JP2014093457A - シリコンウェーハの評価方法及びそのエッチング液 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】エッチング液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水の容量比が(400):(5〜10):(10〜50):(80〜120)であり且つヨウ素又はヨウ化物をエッチング液の総液量1リットル当たり0.03g以上含有するエッチング液に、シリコンウェーハを浸漬して結晶欠陥部分を選択的にエッチングする。これにより、シリコンウェーハの表面に直径10μm程度の楕円形状のパターン(LEP)が現れるとともに、全LEP中の大部分がフローパターンとして観察される。残りのLEPは従来どおりの楕円形状の単独パターンとして現れる。
【選択図】なし
Description
先ず、従来のクロムレスエッチング液、具体的には50重量%フッ酸、61重量%硝酸、99.7重量%酢酸及び水の容量比が400:3:33:80のエッチング液(以下、従来クロムレス液という)を12リットル準備した。この従来クロムレス液に、61重量%硝酸132ml及び水480mlを調合した。さらに、0.1モル/リットルのヨウ化カリウム水溶液63.6mlを追加して、本発明のエッチング液を作成した。作成したエッチング液の容量比は、フッ酸400、硝酸5.3、酢酸33、水90となる。またヨウ化カリウムの含有量はエッチング液の総液量1リットル当たり約0.08gである。
上記従来クロムレス液を12リットル準備し、その従来クロムレス液を用いてサンプルのエッチングを行った。このときのエッチング条件は実施例と同じ条件、つまり、従来クロムレス液を1日放置した後、浸漬開始温度24℃にて、上記サンプル30枚を垂直に立てた状態で従来クロムレス液に浸漬し、攪拌しないで6分間放置した。その後、各サンプルウェーハ表面に現れた各楕円形状のパターンのサイズとして、各パターンの長幅X、短幅Y及び面積(X×Y)を測定した。
セコ液(HF100cm3+K2Cr2O7(0.15M)50cm3の混合比で調製)を12リットル準備し、そのセコ液を用いてサンプルのエッチングを行った。このときのエッチング条件は実施例と同じ条件(ただしサンプル数は異なる)、つまり、セコ液を1日放置した後、浸漬開始温度24℃にて、上記サンプル37枚を垂直に立てた状態でセコ液に浸漬し、攪拌しないで6分間放置した。その後、各サンプルウェーハ表面に現れた各楕円形状のパターンのサイズとして、各パターンの長幅X、短幅Y及び面積(X×Y)を測定した。
3、4 楕円形状のパターン(LEP)
Claims (7)
- シリコンウェーハの評価方法であって、エッチング液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水の容量比が(400):(5〜10):(10〜50):(80〜120)であり且つヨウ素又はヨウ化物を含有するエッチング液に、シリコンウェーハを浸漬して結晶欠陥部分を選択的にエッチングし、LEPを検出することを特徴とするシリコンウェーハの評価方法。
- 前記エッチング液中のヨウ素又はヨウ化物の含有量は。前記エッチング液の総液量1リットル当たり0.03g以上であることを特徴とする請求項1に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記シリコンウェーハはシリコン単結晶インゴットからスライスして得られた化学鏡面研磨後のウェーハであることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記エッチングによるシリコンウェーハのエッチオフ量が両面で3〜50μmであることを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記エッチング液の浸漬開始温度を10〜30℃でエッチングを行うことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- 前記エッチング液中でシリコンウェーハを攪拌しないで放置してエッチングすることを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載のシリコンウェーハの評価方法。
- シリコンウェーハのLEPを検出するために用いられるエッチング液であって、前記エッチング液はその液中のフッ酸、硝酸、酢酸及び水が(400):(5〜10):(10〜50):(80〜120)の容量比を有し、且つヨウ素又はヨウ化物が前記エッチング液の総液量1リットル当たり0.03g以上含有していることを特徴とするエッチング液。
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