JP2014057048A - 原子層堆積装置、発光装置の製造方法及び発光装置の色度調整方法 - Google Patents
原子層堆積装置、発光装置の製造方法及び発光装置の色度調整方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】ALD装置50は、成膜室51と、給気部52と、排気装置53と、載置台57と、制御部58と、を備える。載置台57上に発光装置としての半完成品100が塔載される。この状態で、ALD装置50は、予め測定された半完成品100についての色度測定結果に基づき、半完成品100の透明樹脂17上に、透光性を有するとともに半完成品100から出射される光のうち所定の波長の光を反射する透明膜18を形成する。
【選択図】図9
Description
排気装置を具備する成膜室と、
前記成膜室内部に原料ガスを供給する給気部と、
前記成膜室内部の所定の位置に発光装置を設置する手段を備え、
予め測定された前記発光装置の色度測定結果に基づき、
前記発光装置上に、透光性を有するとともに前記発光装置から出射される光のうち所定の波長の光を反射する反射膜を形成する、
ことを特徴とする。
複数色の光を混合して発する発光体と、
前記発光体を封止するように形成され、透光性を有する透光部材を備え、
前記透光部材の屈折率よりも、前記反射膜の屈折率が大きい、
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
こととしてもよい。
前記光特性測定装置は、
前記発光装置の導電体に接続する接続端子と、
前記接続端子に接続する電源と、
前記発光装置に対向配置され、前記発光装置が出射する光を受光するプローブと、
前記プローブに接続され、前記プローブが受光した光を測定する測定装置と、を備える、
こととしてもよい。
発光素子を塔載する塔載工程と、
前記発光素子からの光によって励起され蛍光を発する蛍光体を含有する透光部材で前記発光素子を封止する封止工程と、
前記発光素子に発光させ、前記蛍光との混合光の色度を測定する測定工程と、
測定された色度に基づいて、前記透光部材上に、透光性を有するとともに前記混合光のうち所定の波長の光を反射する反射膜を形成する反射膜形成工程と、を備え、
前記反射膜をALD(Atomic Layer Deposition)法により形成する、
ことを特徴とする。
こととしてもよい。
発光体が発する複数色の混合光を出射し、出射面に透光部材が形成された発光装置の色度調整方法であって、
前記発光装置が出射する光の色度を測定し、
前記色度に基づいて、前記透光部材の表面に、透光性を有するとともに前記発光体が発する光のうち所定の波長の光を反射する反射膜をALD(Atomic Layer Deposition)法により形成する、
ことを特徴とする。
等しい色度範囲の前記発光装置を同時に処理する、
こととしてもよい。
図1に発光装置10を示す。発光装置10は、導電体12a,12bと、LED素子13と、ワイヤ14a,14bと、封止樹脂15と、蛍光体16と、透明樹脂17と、透明膜18と、を備える。発光装置10は、いわゆる砲弾型の発光装置である。
第1実施形態では透明膜18が形成される前の発光装置を便宜上半完成品100として説明した。この他に、本実施形態のようにいわゆる完成品の発光装置に対しても色度の調整をすることができる。
前述の各実施形態では、1つの対象物(完成品又は半完成品)に対して透明膜18を成膜する例について説明した。この他にも、本実施形態のように複数の対象物をまとめてALD法によって透明膜18を成膜することとしてもよい。なお、本実施形態以降では対象物を第1実施形態で説明したような半完成品100として説明するが、前述のように完成品を対象物としてもよい。
前述の各実施形態では、半完成品100又は発光装置10の色度の測定工程と透明膜18の形成工程とをそれぞれ別の光特性測定装置40及びALD装置50を用いて行った。この他にも本実施形態のように、両者の装置の機能を1つの室内で行うこととしてもよい。
図16に、色度測定と透明膜の成膜を同時に行う例を示す。成膜装置75は、成膜室81と、電源42と、プローブ43と、測定装置44と、給気部/排気部82と、載置台87と、制御部78と、を備える。給気部/排気部82に代えて、図9のように給気部52と排気装置53とを備えることとしてもよい。制御部78は、成膜装置75における色度測定と透明膜の成膜との全般を制御する。
図18にALD装置80を用いる実施形態を示す。ALD装置80は、成膜室81と、給気部82〜84と、排気装置85と、ガスシャワー86と、成膜対象となる半完成品100を搭載する載置台87と、RF(Radio Frequency:高周波)電源88と、制御部89と、を備える。給気部82〜84及び排気装置85は成膜室81に連設されている。制御部89は、CPU、RAM及びROM等から構成されており、ALD装置80の動作全般を制御する。
11,21 基板
12a,12b,22a,22b 導電体
13,23 LED素子
13a,13b 電極
14a,14b,24a,24b ワイヤ
15,25 封止樹脂
16,26 蛍光体
17 透明樹脂
18,28 透明膜
19,29 反射部
31 ボンディング装置
32,34 ノズル
33 モールド型
40 光特性測定装置
41 光特性測定室
42 電源
43 プローブ
44 測定装置
45 駆動機構
46 アーム
47,57,87 載置台
48,58,78,89 制御部
50,80 ALD装置
51,81 成膜室
52,82,83,84 給気部(又は給気部/排気部)
53,85 排気装置
56 移載機
70,75 成膜装置
71 処理室
86 ガスシャワー
88 RF電源
90 光ファイバ
91 検出部
100 半完成品
Claims (11)
- 排気装置を具備する成膜室と、
前記成膜室内部に原料ガスを供給する給気部と、
前記成膜室内部の所定の位置に発光装置を設置する手段を備え、
予め測定された前記発光装置の色度測定結果に基づき、
前記発光装置上に、透光性を有するとともに前記発光装置から出射される光のうち所定の波長の光を反射する反射膜を形成する、
ことを特徴とする原子層堆積装置。 - 前記発光装置は、
複数色の光を混合して発する発光体と、
前記発光体を封止するように形成され、透光性を有する透光部材を備え、
前記透光部材の屈折率よりも、前記反射膜の屈折率が大きい、
ことを特徴とする請求項1に記載の原子層堆積装置。 - 前記透光部材の屈折率と前記反射膜の屈折率との差が0.3以上である、
ことを特徴とする請求項2に記載の原子層堆積装置。 - 前記発光体は、青色光を発する発光ダイオード素子と前記青色光に励起されて蛍光を発する蛍光体とを備える、
ことを特徴とする請求項2又は3に記載の原子層堆積装置。 - 前記透光部材は砲弾型の形状を有する、
ことを特徴とする請求項2乃至4のいずれか1項に記載の原子層堆積装置。 - 前記反射膜の材料は、TiO2、ZnO、Ta2O5、Nb2O5、ZrO2、HfO2及びAl2O3からなる群から選択された1種の材料である、
ことを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の原子層堆積装置。 - 前記発光装置の色度を測定する光特性測定装置を備え、
前記光特性測定装置は、
前記発光装置の導電体に接続する接続端子と、
前記接続端子に接続する電源と、
前記発光装置に対向配置され、前記発光装置が出射する光を受光するプローブと、
前記プローブに接続され、前記プローブが受光した光を測定する測定装置と、を備える、
ことを特徴とする請求項1に記載の原子層堆積装置。 - 発光素子を塔載する塔載工程と、
前記発光素子からの光によって励起され蛍光を発する蛍光体を含有する透光部材で前記発光素子を封止する封止工程と、
前記発光素子に発光させ、前記蛍光との混合光の色度を測定する測定工程と、
測定された色度に基づいて、前記透光部材上に、透光性を有するとともに前記混合光のうち所定の波長の光を反射する反射膜を形成する反射膜形成工程と、を備え、
前記反射膜をALD(Atomic Layer Deposition)法により形成する、
ことを特徴とする発光装置の製造方法。 - 前記封止工程によって形成された複数個の封止体を同一の処理室内に設置し前記反射膜形成工程に供する、
ことを特徴とする請求項8に記載の発光装置の製造方法。 - 発光体が発する複数色の混合光を出射し、出射面に透光部材が形成された発光装置の色度調整方法であって、
前記発光装置が出射する光の色度を測定し、
前記色度に基づいて、前記透光部材の表面に、透光性を有するとともに前記発光体が発する光のうち所定の波長の光を反射する反射膜をALD(Atomic Layer Deposition)法により形成する、
ことを特徴とする発光装置の色度調整方法。 - 予め測定された前記発光装置の色度に基づいて、前記発光装置をグループ分けし、
等しい色度範囲の前記発光装置を同時に処理する、
ことを特徴とする請求項10に記載の発光装置の色度調整方法。
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