JP2014098396A - 流体ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】流体ポンプ101はアクチュエータ40と金属板による平面部51とで構成されている。アクチュエータ40は円板状の振動板41に円板状の圧電素子42が貼着されたものである。矩形波または正弦波状の駆動電圧が印加されることによってアクチュエータ40は中心部から周辺部にかけて屈曲振動する。アクチュエータ40は、その周辺部が拘束されていない。アクチュエータ40は平面部51に近接対向した状態で屈曲振動する。平面部51のうちアクチュエータ40と対向するアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近には中心通気孔52が配置されている。
【選択図】図2B
Description
前記アクチュエータに近接対向して配置される平面部と、
前記平面部のうち前記アクチュエータと対向するアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近に配置された1つまたは複数の中心通気孔と、
を備える。
図2Aは第1の実施形態に係る流体ポンプに備えるアクチュエータ40の中央断面図である。図2Bは第1の実施形態に係る流体ポンプ101の主要部の非駆動時の断面図である。アクチュエータ40は円板状の振動板41に円板状の圧電素子42を貼着したものである。振動板41は例えばステンレススチールやりん青銅等の金属製である。圧電素子42の上下面にはそれぞれほぼ全面の電極膜が形成されている。下面の電極は振動板41と電気的に導通している。または容量結合している。上面の電極には導体線が接続され、この導体線と振動板41とに駆動回路が電気的に接続され、矩形波状または正弦波状の駆動電圧が印加される。アクチュエータ40は中心部から周辺部にかけて回転対称形(同心円状)の屈曲振動する。
図4は第2の実施形態に係る流体ポンプ102の主要部の非駆動時の断面図である。この流体ポンプ102は円板状の振動板41に円板状の圧電素子42を貼着したアクチュエータ40と平面部51を備えている。平面部51の上部にはアクチュエータ40の周囲を囲むスペーサ53及び蓋部54を設けている。蓋部54には吐出孔55を形成している。アクチュエータ40は、実施例1と同様であり、その周辺部が平面部51に拘束されていない。非駆動時には、アクチュエータ40は平面部51上に接触して対向配置されているにすぎない。
図5は第3の実施形態に係る流体ポンプ103の主要部の断面図である。流体ポンプ103はアクチュエータ40とステンレススチールやりん青銅等の金属板による平面部51とで構成されている。アクチュエータ40は、その周辺部が平面部51に拘束されていない。
図6は第4の実施形態に係る流体ポンプ104の一部の分解斜視図、図7は第4の実施形態に係る流体ポンプ104の主要部の断面図である。
図8は第5の実施形態に係る流体ポンプ105の分解斜視図、図9は流体ポンプ105の斜視図、図10はその主要部の断面図である。
図12A、図12Bは、第6の実施形態に係る流体ポンプのアクチュエータ40の位置保持構造の例を示す図である。この第6の実施形態は、第2の実施形態の流体ポンプのアクチュエータ40の周辺を位置保持枠80で囲む構造を有するものである。アクチュエータ40は平面部(図示せず)上に固定された位置保持枠80の開口部81内に、収められている。
図13は第7の実施形態に係る流体ポンプ107の主要部の断面図である。この流体ポンプ107は円板状の振動板41に円板状の圧電素子42を貼着したアクチュエータ40と平面部51を備えている。なお、アクチュエータ40は第4及び第5の実施形態のように、弾性構造である連結部62を有する振動板支持枠61により保持されている。平面部51の上部にはアクチュエータ40の周囲を囲むスペーサ53及び蓋部54を設けている。スペーサ53には吐出孔57を形成している。
図14は第8の実施形態に係る流体ポンプ108の主要部の断面図である。この流体ポンプ108は、第4の実施形態で示した流体ポンプ104を二つ積層した構造である。なお、ここでは蓋部が形成されている。但し、この例は、上部のポンプの平面部が下部のポンプの蓋部を兼ねている。また、上部のポンプの中心通気孔52Bが下部のポンプの吐出孔を兼ねている。
図15は第9の実施形態に係る流体ポンプ109の主要部の断面図である。この流体ポンプ109は、図13に示した流体ポンプ107を4つ積層した構造である。但し、各中心通気孔52A,52B,52C,52Dが閉塞されないように、流入路58B,58C,58Dを設けている。また、各吐出孔57A,57B,57C,57Dから吐出される流体の流出路59を設けている。
図16は第10の実施形態に係る流体ポンプ110の主要部の断面図である。この流体ポンプ110は、一つの筐体内に二つのアクチュエータ40A,40Bを設けた例である。なお、アクチュエータ40A及び40Bは、第4及び第5の実施形態のように、弾性構造である連結部62を有する振動板支持枠61がそれぞれ設けられており、それぞれ保持されている。スペーサ53の一部に吐出孔57が形成されている。このような構造により、平面部51Aとアクチュエータ40Aとによってポンプ動作し、平面部51Bとアクチュエータ40Bとによってポンプ動作する。二つのアクチュエータ40A,40Bは同期して屈曲振動するので、中心通気孔52A,52Bから同時に吸気され、吐出孔57から吐出される。実質的に二つのポンプが内蔵されているので、単一のアクチュエータを備えた流体ポンプに比べて流量が2倍になる。
図17は第11の実施形態に係る流体ポンプ111の分解斜視図である。図18は第11の実施形態に係る流体ポンプ111の主要部の断面図である。この実施形態に係る流体ポンプ111が第5の実施形態に係る流体ポンプ105と相違する点は、アクチュエータ40とカバー板部95である。その他の構成については、流体ポンプ105と同じである。
以上の各実施形態ではユニモルフ型で屈曲振動するアクチュエータを設けたが、振動板の両面に圧電素子を貼着してバイモルフ型で屈曲振動するように構成してもよい。
40A,40B…アクチュエータ
41…振動板
42…圧電素子
43…補強板
51…平面部
51A,51B…平面部
52…中心通気孔
52A,52B,52C,52D…中心通気孔
53…スペーサ
53A,53B,53C…スペーサ
54…蓋部
55…吐出孔
56A,56B…周辺通気孔
57…吐出孔
57A,57B,57C,57D…吐出孔
58B,58C,58D…流入路
59…流出路
60…振動板ユニット
61…振動板支持枠
62…連結部
63,72…外部端子
70…電極導通用板
73…内部端子
80…位置保持枠
81…開口部
91…基板
92…開口部
94…内部空間
95…カバー板部
96…流路板
97…通気溝
99…カバー板
101〜105…流体ポンプ
107〜110…流体ポンプ
111…流体ポンプ
Claims (6)
- 円板状の振動板と、前記振動板に設けられている円板状の圧電素子と、を有するアクチュエータと、
前記アクチュエータに近接対向して配置される平面部と、
前記平面部のうち前記アクチュエータと対向するアクチュエータ対向領域の中心又は中心付近に配置された1つまたは複数の中心通気孔と、
前記振動板の外周から隙間をあけて、前記振動板を囲む振動板支持枠と、
前記振動板と前記振動板支持枠との間に設けられ、前記振動板の外周を前記振動板支持枠に対して支持する弾性構造の連結部と、
を備え、
前記振動板、前記振動板支持枠および前記連結部は、導電性を有し、
前記圧電素子の一方の主面は前記振動板および前記連結部を介して前記振動板支持枠に接続し、
前記アクチュエータは、少なくとも駆動電圧が印加されている間、前記平面部に対して非接触状態を保ちながら、中心部から周辺部にかけて屈曲振動する、流体ポンプ。 - 前記アクチュエータ対向領域は、中心又は中心付近が屈曲振動可能な薄板部であり、周辺部が実質的に拘束された厚板部である、請求項1に記載の流体ポンプ。
- 前記薄板部と対向して前記厚板部と接合され、前記薄板部および前記厚板部とともに内部空間を形成するカバー板部を備え、
前記カバー板部には、前記内部空間と流体ポンプ筐体の外部とを連通させる通気溝が形成された、請求項2に記載の流体ポンプ。 - 前記アクチュエータ対向領域の周辺部分に、1つまたは複数の周辺通気孔を備えた、請求項1乃至3の何れかに記載の流体ポンプ。
- 前記アクチュエータは、当該アクチュエータと前記平面部との間に一定の隙間をあけて保持されている、請求項1乃至4の何れかに記載の流体ポンプ。
- 前記平面部上に前記アクチュエータを位置決めする開口部を有する位置保持構造が設けられ、前記アクチュエータは前記開口部内に収められている、請求項1,2乃至5の何れかに記載の流体ポンプ。
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