JP2014058723A - イオン注入装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 イオン注入装置は、真空チャンバ11と、フィルム2が外周部の一部に巻き付けられる電極ロール13と、電極ロールに電圧を印加する電圧印加手段21と、真空チャンバ内にガスを導入するガス導入手段31を備え、電圧印加手段により電極ロールに電圧を印加すると共に、ガス導入手段によりガスを導入してプラズマを形成し、フィルムの表面にイオン注入処理を行うイオン注入装置において、電極ロールのフィルムが巻き付けられる面に対向して電極部材42が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明の実施形態について、図1、2を用いて説明する。
本実施形態にかかるイオン注入装置1Aは、実施形態1とは電極部材42Aの角度を調整することができるように構成されている点が異なっている。
実施形態3は、実施形態1とは、電極ロール13Bの長さ方向における長さを延長している点が異なる。
本実施例では、図1に示すイオン注入装置を用いて、フィルム:ポリエチレンテレフタレート(厚み25μm, 三菱樹脂製 T−100)、真空チャンバ内圧力:0.5Pa、イオン注入ガス:アルゴン、ガス流量:600sccm、直流電圧:―6kV、交流電圧周波数:2000Hz、電極ロール13と電極部材42との距離を60mm(一定の距離)で、交流電流の電力を変化させてイオン注入を行った場合の積算イオン電流を測定した。積算イオン電流は、オシロスコープ(横河電気株式会社製、DLM2022)により測定した。結果を図6に示す。
実施例1とは、交流電流の電力を一定(6000W)とし、直流電圧を変化させた点以外は同一の条件でイオン注入を行って、同一条件で積算イオン電流を測定した。結果を図7に示す。
比較例1として、電極部材を設けていない従来のイオン注入装置を用いて、実施例1と同一条件でイオン注入を行って積算イオン電流を測定した。結果を図6に示す。
比較例2としては、電極部材を設けていない従来のイオン注入装置を用いて、実施例2と同一条件でイオン注入を行って積算イオン電流を測定した。結果を図7に示す。
2 フィルム
3 対向電極
11 真空チャンバ
12 真空ポンプ
13、13A、13B 電極ロール
14 巻き出しロール
15 搬送ロール
16 巻き取りロール
17 アース
21 電圧印加手段
31 ガス導入手段
42、42A 電極部材
43 支持部
44 枠体
45 台座
46、46A 支持部材
51 柱状部材
52 回転部
53 回転軸
54 凸部
55 ガイド部材
56 溝
57 孔
61 延長部材
Claims (6)
- 真空チャンバと、フィルムが外周部の一部に巻き付けられる電極ロールと、該電極ロールに電圧を印加する電圧印加手段と、前記真空チャンバ内にガスを導入するガス導入手段を備え、
前記電圧印加手段により前記電極ロールに電圧を印加すると共に、前記ガス導入手段によりガスを導入してプラズマを形成し、前記フィルムの表面にイオン注入処理を行うイオン注入装置において、
前記電極ロールの前記フィルムが巻き付けられる面に対向して電極部材が設けられたことを特徴とするイオン注入装置。 - 前記電極部材は、前記電極ロールの周方向に沿うように設けられていることを特徴とする請求項1に記載のイオン注入装置。
- 前記電極部材は、複数枚の板状部材からなり、
前記電極ロールの周方向に沿ってそれぞれ離間して設けられていることを特徴とする請求項2に記載のイオン注入装置。 - 前記電極部材は、前記電極ロールの軸方向に亘って設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
- 前記電圧印加手段は、前記電極ロールの軸方向の端部に電圧を印加し、
前記電極部材は、電極ロールの軸方向における角度が可変であるように構成されたことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載のイオン注入装置。 - 前記電極ロールの端部には、前記電極ロールと同一径の延長部材が設けられていることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項に記載のイオン注入装置。
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