JP2014079858A - 動圧平面軸受構造および平面研磨装置 - Google Patents
動圧平面軸受構造および平面研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014079858A JP2014079858A JP2012229993A JP2012229993A JP2014079858A JP 2014079858 A JP2014079858 A JP 2014079858A JP 2012229993 A JP2012229993 A JP 2012229993A JP 2012229993 A JP2012229993 A JP 2012229993A JP 2014079858 A JP2014079858 A JP 2014079858A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- dynamic pressure
- rotating body
- bearing structure
- surface plate
- internal gear
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000005498 polishing Methods 0.000 title claims abstract description 41
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 40
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 40
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 11
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 6
- 238000007667 floating Methods 0.000 description 4
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 description 3
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 2
- 239000012208 gear oil Substances 0.000 description 2
- 238000011900 installation process Methods 0.000 description 2
- 238000005339 levitation Methods 0.000 description 2
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 2
- 238000005096 rolling process Methods 0.000 description 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000002706 hydrostatic effect Effects 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
- Sliding-Contact Bearings (AREA)
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
Abstract
【解決手段】回転体を支持する動圧平面軸受構造において、回転体の環状の水平面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷を支持する複数の第1動圧発生部233と、外周側に正の傾きを持つ回転体の環状の傾斜面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷および半径方向負荷を支持する複数の第2動圧発生部234と、を備えることを特徴とする動圧平面軸受構造を平面研磨装置に採用する。
【選択図】図2
Description
従来技術の動圧平面軸受構造や平面研磨装置はこのようなものである。
回転体を支持する動圧平面軸受構造において、
回転体の環状の水平面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷を支持する複数の第1動圧発生部と、
外周側に正の傾きを持つ回転体の環状の傾斜面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷および半径方向負荷を支持する複数の第2動圧発生部と、
を備えることを特徴とする動圧平面軸受構造とした。
回転体を支持する動圧平面軸受構造において、
内周側に正の傾きを持つ回転体の環状の傾斜面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷および半径方向負荷を支持する複数の第1動圧発生部と、
外周側に正の傾きを持つ回転体の環状の傾斜面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷および半径方向負荷を支持する複数の第2動圧発生部と、
を備えることを特徴とする動圧平面軸受構造とした。
前記第1動圧発生部および前記第2動圧発生部を其々第1動圧発生部材および第2動圧発生部材として構成し、流体軸受皿内に其々着脱自在に構成したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の動圧平面軸受構造とした。
前記回転体と、前記複数の第1動圧発生部および前記複数の第2動圧発生部との間は、回転体が停止状態において隙間が略ゼロとなるように設定したことを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の動圧平面軸受構造とした。
下定盤にワークを押し付けると共に内歯歯車および太陽歯車に噛み合うワークキャリアがワークを相対的に回転させてワークを研磨する平面研磨装置であって、
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載の動圧平面軸受構造を採用し、動圧平面軸受構造の前記回転体が下定盤および/または内歯歯車の一部であることを特徴とする平面研磨装置とした。
平面研磨装置1は、図1の平面研磨装置の要部の縦断面図や図2の動圧平面軸受構造を上部からみた配置図で示すように、下定盤10、下定盤受け11、下定盤駆動軸12、内歯歯車13、内歯歯車受け14、内歯歯車駆動用歯車15、歯車駆動シャフト16、太陽歯車17、太陽歯車駆動軸18、キャリア19、ワーク20、ベース部21、中間ベース部22、下定盤用動圧平面軸受構造23、内歯歯車用動圧平面軸受構造24を備えている。
下定盤10は、環状円板であり、上面にワーク20を研磨するラップ面/ポリッシュ面を有する。なお、図示しないが、下定盤10の上面に図示しない研磨布を貼り付け、研磨布によりワークを研磨することもある。また、図示しないが上定盤を備える構成とすることもあり、この場合に下定盤10および上定盤は、共通回転軸を回転中心として回転するように支持される。
内歯歯車受け14は、段状円筒体であり、本発明の動圧平面軸受構造である内歯歯車用動圧平面軸受構造24により下側から支持されており、円滑に回転するようになされている。そして内歯歯車受け14の内部で下側に内歯歯車受け14と一体に固定された内歯歯車が形成されている。
歯車駆動シャフト16は、図示しない内歯歯車駆動部により回転駆動される。
太陽歯車駆動軸18は、先端で太陽歯車17と連結される。太陽歯車駆動軸18は、下端で図示しない太陽歯車駆動部により回転駆動される。この太陽歯車駆動軸18は、下定盤駆動軸12の中心孔に遊挿されており、下定盤駆動軸12と太陽歯車駆動軸18とはそれぞれ独立して回転するようになされている。まとめると、下定盤駆動軸12は図示しない軸支部により回転可能に支持され、さらに太陽歯車駆動軸18は下定盤駆動軸12により回転可能に支持される。
中間ベース部22は環状であって、このベース部21の上側に形成されており、中間ベース部22の上側には環状の下定盤用動圧平面軸受構造23が設けられている。下定盤用動圧平面軸受構造23は、詳しくは図3で示すような構成を有する。
下定盤用動圧平面軸受構造23は、図3で示すように、下定盤用流体軸受皿231、回転体232、複数(本形態では図2で示すように8個)の下定盤用第1動圧発生部233、複数(本形態では図2で示すように8個)の下定盤用第2動圧発生部234を備えている。
下定盤用第2動圧発生部234は、外周側に行くに連れて上昇するように傾斜する軸受部234aに対して垂直方向の動圧を発生させ、回転体232の鉛直方向負荷(スラスト荷重)および半径方向負荷(ラジアル荷重)を支持する。
内歯歯車用動圧平面軸受構造24は、図4で示すように、内歯歯車用流体軸受皿241、回転体242、複数(本形態では8個)の内歯歯車用第1動圧発生部243、複数(本形態では8個)の内歯歯車用第2動圧発生部244を備えている。
本発明では内歯歯車や下定盤を支持する支持部それぞれ流体軸受けを採用した構成であるものとして説明した。しかしながら、内歯歯車のみに流体軸受けを採用した構成、または、下定盤のみに流体軸受けを採用した構成としても本発明の効果を奏しうる。
10:下定盤
11:下定盤受け
12:下定盤駆動軸
13:内歯歯車
14:内歯歯車受け
15:内歯歯車駆動用歯車
16:歯車駆動シャフト
17:太陽歯車
18:太陽歯車駆動軸
19:キャリア
20:ワーク
21:ベース部
22:中間ベース部
23:下定盤用動圧平面軸受構造
231:下定盤用流体軸受皿
231a:下定盤用油槽
232:回転体
232a:リング体
232b:回転体水平部
232c:回転体傾斜部
233:下定盤用第1動圧発生部
233a:軸受部
233b:傾斜部
233c:切込部
234:下定盤用第2動圧発生部
234a:軸受部
234b:傾斜部
235:固定ボルト
24:内歯歯車用動圧平面軸受構造
241:内歯歯車用流体軸受皿
241a:内歯歯車用油槽
242:回転体
243:内歯歯車用第1動圧発生部
244:内歯歯車用第2動圧発生部
245:固定ボルト
25:内歯歯車用動圧平面軸受構造
251:内歯歯車用流体軸受皿
251a:内歯歯車用油槽
252:回転体
253:内歯歯車用第1動圧発生部
254:内歯歯車用第2動圧発生部
255:固定ボルト
Claims (5)
- 回転体を支持する動圧平面軸受構造において、
回転体の環状の水平面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷を支持する複数の第1動圧発生部と、
外周側に正の傾きを持つ回転体の環状の傾斜面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷および半径方向負荷を支持する複数の第2動圧発生部と、
を備えることを特徴とする動圧平面軸受構造。 - 回転体を支持する動圧平面軸受構造において、
内周側に正の傾きを持つ回転体の環状の傾斜面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷および半径方向負荷を支持する複数の第1動圧発生部と、
外周側に正の傾きを持つ回転体の環状の傾斜面に対して垂直に動圧を発生し、回転体の鉛直方向負荷および半径方向負荷を支持する複数の第2動圧発生部と、
を備えることを特徴とする動圧平面軸受構造。 - 前記第1動圧発生部および前記第2動圧発生部を其々第1動圧発生部材および第2動圧発生部材として構成し、流体軸受皿内に其々着脱自在に構成したことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の動圧平面軸受構造。
- 前記回転体と、前記複数の第1動圧発生部および前記複数の第2動圧発生部との間は、回転体が停止状態において隙間が略ゼロとなるように設定したことを特徴とする請求項1〜請求項3の何れか一項に記載の動圧平面軸受構造。
- 下定盤にワークを押し付けると共に内歯歯車および太陽歯車に噛み合うワークキャリアがワークを相対的に回転させてワークを研磨する平面研磨装置であって、
請求項1〜請求項4の何れか一項に記載の動圧平面軸受構造を採用し、動圧平面軸受構造の前記回転体が下定盤および/または内歯歯車の一部であることを特徴とする平面研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012229993A JP6049181B2 (ja) | 2012-10-17 | 2012-10-17 | 動圧平面軸受構造および平面研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012229993A JP6049181B2 (ja) | 2012-10-17 | 2012-10-17 | 動圧平面軸受構造および平面研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014079858A true JP2014079858A (ja) | 2014-05-08 |
JP6049181B2 JP6049181B2 (ja) | 2016-12-21 |
Family
ID=50784544
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012229993A Active JP6049181B2 (ja) | 2012-10-17 | 2012-10-17 | 動圧平面軸受構造および平面研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6049181B2 (ja) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58180831A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ガス軸受構造 |
JPH03149415A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-06-26 | Uingu Haisera:Kk | セラミックス製軸受 |
JPH077886A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-10 | Nippon Densan Corp | モータ |
JP2004188546A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Hamai Co Ltd | 平行平面研磨装置 |
-
2012
- 2012-10-17 JP JP2012229993A patent/JP6049181B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58180831A (ja) * | 1982-04-16 | 1983-10-22 | Ishikawajima Harima Heavy Ind Co Ltd | ガス軸受構造 |
JPH03149415A (ja) * | 1989-10-12 | 1991-06-26 | Uingu Haisera:Kk | セラミックス製軸受 |
JPH077886A (ja) * | 1993-06-17 | 1995-01-10 | Nippon Densan Corp | モータ |
JP2004188546A (ja) * | 2002-12-12 | 2004-07-08 | Hamai Co Ltd | 平行平面研磨装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6049181B2 (ja) | 2016-12-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
EP3085493B1 (en) | Double-side polishing apparatus and polishing method | |
US20150122072A1 (en) | Twin rotation driving apparatus | |
KR20060065502A (ko) | 양면 연마용 캐리어 및 반도체 웨이퍼의 연마 방법 | |
CN102601724A (zh) | 一种主动驱动研磨装置 | |
JP6049181B2 (ja) | 動圧平面軸受構造および平面研磨装置 | |
JP2008019943A (ja) | 組合せ軸受 | |
JP2011194517A (ja) | 両面研磨装置および加工方法 | |
JP2012125865A (ja) | 回転テーブル | |
KR20190143634A (ko) | 미세유량 분배 밸브가 설치된 고중량용 공작기계 | |
JP2016129921A (ja) | 回転テーブル | |
JPS6119365B2 (ja) | ||
CN215036462U (zh) | 研磨抛光驱动系统 | |
JP4813231B2 (ja) | ラップ装置 | |
KR100980600B1 (ko) | 유정압 회전테이블 장치 | |
KR101485559B1 (ko) | 수직형 nc 선반 | |
JP2008221355A (ja) | 両面加工装置 | |
CN218874969U (zh) | 一种立式磨床旋转工作台 | |
JP2006177504A (ja) | ダイレクトドライブモータ | |
CN202540130U (zh) | 一种主动驱动研磨装置 | |
JP3012224B2 (ja) | ラッピング/ポリッシングマシンの下定盤回転装置 | |
JP2006025525A (ja) | ダイレクトドライブモータ | |
JP5381555B2 (ja) | 板状ワーク研磨装置および板状ワーク研磨方法 | |
JP5265281B2 (ja) | 両面研磨装置 | |
JP2008200803A (ja) | 超仕上げ装置 | |
CN113211300A (zh) | 研磨抛光驱动系统 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150911 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160617 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160701 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160825 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161013 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161121 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6049181 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |