JP2014075487A - 半導体装置およびその製造方法 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014075487A JP2014075487A JP2012222294A JP2012222294A JP2014075487A JP 2014075487 A JP2014075487 A JP 2014075487A JP 2012222294 A JP2012222294 A JP 2012222294A JP 2012222294 A JP2012222294 A JP 2012222294A JP 2014075487 A JP2014075487 A JP 2014075487A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- semiconductor substrate
- electrode
- semiconductor device
- hole
- tva
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Ceased
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Abstract
【解決手段】ロジックチップLCを構成する半導体基板SSには、第1の面とその裏側の第2の面とを貫通する貫通電極TVAが形成されている。この貫通電極TVAは、Cuにより形成された主導体膜MMと、そのCuの拡散を防止するために主導体膜MMの外周を覆うように設けられたバリアメタルBMとで構成されている。そして、この貫通電極TVAが設けられた貫通孔THAの側面の半導体基板SS部分には、Cuや他の重金属元素を捕獲するゲッタリングサイトGSBが形成されている。これにより、バリアメタルBMにピンホール等が生じても、貫通電極TVAの主導体膜MMのCuを貫通孔THAの側面のゲッタリングサイトGSBで捕獲することができるので、Cuの拡散に起因する素子の電気的特性の変動を抑制または防止することができる。
【選択図】図2
Description
図1は、本実施の形態1の半導体装置を用いてシステムを構築した三次元積層LSI(Large Scale Integration)モジュールMLの一例の断面図である。
図13は、図1の三次元積層LSIモジュールMLを構成する本実施の形態2のロジックチップLCの要部拡大断面図である。
本実施の形態3では、貫通電極の貫通孔の側面のゲッタリングサイトを陽極酸化法により形成する場合について説明する。
LS 配線基板
LC ロジックチップ
SS 半導体基板
EG 外部ゲッタリング層
Gti 絶縁膜
GSA ゲッタリングサイト
GSB ゲッタリングサイト
IG 内部ゲッタリング層
BMD 微小欠陥
DZ 素子形成層
Q MOSFET
SD 半導体領域
Gi ゲート絶縁膜
GP ゲート電極
iFA,iFB 絶縁膜
WL 配線層
WA 配線
PA,PB プラグ
SP インターポーザ
MC メモリチップ
BA,BB,BC,BD バンプ電極
THA 貫通孔
TVA,TVB 貫通電極
BM バリアメタル
MM 主導体膜
iFC 絶縁膜
AX 陽極酸化装置
Claims (12)
- 第1の面およびその裏側の第2の面を有する半導体基板と、
前記半導体基板の第1の面と第2の面とを貫通する孔内に設けられた貫通電極と、
前記孔の側面の一部または全部に設けられたゲッタリングサイトと、
を有する半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、前記孔の側面に傾斜を設けた半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、前記ゲッタリングサイトは、結晶欠陥層または多孔質層により形成されている半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、前記貫通電極の材料が銅を含む半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、前記半導体基板に素子を設けた半導体装置。
- 第1の面およびその裏側の第2の面を有する半導体基板に厚さ方向に延びる孔を形成する工程と、
前記孔の側面の一部または全部にゲッタリングサイトを形成する工程と、
前記孔内に貫通電極を形成する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。 - 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、前記孔の側面に傾斜を形成する半導体装置の製造方法。
- 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、前記ゲッタリングサイトを結晶欠陥層または多孔質層により形成する半導体装置の製造方法。
- 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、前記ゲッタリングサイトを前記孔の側面にレーザを照射することにより形成する半導体装置の製造方法。
- 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、前記ゲッタリングサイトを前記孔の側面に陽極酸化処理を施すことにより形成する半導体装置の製造方法。
- 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、前記貫通電極の材料が銅を含む半導体装置の製造方法。
- 請求項6記載の半導体装置の製造方法において、前記半導体基板に素子を形成する工程を有する半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012222294A JP2014075487A (ja) | 2012-10-04 | 2012-10-04 | 半導体装置およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012222294A JP2014075487A (ja) | 2012-10-04 | 2012-10-04 | 半導体装置およびその製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014075487A true JP2014075487A (ja) | 2014-04-24 |
Family
ID=50749438
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012222294A Ceased JP2014075487A (ja) | 2012-10-04 | 2012-10-04 | 半導体装置およびその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2014075487A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10350711B2 (en) | 2017-09-20 | 2019-07-16 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005019522A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009534819A (ja) * | 2006-04-19 | 2009-09-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ウェハ貫通接続を備えた微細加工素子並びに相応する製造方法 |
JP2011176003A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2013182985A (ja) * | 2012-03-01 | 2013-09-12 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-10-04 JP JP2012222294A patent/JP2014075487A/ja not_active Ceased
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005019522A (ja) * | 2003-06-24 | 2005-01-20 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2009534819A (ja) * | 2006-04-19 | 2009-09-24 | ローベルト ボツシユ ゲゼルシヤフト ミツト ベシユレンクテル ハフツング | ウェハ貫通接続を備えた微細加工素子並びに相応する製造方法 |
JP2011176003A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Panasonic Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2013182985A (ja) * | 2012-03-01 | 2013-09-12 | Elpida Memory Inc | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10350711B2 (en) | 2017-09-20 | 2019-07-16 | Toshiba Memory Corporation | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8729711B2 (en) | Semiconductor device | |
TWI357111B (ja) | ||
TWI707412B (zh) | 形成三維集成佈線結構的方法及其半導體結構 | |
US8004090B2 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP4979320B2 (ja) | 半導体ウェハおよびその製造方法、ならびに半導体装置の製造方法 | |
US20150206827A1 (en) | Semiconductor device with through silicon via and alignment mark | |
JP2013077711A (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
TW201117346A (en) | Semiconductor device including through-electrode and method of manufacturing the same | |
JP2011171567A (ja) | 基板構造物の製造方法及び半導体装置の製造方法 | |
US11594514B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
US8816489B2 (en) | Integrated circuit structures, semiconductor structures, and semiconductor die | |
TWI571988B (zh) | 具有矽貫穿電極的晶片以及其形成方法 | |
JP2014075487A (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
TW201508889A (zh) | 半導體裝置及半導體裝置之製造方法 | |
US11862586B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
TW201727776A (zh) | 半導體元件及半導體元件的製造方法 | |
KR100975332B1 (ko) | 반도체 장치 및 그 제조 방법 | |
US11152334B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
TWI717768B (zh) | 半導體裝置之製造方法及半導體裝置 | |
JP2019036651A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
TWI548094B (zh) | 半導體構造及形成半導體構造之方法 | |
KR100833250B1 (ko) | 적층구조를 갖는 집적회로의 제조방법 및 그 집적회로 | |
CN112530881A (zh) | 半导体装置及其制造方法 | |
US11652000B2 (en) | Semiconductor device, method of manufacturing semiconductor device, and method of recycling substrate | |
TWI799053B (zh) | 半導體結構的製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160301 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160422 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160913 |
|
A045 | Written measure of dismissal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A045 Effective date: 20170131 |