JPS59214702A - 金属体のエツジ検出装置 - Google Patents
金属体のエツジ検出装置Info
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- JPS59214702A JPS59214702A JP58089566A JP8956683A JPS59214702A JP S59214702 A JPS59214702 A JP S59214702A JP 58089566 A JP58089566 A JP 58089566A JP 8956683 A JP8956683 A JP 8956683A JP S59214702 A JPS59214702 A JP S59214702A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
木Ｇ ’：ｌｌＪは、高周波渦電流を利用し、非電性を
有する舎、１７−（―休のエツジの位置又はその接近を
非接触的に検出する装置に関する。
有する舎、１７−（―休のエツジの位置又はその接近を
非接触的に検出する装置に関する。
砿様、工業の技術の進歩は口重ましく、ロボットに代表
される如く機械とエレクトロニクスを結合した自動化シ
ステムが極めて重要な位置を占めるに至っている。この
ような自動化システムに於いては、種々の検出装置が重
要な景能を果すのであるが、特に金属体の位置検出装置
は広範な用途に６盟とされるものであり、渦流式、静電
賓１１１式、磁気式等のものが公知である。しかしなが
ら、検出装置１′イの検出域を横断するように移動する
金属体のエツジの移動方向位置又はその接近を検出する
“目的、に使用する場合には、従来の検出装置白は次の
ような問題点を有していた。
される如く機械とエレクトロニクスを結合した自動化シ
ステムが極めて重要な位置を占めるに至っている。この
ような自動化システムに於いては、種々の検出装置が重
要な景能を果すのであるが、特に金属体の位置検出装置
は広範な用途に６盟とされるものであり、渦流式、静電
賓１１１式、磁気式等のものが公知である。しかしなが
ら、検出装置１′イの検出域を横断するように移動する
金属体のエツジの移動方向位置又はその接近を検出する
“目的、に使用する場合には、従来の検出装置白は次の
ような問題点を有していた。
まず、渦流式のものでは検出装置゛の検出部（プローブ
）と検出対象の金属体との離隔距離を止Ｌｔｔｃに保持
しない場合には少なからぬ誤差を生じる。
）と検出対象の金属体との離隔距離を止Ｌｔｔｃに保持
しない場合には少なからぬ誤差を生じる。
捷た、静電容量式のものでは検出部又は検Ｉｌｌ対ψ金
属体の表面、に付着する水分・油分に影響されて誤差が
生じる。更に１磁気式のものでは検出対象に発磁体を付
加する必要が有るという制約がある。
属体の表面、に付着する水分・油分に影響されて誤差が
生じる。更に１磁気式のものでは検出対象に発磁体を付
加する必要が有るという制約がある。
本発明は、このような従来装置の間顯点を解決すべくな
されたものであって、検出部と検出対象の１徘隔距げに
よっても検出精度が影ヤヘＳされ難く、１だこれらへの
水分・油分の付着に影響されないことは勿＋４１ｍ ｓ
水・油の中でも検出可能であり、更に検出対象に発磁体
を付加する必要のない金属体のエツジ検出装置１イ全提
供することを目的とする。
されたものであって、検出部と検出対象の１徘隔距げに
よっても検出精度が影ヤヘＳされ難く、１だこれらへの
水分・油分の付着に影響されないことは勿＋４１ｍ ｓ
水・油の中でも検出可能であり、更に検出対象に発磁体
を付加する必要のない金属体のエツジ検出装置１イ全提
供することを目的とする。
以下、本４ｄ ＩＪｌｌをその実施例を示す図面に基つ
き具体的ＶＣ１、・’Ｌ’、す１する。
き具体的ＶＣ１、・’Ｌ’、す１する。
’ｉ’ｙ １図は木発りＪ装置のフロック図である。１
は・・知対象である金属板ＡＫ臨ませるべきグローブで
あって３個の検出フィル２１，２２，２３及び抵抗３、
８．８全内Ｊｒシしている。各検出コイル２＋、２２゜
２３は杆状のフェライトコア２１ａ、２２ａ、２３ａそ
れぞれに（Ｈ４４！ ２１’ ｂ、２２ ｂ、２８ ｂ
を巻回してなるものであって、−喘を接地電位とし、他
端を抵抗３，３゜３を介して高周波発振器４の出力端子
に接続しである。
は・・知対象である金属板ＡＫ臨ませるべきグローブで
あって３個の検出フィル２１，２２，２３及び抵抗３、
８．８全内Ｊｒシしている。各検出コイル２＋、２２゜
２３は杆状のフェライトコア２１ａ、２２ａ、２３ａそ
れぞれに（Ｈ４４！ ２１’ ｂ、２２ ｂ、２８ ｂ
を巻回してなるものであって、−喘を接地電位とし、他
端を抵抗３，３゜３を介して高周波発振器４の出力端子
に接続しである。
各検出コイ・１）２１１２２．２３は各７エライトコア
２１ａ、２２ａ、２３ａの一端面を非磁性体からなるプ
璽−フｌの保護法（図示せず）に１４τませてあり、金
Ａ”Ｓ Ｊ／ｚ Ａの移動方向と３個の検出コイル２Ｌ
２２，２８の並設方向とが一致するよりに配設される。
２１ａ、２２ａ、２３ａの一端面を非磁性体からなるプ
璽−フｌの保護法（図示せず）に１４τませてあり、金
Ａ”Ｓ Ｊ／ｚ Ａの移動方向と３個の検出コイル２Ｌ
２２，２８の並設方向とが一致するよりに配設される。
発振器４は１００Ｋ）ＩＺ〜Ｉ ＯＭ Ｈｚ程度の周波
数の出力を発するものであシ、１１■記検出コイル２１
，２２．２３の巻線２１ｂ、２２ｂ、２３ｂに高周波電
流を通流すしめる。
数の出力を発するものであシ、１１■記検出コイル２１
，２２．２３の巻線２１ｂ、２２ｂ、２３ｂに高周波電
流を通流すしめる。
各稠出コイＩし２＋、２２．２３の非接地側端子ｆｃｉ
７°；ｉｆυＪｌ”’Ｉ ｌｌ＋ｉ＋ｉ ｉａ ５ ａ
、 ５ ｂに接続されている。即ち検出コイル２１の
巻線２１ｂの端子は差切増１固器５ａの１−人力０ｉｉ
Ｊ子に、才た検出コイル２２の巻線２２ｂの皓、子は差
ＩＩＩＩＩ増幅器５ａの一入力端子及び差１曲増斬１器
５ｂの」−入力端子に、史に検出コイル２３の巻線２’
３ｂの節、１子は一＃、１１の増幅器５ｂの一入力端子
にそれぞれ接続さ？している。従って差産Ｊ増幅器５ａ
の出力端子には１９）。
７°；ｉｆυＪｌ”’Ｉ ｌｌ＋ｉ＋ｉ ｉａ ５ ａ
、 ５ ｂに接続されている。即ち検出コイル２１の
巻線２１ｂの端子は差切増１固器５ａの１−人力０ｉｉ
Ｊ子に、才た検出コイル２２の巻線２２ｂの皓、子は差
ＩＩＩＩＩ増幅器５ａの一入力端子及び差１曲増斬１器
５ｂの」−入力端子に、史に検出コイル２３の巻線２’
３ｂの節、１子は一＃、１１の増幅器５ｂの一入力端子
にそれぞれ接続さ？している。従って差産Ｊ増幅器５ａ
の出力端子には１９）。
出コイル２１，２２の部１子電圧の差相当の（ｒ−４Ｑ
がイ（〕られることになる。一方差動増１１１ｉｉ！器
５ｂの出力１’１１：ｆ子にはＳ出コイル２２，２３そ
れぞれの端子電圧のＸ。
がイ（〕られることになる。一方差動増１１１ｉｉ！器
５ｂの出力１’１１：ｆ子にはＳ出コイル２２，２３そ
れぞれの端子電圧のＸ。
４１１当の信号がイ’Ｊられることとなる。
差＋ｌｄＪ馴１１１１ｖｆ器５ａ、５ｂの出力佑とはそ
れぞれ位相検波回路６ａ、６ｂに与えられる。これらの
位相検波回１酌６ａ、６ｂＫは同期信号として発振４４
の出力が与えられている。
れぞれ位相検波回路６ａ、６ｂに与えられる。これらの
位相検波回１酌６ａ、６ｂＫは同期信号として発振４４
の出力が与えられている。
（１’ｆ、 ４１１イ１ρ波回路６；＋、６ｂは発信器
４からの入力信づに従い同一位相における差！＠Ｊ増幅
器５ａ＊５ｂ出力の１戊′ＩＪ′忙出力し、この出力は
増ｌＬｉ ＸＨ７ａ、 ７ ｂそＪＬそれに＋Ｊ′、え
られてそれぞれ所要レベルに寸で増１齢びれる１、 １１・１１ｊ￥１１１討７ａ、７ｂの出力は共に加算回
路８＆び（知ン（’−１’！Ｉ ：＋’ｔｌ ９に４．
工られる。加算回ｂＭ ８ ｋｌ：増幅器７ａ。
４からの入力信づに従い同一位相における差！＠Ｊ増幅
器５ａ＊５ｂ出力の１戊′ＩＪ′忙出力し、この出力は
増ｌＬｉ ＸＨ７ａ、 ７ ｂそＪＬそれに＋Ｊ′、え
られてそれぞれ所要レベルに寸で増１齢びれる１、 １１・１１ｊ￥１１１討７ａ、７ｂの出力は共に加算回
路８＆び（知ン（’−１’！Ｉ ：＋’ｔｌ ９に４．
工られる。加算回ｂＭ ８ ｋｌ：増幅器７ａ。
７ｂ出力をＪ１１０゛、Ｉして相信号ＰＳを出力する。
減算同ｉＡ’ｉ ９ （ｒｌ！、 ｊｐＪ １１１！４
’−＜’ｒ’ｒ ７ ａ Ｈ７ｂ出力の差を演算して
その、イー１「−ｉづΔＩＳを出力する。
’−＜’ｒ’ｒ ７ ａ Ｈ７ｂ出力の差を演算して
その、イー１「−ｉづΔＩＳを出力する。
Ｉ騎ｊホするように相１看りＰＳは金ｐト＆Ａのエツジ
かフＬｊ−プＩに接λ’ｉ： したことを検出するため
に利用さ１＋、、差イ１．すＡｓｓは例えばグローブｌ
の中心、即ち（す４川コイル２２の中心を基準とする金
１．％ｌ’４板Ａのエツジの位置）１ｔ（報を勺する信
号として利用される。
かフＬｊ−プＩに接λ’ｉ： したことを検出するため
に利用さ１＋、、差イ１．すＡｓｓは例えばグローブｌ
の中心、即ち（す４川コイル２２の中心を基準とする金
１．％ｌ’４板Ａのエツジの位置）１ｔ（報を勺する信
号として利用される。
次にこの回路の！＋ｉＪｊ作を説りＪする。寸ず金属板
Ａかグローブｌから離れた位置にある場合には、（・連
出コイル２１，２２．２８の非接地側端子の電圧は等し
いので、差朔則１：１１器５ａ１５ｂの出力信号は零で
あり相信号ＰＳ及び差信りＪｕ＋Ｓはいずれも察である
。
Ａかグローブｌから離れた位置にある場合には、（・連
出コイル２１，２２．２８の非接地側端子の電圧は等し
いので、差朔則１：１１器５ａ１５ｂの出力信号は零で
あり相信号ＰＳ及び差信りＪｕ＋Ｓはいずれも察である
。
次に金属板Ａが図示の如く検出コイル２３側から（ｔＱ
出ココイル２１側移動して行く場合の動作について説り
１．する５、令弟２図に示す如く、金属板Ａのエツジが
検出コイル２１対向している状態にある場合についてみ
ると、金属板Ａに発生するｌｉｔ・）電流は検出コイル
２３を通流、する高周波によるものが検出コイル２２に
よるものよりも大きいので、検出コイル２８のインピー
ダンスが検出コイル２２のインピーダンスより低くなり
、この結果検出コイル２３０巻線２３ｂのｌ’ｉｉｊ子
電圧が検出コイル２２の巻線２２ｂの端子′電圧よりも
低くなり、その差に相当する電圧イ門し３力・ｌπ卯Ｊ
増ｉ：Ｖｒｉ器５ｂ出力に得られる。
出ココイル２１側移動して行く場合の動作について説り
１．する５、令弟２図に示す如く、金属板Ａのエツジが
検出コイル２１対向している状態にある場合についてみ
ると、金属板Ａに発生するｌｉｔ・）電流は検出コイル
２３を通流、する高周波によるものが検出コイル２２に
よるものよりも大きいので、検出コイル２８のインピー
ダンスが検出コイル２２のインピーダンスより低くなり
、この結果検出コイル２３０巻線２３ｂのｌ’ｉｉｊ子
電圧が検出コイル２２の巻線２２ｂの端子′電圧よりも
低くなり、その差に相当する電圧イ門し３力・ｌπ卯Ｊ
増ｉ：Ｖｒｉ器５ｂ出力に得られる。
弔３図は（菌１ｌ１１１１に検出コイル２２の中心から
金Ａ’４ ＪツノＡのエツジまでの距離Ｘ（検出コイル
２１側を１１）をとり、縦軸に増’ｌ’ｌ＋ｉ ｔ４ｖ
７ ａ、 ７ ｂの出力ｒ１ｔ（１」−をとって、増
１１１１＋！器７８１７ｂの出力とＸとの関係を示した
ものである。図示の如く金属板Ａが検出コイル２３の錫
・方から接近するに従い増幅ＫＡ ７ ｂ出力は；ｌ？
ｒｌ ７Ｊｌ’ｌ してぃき、金閤板Ａのエツジが検出
コイル２３．２２の中心を１１１するタイミングで撞大
餉をとり、（φ１」１コイル２２（で（／禄Ｌ−１−る
Ｋ ４．Ｙ＝い増１１１１ｒｔ器７ｂ出力は低ドして行
く。
金Ａ’４ ＪツノＡのエツジまでの距離Ｘ（検出コイル
２１側を１１）をとり、縦軸に増’ｌ’ｌ＋ｉ ｔ４ｖ
７ ａ、 ７ ｂの出力ｒ１ｔ（１」−をとって、増
１１１１＋！器７８１７ｂの出力とＸとの関係を示した
ものである。図示の如く金属板Ａが検出コイル２３の錫
・方から接近するに従い増幅ＫＡ ７ ｂ出力は；ｌ？
ｒｌ ７Ｊｌ’ｌ してぃき、金閤板Ａのエツジが検出
コイル２３．２２の中心を１１１するタイミングで撞大
餉をとり、（φ１」１コイル２２（で（／禄Ｌ−１−る
Ｋ ４．Ｙ＝い増１１１１ｒｔ器７ｂ出力は低ドして行
く。
命Ｍ ４ｔｌＡのエツジが検出コイル２１側にティざか
るにｂ）パいＪｔ’ｉ １ｌｌｌ′ｌ′ｌ器７ｂ出力は
零に近イく１いて行く。
るにｂ）パいＪｔ’ｉ １ｌｌｌ′ｌ′ｌ器７ｂ出力は
零に近イく１いて行く。
’ｆｆＨ出コイセコイル２２コイル２１の組み合伊につ
いてもｌｉｊじ几り（が紀り、増’１ｆＩｉ ｋ ７８
出力は金１．５１Ａ Ａｋ Ａの！−ンジが（（ｊ１出
フィル２２に接近するにイ、ｐ ｌ／−ＩＪｉ’う加し
−こいき、金Ａ、、、、板Ａのエツジが検出コイル２２
．２１の中心をｊｌｉｌ・川するタイミングで極大値を
とり、検出コイル２１からがηざかるに従って増１１１
．ｉ器７ａ出力は坂少しでいく１、 ・、（，４図はＤ１１〜−回ｂｋ’＋ ８の出力、即ち
相イｄ号ＰＳ及（υ７ｊ、％’、 １．′７回ｉｌ’１
’ｒ ９の出力、即ち差信号ΔＩｓと検出コイル２２中
心から金Ａ７＋Ａ ＩＪｘ Ａのエツジまでの距ＡＵ
ｘとの開イ糸をンドすグラフである１、加算量ｂｕｓ
８は第３図に不す増１μｍ「゛ｌ器７ａ、７ｂ出力を加
算するものであるから相（ｉ：ｔ ｒｊ’ ｌ’ Ｓは
図示・ｌ）帽く金属板Ａのエンジ側の検出コイル２３に
接近した所から縁かに上昇し、やがて検出コイル２１を
即メ１、（する所までり１ぼ一様な出力を示し、金属４
Ｖ、 Ａのエツジが検出コイル２１から遠ざかるにｔ、
Ｙつて緩かに低下する形Ｉどを示す。
いてもｌｉｊじ几り（が紀り、増’１ｆＩｉ ｋ ７８
出力は金１．５１Ａ Ａｋ Ａの！−ンジが（（ｊ１出
フィル２２に接近するにイ、ｐ ｌ／−ＩＪｉ’う加し
−こいき、金Ａ、、、、板Ａのエツジが検出コイル２２
．２１の中心をｊｌｉｌ・川するタイミングで極大値を
とり、検出コイル２１からがηざかるに従って増１１１
．ｉ器７ａ出力は坂少しでいく１、 ・、（，４図はＤ１１〜−回ｂｋ’＋ ８の出力、即ち
相イｄ号ＰＳ及（υ７ｊ、％’、 １．′７回ｉｌ’１
’ｒ ９の出力、即ち差信号ΔＩｓと検出コイル２２中
心から金Ａ７＋Ａ ＩＪｘ Ａのエツジまでの距ＡＵ
ｘとの開イ糸をンドすグラフである１、加算量ｂｕｓ
８は第３図に不す増１μｍ「゛ｌ器７ａ、７ｂ出力を加
算するものであるから相（ｉ：ｔ ｒｊ’ ｌ’ Ｓは
図示・ｌ）帽く金属板Ａのエンジ側の検出コイル２３に
接近した所から縁かに上昇し、やがて検出コイル２１を
即メ１、（する所までり１ぼ一様な出力を示し、金属４
Ｖ、 Ａのエツジが検出コイル２１から遠ざかるにｔ、
Ｙつて緩かに低下する形Ｉどを示す。
これに対し、差信号ＭＳは増幅器７ａ、７ｂ両出力の斧
となるので、第４図に示す如くｘ−００＋Ｊｌｒで）４
性を反転する信号となる。従って和信号ＰＳは７０−グ
１又は３個の検出コイル２１，２２．２３によってカバ
ーされる広い検出」戚内洸企属板Ａのエツジが１８近し
たことを検出するだめの（Ｍ報として＋′ｉ効である。
となるので、第４図に示す如くｘ−００＋Ｊｌｒで）４
性を反転する信号となる。従って和信号ＰＳは７０−グ
１又は３個の検出コイル２１，２２．２３によってカバ
ーされる広い検出」戚内洸企属板Ａのエツジが１８近し
たことを検出するだめの（Ｍ報として＋′ｉ効である。
これに対して差信号ＭＳはその変１ヒの状席が急峻であ
るので、その信号レベルからＸの伯を検出するの１ｃＪ
ｔ効であり、特に正負のピーク間のΦＵ１囲でのＸの何
円精度は、この範囲のＩ！旧跡Ｘの亥化分に対する電圧
斐化分が大きいので高精度となる。
るので、その信号レベルからＸの伯を検出するの１ｃＪ
ｔ効であり、特に正負のピーク間のΦＵ１囲でのＸの何
円精度は、この範囲のＩ！旧跡Ｘの亥化分に対する電圧
斐化分が大きいので高精度となる。
而して第３図において、破線で示す信号は魚属１１ｊ
ＡとプローグＩとの距１ｉｊｆ１ｄが実線で示す信号よ
りも犬となった場合の増幅器７ａ、７ｂの出力をそれぞ
れ示している。
ＡとプローグＩとの距１ｉｊｆ１ｄが実線で示す信号よ
りも犬となった場合の増幅器７ａ、７ｂの出力をそれぞ
れ示している。
第４図の破線Ｉ″ｉ第３図に破線で示しだ増Ｑｌｔ、″
ｌ ｌ’ｅ−ｑ ７ ａ。
ｌ ｌ’ｅ−ｑ ７ ａ。
７ｂ出：力に対応する和信号ＰＳ及び差信号ＭＳをそれ
ぞれ示している。この図から理解されるように差信すＭ
Ｓ ｔＪグローブｌと金属板Ａとの距闘Ｉｄの如何に
拘らずｘ ＝ ０の時にその′電圧値が零となるので、
金属板Ａのエツジがプローブｌ又は検出コイル２２の中
心位置にｉｊＭ した時点の（Φ出を距離ｄの如何に拘
らず正イｉｔ（に行なうことが出来る。捷た和信号ＰＳ
は紐かに、変化する信号であるので、この和信号ＰＳを
与えるべき両段のｔｊ：、較回路（図示せず）の閾（直
を適宜に選択する場合は、やはり距離ｄＫ影ｉ、？ｊさ
れることなくその接近を正確に検出することが出来る。
ぞれ示している。この図から理解されるように差信すＭ
Ｓ ｔＪグローブｌと金属板Ａとの距闘Ｉｄの如何に
拘らずｘ ＝ ０の時にその′電圧値が零となるので、
金属板Ａのエツジがプローブｌ又は検出コイル２２の中
心位置にｉｊＭ した時点の（Φ出を距離ｄの如何に拘
らず正イｉｔ（に行なうことが出来る。捷た和信号ＰＳ
は紐かに、変化する信号であるので、この和信号ＰＳを
与えるべき両段のｔｊ：、較回路（図示せず）の閾（直
を適宜に選択する場合は、やはり距離ｄＫ影ｉ、？ｊさ
れることなくその接近を正確に検出することが出来る。
そして検出コイル２１，２２．２８のインピーダンスは
７０−グｌの保護板又は金属板Ａの表ば１Ｊにイ＼Ｊ１
−１シた水・油等には影響されないので周囲写囲気に彰
；Ｉ＋１されることなく金属板Ａのエツジの検出か”ｆ
？ｉしであることは勿論、水中又は油中においても全
＜ Ｉ＋−ｉｆ ４’；ｎにして金ｊ１１４板Ａのエツ
ジの検出を行うこと力ロ１丁餡である。
７０−グｌの保護板又は金属板Ａの表ば１Ｊにイ＼Ｊ１
−１シた水・油等には影響されないので周囲写囲気に彰
；Ｉ＋１されることなく金属板Ａのエツジの検出か”ｆ
？ｉしであることは勿論、水中又は油中においても全
＜ Ｉ＋−ｉｆ ４’；ｎにして金ｊ１１４板Ａのエツ
ジの検出を行うこと力ロ１丁餡である。
そして、検出対象の金属板Ａは各検出コイル２１゜２２
．２３へのｊ扁周波通流、によりその表面に渦電流を生
せしめるもの、即ち導電体であればよいので、特に発磁
体を設ける等の必要もなく、用途上の制約が少ない。
．２３へのｊ扁周波通流、によりその表面に渦電流を生
せしめるもの、即ち導電体であればよいので、特に発磁
体を設ける等の必要もなく、用途上の制約が少ない。
向、上述の実施例では検出コイルを３個用いる場合につ
き説、明したが、４個以上の検出コイルを並設すること
として、差動増幅器、位相検波回路、増１陥器、加算回
路、減算回路を相隣する２個の検出コイルごとに設ける
ように１ｌｊＸしてもよい。また谷検出コイルは直線上
に配列する横取に限らず検出対象のエツジの移ｄＪ域に
対応させて、たとえば円弧状に配設することとしてもよ
い。麩に和イ１：１すＰＳ又は差信ＳＪＭＳの一方のみ
を必要とする場合は減算回路９又は加算回路８の一方を
省略できる。。
き説、明したが、４個以上の検出コイルを並設すること
として、差動増幅器、位相検波回路、増１陥器、加算回
路、減算回路を相隣する２個の検出コイルごとに設ける
ように１ｌｊＸしてもよい。また谷検出コイルは直線上
に配列する横取に限らず検出対象のエツジの移ｄＪ域に
対応させて、たとえば円弧状に配設することとしてもよ
い。麩に和イ１：１すＰＳ又は差信ＳＪＭＳの一方のみ
を必要とする場合は減算回路９又は加算回路８の一方を
省略できる。。
以上のように本発明に係る金属体のエンジ倹ＩＪｉ装置
ｉ！４′（Ｉ”Ｊ：、 、 尋’４性を有する金属体の
エツジを検出する装置において、前記金属体に臨ませる
べく並設された３１１・ｌ：以上の検出コイルと各検出
コイルに高周波電流を通流、せしめる発振器と、２個の
検出コイル夫々の端子電圧の差を検出する複数の差電圧
検出回路と、差′重圧検出回路出力を位相検波する複数
の位相検波回路と、２個の位相検波回路の出力の加算回
路文び／又は減算回路とを具備い前記加ηｔＩＩＩ回路
及び／又は減算回ｈｂ出力により金属体のエツジを検出
すべくなしたものであるから、検出対゛Ｃとの距四、検
出部及び検出対象の表面状態、気中、水中、油中・′）
別等に拘らず常に安定した１シ′うｒｌ一度のエツジ検
出が＝’ｆ能であり、壕だ発（吸体を検出対“ρに、々
ける等の煩しさもない等木発１ツ１は陵ねた多方ｑＪ、
を多〉する。
ｉ！４′（Ｉ”Ｊ：、 、 尋’４性を有する金属体の
エツジを検出する装置において、前記金属体に臨ませる
べく並設された３１１・ｌ：以上の検出コイルと各検出
コイルに高周波電流を通流、せしめる発振器と、２個の
検出コイル夫々の端子電圧の差を検出する複数の差電圧
検出回路と、差′重圧検出回路出力を位相検波する複数
の位相検波回路と、２個の位相検波回路の出力の加算回
路文び／又は減算回路とを具備い前記加ηｔＩＩＩ回路
及び／又は減算回ｈｂ出力により金属体のエツジを検出
すべくなしたものであるから、検出対゛Ｃとの距四、検
出部及び検出対象の表面状態、気中、水中、油中・′）
別等に拘らず常に安定した１シ′うｒｌ一度のエツジ検
出が＝’ｆ能であり、壕だ発（吸体を検出対“ρに、々
ける等の煩しさもない等木発１ツ１は陵ねた多方ｑＪ、
を多〉する。
グ 図面のｌｌ’ｉｌ単な説りＪ
第１図は本発明装置）イの実施例を示す７０ツク図、’
ｌ’＋ ２図は十の萌作説、Ｆ月のだめの模式図、弔３
図は’Ｉ！ｌ １１１１１１器出力と１−１１悶１ｆＸ
との関係を示すグラフ、第４図は相１、号及び差信号と
距Ｒｘとの関係を示すグラフである、 １ ブ１コーグ ４・・・発（ｉ’ｉ器 ５ａ、５ｂ・
・・差動増１←ｔ、ｌ： ６ａ、 ６ｂ −・・位相
検波回ｈ６ ７ ａ、 ７ ｂ −ｊ１１１１ｖ＋ド：
；−３＞＋・・・加算回路 ９・・冒駅算回路２＋、
２２．２３・除用コイル 持 ｄｒ 出 願 人 株式会社 マキ製作所代
叩人 弁理士 ｓ 野 登 夫
ｌ’＋ ２図は十の萌作説、Ｆ月のだめの模式図、弔３
図は’Ｉ！ｌ １１１１１１器出力と１−１１悶１ｆＸ
との関係を示すグラフ、第４図は相１、号及び差信号と
距Ｒｘとの関係を示すグラフである、 １ ブ１コーグ ４・・・発（ｉ’ｉ器 ５ａ、５ｂ・
・・差動増１←ｔ、ｌ： ６ａ、 ６ｂ −・・位相
検波回ｈ６ ７ ａ、 ７ ｂ −ｊ１１１１ｖ＋ド：
；−３＞＋・・・加算回路 ９・・冒駅算回路２＋、
２２．２３・除用コイル 持 ｄｒ 出 願 人 株式会社 マキ製作所代
叩人 弁理士 ｓ 野 登 夫
Claims (1)
- ’ 、 ’ｉｌ＋”４ ’１３１：を有する金属体のエ
ツジを検出する１≧１１（ｔにおいて、ＥＦ前記金属体
に臨ませるべく並設された３個以上の検出コイルと、各
検出タイルに同周波電流を通流せしめる発振器と、２個
の検出コイル夫々の端子′重圧の差を検出する（ｙ数の
差電圧検出回路と、差電圧検出量１萌Ｌｌｌｔ力を位相
検波する複数の位相検ｄＱ回路と、２１１・１・Ｉの位
相検波回踏の出力の加算回路及び／又は７絨算回１１’
ｌ’ｌとを具備し、ｊｊＯ記加算回路及び／′又ハ？織
算回路出力により金属体のエツジを（（四１１すべくな
したことを特徴とする金属体のエツジ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58089566A JPS59214702A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 金属体のエツジ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58089566A JPS59214702A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 金属体のエツジ検出装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59214702A true JPS59214702A (ja) | 1984-12-04 |
| JPH0252961B2 JPH0252961B2 (ja) | 1990-11-15 |
Family
ID=13974357
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58089566A Granted JPS59214702A (ja) | 1983-05-20 | 1983-05-20 | 金属体のエツジ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59214702A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001267400A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-28 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
| JP2008197124A (ja) * | 2004-03-04 | 2008-08-28 | Zircon Corp | レシオメトリックスタッドセンサ |
| JP4814092B2 (ja) * | 2003-07-31 | 2011-11-09 | ペッパール ウント フュフス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ターゲット物体の経路を記録する装置及び方法 |
| WO2014064982A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-01 | オリンパス株式会社 | 慣性駆動アクチュエータ |
| US20150061463A1 (en) * | 2012-05-17 | 2015-03-05 | Olympus Corporation | Inertial drive actuator |
-
1983
- 1983-05-20 JP JP58089566A patent/JPS59214702A/ja active Granted
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001267400A (ja) * | 2000-03-16 | 2001-09-28 | Kyocera Corp | ウエハ支持部材 |
| JP4814092B2 (ja) * | 2003-07-31 | 2011-11-09 | ペッパール ウント フュフス ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング | ターゲット物体の経路を記録する装置及び方法 |
| JP2008197124A (ja) * | 2004-03-04 | 2008-08-28 | Zircon Corp | レシオメトリックスタッドセンサ |
| US20150061463A1 (en) * | 2012-05-17 | 2015-03-05 | Olympus Corporation | Inertial drive actuator |
| US9634550B2 (en) * | 2012-05-17 | 2017-04-25 | Olympus Corporation | Inertial drive actuator |
| WO2014064982A1 (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-01 | オリンパス株式会社 | 慣性駆動アクチュエータ |
| JP2014087152A (ja) * | 2012-10-23 | 2014-05-12 | Olympus Corp | 慣性駆動アクチュエータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0252961B2 (ja) | 1990-11-15 |
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