JP2014087152A - 慣性駆動アクチュエータ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の方向と、前記第1の方向とは逆の第2の方向に微小変位を発生する変位手段と、前記変位手段と異なる方向に磁束を発生する複数のコイルと、前記複数のコイルの少なくとも一つの面に対向する面を有し、前記コイルが発生する磁束を所定の位置に集中させる第1のヨークを有する移動子と、前記移動子と前記複数のコイルとの位置関係に基づく各コイル近傍の磁束変化を反映する前記複数のコイルの電気信号を検出する検出手段と、前記検出手段の出力に基づき、前記移動子の位置を判定する判定手段と、を有することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
このため、小型の慣性駆動アクチュエータにおいて移動子の位置検出を行うことは困難である。
図1(a)、(b)、(c)に基づいて、第1実施形態に係る慣性駆動アクチュエータについて説明する。
圧電素子103は、第1の方向と、第1の方向とは逆の第2の方向に微小変位を発生する。
2つのコイル102a、102bは、圧電素子103と異なる方向に磁束を発生する。
移動体101(移動子)は、複数のコイルの少なくとも一つの面に対向する面を有している。
移動体101は、コイル102a、102bが発生する磁束を所定の位置に集中させる第1のヨークを有する。
検出手段104は、移動体と複数のコイル102a、102bとの位置関係に基づく各コイル102a、102b近傍の磁束変化を反映する複数のコイル102a、102bの電気信号を検出する。
判定手段105は、検出手段104の出力に基づき、移動体101の位置を判定する。
・コイル102a、102b内部、移動体101を介す磁気経路を通る磁束を主磁束とする場合、各コイル102a、102bと移動体101の位置関係により各コイル102a、102b近傍の主磁束量が変化する。
・各コイル102a、102b近傍の主磁束量が変化することにより各コイル102a、102bの電気信号(インピーダンス)が変化する。
・各コイル102a、102bの電気信号を演算することにより移動体101の位置が検出可能となる。
図1(a)は第1実施形態に係る慣性駆動アクチュエータ100を上面から見た図、(b)は(a)のA−A断面図、(c)は(a)のB−B断面を示す図である。
以下すべての実施形態において、移動体101は全て磁性体で構成されているとして説明する。従って、移動体101内で磁性部と非磁性部との両方を有する構成の場合は、移動体101の部位を、移動体101の磁性部として考えれば良い。
・移動体101の位置によって各コイル102a、102bの電気信号が個別の変化をする。
・移動体101の駆動方向に配列することで、移動体101の駆動方向に垂直な方向へのサイズの増大を抑制するため慣性駆動アクチュエータのサイズが小さくなる。
さらに、直前の検出手段104からの出力信号と比較することで判定手段105は位置だけでなく移動体101が動いている方向も判定することが可能となる。
また、判定手段105により判定した移動体101の位置情報を不図示のアクチュエータ駆動回路にフィードバックすることよって位置制御駆動が可能となる。
・インピーダンスの実部(抵抗)を検出することで移動体の位置検出ができる。
・インピーダンスの虚部(インダクタンス)を検出することで移動体の位置検出ができる。
・インピーダンスの大きさを検出することで移動体の位置検出ができる。
・インダクタンスは、温度依存性が小さい。このため、温度変化の観点でインダクタンス検出が有効である。
次に、図2を用いて第2実施形態に係る慣性駆動アクチュエータ200について説明する。上記実施形態と同じ構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
・コイルのコアがあることにより位置による磁束変化が増加する。
・検出感度が上がる。
・コイルの変形を抑制できる
なお、コア201a、201bを、それぞれコイル102a、102bの外側まで配置し移動体101下側近傍まで延長して配置しても良い。例えばコアの形状をTの字型にする構成である。それにより移動体101を介したコイル102a、102bの磁束が閉じる効率が向上する。
次に、図3を用いて第3実施形態に係る慣性駆動アクチュエータ300について説明する。上記実施形態と同じ構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
次に、図4を用いて第4実施形態に係る慣性駆動アクチュエータ400について説明する。上記実施形態と同じ構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
・移動体を常時保持できる。
・移動体の位置による磁束変化が磁石の磁束分増加する。
・検出感度が上がる。
次に、図5を用いて第5実施形態に係る慣性駆動アクチュエータ500について説明する。上記実施形態と同じ構成には同一の符号を付し、重複する説明は省略する。
・振動部が小さくなる。
・圧電素子(変位手段を圧電素子とした場合:磁歪素子もありうる)を小さくできるため発熱を抑制することができる。
次に、図4(c)に示す図を用いて移動子を通る磁束を説明する。コイル102a、102bが発生する磁束の方向と、磁石302が発生する磁束の方向は平行な関係にしている。磁束はコア201a、201bを通過し移動体101を通り、移動体101下部にて、第3のヨーク401に伝わり磁石301へと伝わる。
・主磁束の漏れを抑制できる。
・検出感度が上がる。
・第2のヨーク、コイル、もしくは磁石を保護できる。
移動体101は点線で示し、コイルA、Bにおいて駆動にも関わる各コイル内部と移動体101を通る磁束(主磁束)を太い点線で示している。図6(a)、(b)、(c)の順で、移動体101はコイルAの左端から、中央、コイルBの右端部に移動している状態を示している。
さらに、説明を簡単にするために図6(a)、(b)、(c)で示す太い点線の本数が移動体101を通る磁束量の総和を反映している。以下の順に、図6(a)、(b)、(c)と順を追って説明する。
コイルを2個にすることで、各コイルA、Bの電気信号の比較が容易であり、また部品数を少なくする効果がある。
・コイルを2個にすることで各コイルの電気信号を比較しやすい。
・直列配置の場合、組立てが簡単になる。
主磁束量を反映する2個のコイルからの信号(例えばインピーダンス)の差分は、各コイルの電気的なノイズをキャンセルする効果がある。
・2個のコイルの差分であることで各コイルにはいるノイズをキャンセルすることができる。
・差分検出によって移動子の位置と2個のコイルの差分信号は線形関係となる。
・同サイズのコイルにすることで、差分検出時のノイズキャンセル効果が向上する。
・サイズが等しいことで部品の種類点数を減らすことが出来る。
ここで、「コイルの長さ」とは、「各コイルにおける移動体が駆動する領域の長さ」を意味する。
図9(a)は、コイル102a、102b、102cを3つ直列に配置した構成である。コイルを多くすることで差分検出のアルゴリズムが複雑になるが、移動体101の位置に関するコイルからの電気信号が増えるため、位置検出の精度が向上する。当然ながら、コイルの数は3つ以上でも同様の効果が期待できる。
また、コイルを並列にすることで、駆動時の移動体101の磁気吸着が一列の場合と比べて移動体101の吸着面が1つではなく2つ存在するため、移動体101が傾くことを抑制する効果を持つ。
101 移動体
102a、102b コイル
103 圧電素子
104 検出手段
105 判定手段
201a、201b コア
Claims (9)
- 第1の方向と、前記第1の方向とは逆の第2の方向に微小変位を発生する変位手段と、
前記変位手段と異なる方向に磁束を発生する複数のコイルと、
前記複数のコイルの少なくとも一つの面に対向する面を有し、
前記コイルが発生する磁束を所定の位置に集中させる第1のヨークを有する移動子と、
前記移動子と前記複数のコイルとの位置関係に基づく各コイル近傍の磁束変化を反映する前記複数のコイルの電気信号を検出する検出手段と、
前記検出手段の出力に基づき、前記移動子の位置を判定する判定手段と、を有することを特徴とする慣性駆動アクチュエータ。 - 前記コイルは少なくとも2つの前記移動子の駆動する方向に直列に配置していることを特徴とする請求項1に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記判定手段による前記移動子の位置の判定が、前記2個のコイルからの電気信号の差分を用いることを特徴とする請求項1又は2に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記複数のコイルは少なくとも同じコイルを一対含むことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記検出手段は、インピーダンス検出回路であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記複数のコイルの内側に少なくとも一部が挿入された第2のヨークを配置していることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記複数のコイルが発生する磁束の方向と同方向に磁束が発生するように磁石を配置していることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記移動子が前記コイルと対向した向きと反対側に第3のヨークと、を有することを特徴とする請求項1〜7のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
- 前記移動子と前記複数のコイルの間に振動平板を有し、
前記振動平板は前記変位手段の変位にともなって変位することを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項に記載の慣性駆動アクチュエータ。
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Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59214702A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-04 | Maki Seisakusho:Kk | 金属体のエツジ検出装置 |
JP2009273253A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータ |
JP2012501445A (ja) * | 2008-08-29 | 2012-01-19 | ゼネラル・エレクトリック・カンパニイ | 対象物の周期的位置を検知するためのシステムおよび方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3047099B2 (ja) * | 1997-01-20 | 2000-05-29 | 株式会社マコメ研究所 | 位置検出装置 |
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JP2001133207A (ja) * | 1999-11-08 | 2001-05-18 | Nireco Corp | 位置検出器 |
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59214702A (ja) * | 1983-05-20 | 1984-12-04 | Maki Seisakusho:Kk | 金属体のエツジ検出装置 |
JP2009273253A (ja) * | 2008-05-08 | 2009-11-19 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータ |
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