するようにし、２回目の検査では、図１５に示すように、同図左端側の２つずつの吸着ヘッド３１５及び吸着ノズル３１７については圧力または荷重の検出に用いることなく、同図右端側の３つずつの吸着ヘッド３１５及び吸着ノズル３１７を用いて圧力または荷重を検出することでバックアップピン３１１の有無を検知すればよい。

＜実施形態５＞
本発明の実施形態５を図１６または図１７によって説明する。この実施形態５では、隣り合う吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７の配列間隔Ｐ３を変更したものを示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

本実施形態に係るヘッドユニット４１３においてＸ軸方向について隣り合う吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７の配列間隔Ｐ３は、図１６に示すように、支持プレート４１２においてＸ軸方向に沿って並んで列をなす各ピン取付凹部４１２ａの配列間隔Ｐ２のほぼ２倍とされている。従って、例えばヘッドユニット４１３において図１６に示す左端に位置する吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７を、支持プレート４１２において同図左端に位置するピン取付凹部４１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの３つずつの吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７は、支持プレート４１２において同図左端から数えて奇数番目（３番目、５番目、７番目）となる３つのピン取付凹部４１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。また、図１７に示すように、ヘッドユニット４１３において図１７に示す左端に位置する吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７を、支持プレート４１２において同図左端から２番目に位置するピン取付凹部４１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの３つずつの吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７は、支持プレート４１２において同図左端から数えて偶数番目（４番目、６番目、８番目）となる３つのピン取付凹部４１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。つまり、各図面において左端に配される吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７を、支持プレート４１２において各図左からｎ番目のピン取付凹部４１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの３つずつの吸着ヘッド４１５及び吸着ノズル４１７は、支持プレート４１２において各図左から（ｎ＋２）番目、（ｎ＋４）番目、（ｎ＋６）番目となる３つのピン取付凹部４１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。なお、ｎは、自然数である。

従って、バックアップピン４１１の検査を行うに際しては、図１６に示すように、同図左端から数えて奇数番目に位置する各ピン取付凹部４１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル４１７を用いてバックアップピン４１１の有無を検査し、その後、図１７に示すように、同図左端から数えて偶数番目に位置する各ピン取付凹部４１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル４１７を用いてバックアップピン４１１の有無を検査する、といった手順を採ることができ、それにより２回の検査によって１つの列をなすピン取付凹部４１２ａを全て検査することができる。

＜実施形態６＞
本発明の実施形態６を図１８から図２０によって説明する。この実施形態６では、吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７の並列数及びピン取付凹部５１２ａの並列数を変更するとともに、隣り合う吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７の配列間隔Ｐ４を変更したものを示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

本実施形態に係るヘッドユニット５１３には、図１８に示すように、吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７がＸ軸方向に沿って３つずつ間欠的に並ぶ形で設けられている。これに対し、支持プレート５１２には、ピン取付凹部５１２ａがＸ軸方向に沿って９つ間欠的に並ぶ形で設けられている。そして、ヘッドユニット５１３においてＸ軸方向について隣り合う吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７の配列間隔Ｐ４は、支持プレート５１２においてＸ軸方向に沿って並んで列をなす各ピン取付凹部５１２ａの配列間隔Ｐ２のほぼ３倍とされている。従って、例えばヘッドユニット５１３において図１８に示す左端に位置する吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７を、支持プレート５１２において同図左端に位置するピン取付凹部５１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの２つずつの吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７は、支持プレート５１２において同図左端から数えて４番目、７番目となる２つのピン取付凹部５１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。また、図１９に示すように、ヘッドユニット５１３において図１９に示す左端に位置する吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７を、支持プレート５１２において同図左端から２番目に位置するピン取付凹部５１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの２つずつの吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７は、支持プレート５１２において同図左端から数えて５番目、８番目となる２つのピン取付凹部５１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。また、図２０に示すように、ヘッドユニット５１３において図２０に示す左端に位置する吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７を、支持プレート５１２において同図左端から３番目に位置するピン取付凹部５１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの２つずつの吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７は、支持プレート５１２において同図左端から数えて６番目、９番目となる２つのピン取付凹部５１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。つまり、各図面において左端に配される吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７を、支持プレート５１２において各図左からｎ番目のピン取付凹部５１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの２つずつの吸着ヘッド５１５及び吸着ノズル５１７は、支持プレート５１２において各図左から（ｎ＋３）番目、（ｎ＋６）番目となる２つのピン取付凹部５１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。なお、ｎは、自然数である。

従って、バックアップピン５１１の検査を行うに際しては、図１８に示すように、同図左端から数えて１番目、４番目、７番目に位置する各ピン取付凹部５１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル５１７を用いてバックアップピン５１１の有無を検査し、その後、図１９に示すように、同図左端から数えて２番目、５番目、８番目に位置する各ピン取付凹部５１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル５１７を用いてバックアップピン５１１の有無を検査し、さらにその後、図２０に示すように、同図左端から数えて３番目、６番目、９番目に位置する各ピン取付凹部５１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル５１７を用いてバックアップピン５１１の有無を検査する、といった手順を採ることができ、それにより３回の検査によって１つの列をなすピン取付凹部５１２ａを全て検査することができる。

＜実施形態７＞
本発明の実施形態７を図２１から図２４によって説明する。この実施形態７では、吸着ヘッド６１５及び吸着ノズル６１７の並列数とピン取付凹部６１２ａの並列数とを変更するとともに、隣り合う吸着ヘッド６１５及び吸着ノズル６１７の配列間隔Ｐ５とピン取付凹部６１２ａの配列間隔Ｐ６，Ｐ７とを変更したものを示す。なお、上記した実施形態１と同様の構造、作用及び効果について重複する説明は省略する。

本実施形態に係るヘッドユニット６１３には、図２１に示すように、吸着ヘッド６１５及び吸着ノズル６１７がＸ軸方向に沿って２つずつが間欠的に並ぶ形で設けられている。これに対し、支持プレート６１２には、ピン取付凹部６１２ａがＸ軸方向に沿って８つが間欠的に並ぶ形で設けられている。

支持プレート６１２においてＸ軸方向に沿って並んで列をなす各ピン取付凹部６１２ａは、２通りの配列間隔Ｐ６，Ｐ７が交互となる形で繰り返されるよう配されている。詳しくは、図２１に示す左端のピン取付凹部６１２ａと同図左から２番目のピン取付凹部６１２ａとの間の配列間隔Ｐ６と、同図左から２番目のピン取付凹部６１２ａと同図左から３番目のピン取付凹部６１２ａとの間の配列間隔Ｐ７とが互いに異なっており、配列間隔Ｐ７が配列間隔Ｐ６のほぼ２倍の大きさとされている。つまり、図２１に示す左から奇数番目（１番目、３番目、５番目、７番目）のピン取付凹部６１２ａとその右隣の偶数番目（２番目、４番目、６番目、８番目）のピン取付凹部６１２ａとの間には、配列間隔Ｐ６が空けられるのに対し、同図左から偶数番目のピン取付凹部６１２ａとその右隣の奇数番目のピン取付凹部６１２ａとの間には、配列間隔Ｐ７が空けられている。

そして、ヘッドユニット６１３においてＸ軸方向について隣り合う吸着ヘッド６１５及び吸着ノズル６１７の配列間隔Ｐ５は、上記したピン取付凹部６１２ａの各配列間隔Ｐ６，Ｐ７のいずれよりも大きくされており、配列間隔Ｐ６と配列間隔Ｐ７とを足し合わせた大きさとほぼ等しくなっている。支持プレート６１２において図２１に示す左から奇数番目のピン取付凹部６１２ａ間の配列間隔は、Ｐ６とＰ７とを足し合わせた大きさ（Ｐ６＋Ｐ７）となっており、また同図左から偶数番目のピン取付凹部６１２ａ間の配列間隔についても、Ｐ６とＰ７とを足し合わせた大きさ（Ｐ６＋Ｐ７）となっている。従って、ヘッドユニット６１３において図２１に示す左端に位置する吸着ヘッド６１５及び吸着ノズル６１７を、支持プレート６１２において同図ｎ番目のピン取付凹部６１２ａと平面に視て重畳する配置にすると、残りの吸着ヘッド６１５及び吸着ノズル６１７は、支持プレート６１２において同図（ｎ＋２）番目のピン取付凹部６１２ａに対してそれぞれ平面に視て重畳する配置となる。なお、ｎは、自然数である。

バックアップピン６１１の検査を行うに際しては、図２１に示すように、同図左端から数えて１番目、３番目に位置する各ピン取付凹部６１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル６１７を用いてバックアップピン６１１の有無を検査してから、ヘッドユニット６１３を配列間隔Ｐ６の分だけ同図右側に移動させた後に、図２２に示すように、同図左端から数えて２番目、４番目に位置する各ピン取付凹部６１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル６１７を用いてバックアップピン６１１の有無を検査する。それからヘッドユニット６１３を配列間隔Ｐ６に加えて配列間隔Ｐ７の２倍となる寸法分だけ同図右側に移動させた後に、図２３に示すように、同図左端から数えて５番目、７番目に位置する各ピン取付凹部６１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル６１７を用いてバックアップピン６１１の有無を検査する。その後、ヘッドユニット６１３を配列間隔Ｐ６の分だけ同図右側に移動させた後に、図２４に示すように、同図左端から数えて６番目、８番目に位置する各ピン取付凹部６１２ａに関してそれぞれ各吸着ノズル６１７を用いてバックアップピン６１１の有無を検査する。以上の手順により４回の検査によって１つの列をなすピン取付凹部６１２ａを全て検査することができる。

＜他の実施形態＞
本発明は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も本発明の技術的範囲に含まれる。
（１）上記した各実施形態以外にも、ヘッドユニットが有する複数の吸着ノズルによって一度に検査可能な検査対象である支持プレートのピン取付凹部群に関して、具体的な検査順序は適宜に変更可能である。例えば、第１列の図１に示す手前側のピン取付凹部群を最初に検査したら、次に第２列の同図手前側のピン取付凹部群を検査し、それ以降は各列の同図手前側のピン取付凹部群を列番号順に検査した後、第１２列の同図奥側のピン取付凹部群から第１列の同図奥側のピン取付凹部群までを順次に検査する、といった検査順序とすることが可能である。

（２）上記した各実施形態において、ノズルヘッドをＸ軸方向やＹ軸方向について移動させる動作と、吸着ヘッドをＺ軸方向について移動させる動作とを並列的に行うように各モータ部の駆動を制御することも勿論可能である。

（３）上記した各実施形態では、支持プレートにおいてＸ軸方向について隣り合うピン取付凹部間の配列間隔が、ヘッドユニットにおいて隣り合う吸着ヘッド及び吸着ノズル間の配列間隔とほぼ等しくなる場合や、１倍以下とされる場合を示したが、支持プレートにおいてＸ軸方向について隣り合うピン取付凹部間の配列間隔が、ヘッドユニットにおいて隣り合う吸着ヘッド及び吸着ノズル間の配列間隔の整数倍とされる構成としたものも本発明に含まれる。

（４）上記した各実施形態以外にも、支持プレートにおけるピン取付凹部のＸ軸方向についての並列数、及びＹ軸方向についての並列数については適宜に変更可能である。特に、ピン取付凹部におけるＸ軸方向（吸着ヘッド及び吸着ノズルの並び方向）についての並列数を変更するに際しては、ヘッドユニットによる検査回数（吸着ヘッド及び吸着ノズルの昇降回数）を適宜に変更すればよい。

（５）上記した実施形態１では、圧力センサとして機械式のものを例示したが、電気式の圧力センサを用いることも勿論可能である。それ以外にも、圧力センサを用いることなく、吸引手段により吸引する吸着ノズル内の空気の圧力を間接的に検出する手法を採ることが可能であり、例えば吸引手段を駆動する駆動手段に流される電流値を検出し、その測定された電流値を演算処理部によって演算処理することで圧力を算出するようにしてもよい。

（６）上記した実施形態１から実施形態５では、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を４または５とした場合を示したが、実施形態１から実施形態５に記載した構成において、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を２、３、または６以上とすることが可能である。その場合、ヘッドユニットによる検査回数（吸着ヘッド及び吸着ノズルの昇降回数）を適宜に変更すればよい。

（７）上記した実施形態２または実施形態３に記載した構成に、上記した実施形態４から実施形態７に記載した構成を適用することも可能である。

（８）上記した実施形態５では、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を４とした場合を示したが、実施形態５に記載した構成において、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を２、３、または５以上とすることが可能である。その場合、ヘッドユニットによる検査回数（吸着ヘッド及び吸着ノズルの昇降回数）を適宜に変更すればよい。

（９）上記した実施形態６では、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を３とした場合を示したが、実施形態６に記載した構成において、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を２、または４以上とすることが可能である。その場合、ヘッドユニットによる検査回数（吸着ヘッド及び吸着ノズルの昇降回数）を適宜に変更すればよい。

（１０）上記した実施形態７では、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を２とした場合を示したが、実施形態７に記載した構成において、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズルの数を３以上とすることが可能である。その場合、ヘッドユニットによる検査回数（吸着ヘッド及び吸着ノズルの昇降回数）を適宜に変更すればよい。

（１１）上記した実施形態５，６以外にも、ヘッドユニットが有する吸着ヘッド及び吸着ノズル間の配列間隔が、支持プレートにおいてＸ軸方向について隣り合うピン取付凹部間の配列間隔の４倍以上の整数倍となる構成を採ることも可能である。

（１２）上記した実施形態７の変形例として、図２１から図２４において、配列間隔Ｐ６及び配列間隔Ｐ７の左右の配置を入れ替えることも可能である。

（１３）上記した実施形態７のさらなる変形例として、吸着ノズル間の配列間隔が、ピン取付凹部の３つ以上の配列間隔を足した大きさとほぼ等しくなる設定とすることも可能である。

（１４）上記した実施形態５から実施形態７に記載した構成に、上記した実施形態４の構成、つまり支持プレートにおけるピン取付凹部のＸ軸方向についての並列数がヘッドユニットにおける吸着ヘッド及び吸着ノズルの並列数の非整数倍となる構成を適用することが可能である。

（１５）上記した実施形態１では、バックアップピンの有無を圧力検出手段により検査したものを、また実施形態２，３では、バックアップピンの有無を荷重検出手段により検査したものを示したが、圧力検出手段と荷重検出手段とを併用してバックアップピンの有無を検査することも可能である。

（１６）上記した各実施形態では、ヘッドユニットに対して吸着ヘッドをＺ軸方向について移動させるＺ軸モータ部が各吸着ノズル毎に個別に設けられたものを示したが、共通のＺ軸モータ部によって複数の吸着ノズルをＺ軸方向について一括して移動させる構成とすることも可能である。

（１７）上記した各実施形態では、ヘッドユニットに対して吸着ヘッド及び吸着ノズルがＸ軸方向に沿って並列する形で設けられたものを示したが、ヘッドユニットに対して吸着ヘッド及び吸着ノズルがＹ軸方向に沿って並列する形で設けられる構成とすることも可能である。

（１８）上記した各実施形態では、ヘッドユニットに対して吸着ヘッド及び吸着ノズルがＸ軸方向に沿って等間隔に並ぶ形で設けられたものを示したが、ヘッドユニットに対して吸着ヘッド及び吸着ノズルがＸ軸方向に沿って不等間隔に並ぶ形で設けられる構成とすることも可能である。

（１９）上記した各実施形態では、バックアップピンの配置が正しくない場合にモニタ部にその旨を表示させるものを示したが、それ以外にも例えば、バックアップピンの配置が正しくない場合に警告音を発生する報知手段を用いたり、また警告灯を点灯または点滅させる報知手段を用いることも可能である。これらの報知手段を複数併用することも勿論可能である。

（２０）上記した各実施形態では、バックアップピンが円柱状をなすものを示したが、バックアップピンとして角柱状をなすものや先細り形状とされるものを用いることも可能である。

（２１）上記した各実施形態では、ピン取付凹部が支持プレートにおける表側の面にのみ開口する凹状をなす構成としたものもを示したが、ピン取付凹部が支持プレートを表裏に貫通する態様とすることも可能である。

（２２）上記した各実施形態では、表面実装機について例示したが、それ以外にもプリント基板に半田ペーストを印刷するための半田印刷機にも本発明は適用可能である。

１０…表面実装機（基板処理装置）、１１，３１１，４１１，５１１，６１１…バックアップピン、１２，３１２，４１２，５１２，６１２…支持プレート、１２ａ，３１２ａ，４１２ａ，５１２ａ，６１２ａ…ピン取付凹部（ピン取付部）、１４…第１移動機構（移動部）、１５，３１５，４１５，５１５，６１５…吸着ヘッド（部品保持部）、１６…第２移動機構（移動部）、１７，２１７，３１７，４１７，５１７，６１７…吸着ノズル（部品保持部）、２５…Ｚ軸モータ部（モータ部）、３０，２３０…演算処理部（判定部）、３２…ピン検知手段、３３…圧力センサ（圧力検出手段）、３６…荷重センサ（荷重検出手段）、Ｂ…プリント基板（基板）、Ｐ１〜Ｐ７…配列間隔（間隔）

Claims (11)

1. 基板を支持するバックアップピンと、
   前記基板の板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶとともに前記バックアップピンが選択的に取り付けられるピン取付部を有する支持プレートと、
   前記バックアップピンに対して前記基板を挟んだ反対側に配されるとともに前記基板に対して実装される実装部品を保持可能とされる部品保持部であって、行列状に複数ずつ並ぶ前記ピン取付部の中から選択される少なくとも２つの前記ピン取付部の間の間隔と一致する間隔を間に有する形で並んで配される少なくとも２つの部品保持部と、
   少なくとも２つの前記部品保持部を前記基板の板面に沿う２方向についてそれぞれ移動させ且つ前記基板の板面に対する法線方向について移動させる移動部と、
   少なくとも２つの前記部品保持部が前記バックアップピンに接触したか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を検知するピン検知手段と、を備える基板処理装置。
2. 前記ピン取付部は、前記支持プレートにおいて少なくとも２つの前記部品保持部の並び方向について複数が等間隔に並んで配されており、
   少なくとも２つの前記部品保持部は、その間の間隔が互いに隣り合う前記ピン取付部間の間隔の整数倍となるよう配されている請求項１記載の基板処理装置。
3. 少なくとも２つの前記部品保持部は、その間の間隔が互いに隣り合う前記ピン取付部間の間隔と等しくなるよう配されている請求項２記載の基板処理装置。
4. 前記ピン取付部は、前記支持プレートにおける、少なくとも２つの前記部品保持部の並び方向についての並列数が、前記部品保持部の並列数の整数倍となるよう配されている請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の基板処理装置。
5. 前記部品保持部には、前記実装部品を吸引保持することが可能な吸引手段が備えられており、
   前記ピン検知手段は、前記吸引手段により吸引される空気の圧力を検出する圧力検出手段と、検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を判定する判定部とを備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板処理装置。
6. 前記ピン検知手段は、前記部品保持部に作用する荷重を検出する荷重検出手段と、検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を判定する判定部とを備える請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の基板処理装置。
7. 前記移動部は、前記部品保持部を前記基板の板面に対する法線方向について移動させるためのモータ部を少なくとも有しており、
   前記荷重検出手段は、前記部品保持部を移動させる際に前記モータ部に流される電流値に基づいて前記荷重を検出している請求項６記載の基板処理装置。
8. 基板を支持するバックアップピンに対して前記基板を挟んだ反対側に配されるとともに前記基板に対して実装される実装部品を保持可能とされる部品保持部であって、前記基板の板面に沿う２方向について行列状に複数ずつ並ぶとともに前記バックアップピンが選択的に取り付けられるピン取付部を有する支持プレートのうち、少なくとも２つの前記ピン取付部の間の間隔と一致する間隔を間に有する形で並んで配される少なくとも２つの前記部品保持部を、前記基板の板面に沿う２方向について移動部によって移動させて少なくとも２つの前記ピン取付部に対して重畳するよう配する第１移動工程と、
   少なくとも２つの前記部品保持部を、前記基板の板面に対する法線方向について少なくとも２つの前記ピン取付部に接近するよう前記移動部によって移動させる第２移動工程と、
   少なくとも２つの前記部品保持部が前記バックアップピンに接触したか否かに基づいてピン検知手段によって前記バックアップピンの有無を検知する検知工程と、を備えるバックアップピンの検査方法。
9. 前記検知工程では、前記部品保持部に備えられ前記実装部品を吸引保持することが可能な吸引手段により空気を吸引するようにし、吸引された空気の圧力を前記ピン検知手段を構成する圧力検出手段により検出するとともに検出した圧力が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を、前記ピン検知手段を構成する判定部により判定するようにしている請求項８記載のバックアップピンの検査方法。
10. 前記検知工程では、前記ピン検知手段を構成する荷重検出手段により前記部品保持部に作用する荷重を検出し、検出した荷重が閾値を超えたか否かに基づいて前記バックアップピンの有無を、前記ピン検知手段を構成する判定部により判定するようにしている請求項８記載のバックアップピンの検査方法。
11. 前記第２移動工程では、前記移動部に少なくとも有されるモータ部によって少なくとも２つの前記部品保持部を前記基板の板面に対する法線方向について移動させており、
    前記検知工程では、前記荷重検出手段は、前記モータ部に流される電流値に基づいて前記荷重を検出している請求項１０記載のバックアップピンの検査方法。

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