JP2014069127A - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 基板100の搬送方向の下流側に向けて純水を供給する第1スリットノズル1と、基板100の表面に対して鉛直方向または基板100の搬送方向の上流側に向けて純水を供給する第2スリットノズル2と、基板100の裏面に対して純水を供給する裏面洗浄ノズル4と、基板の両面に対して純水を供給する第3スリットノズル3と、基板100の両面に対して乾燥用の気体を噴射する一対のエアナイフ5とを備える。第1、第2スリットノズル1、2、第3スリットノズル3およびエアナイフ5の基板100の搬送方向に対する傾斜角度を、第1、第2スリットノズル1,2、第3スリットノズル3、エアナイフ5の順で大きく設定する。
【選択図】 図1
Description
2 第2スリットノズル
3 第3スリットノズル
4 裏面洗浄ノズル
5 エアナイフ
6 搬送ローラ
11 第1処理室
12 第2処理室
13 第3処理室
14 第4処理室
15 搬入口
16 搬出口
21 流量調整弁
22 流量調整弁
23 流量調整弁
24 流量調整弁
31 純水の供給部
32 回収槽
33 ドレイン
35 管路
36 管路
37 管路
39 ポンプ
41 スリット
43 スリット
45 スリット
100 基板
141 支持部材
142 鍔部
Claims (6)
- 薬液処理後の基板を洗浄する基板洗浄装置において、
基板をその主面が略水平となる状態で水平方向に搬送する搬送機構と、
前記搬送機構により搬送される基板の表面に対して、前記基板の上方から前記基板の搬送方向の下流側に向けて洗浄液を供給する第1スリットノズルと、
前記第1スリットノズルに対して前記基板の搬送方向の下流側に所定の距離だけ離隔して配置され、前記搬送機構により搬送される基板の表面に対して、前記基板の上方から鉛直方向または前記基板の搬送方向の上流側に向けて、前記第1スリットノズルからの洗浄液の供給量より多量の洗浄液を供給する第2スリットノズルと、
前記基板の搬送方向における前記第1スリットノズルと前記第2スリットノズルとの間の位置に配設され、前記搬送機構により搬送される基板の裏面に対して基板の下方から洗浄液を供給する裏面洗浄ノズルと、
前記第2スリットノズルに対して、前記基板の搬送方向の下流側に配置され、前記搬送機構により搬送される基板の表面に対して、前記基板の上方から洗浄液を供給する第3スリットノズルと、
前記第3スリットノズルに対して、前記基板の搬送方向の下流側に配置され、前記搬送機構により搬送される基板の表面および裏面に対して乾燥用の気体を噴射する一対のエアナイフと、
を備え、
前記第2スリットノズル、前記第3スリットノズルおよび前記エアナイフの前記基板の搬送方向に対する傾斜角度を、前記第2スリットノズル、前記第3スリットノズル、前記エアナイフの順で大きく設定したことを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項1に記載の基板洗浄装置において、
前記第3スリットノズルは、前記搬送機構により搬送される基板の表面に対して鉛直方向または前記基板の搬送方向の上流側に向けて洗浄液を供給する基板洗浄装置。 - 請求項1または請求項2に記載の基板洗浄装置において、
前記第1スリットノズルおよび前記第2スリットノズルは、前記基板の搬送方向と直交する方向に向けて配置される基板洗浄装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
前記第1スリットノズルは、前記搬送機構により搬送される基板の表面に対して、20度乃至30度の角度で洗浄液を供給する基板洗浄装置。 - 請求項1から請求項3のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
前記第2スリットノズルは、前記搬送機構により搬送される基板の表面に対して、45度乃至90度の角度で洗浄液を供給する基板洗浄装置。 - 請求項1から請求項5のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
前記第3スリットノズルから基板に供給された洗浄液を回収する洗浄液回収部と、
前記洗浄液回収部に回収された洗浄液を、前記第1スリットノズル、前記第2スリットノズルおよび前記裏面洗浄ノズルの少なくとも一つに供給する洗浄液供給機構と、
をさらに備える基板洗浄装置。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR102249453B1 (ko) * | 2020-07-24 | 2021-05-07 | 주식회사 미래티이씨 | 반도체 기판의 세정방법 및 이를 위한 반도체 세정 시스템 |
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2012
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JP6047359B2 (ja) | 2016-12-21 |
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