JP2012189527A - 位置検出装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 特に従来と異なる新しい方式によって高精度な位置検出を可能とした位置検出装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 本実施形態の位置検出装置1は、Z方向に間隔を空けて対向し、間隔内であってZ方向に磁場を生じさせる一対の磁石2,3と、一対の磁石2,3間に配置された磁気検出素子5と、X方向に磁石2,3及び磁気検出素子5に対して移動可能な移動体(磁性体)6と、を有する。移動体6は、一対の磁石2,3と磁気検出素子5との間の各空間内にて浮いた状態で介在可能な一対の磁性対向部6a,6bと、各磁性対向部のX方向における一方の端部間を連結する磁性連結部6cと、を備える。移動体6がX方向に移動したときに、磁気検出素子5と磁性連結部6cとの間のX方向への距離の変化に伴う磁気検出素子5の出力変化に基づいて、移動体6の移動位置を検知する。
【選択図】図1
【解決手段】 本実施形態の位置検出装置1は、Z方向に間隔を空けて対向し、間隔内であってZ方向に磁場を生じさせる一対の磁石2,3と、一対の磁石2,3間に配置された磁気検出素子5と、X方向に磁石2,3及び磁気検出素子5に対して移動可能な移動体(磁性体)6と、を有する。移動体6は、一対の磁石2,3と磁気検出素子5との間の各空間内にて浮いた状態で介在可能な一対の磁性対向部6a,6bと、各磁性対向部のX方向における一方の端部間を連結する磁性連結部6cと、を備える。移動体6がX方向に移動したときに、磁気検出素子5と磁性連結部6cとの間のX方向への距離の変化に伴う磁気検出素子5の出力変化に基づいて、移動体6の移動位置を検知する。
【選択図】図1
Description
本発明は、ホール素子等の磁気検出素子を備えた非接触式の位置検出装置に関する。
下記の特許文献1には、磁気検出素子に対向する磁石の面を凸面とし、磁石を保持する摺動ホルダを案内面に押圧させた状態でスライド移動させる移動検出装置が開示されている。特許文献1では、磁石を摺動ホルダに押し付けることで、磁石と摺動ホルダとの位置決めを安定させている(特許文献1の[0021]欄参照)。
下記の特許文献2には、一対の磁極部が間隔を空けて対向し、一方の磁極部に磁気検出素子が取り付けられており、前記一対の磁極部の間隔内を磁極部の対向方向に対し直交する方向に移動する磁性体からなる移動体が設けられた位置検出装置が開示されている。また特許文献3では、一対の磁極部に夫々磁気検出素子を取り付けている。特許文献2,3では特許文献1と異なって移動体が空中に浮いた状態であり、移動体を摺動移動させるものではない。
特許文献2,3では、移動体が移動すると、磁極部と移動体間のギャップが変化し、これにより磁気検出素子に作用する磁束密度が変化することで、前記ギャップに応じた出力を得ることができるとしている。
しかしながらギャップを変化させるために、移動体に斜面を設けることが必要になり、またそもそもギャップは広くないため、移動体の移動によりギャップ長に大きな変化を持たせることができず、高精度な位置検出を行うことが困難と考えられる。当然、もともとのギャップを広くすることも考えられるが、それでは装置自体の大型化にも繋がり、またギャップを広くすることで、そのギャップ内に作用する磁場強度が低下するといった問題もある。
そこで本発明は、上記従来の課題を解決するためのものであり、特に従来と異なる新しい方式によって高精度な位置検出を可能とした位置検出装置を提供することを目的とする。
本発明における位置検出装置は、
第1の方向に間隔を空けて対向し、前記間隔内であって前記第1の方向に磁場を生じさせる一対の磁極面と、前記一対の磁極面間に配置された磁気検出素子と、前記第1の方向に対して直交する第2の方向に前記磁極面及び磁気検出素子に対して相対移動可能な磁性体と、を有し、
前記磁性体は、前記第2の方向に相対移動したときに、前記一対の磁極面と前記磁気検出素子との間の各空間内にて浮いた状態で介在可能な一対の磁性対向部と、各磁性対向部の前記第2の方向における一方の端部間を連結する磁性連結部と、を備え、
前記磁性体が前記第2の方向に相対移動したときに、前記磁気検出素子と前記磁性連結部との間の前記第2の方向への距離の変化に伴う前記磁気検出素子の出力変化に基づいて、前記磁性体の相対移動位置を検知することを特徴とするものである。
第1の方向に間隔を空けて対向し、前記間隔内であって前記第1の方向に磁場を生じさせる一対の磁極面と、前記一対の磁極面間に配置された磁気検出素子と、前記第1の方向に対して直交する第2の方向に前記磁極面及び磁気検出素子に対して相対移動可能な磁性体と、を有し、
前記磁性体は、前記第2の方向に相対移動したときに、前記一対の磁極面と前記磁気検出素子との間の各空間内にて浮いた状態で介在可能な一対の磁性対向部と、各磁性対向部の前記第2の方向における一方の端部間を連結する磁性連結部と、を備え、
前記磁性体が前記第2の方向に相対移動したときに、前記磁気検出素子と前記磁性連結部との間の前記第2の方向への距離の変化に伴う前記磁気検出素子の出力変化に基づいて、前記磁性体の相対移動位置を検知することを特徴とするものである。
本発明によれば、磁性体が第2の方向に相対移動したときに、一対の磁極面と磁気検出素子との間の空間に夫々、磁性対向部が浮いた状態で介在するとともに前記磁気検出素子と前記磁性連結部との間の前記第2の方向への距離が変動する。一対の磁極面間にて第1の方向に生じた磁場状態は、磁性体の相対移動位置により変化する。すなわち、磁性体が、磁気検出素子及び一対の磁極面から第2の方向へ離れた状態であると、磁気検出素子に作用する磁場は強い。この状態から磁性体が相対移動して、各磁性対向部が一対の磁極面と磁気検出素子との間の各空間内に入り込むと、一部の磁場は磁性体内を通るため、磁気検出素子に作用する磁場は小さくなる。しかも磁性体が更に相対移動して、磁気検出素子と磁性連結部間の距離が縮まると、磁性体を介して磁気検出素子の方向に漏れ出すよりも磁性体内にて、磁性対向部から磁性連結部を通る磁気回路のほうがより通り抜けやすくなり、ますます磁気検出素子に作用する磁場を減衰させることができる。このように本発明では、磁性体が第2の方向に相対移動したときに、磁気検出素子と磁性連結部との間の第2の方向への距離の変化に伴って磁気検出素子に作用する磁場強度を変化させることができ、この磁場強度の変化による磁気検出素子の出力変化に基づいて、前記磁性体の相対移動位置を検知することが可能になる。このとき本発明では、特許文献2,3のようにギャップ長を変化させる構成に比べて、移動体の移動に伴う磁気検出素子と磁性連結部間の距離の変化を大きくできるため、移動体に作用する磁場強度をダイナミックに変化させることができ、また磁性体の相対移動位置の検出可能範囲を広く取ることができる。よって高精度な位置検出を行うことが可能である。
本発明では、前記一対の磁極面及び磁気検出素子が固定側で、前記磁性体が移動体であることが好ましい。
また前記磁気検出素子は、前記一対の磁極面の前記第1の方向における中心位置に配置されることが好ましい。
一対の磁極面と磁気検出素子との間の各空間にて浮いた状態の磁性対向部が第1の方向に位置ずれを起こしても、磁気検出素子を一対の磁極面間に形成された間隔の中心位置に配置することで、磁気検出素子の出力ずれを抑制でき、1個の磁気検出素子で、高精度な位置検出を行うことが可能になる。そして、磁性体の相対移動位置に対する磁気検出素子の出力のリニアリティを効果的に向上させることが可能である。
また、前記第1の方向に間隔を空けて対向する一対の磁石及び前記磁石間に配置される磁気検出素子が、共通の支持部に支持されていることが好ましい。
本発明によれば、磁性体が第2の方向(一対の磁極面の対向する第1の方向に対して直交する方向)に相対移動したときに、磁気検出素子と磁性連結部(磁性体を構成する磁性対向部間を連結している部分)との間の第2の方向への距離の変化に伴って磁気検出素子に作用する磁場強度を変化させることができ、この磁場強度の変化による磁気検出素子の出力変化に基づいて、前記磁性体の相対移動位置を検知することが可能になる。
図1(a)は、本実施形態における位置検出装置の正面図、図1(b)は図1(a)の位置検出装置を矢印A方向から見た側面図、図2(a)〜(c)は移動体の位置と、一対の磁極面間で生じる磁場状態との関係を説明するための位置検出装置の正面図、図3は図2に示す移動体の各移動位置と磁気検出素子に作用する磁場強度との関係を示すグラフ(模式図)である。
各図におけるX方向及びY方向は水平面内にて直交する2方向を指し、Z方向はX方向及びY方向の双方に直交する高さ方向を指す。「第1の方向」及び第1の方向に直交する「第2の方向」は、X、Y、Z方向のいずれかに該当し、本明細書では、「第1の方向」をZ方向、「第2の方向」をX方向として説明する。
図1に示す位置検出装置1は、Z方向に間隔を空けて対向する一対の磁石2,3と、各磁石2,3を固定するための支持部4と、磁石2,3間に配置される磁気検出素子5と、磁性体で構成され、X方向に移動可能に支持された移動体6とを有して構成される。
図1に示すように磁石2,3はいずれもX−Y平面に平行に配置されており、磁石2,3のZ方向における各対向面2a,3aが異極の磁極面(以下、磁極面2a,3aという)となっている。
この実施形態における支持部4は磁性、非磁性の別を問わない。ただし支持部4は特に磁性とする必要がなければ装置外部への影響も考慮して非磁性とすることが好適である。また図1(b)に示すように支持部4は磁石2,3のみならず磁気検出素子5を支持する支持片4aも有しており、共通の支持部4にて磁石2,3及び磁気検出素子5を支持でき、磁石2,3と磁気検出素子5間の距離を高精度に規制することができる。また磁気検出素子5が支持部4により支持される形態では支持部4は非磁性であることが好適である。
磁気検出素子5にはホール素子やMR素子等を選択できるが、その中でもホール素子を用いることが好適である。
図1(a)(b)に示すように、磁石2,3のZ方向への間隔はT1であり、その中心位置O1に、磁気検出素子5が配置されている。ここで「中心位置O1に配置」とは、磁気検出素子5の厚さ方向の中心位置O2と、間隔T1の中心位置O1とがX及びY方向にて一致していることを指す。
この実施形態では磁石2,3及び磁気検出素子5は固定側であり動かない。磁石2,3及び磁気検出素子5を移動側とする(このとき移動体(磁性体)6は固定される)ことも可能であるが、磁石2,3及び磁気検出素子5を固定側とするほうが、移動機構を簡単にできるし、移動に伴う磁石2,3と磁気検出素子5間の距離のぶれもない。
移動体(磁性体、稼働ヨーク)6は、図示しない移動軸に接続されてX方向に平行に移動可能に支持されている。また、移動体6の材質を特に限定するわけではないがパーマロイ等の鉄を含む軟磁性体とすることが好適である。
移動体6は、Z方向に間隔を空けて対向する第1の磁性対向部6aと第2の磁性対向部6bと、各磁性対向部6a,6bのX方向における一方の端部6a1,6b1間を連結する磁性連結部6cとを有して構成される。各磁性対向部6a,6b及び磁性連結部6cは一体化されていることが好ましいが、後述する図2(b)(c)の状態のとき、各磁性対向部6a,6bと磁性連結部6cとの間に磁気回路を形成できれば、磁性対向部6a,6bと磁性連結部6cとを別々に形成し、磁性対向部6a,6bと磁性連結部6c間を接着剤等で接続した構成とすることも出来る。
図1に示すように、第1の磁性対向部6aが、第1の磁石2と磁気検出素子5との間の空間B内にて浮いた状態で入り込み、第2の磁性対向部6bが、第2の磁石3と磁気検出素子5との間の空間C内にて浮いた状態で入り込めるように、各磁性対向部6a,6b間のZ方向への間隔や移動体6の支持位置が規制されている。
図1(a)(b)に示すように、各磁性対向部6a,6bはZ方向への厚さやY方向への幅に比べてX方向に長く延出して形成されている。例えば移動体6は図5(a)に示す形態であり、各磁性対向部6a,6bはX及びY方向に平行に配置された平板状で形成されている。
磁性対向部6a,6bのX方向への長さ寸法は、移動体6に対する移動位置の検出可能範囲を規制し、磁性対向部6a,6bのX方向への長さ寸法を長くすれば、それだけ検出可能範囲を広げることができる。磁性対向部6a,6bのX方向への長さ寸法は使用用途に応じて適宜決定することが出来る。
図2(a)に示すように第1の磁石2の磁極面2aはN極に、第2の磁石3の磁極面3aはS極に着磁されており、磁石2,3間にはZ方向に磁場H1が生じている。
図2(a)に示すように、磁性体からなる移動体6が磁気検出素子5に対してX方向に離れて位置すると、図3にも示すように磁気検出素子5に作用する磁場強度は強くなる。
図2(a)の状態から移動体6がX方向に移動し、第1の磁性対向部6aが第1の磁石2と磁気検出素子5との間の空間B内に侵入し、第2の磁性対向部6bが第2の磁石3と磁気検出素子5との間の空間C内に侵入すると、図2(a)に示した磁場H1のうち一部の磁場(磁力)H2が磁性体からなる移動体6に吸い込まれ、移動体6内を、第1の磁性対向部6a−磁性連結部6c−第2の磁性対向部6bからなる磁気回路により通り抜けてしまうため、図3に示すように、図2(b)の状態での磁気検出素子5に作用する磁場H4の強度は、図2(a)の状態よりも弱くなる。
更に、移動体6が図2(a)の状態よりもX方向に移動して、磁気検出素子5と磁性連結部6c間のX方向への距離が縮まると、磁石2,3間に生じた磁場が、移動体6を介して漏れ出て磁気検出素子5の方向へ向うよりも、磁性体の移動体6に吸収されて移動体6内を、第1の磁性対向部6a−磁性連結部6c−第2の磁性対向部6bからなる磁気回路により通り抜ける磁場(磁力)H3がよりいっそう大きくなり、その結果、図3に示すように、図2(c)の状態での磁気検出素子5に作用する磁場H5の強度は、図2(b)の状態よりも更に弱くなる。
すなわち、移動体6がX方向に移動することで、磁気検出素子5と移動体6を構成する磁性連結部6cとの間の距離が変化するが、この距離が徐々に近づくにつれて、磁場が移動体6を介して磁気検出素子5に向けて漏れ出すよりも、磁性連結部6cを通って移動体6内を通り抜けやすくなってしまい、図3に示すように、磁気検出素子5に作用する磁場強度は徐々に低下するのである。
このように磁気検出素子5に作用する磁場強度が変化することで、磁気検出素子5の出力が変動し、磁気検出素子5の出力変化に基づいて、移動体6の移動位置を検知することが可能である。例えば移動体6に対する移動軸が垂直に磁性連結部6cに接続されており、移動軸の位置を、磁気検出素子5の出力変化に基づいて検出することが出来る。
このように本実施形態では特許文献2,3で示したような移動体に傾斜部を設ける必要はなく、また特許文献2,3のようにギャップ長を変化させる形態でもない。ギャップ長を変化させる形態であると、変化のレンジが小さいため、磁気検出素子に作用する磁場強度の変化も小さく、位置検出精度の向上を図ることができないが、本実施形態では、移動体6の移動に伴う磁気検出素子5と磁性連結部6c間の距離の変化を大きくできるため、移動体6に作用する磁場強度をダイナミックに変化させることができるし、移動体6の移動位置の検出可能範囲を広く取ることができる。よって高精度な位置検出を行うことが可能である。
本実施形態における磁石2,3の形状は図1に限定されるものではない。例えば図4(a)に示すように、各磁石2,3の磁極面2a,3aが凹形状であってもよいし、図4(b)に示すように各磁石2,3の磁極面2a,3aが凸形状であってもよい。図4(a)(b)に示す磁石2,3の形状は図1(a)と同じ正面図、あるいは図1(b)と同じ側面図に現れてもよい。
図5は移動体6の斜視図を示すが、図5(a)のように、磁性対向部6a,6bが矩形状の平板状でなく、例えば磁性対向部6a,6bのY方向の側端部10,11が夫々、X方向に対して斜めに形成されていてもよい。このとき、各磁性対向部6a,6bのX方向における開放端6a2,6b2から磁性連結部6cに向けて、徐々に磁性対向部6a,6bのY方向の幅が広がるように形成されていることが、図2に示す磁気検出素子5に作用する磁場強度を移動体6の移動に伴ってよりダイナミックに変化させることができ好適である。あるいは図6(c)のように各磁性対向部6a,6bの先端を複数に分離(図6(c)では二股形状)して形成することも可能である。このとき、各磁性対向部6a,6bに形成された切欠部12のY方向への幅が、各磁性対向部6a,6bの開放端6a2,6b2から磁性連結部6cに向けて徐々に狭くなるように形成することが、図2に示す磁気検出素子5に作用する磁場強度を移動体6の移動に伴ってよりダイナミックに変化させることができ好適である。
また、磁性対向部6a,6bは、図1(a)(b)、図5(a)〜(c)に示すように、X及びY方向に平行に配置されているが、図6(図1(a)と同じ正面図)に示すように磁性対向部6a,6bが、X方向からZ方向に向けて斜めに配置された構成とすることも可能である。ただし磁性対向部6a,6cは、X方向と平行な対称軸Dに対して線対称形状にて形成されていることが好適である。また図6に示すように、各磁性対向部6a,6bの開放端6a2,6b2から磁性連結部6cに向けて、各磁性対向部6a,6bのZ方向への間隔が広がるように形成したほうが好適である。これにより、図2で説明した磁気検出素子5に作用する磁場強度を移動体6の移動に伴ってよりダイナミックに変化させることができる。
本実施形態では、磁場発生手段として、図1のように一対の磁石2,3を用いる構成のほか、例えば図7のように、磁性材料で形成され、磁石17から生じる磁束により磁気回路を形成するコア15,16を設け、各コア15,16の先端をZ方向に対向させて、その対向面を一対の磁極面とした構成やコアにコイルを巻回した構成等であってもよい。
図1では、移動体6をZ方向の中央に配置して、各磁性対向部6a,6bを、磁石2,3と磁気検出素子5間の各空間B,Cの中央に介在させているが、以下では、磁性対向部6a,6bがZ方向に位置ずれを起こしたときの磁気検出素子5に作用する磁場強度について考察する。
図8(a)(b)は、いずれも図1(b)と同じ側面図であり、図8(a)は、図1(a)よりも磁性対向部6a,6bが第2の磁石3の方向へ片寄っており(磁性対向部6aが磁性体向部6bよりも磁気検出素子5に近づく)、図8(b)は、図1(a)よりも磁性対向部6a,6bが第1の磁石2の方向へ片寄っている(磁性対向部6bが磁性対向部6aよりも磁気検出素子5に近づく)。
そして各磁石2,3のZ方向での中心位置O1から図示上方向(第1の磁石2の方向)への距離をマイナス値、図示下方向(第2の磁石3の方向)への距離をプラス値として、各Z方向での位置での磁場強度を測定した結果が図9である。
この実験で言えることは、図9に示す横軸の0の位置、すなわち、各磁石2,3のZ方向での中心位置O1における磁場強度は図8(a)(b)のように移動体6がZ方向に位置ずれを起こしても変化してないことである。このため、磁気検出素子5の膜厚方向の中心位置O2を、各磁石2,3のZ方向での中心位置O1に一致させることで、移動体6がZ方向に位置ずれを起こしても磁気検出素子5に作用する磁場強度は変化せず、よって磁気検出素子5の出力ずれを抑制することができ、1個の磁気検出素子5で、高精度な位置検出を行うことが可能になる。
そして本実施形態では、図1の構成、さらには図4ないし図6等の磁石2,3や移動体6の形状改良により、移動体6のX方向への移動に対する磁気検出素子5の出力のリニアリティを効果的に向上させることが可能となる。
B、C 空間
H1〜H5 磁場
1 位置検出装置
2、3 磁石
2a、3a 磁極面
4 支持部
5 磁気検出素子
6 移動体(磁性体)
6a、6b 磁性対向部
6c 磁性連結部
15、16 コア
H1〜H5 磁場
1 位置検出装置
2、3 磁石
2a、3a 磁極面
4 支持部
5 磁気検出素子
6 移動体(磁性体)
6a、6b 磁性対向部
6c 磁性連結部
15、16 コア
Claims (4)
- 第1の方向に間隔を空けて対向し、前記間隔内であって前記第1の方向に磁場を生じさせる一対の磁極面と、前記一対の磁極面間に配置された磁気検出素子と、前記第1の方向に対して直交する第2の方向に前記磁極面及び磁気検出素子に対して相対移動可能な磁性体と、を有し、
前記磁性体は、前記第2の方向に相対移動したときに、前記一対の磁極面と前記磁気検出素子との間の各空間内にて浮いた状態で介在可能な一対の磁性対向部と、各磁性対向部の前記第2の方向における一方の端部間を連結する磁性連結部と、を備え、
前記磁性体が前記第2の方向に相対移動したときに、前記磁気検出素子と前記磁性連結部との間の前記第2の方向への距離の変化に伴う前記磁気検出素子の出力変化に基づいて、前記磁性体の相対移動位置を検知することを特徴とする位置検出装置。 - 前記一対の磁極面及び磁気検出素子が固定側で、前記磁性体が移動体である請求項1記載の位置検出装置。
- 前記磁気検出素子は、前記一対の磁極面の前記第1の方向における中心位置に配置される請求項1又は2に記載の位置検出装置。
- 前記第1の方向に間隔を空けて対向する一対の磁石及び前記磁石間に配置される磁気検出素子が、共通の支持部に支持されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の位置検出装置。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2016133406A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | メレキシス テクノロジーズ エヌ ヴィ | 変位検出装置 |
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JP2016133406A (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-25 | メレキシス テクノロジーズ エヌ ヴィ | 変位検出装置 |
WO2016117497A1 (ja) * | 2015-01-20 | 2016-07-28 | メレキシス テクノロジーズ エヌ ヴィ | 変位検出装置 |
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