JP2014058389A - 長尺基材搬送装置、および、長尺基材位置調整方法 - Google Patents
長尺基材搬送装置、および、長尺基材位置調整方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】本発明は、複数の搬送ローラ3〜8を用いたロールツーロール方式で、可撓性の長尺基材11を搬送し、長尺基材11の表面に機能層のパターニング等の処理が行われる際には長尺基材11の搬送を停止させる長尺基材搬送装置100である。長尺基材搬送装置100は、パターニング等の処理を行う場所で、停止した長尺基材11における当該パターニング等の処理を行う部分の張力を維持し、長尺基材11におけるパターニング等の処理を行う部分に対して長手方向の前後それぞれの部分の長尺基材11の張力を低下させた後、長尺基材11におけるパターニング等の処理を行う部分の位置補正を行う。
【選択図】図1
Description
特に、有機EL素子は複数並べて大面積平面発光体とすることがあり、パターニング等の位置調整が悪いと平面発光体間の非発光部の幅が大きくなり、商品価値が低下するため、高精度の位置調整が求められている。
特に、有機EL素子をパターン成膜する場合、成膜部(パターン成膜部)は薄膜であり、前記成膜部にダメージを受けない様に、搬送ローラの機能層と接触する部分を窪ませて非接触にした段付きローラを使用することがあるが、この場合、張力が高いと基材が窪みに食い込み基材が動きにくくなるために、さらに位置補正を行いにくくなる。
巻取りロール1は、成膜等の処理後の長尺基材11をロール状に巻き取ったロール(元巻)である。
巻出しロール2は、成膜等の処理前の長尺基材11がロール状に巻かれているロール(元巻)である。
搬送ローラ3〜8は、巻取りロール1と巻出しロール2の間に位置し、搬送される長尺基材11が通過すべき経路をガイドするローラである。
例えば、搬送ローラ3〜8のうち、長尺基材11における機能層の成膜面に接触する搬送ローラ4,7(図1参照)は、長尺基材11におけるパターン成膜部に対応する部分が窪んで機能層と非接触になっている段付ローラであり、かつ、長尺基材11は、厚さが50〜200μmの樹脂フィルムであってもよい。その場合、従来技術では、段付ローラである搬送ローラ4,7の段の部分が長尺基材11に若干食い込むことになり、長尺基材11の位置補正のための動きをスムースに行うことが困難であるが、本実施形態の手法では、長尺基材11の位置補正時に、位置補正する部分の前後の張力を低下させることで、長尺基材11の位置補正のための動きをスムースに行うことが容易になる。また、厚さが50〜200μmという薄い樹脂フィルムの場合、強度の問題もあって高張力のまま位置補正を行うことが好ましくないが、本発明の手法により、低張力で樹脂フィルムにダメージを与えることなく位置補正を行うことができる。
また、テンター手段31は、8つでなくても、張力維持手段および位置補正手段として充分に機能できるのであれば、他の個数であってもよい。
また、長尺基材11の素材は、樹脂に限定されず、アルミ等の金属であってもよい。
また、ニップローラ9,10とテンター手段31とを併用してもよい。
その他、各部や各手段の具体的な構成について、本発明の主旨を逸脱しない範囲で適宜変更が可能である。
2 巻出しロール
3 搬送ローラ
4 搬送ローラ(張力低下手段)
5 搬送ローラ(張力維持手段、位置補正手段)
6 搬送ローラ(張力維持手段、位置補正手段)
7 搬送ローラ(張力低下手段)
8 搬送ローラ
9,10 ニップローラ(張力維持手段、位置補正手段)
11 長尺基材
12 第1電極
13 有機層
14 第2電極
21,22 位置センサ
31 テンター手段(張力維持手段、位置補正手段)
41 有機EL素子
100 長尺基材搬送装置
Claims (12)
- 複数の搬送ローラを用いたロールツーロール方式で、可撓性の長尺基材を搬送し、前記長尺基材の表面に機能層のパターニング等の処理が行われる際には前記長尺基材の搬送を停止させる長尺基材搬送装置であって、
前記パターニング等の処理を行う場所で、停止した前記長尺基材における当該パターニング等の処理を行う部分の張力を維持する張力維持手段と、
前記長尺基材における前記パターニング等の処理を行う部分に対して長手方向の前後それぞれの部分の前記長尺基材の張力を低下させる張力低下手段と、
前記張力低下手段による前記前後それぞれの部分の張力の低下の後、前記長尺基材における前記パターニング等の処理を行う部分の位置補正を行う位置補正手段と、を備える
ことを特徴とする長尺基材搬送装置。 - 前記張力維持手段は、前記パターニング等の処理を行う場所における前記長尺基材の長手方向の両端それぞれに配置された、前記長尺基材を挟持する部材である
ことを特徴とする請求項1に記載の長尺基材搬送装置。 - 前記張力維持手段および前記位置補正手段は、前記パターニング等の処理を行う場所における前記長尺基材の長手方向の両端それぞれに配置された、前記長尺基材を挟持する部材としての前記搬送ローラとニップローラである
ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の長尺基材搬送装置。 - 前記張力維持手段および前記位置補正手段は、前記パターニング等の処理を行う場所における前記長尺基材の幅方向の両端それぞれに配置された、前記長尺基材を挟持するテンター手段である
ことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の長尺基材搬送装置。 - 前記複数の搬送ローラのうち、前記長尺基材における前記パターニング等の処理を行う面に接する前記搬送ローラは、前記長尺基材におけるパターン成膜部に対応する部分が窪んで非接触になっている段付ローラであり、
前記長尺基材は、厚さが50〜200μmの樹脂フィルムである
ことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の長尺基材搬送装置。 - 前記長尺基材の表面に機能層のパターニング等の処理が行われることで、有機EL(Electro-Luminescence)素子が製造される
ことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の長尺基材搬送装置。 - 複数の搬送ローラを用いたロールツーロール方式で、可撓性の長尺基材を搬送し、前記長尺基材の表面に機能層のパターニング等の処理が行われる際には前記長尺基材の搬送を停止させる長尺基材搬送装置による長尺基材位置調整方法であって、
前記長尺基材搬送装置において、
張力維持手段が、前記パターニング等の処理を行う場所で、停止した前記長尺基材における当該パターニング等の処理を行う部分の張力を維持し、
張力低下手段が、前記長尺基材における前記パターニング等の処理を行う部分に対して長手方向の前後それぞれの部分の前記長尺基材の張力を低下させ、
位置補正手段が、前記張力低下手段による前記前後それぞれの部分の張力の低下の後、前記長尺基材における前記パターニング等の処理を行う部分の位置補正を行う
ことを特徴とする長尺基材位置調整方法。 - 前記張力維持手段は、前記パターニング等の処理を行う場所における前記長尺基材の長手方向の両端それぞれに配置された、前記長尺基材を挟持する部材である
ことを特徴とする請求項7に記載の長尺基材位置調整方法。 - 前記張力維持手段および前記位置補正手段は、前記パターニング等の処理を行う場所における前記長尺基材の長手方向の両端それぞれに配置された、前記長尺基材を挟持する部材としての前記搬送ローラとニップローラである
ことを特徴とする請求項7または請求項8に記載の長尺基材位置調整方法。 - 前記張力維持手段および前記位置補正手段は、前記パターニング等の処理を行う場所における前記長尺基材の幅方向の両端それぞれに配置された、前記長尺基材を挟持するテンター手段である
ことを特徴とする請求項7から請求項9のいずれか一項に記載の長尺基材位置調整方法。 - 前記複数の搬送ローラのうち、前記長尺基材における前記パターニング等の処理を行う面に接する前記搬送ローラは、前記長尺基材におけるパターン成膜部に対応する部分が窪んで非接触になっている段付ローラであり、
前記長尺基材は、厚さが50〜200μmの樹脂フィルムである
ことを特徴とする請求項7から請求項10のいずれか一項に記載の長尺基材位置調整方法。 - 前記長尺基材の表面に機能層のパターニング等の処理が行われることで、有機EL(Electro-Luminescence)素子が製造される
ことを特徴とする請求項7から請求項11のいずれか一項に記載の長尺基材位置調整方法。
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