JP2014056924A - 半導体装置の製造方法及びそれに用いる熱硬化性樹脂組成物並びにそれらにより得られる半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 薄型で反りが小さく放熱性に優れた半導体装置を低コストで効率よく製造、それに用いる熱硬化性樹脂組成物を提供する。
【解決手段】 (I)支持体上に仮固定層を形成後、電極突起を有する半導体素子を、半導体素子の受動面(裏面)と仮固定層が貼り合わさるよう配置、(II)半導体素子の能動面(表面)を熱硬化性樹脂組成物で封止し、第一の絶縁層を形成、(III)支持体と仮固定層をはく離し、受動面(裏面)を露出、(IV)能動面(表面)上の第一の絶縁層を研削し、電極突起の一部を露出、(V)第一の絶縁層上にシード層を形成、(VI)シード層上にレジスト形成、露光、現像を施してパターンを形成、(VII)めっき法で配線パターンを形成し、レジストパターンを除去、(VIII)シード層を除去、(IX)配線パターン上に第二の絶縁層を形成し、開口を形成、(X)外部接続用端子を形成する工程を、備える。
【選択図】 図5
【解決手段】 (I)支持体上に仮固定層を形成後、電極突起を有する半導体素子を、半導体素子の受動面(裏面)と仮固定層が貼り合わさるよう配置、(II)半導体素子の能動面(表面)を熱硬化性樹脂組成物で封止し、第一の絶縁層を形成、(III)支持体と仮固定層をはく離し、受動面(裏面)を露出、(IV)能動面(表面)上の第一の絶縁層を研削し、電極突起の一部を露出、(V)第一の絶縁層上にシード層を形成、(VI)シード層上にレジスト形成、露光、現像を施してパターンを形成、(VII)めっき法で配線パターンを形成し、レジストパターンを除去、(VIII)シード層を除去、(IX)配線パターン上に第二の絶縁層を形成し、開口を形成、(X)外部接続用端子を形成する工程を、備える。
【選択図】 図5
Description
本発明は、半導体装置の製造方法及びそれに用いる熱硬化性樹脂組成物並びにそれらにより得られる半導体装置に関する。より詳しくは、小型化及び薄型化の要求が高いウェハレベル半導体装置を低コストで効率よく、再配線形成を行うことができる製造方法に関する。
電子機器の高機能化に伴って、半導体装置の小型化及び薄型化が進んでいる。近年、半導体装置の軽薄短小化は留まるところを知らず、半導体素子とほぼ同じ大きさのウェハレベルの半導体装置や、半導体装置の上に半導体装置を積むパッケージ・オン・パッケージといった実装形態も盛んに行われており、今後、ますます半導体装置の小型化及び薄型化が進むと予想される。
ところで、ウェハレベルの半導体装置はウェハ上に再配線層を形成し、はんだボールなどの外部接続用の端子を設けた後、ダイシングによって個片化することで得られる。端子数が数10ピンから100ピン程度の場合は、ウェハ上にはんだボールなどの外部接続用の端子を設けることが可能である。
しかしながら、半導体素子の微細化が進展し、端子数が100ピン以上に増加してくると、ウェハ上のみに再配線層を形成し、外部接続用端子を設けることが難しくなる。無理に外部接続用の端子を設けた場合、端子間のピッチが狭くなるとともに、端子高さが低くなり、半導体装置を実装した後の接続信頼性の確保が難しくなる。このため、半導体素子の微細化、つまりは外部接続端子数の増加への対応が求められている。最近では、ウェハを所定サイズに個片化し、再配置することで、半導体素子の外側にも外部接続用の端子を設けることができる半導体装置の開発が進められている(例えば特許文献1〜4参照)。
特許文献1〜4に記載されている半導体装置は、ウェハを所定サイズに個片化し、個片化した半導体装置を再配置するため、ウェハ上に再配線するよりも再配線領域を広く確保することができ、半導体素子の多ピン化に対応することが可能となる。
図1〜4は、従来の半導体装置の製造方法を示す図である。図4(r)に示す半導体装置は、半導体素子の再配置、封止、再配線層形成、配線形成、外部接続端子の形成、個片化などの工程を経て得られる。
支持体の片側に仮固定用フィルムを貼り合せる(図1(a)参照)。次いで、半導体素子を所定の間隔で能動面(表面;回路が形成された面)が仮固定用フィルムに貼り合わさるように再配置する(図1(b)参照)。次いで、半導体素子を覆うように封止材で封止する(図1(c)参照)。封止後、所定の温度及び時間で後硬化を行う。次いで、所定温度に設定されたホットプレート上に載せ、支持体を取り外す(図1(d)参照)。次いで、仮固定用フィルムをはく離し、半導体素子の能動面(表面)を露出させる(図1(e)参照)。次いで、半導体素子の能動面に塗布型の感光性樹脂組成物をスピンコートし、ホットプレート上で熱硬化させる(図2(f)参照)。次いで、所定の箇所を露光・現像処理し、オーブンで後硬化する(図2(g)参照)。次いで、スパッタによりシード層を形成する(図2(h)参照)。上記シード層上に回路形成用レジストを塗布、またはラミネートし、所定の箇所を露光、現像処理する(図2(j)参照)。次いで、電気めっき法により配線パターンを形成する(図2(k)参照)。次いで、はく離液により回路形成用レジストを除去する(図3(m)参照)。次いで、上記シード層をエッチングにより除去する(図3(n)参照)。次いで、感光性樹脂組成物を再度スピンコートし、80℃程度のホットプレート上で熱硬化させ、所定の箇所を露光・現像処理した後、オーブンで後硬化する(図4(p)参照)。次いで、はんだボールをリフロー搭載する。最後に、ダイシング個片化することで、半導体装置を作製することができる(図4(r)参照)。
このようにして得られた半導体装置は、小型化及び薄型化が可能であるため、高機能化・多機能化が進むスマートフォンやタブレット端末等の電子機器に好適である。しかしながら、このような方法で製造された半導体装置は、製造工程が複雑であること、半導体素子の受動面(裏面)が封止されているため反りが生じ易いこと、更なる薄型化への対応が困難であること、放熱に不向きであること、等の問題があった。
本発明は、上記課題に鑑みてなされたものであり、薄型化が可能で、反りが小さく、放熱性に優れた半導体装置を、効率的に製造する方法を提供することを目的とする。また、本発明は下記方法によって製造された半導体装置、並びに、半導体装置を製造するのに適した熱硬化性樹脂組成物を提供することを目的とする。
本発明は、
(I)支持体上に仮固定層を形成後、電極突起を有する少なくとも1つ以上の半導体素子を、半導体素子の受動面(裏面、電極突起が形成された面の反対面)と仮固定層が貼り合わさるように配置する工程と、
(II)前記少なくとも1つ以上の半導体素子の能動面(表面、電極突起が形成された面)を覆うように、熱硬化性樹脂組成物で封止し、第一の絶縁層を形成する工程と、
(III)支持体と仮固定層をはく離し、半導体素子の受動面(裏面)を露出させる工程と、
(IV)半導体素子の能動面(表面)上の熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層を研削し、前記電極突起の一部を露出する工程と、
(V)熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層上にシード層を形成する工程と、
(VI)シード層上に回路形成用レジストを形成し、露光処理及び現像処理を施して再配線用のレジストパターンを形成する工程と、
(VII)めっき法により配線パターンを形成し、はく離処理によりレジストパターンを除去する工程と、
(VIII)シード層を除去する工程と、
(IX)配線パターン上に第二の絶縁層を形成し、配線パターンにまで至る開口を形成する工程と、
(X)外部接続用端子を形成する工程を、備える半導体装置の製造方法である。
(I)支持体上に仮固定層を形成後、電極突起を有する少なくとも1つ以上の半導体素子を、半導体素子の受動面(裏面、電極突起が形成された面の反対面)と仮固定層が貼り合わさるように配置する工程と、
(II)前記少なくとも1つ以上の半導体素子の能動面(表面、電極突起が形成された面)を覆うように、熱硬化性樹脂組成物で封止し、第一の絶縁層を形成する工程と、
(III)支持体と仮固定層をはく離し、半導体素子の受動面(裏面)を露出させる工程と、
(IV)半導体素子の能動面(表面)上の熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層を研削し、前記電極突起の一部を露出する工程と、
(V)熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層上にシード層を形成する工程と、
(VI)シード層上に回路形成用レジストを形成し、露光処理及び現像処理を施して再配線用のレジストパターンを形成する工程と、
(VII)めっき法により配線パターンを形成し、はく離処理によりレジストパターンを除去する工程と、
(VIII)シード層を除去する工程と、
(IX)配線パターン上に第二の絶縁層を形成し、配線パターンにまで至る開口を形成する工程と、
(X)外部接続用端子を形成する工程を、備える半導体装置の製造方法である。
上記半導体装置の製造方法の特徴は、半導体素子の受動面(裏面)と仮固定層が貼り合わさるように配置し、熱硬化性樹脂組成物で封止することによって、半導体素子を封止する工程と、半導体素子の能動面(表面)上に第一の絶縁層を形成する工程とを、一括で行うところにある。また、仮固定層をはく離することで、半導体素子の受動面(裏面)を容易に露出できる点も大きな特長となっている。また、半導体素子の能動面(表面)上に電極突起が形成されているため、封止厚みを制御し易いという特長がある。更に、電極突起を層間接続用導体(ビア)として使用できるという特長がある。かかる方法によれば、図1〜4に示したように、従来の半導体装置の製造方法と比較して、半導体装置を低コストで効率よく形成できる。なお、本発明に用いる熱硬化性樹脂組成物は、液状、粉状、タブレット状及びフィルム状のいずれも適用可能であるが、半導体素子の能動面(表面)上の絶縁層の厚みを精度良く制御するには、予め厚みを管理しているフィルム状の熱硬化性樹脂組成物が好適である。
上記半導体装置の製造方法において、上記(II)における熱硬化性樹脂組成物の封止温度は、50〜140℃であり、且つ加熱時間が10〜300秒の範囲であることが好ましい。
また、上記(II)の工程における熱硬化性樹脂組成物の封止圧力は、0.2〜2.0MPaの範囲であることが好ましい。
上記(II)の工程における、熱硬化性樹脂組成物の厚みT2が50〜750μmであることが好ましい。また、熱硬化性樹脂組成物層の厚みT2と半導体素子の厚みT1の差(T2−T1)が5〜50μmの範囲であることが好ましい。
また、本発明は、上記半導体装置の製造方法により得られる半導体装置であり、薄型化が可能で、反りが小さく、放熱性に優れたウェハレベル半導体装置を低コストで効率よく提供する。
さらに、本発明は、上記半導体装置の製造方法において使用される熱硬化性樹脂組成物であって、前記熱硬化性樹脂組成物が、
エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂及び熱硬化性ポリイミド樹脂からなる群より選択される少なくとも一種を含む樹脂と、
最大粒径が5μm以下で、平均粒径が1μm以下の無機フィラーとを含有する熱硬化性樹脂組成物を提供する。
そして、本発明は、上記の熱硬化性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥して得られる熱硬化性樹脂フィルムを提供する。
エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂及び熱硬化性ポリイミド樹脂からなる群より選択される少なくとも一種を含む樹脂と、
最大粒径が5μm以下で、平均粒径が1μm以下の無機フィラーとを含有する熱硬化性樹脂組成物を提供する。
そして、本発明は、上記の熱硬化性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥して得られる熱硬化性樹脂フィルムを提供する。
なお、ここでいう無機フィラーの最大粒径及び平均粒径は、日機装株式会社製の動的光散乱式ナノトラック粒度分布計「UPA−EX150」(日機装株式会社製)又はレーザ回折散乱式マイクロトラック粒度分布計「MT−3100」(日機装株式会社製)を用いて測定した値を意味する。
本発明によれば、半導体素子を封止する工程と、半導体素子の能動面(表面)上に第一の絶縁層を形成する工程とを一括で行うことができ、仮固定層をはく離することにより半導体素子の受動面(裏面)を容易に露出でき、薄型化が可能で、反りが小さく、放熱性に優れたウェハレベル半導体装置を低コストで効率よく提供することができる。
以下、図面を参照しながら本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。以下の説明では、同一又は相当部分には同一符号を付し、重複する説明は省略する。また、上下左右等の位置関係は、特に断らない限り、図面に示す位置関係に基づくものとする。更に、図面の寸法比率は図示の比率に限られるものではない。
ここでは、図5(a)に示す態様から、図8(t)に示す半導体装置を製造する方法について説明する。なお、本発明の半導体装置の製造方法は、小型化及び薄型化が進むウェハレベル型半導体装置の形態において特に好適である。
図5〜8を参照しながら、半導体装置の製造方法について説明する。まず、支持体1の片側に仮固定用フィルム2を貼り合せる(図5(a))。次いで、図5(b)に示すように電極突起3aを形成した半導体素子3を所定の間隔で半導体素子3の受動面(裏面)が仮固定用フィルム2に貼り合わさるように再配置する((I)工程)。電極突起3aは導電性を有していれば特に限定するものではなく、ポリマーバンプやスタッドバンプ、はんだバンプや金属ポストなどを用いることができる。特に半導体素子の電極突起としは、銅ポストが好適に用いられる。支持体1の材質は特に限定されないが、熱による寸法変化が小さいSUS板やシリコンウェハなどが好適である。同様に厚みも特に限定するものではないが、反り抑制が可能な0.5mm以上の厚みが好適である。仮固定用フィルム2についても特に限定するものでなく、市販されており一般に入手可能な材料で構わない。仮固定用フィルムに耐熱性が必要な場合には、例えば、特開2010−254808号公報に記載のジアミン化合物と、芳香族多価カルボン酸化合物との重縮合反応によって得られる、アミド結合又はイミド結合を有する特定の構造を有する重合体フィルムを用いることができる。
次いで、図5(c)に示すように、少なくとも1つ以上の半導体素子3を覆うように熱硬化性樹脂組成物(第一の絶縁層)4で封止する((II)工程)。このとき、半導体素子3の能動面(表面)上に熱硬化性樹脂組成物4からなる第一の絶縁層を形成する。第一の絶縁層を形成する工程では、熱硬化性樹脂組成物4が液状の場合は公知のコンプレッションモールドにより封止する工程やスピンコータで塗布する工程を経ることにより、第一の絶縁層を半導体素子3の能動面(表面)上に形成させる。タブレット状の場合は、公知のコンプレッションモールドにより封止する工程やトランスファーモールドにより射出成型する工程を経ることにより形成させる。フィルム状の場合は、公知の真空ラミネータ、ロールラミネータ、プレス機などにより貼り合わせる工程を経ることにより形成させる。熱硬化性樹脂組成物4の形態は上記液状、タブレット状、フィルム状のいずれでも構わないが、厚みを精度良く制御するには、予め厚みを管理しているフィルム状のものを好適に用いることができる。熱硬化性樹脂組成物4の封止温度は、好ましくは50〜140℃であり、より好ましくは70〜100℃である。封止温度が50℃未満の場合、充分に樹脂を充填することが困難となる傾向がある。他方、140℃を超えて高い場合、封止後にPETなどの支持体をはく離することが難しくなるという事情がある。熱硬化性樹脂組成物4の封止時間は、好ましくは10〜300秒であり、より好ましくは30〜120秒である。封止時間が10秒未満の場合、充分に樹脂を充填することが困難となる傾向がある。他方、300秒を超えて長い場合、生産性が低下し、コスト低減を図ることが難しくなるという事情がある。熱硬化性樹脂組成物4の封止圧力は、好ましくは0.2〜2.0MPaであり、より好ましくは、0.2〜1.0MPaである。封止圧力が0.2MPa未満の場合、充分に樹脂を充填することが困難となる傾向がある。他方、2.0MPaを超えて高い場合、半導体素子の能動面(表面)上に、充分な厚みの絶縁層を形成することが難しくなるという事情がある。次いで、所定の温度及び時間で後硬化を行う。後硬化温度は特に限定するものではないが、好ましくは120〜200℃であり、より好ましくは150〜180℃である。後硬化時間についても特に限定するものではないが、好ましくは15〜180分であり、より好ましくは30〜120分である。
熱硬化性樹脂組成物4からなる絶縁層の厚みT2は、好ましくは50〜750μmであり、より好ましくは100〜500μmである(図5(c)参照)。絶縁層の厚みT2が50μm未満の場合、薄いフィルム状の熱硬化性樹脂組成物を成膜することが難しくなるという事情がある。他方、750μmを超えて厚い場合、半導体装置の厚みが厚くなり、本発明の趣旨と合わなくなる。
熱硬化性樹脂組成物4からなる第一の絶縁層の厚みT2と半導体素子の厚みT1の差(T2−T1)は、好ましくは5〜50μmの範囲であり、より好ましくは10〜30μmの範囲である(図5(b)、(c)参照)。(T2−T1)が5μm未満と薄い場合、半導体素子3上に均一な厚みの絶縁層を形成することが困難となる傾向がある。他方、50μmを超えて厚い場合、半導体素子3に厚い金属(電極)突起3aを設けることが困難になるという事情がある。
次いで、図6(d)、及び(e)に示すように、所定温度に設定されたホットプレート上に載せ、支持体1、及び仮固定用フィルム2を取り外す((III)工程)。ホットプレートの温度は特に限定するものではなく、仮固定用フィルム2の特性に合った温度を選択することができる。
次いで、図6(f)に示すように、第一の絶縁層表層の研削により、熱硬化性樹脂組成物4からなる第一の絶縁層から、電極突起3aを露出させる((IV)工程)。アルカリ処理により研削する場合、使用するアルカリ処理液は特に限定するものではなく、デスミア処理液やレジストはく離液などを用いることができる。研削厚みに応じて、pHを調整することもできる。アルカリ処理(デスミア処理)は、例えば、過マンガン酸ナトリウム液、水酸化ナトリウム液、過マンガン酸カリウム液、クロム液、硫酸などの混合液に被処理基板を浸漬することによって実施できる。具体的には、熱湯や所定の膨潤液を用いて被処理基板を膨潤処理した後、過マンガン酸ナトリウム液等で残渣等を除去し、還元(中和)を行った後、水洗、湯洗、乾燥を行う。1回の処理を行っても充分な粗化及び残渣除去の効果が得られない場合は複数回処理を行ってもよい。なお、デスミア処理は上記のものに限定されない。また、デスミア処理後に、再度、熱硬化性樹脂組成物の熱硬化を行ってもよい。再度の熱硬化は、用いる熱硬化性樹脂によっても効果は異なるが、熱硬化を充分に行い、未反応物を減少させること、ガラス転移温度を上げることができるだけでなく、低熱膨張化を図ることができるからである。第一の絶縁層表層は、CMP(Chemical Mechanical Polishing)等の化学機械研磨により研削しても構わない。
次いで、図6(g)に示すように、熱硬化性樹脂組成物4からなる第一の絶縁層上に無電解銅めっき処理などによりシード層5を設ける((V)工程)。シード層5の厚みは特に制限はないが、通常0.1〜1.0μmが好ましく使用される。シード層5の形成は、無電解銅めっき法の他に、スパッタ法を用いてもよく、銅を蒸着する前にTiを蒸着するなど、形成層を種々選択することができる。
次いで、シード層上に回路形成用レジスト6をラミネートし、マスクパターンを通して活性光線を照射することにより、回路形成用レジストの所定部分を露光し、露光部の回路形成用レジスト6を光硬化させる((VI)工程の露光処理)。活性光線の光源としては、公知の光源を用いることができるが、例えば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、超高圧水銀灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線を有効に放射するものを使用できる。また、直接描画方式のダイレクトレーザ露光を用いてもよい。露光量は使用する装置や回路形成用レジスト6の組成によって異なるが、好ましくは10〜600mJ/cm2であり、より好ましくは20〜400mJ/cm2である。露光量が10mJ/cm2未満であると光硬化が不充分となりやすく、他方、600mJ/cm2を超えると光硬化が過剰となり、回路形成用レジスト6の開口形状を安定して得ることが困難となる傾向となる。回路形成用レジスト6は液状、フィルム状のいずれも用いることができる。液状の場合は、印刷機を用いて塗布することができる。フィルム状の場合はロールラミネータや真空ラミネータを用いて貼り付けることができる。
次いで、現像により露光部以外の回路形成用レジスト6を除去することで、図6(h)に示すようにレジストパターンを形成する((VI)工程の現像処理)。このときに用いる現像液としては、例えば、20〜50℃の炭酸ナトリウムの希薄溶液(1〜5質量%水溶液)等のアルカリ現像液が用いられ、スプレー、揺動浸漬、ブラッシング及びスクラッピング等の公知の方法により現像する。
次いで、図7(j)に示すように、めっき法により、シード層5上に銅の配線パターン7を形成する。めっき法は、電気めっき、無電界めっき、それらを組合わせためっき等のいずれであってもよい。電気めっき法が、めっき時間が少なくてよいので好ましい。配線パターン7は1〜20μmの厚みが好ましい。次いで、図7(k)に示すように、はく離液により、回路形成用レジスト(レジストパターン)6をはく離し除去した((VII)工程)。
次いで、図7(m)に示すように、エッチング液により第一絶縁層表面に露出しているシード層5を除去する((XIII)工程)。
次いで、図8(n)に示すように、配線パターン7上に第二の絶縁層8を形成する。第二の絶縁層8は特に限定するものではなく、液状でもフィルム状でも構わない。また、第二の絶縁層8は感光性樹脂組成物でも熱硬化性樹脂組成物でも構わない。感光性樹脂組成物の形成方法は、公知の露光・現像処理により図8(p)に示すように、配線パターン7にまで至る開口を形成することができる((IX)工程)。一方、熱硬化性樹脂組成物の形成方法は、公知の炭酸ガスレーザー等の処理により形成することができる。
次いで、図8(r)に示すように第二の絶縁層8に設けた開口から露出した配線パターン7上に無電解ニッケルと金めっき9を行うことができる。特にめっき厚みは限定するものではないが、ニッケルめっき厚は1〜10μm、金めっき厚は0.1μm程度が好ましい。
次いで、図8(s)に示すように、第二の絶縁層の開口部に外部接続用端子10としての導電材料を形成する((X)工程)。導電材料は、特に限定されるものではないが、環境保全の観点から、Sn−Ag系やSn−Ag−Cu系のはんだを使用することが好ましい。回路形成用レジストを用いて、銅ポストを形成しても構わない。
次いで、ダイサーを用いてダイシング個片化することで、図8(t)に示すような半導体装置を得ることができる。
このようにして得られた本発明の半導体装置の製造方法で得られる半導体装置は、小型化及び薄型化が進むウェハレベルの半導体装置において特に好適である。
次に、上述の半導体装置の製造に用いられる熱硬化性樹脂組成物について詳細に説明するが、本発明はこれらの樹脂組成物に限定されるものではない。
熱硬化性樹脂組成物は、エポキシ樹脂、シアネート樹脂、フェノール樹脂、ポリアミドイミド樹脂及び熱硬化性ポリイミド樹脂からなる群より選択される少なくとも一種を含む樹脂と、最大粒径が5μm以下で、平均粒径が1μm以下の無機フィラーとを含む。
エポキシ樹脂としては、分子内に1つ以上のグリシジル基を有するエポキシ樹脂が好ましい。無機フィラーの充填量は、好ましくは0〜90質量%の範囲、より好ましくは20〜70質量%の範囲、更に好ましくは30〜60質量%である。
エポキシ樹脂は、2個以上のグリシジル基を持つエポキシ樹脂ならば、すべて使用することができるが、好適には、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ノボラックフェノール型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ビスフェノールSジグリシジルエーテル等のビスフェノールS型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、ビキシレノールジグリシジルエーテル等のビキシレノール型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールAグリシジルエーテル等の水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、及びそれらの二塩基酸変性ジグリシジルエーテル型エポキシ樹脂などであり、単独、又は2種以上組み合わせて用いることができる。
市販のエポキシ樹脂としては、DIC株式会社製EXA4700(4官能ナフタレン型エポキシ樹脂)、日本化薬株式会社製NC−7000(ナフタレン骨格含有多官能固形エポキシ樹脂)等のナフタレン型エポキシ樹脂;日本化薬株式会社EPPN−502H(トリスフェノールエポキシ樹脂)等のフェノール類とフェノール性水酸基を有する芳香族アルデヒドとの縮合物のエポキシ化物(トリスフェノール型エポキシ樹脂);DIC株式会社製エピクロンHP−7200H(ジシクロペンタジエン骨格含有多官能固形エポキシ樹脂)等のジシクロペンタジエンアラルキル型エポキシ樹脂;日本化薬株式会社製NC−3000H(ビフェニル骨格含有多官能固形エポキシ樹脂)等のビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂;DIC株式会社製エピクロンN660、エピクロンN690、日本化薬株式会社製EOCN−104S等のノボラック型エポキシ樹脂;日産化学工業株式会社製TEPIC等のトリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート、DIC株式会社製エピクロン860、エピクロン900−IM、エピクロンEXA―4816、エピクロンEXA−4822、旭チバ株式会社製アラルダイトAER280、東都化成株式会社製エポトートYD−134、ジャパンエポキシレジン株式会社製JER834、JER872、住友化学株式会社ELA−134等のビスフェノールA型エポキシ樹脂;DIC株式会社製エピクロンHP−4032等のナフタレン型エポキシ樹脂;DIC株式会社製エピクロンN−740等のフェノールノボラック型エポキシ樹脂、フェノールとサリチルアルデヒドの縮合物のエポキシ樹脂;日本化薬株式会社製EPPN−500シリーズなどが挙げられる。これらのエポキシ樹脂は各々単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
上記エポキシ樹脂の中でも、銅との密着性や絶縁性に優れる点で、日本化薬株式会社製NC−3000H(ビフェニル骨格含有多官能固形エポキシ樹脂)等のビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂が好ましく、また、架橋密度が高く高Tgが得られる点で、日本化薬株式会社製EPPN−500シリーズを用いることがより好ましい。
上記エポキシ樹脂の含有量は、無機フィラー成分を除く樹脂成分100質量部に対して、30〜90質量部であることが好ましく、40〜80質量部であることがより好ましい。
上記エポキシ樹脂の中でも、銅との密着性や絶縁性に優れる点で、日本化薬株式会社製NC−3000H(ビフェニル骨格含有多官能固形エポキシ樹脂)等のビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂が好ましく、また、架橋密度が高く高Tgが得られる点で、日本化薬株式会社製EPPN−500シリーズを用いることがより好ましい。
上記エポキシ樹脂の含有量は、無機フィラー成分を除く樹脂成分100質量部に対して、30〜90質量部であることが好ましく、40〜80質量部であることがより好ましい。
エポキシ樹脂と組み合わせる硬化剤としては、従来公知の各種エポキシ樹脂硬化剤もしくはエポキシ樹脂硬化促進剤を配合することができる。例えば、フェノール樹脂、イミダゾール化合物、酸無水物、脂肪族アミン、脂環族ポリアミン、芳香族ポリアミン、第3級アミン、ジシアンジアミド、グアニジン類、又はこれらのエポキシアダクトやマイクロカプセル化したもののほか、トリフェニルホスフィン、テトラフェニルホスフォニウム、テトラフェニルボレート等の有機ホスフィン系化合物・有機ホウ素系化合物、DBU(1,8−ジアザビシクロ(4.5.0)ウンデセン−7)もしくはその誘導体など、硬化剤もしくは硬化促進剤の如何に拘らず、公知慣用のものを単独であるいは2種以上組み合わせて使用することができる。エポキシ樹脂の硬化を進行させれば特に限定されないが、具体的には、4,4´−ジアミノジフェニルスルフォン、4,4´−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2−ビス[4−(4-アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、トリメチレンビス(4−アミノベンゾエート)、3,3´-ジメチル−4,4´-ジアミノビフェニル、2,2´−ジメチル−4,4´-ジアミノビフェニル、4,4´−ジアミノジフェニルエーテル、3,4´−ジアミノジフェニルエーテル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフォン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフォン、9,9´−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン等を例示でき、単独、又は2種以上組み合わせて用いることができる。
本発明で用いる熱硬化性樹脂組成物の熱硬化性ポリイミド樹脂としては、分子構造中に少なくとも2個の不飽和N−置換マレイミド基を有するマレイミド化合物を含有することが好ましい。具体的には、例えば、N,N´−エチレンビスマレイミド、N,N´−ヘキサメチレンビスマレイミド、N,N´−(1,3−フェニレン)ビスマレイミド、N,N´−[1,3−(2−メチルフェニレン)]ビスマレイミド、N,N´−[1,3−(4−メチルフェニレン)]ビスマレイミド、N,N´−(1,4−フェニレン)ビスマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)メタン、ビス(3−メチル−4−マレイミドフェニル)メタン、3,3−ジメチル−5,5−ジエチル−4,4−ジフェニルメタンビスマレイミド、ビス(4−マレイミドフェニル)エーテル、ビス(4−マレイミドフェニル)スルホン、ビス(4−マレイミドフェニル)スルフィド、ビス(4−マレイミドフェニル)ケトン、ビス(4−マレイミドシクロヘキシル)メタン、1,4−ビス(4−マレイミドフェニル)シクロヘキサン、1,4−ビス(マレイミドメチル)シクロヘキサン、1,4−ビス(マレイミドメチル)ベンゼン、1,3−ビス(4−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ベンゼン、ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]メタン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]メタン、1,1−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン、1,1−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン、1,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]エタン、2,2−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]ブタン、2,2−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、2,2−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン、4,4−ビス(3−マレイミドフェノキシ)ビフェニル、4,4−ビス(4−マレイミドフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]ケトン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]ケトン、2,2´−ビス(4−マレイミドフェニル)ジスルフィド、ビス(4−マレイミドフェニル)ジスルフィド、ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルフィド、ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホキシド、ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]スルホン、ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)フェニル]エーテル、ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]エーテル、1,4−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)−3,5−ジメチル−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)−3,5−ジメチル−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,4−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)−3,5−ジメチル−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、1,3−ビス[4−(3−マレイミドフェノキシ)−3,5−ジメチル−α,α−ジメチルベンジル]ベンゼン、ポリフェニルメタンマレイミドなどが挙げられ、これらのマレイミド化合物は、単独で用いても2種類以上を混合して用いてもよい。
上記マレイミド化合物の重合触媒は、公知のビスマレイミド樹脂組成物の重合触媒を使用すればよく特に限定しないが、イミダゾール類、第3級アミン類、第4級アンモニウム塩類、三弗化ホウ素アミン錯体、オルガノフォスフィン類、オルガノホスホニウム塩等のイオン触媒及び有機過酸化物、ヒドロペルオキシド、アゾイソブチロニトリル等のラジカル重合開始剤があげられる。重合触媒の添加量は目的に応じて決定すればよいが、ビスマレイミド樹脂組成物の安定性の面から全樹脂成分に対して0.01〜3質量%とすることが望ましい。
本発明で用いる熱硬化性樹脂組成物として、ポリイミド樹脂、シアネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂を用いることが好ましい。
また、ポリイミド樹脂、シアネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂や各種カルボン酸含有樹脂をエポキシ樹脂と反応させる別な樹脂として使用してもよい。ポリアミドイミド樹脂としては、東洋紡績株式会社の「バイロマックスHR11NN」、「バイロマックスHR12N2」、「バイロマックスHR16NN」等が挙げられる。カルボン酸含有樹脂としては、アクリル樹脂や酸変性エポキシアクリレート、酸含有ウレタン樹脂等が挙げられる。
上記硬化剤の含有量は、無機フィラー成分を除く樹脂成分100質量部に対して、5〜50質量部であることが好ましく、10〜40質量部であることがより好ましい。
また、ポリイミド樹脂、シアネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂や各種カルボン酸含有樹脂をエポキシ樹脂と反応させる別な樹脂として使用してもよい。ポリアミドイミド樹脂としては、東洋紡績株式会社の「バイロマックスHR11NN」、「バイロマックスHR12N2」、「バイロマックスHR16NN」等が挙げられる。カルボン酸含有樹脂としては、アクリル樹脂や酸変性エポキシアクリレート、酸含有ウレタン樹脂等が挙げられる。
上記硬化剤の含有量は、無機フィラー成分を除く樹脂成分100質量部に対して、5〜50質量部であることが好ましく、10〜40質量部であることがより好ましい。
無機フィラーとしては従来公知の全ての無機充填剤が使用でき、特定のものに限定されない。例えば、硫酸バリウム、チタン酸バリウム、無定形シリカ、結晶性シリカ、溶融シリカ、球状シリカ、タルク、クレー、炭酸マグネシウム、炭酸カルシウム、酸化アルミニウム、水酸化アルミニウム、窒化ケイ素、窒化アルミニウム等の体質顔料や、銅、錫、亜鉛、ニッケル、銀、パラジウム、アルミニウム、鉄、コバルト、金、白金等の金属粉体が挙げられる。
シリカフィラーを用いる場合は、フィラーで一次粒径のまま、凝集することなく樹脂中に分散させるために、シランカップリング剤を用いたものが望ましい。最大粒径は5μm以下であることが好ましく、更に1μm以下であることが望ましい。シランカップリング剤としては、一般的に入手可能なものを用いることができ、例えば、アルキルシラン、アルコキシシラン、ビニルシラン、エポキシシラン、アミノシラン、アクリルシラン、メタクリルシラン、メルカプトシラン、スルフィドシラン、イソシアネートシラン、サルファーシラン、スチリルシラン、アルキルクロロシラン等が使用可能である。
具体的な化合物名としては、メチルトリメトキシシラン、ジメチルジメトキシシラン、トリメチルメトキシシラン、メチルトリエトキシシラン、メチルトリフェノキシシラン、エチルトリメトキシシラン、n−プロピルトリメトキシシラン、ジイソプロピルジメトキシシラン、イソブチルトリメトキシシラン、ジイソブチルジメトキシシラン、イソブチルトリエトキシシラン、n−ヘキシルトリメトキシシラン、n−ヘキシルトリエトキシシラン、シクロヘキシルメチルジメトキシシラン、n−オクチルトリエトキシシラン、n−ドデシルメトキシシラン、フェニルトリメトキシシラン、ジフェニルジメトキシシラン、トリフェニルシラノール、メチルトリクロロシラン、ジメチルジクロロシラン、トリメチルクロロシラン、n−オクチルジメチルクロロシラン、テトラエトキシシラン、3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−(2−アミノエチル)アミノプロピルトリメトキシシラン、3−(2−アミノエチル)アミノプロピルメチルジメトキシシラン、3−フェニルアミノプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジエトキシシラン、ビス(3−(トリエトキシシリル)プロピル)ジスルフィド、ビス(3−(トリエトキシシリル)プロピル)テトラスルフィド、ビニルトリアセトキシシラン、ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリイソプロポキシシラン、アリルトリメトキシシラン、ジアリルジメチルシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルメチルジメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリエトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルメチルジメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリエトキシシラン、N−(1,3−ジメチルブチリデン)−3−アミノプロピルトリエトキシシラン、アミノシラン等がある。
無機フィラーの平均粒径は、1μm以下が好ましく、より好ましくは300nm以下であり、さらに好ましくは100nm以下である。無機フィラーの平均粒径が小さいほど、デスミア処理後の表面が平滑となり、その後のフリップチップ実装時にアンダーフィル材の充填性が良くなる傾向にある。上記のように無機フィラーの充填量は、好ましくは0〜90質量%であり、より好ましくは20〜70質量%であり、更に好ましくは30〜60質量%である。
以上、本発明に係る半導体装置の製造方法及び熱硬化樹脂組成物の好適な実施形態について説明したが、本発明は必ずしも上述した実施形態に限定されるものではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で適宜変更を行ってもよい。
<半導体素子の準備>
7.3mm×7.3mmのサイズに個片化した銅ポスト付き半導体素子(株式会社ウォルツ製 CC80−0101JY)で銅ポストの厚みを除く半導体素子の厚みT1が50、250、400μmを準備した。そして、銅ポストの厚みは15μm、20μm及び25μmの3水準とした。
7.3mm×7.3mmのサイズに個片化した銅ポスト付き半導体素子(株式会社ウォルツ製 CC80−0101JY)で銅ポストの厚みを除く半導体素子の厚みT1が50、250、400μmを準備した。そして、銅ポストの厚みは15μm、20μm及び25μmの3水準とした。
<仮固定用フィルム付き支持体の準備>
まず、支持体として直径220mm、厚み1.5mmのSUS板を準備した。次に、SUS板の片側に仮固定用フィルムを、ラミネータを用いて貼り付けた(図5(a)参照)。
まず、支持体として直径220mm、厚み1.5mmのSUS板を準備した。次に、SUS板の片側に仮固定用フィルムを、ラミネータを用いて貼り付けた(図5(a)参照)。
SUS板からはみ出した仮固定用フィルムについては、カッターナイフで切り離した。
<半導体素子の配置>
次いで、図5(b)に示すように、半導体素子を半導体素子の受動面(裏面)と仮固定用フィルムが貼り合わさるように格子状に配置した。半導体素子の搭載数は293個、ピッチは縦方向、横方向ともに9.6mmとした。半導体素子の配置にはダイソーター(キヤノンマシナリー株式会社製 CAP3500)を用いた。配置時の荷重は半導体素子1個当り1kgfとした。
次いで、図5(b)に示すように、半導体素子を半導体素子の受動面(裏面)と仮固定用フィルムが貼り合わさるように格子状に配置した。半導体素子の搭載数は293個、ピッチは縦方向、横方向ともに9.6mmとした。半導体素子の配置にはダイソーター(キヤノンマシナリー株式会社製 CAP3500)を用いた。配置時の荷重は半導体素子1個当り1kgfとした。
<熱硬化性樹脂フィルムの製造>
半導体装置の第一、及び第二の絶縁層の形成に使用する熱硬化性樹脂組成物として、以下に示すものを調製した。
半導体装置の第一、及び第二の絶縁層の形成に使用する熱硬化性樹脂組成物として、以下に示すものを調製した。
<熱硬化性樹脂組成物A>
エポキシ樹脂としては、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、製品名NC−3000H(日本化薬株式会社製)70質量部を用いた。
硬化剤の合成例1:温度計、攪拌装置、還流冷却管付き水分定量器の付いた加熱及び冷却可能な容積2リットルの反応容器に、ビス(4−アミノフェニル)スルホン:26.40gと、2,2´−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン:484.50gと、p−アミノ安息香酸:29.10g、及びジメチルアセトアミド:360.00gを入れ、140℃で5時間反応させて分子主鎖中にスルホン基を有し、酸性置換基と不飽和N−置換マレイミド基を有する硬化剤(A−1)の溶液を得た。本硬化剤を30質量部配合した。
エポキシ樹脂としては、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、製品名NC−3000H(日本化薬株式会社製)70質量部を用いた。
硬化剤の合成例1:温度計、攪拌装置、還流冷却管付き水分定量器の付いた加熱及び冷却可能な容積2リットルの反応容器に、ビス(4−アミノフェニル)スルホン:26.40gと、2,2´−ビス[4−(4−マレイミドフェノキシ)フェニル]プロパン:484.50gと、p−アミノ安息香酸:29.10g、及びジメチルアセトアミド:360.00gを入れ、140℃で5時間反応させて分子主鎖中にスルホン基を有し、酸性置換基と不飽和N−置換マレイミド基を有する硬化剤(A−1)の溶液を得た。本硬化剤を30質量部配合した。
無機フィラー成分としては、平均粒径が300nm、ビニルシランでシランカップリング処理したシリカフィラーを用いた。なお、無機フィラー成分は、樹脂分に対し、30質量%になるように配合した。分散状態は、動的光散乱式ナノトラック粒度分布計「UPA−EX150」(日機装株式会社製)、及びレーザ回折散乱式マイクロトラック粒度分布計「MT−3100」(日機装株式会社製)を用いて測定し、最大粒径が2μm以下となっていることを確認した。
<熱硬化性樹脂組成物B>
エポキシ樹脂としては、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、製品名NC−3000H(日本化薬株式会社製)70質量部を用いた。
硬化剤の合成例2:ジアミン化合物としてワンダミンHM(WHM)〔(4,4´−ジアミノ)ジシクロヘキシルメタン、新日本理化株式会社製、商品名〕52.7g、反応性官能基を有するジアミンとして3,3´−ジヒドロキシ−4,4´−ジアミノビフェニル6g、トリカルボン酸無水物として無水トリメリット酸(TMA)108g及び非プロトン性極性溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン(NMP)1281gを入れ、フラスコ内の温度を80℃に設定して30分間撹拌した。撹拌終了後、水と共沸可能な芳香族炭化水素としてトルエン192gをさらに添加し、フラスコ内の温度を160℃に昇温して2.5時間還流した。水分定量受器に理論量の水が貯留され、水の留出が見られなくなっていることを確認した後、水分定量受器中の水及びトルエンを除去しながら、フラスコ内の温度を180℃まで上昇させて反応溶液中のトルエンを除去した。フラスコ内の溶液を60℃まで冷却した後、長鎖炭化水素鎖骨格(炭素原子数約50)を有するジカルボン酸として水添α,ω−ポリブタジエンジカルボン酸(CI−1000、日本曹達株式会社製、商品名)309.5gを入れ、10分間撹拌した。撹拌終了後、ジイソシアネートとして4,4´−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)119.7gを添加し、フラスコ内の温度を160℃に上昇させて2時間反応させ、樹脂溶液を得た。このポリアミドイミド樹脂溶液の重量平均分子量(Mw)をゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定したところ47000であった。ポリアミドイミド1分子あたりの平均反応性官能基数Nは4.4であった。本硬化剤を30質量部配合した。無機フィラー成分としては、熱硬化性樹脂組成物Aと同様のものを用いた。
エポキシ樹脂としては、ビフェニルアラルキル型エポキシ樹脂、製品名NC−3000H(日本化薬株式会社製)70質量部を用いた。
硬化剤の合成例2:ジアミン化合物としてワンダミンHM(WHM)〔(4,4´−ジアミノ)ジシクロヘキシルメタン、新日本理化株式会社製、商品名〕52.7g、反応性官能基を有するジアミンとして3,3´−ジヒドロキシ−4,4´−ジアミノビフェニル6g、トリカルボン酸無水物として無水トリメリット酸(TMA)108g及び非プロトン性極性溶媒としてN−メチル−2−ピロリドン(NMP)1281gを入れ、フラスコ内の温度を80℃に設定して30分間撹拌した。撹拌終了後、水と共沸可能な芳香族炭化水素としてトルエン192gをさらに添加し、フラスコ内の温度を160℃に昇温して2.5時間還流した。水分定量受器に理論量の水が貯留され、水の留出が見られなくなっていることを確認した後、水分定量受器中の水及びトルエンを除去しながら、フラスコ内の温度を180℃まで上昇させて反応溶液中のトルエンを除去した。フラスコ内の溶液を60℃まで冷却した後、長鎖炭化水素鎖骨格(炭素原子数約50)を有するジカルボン酸として水添α,ω−ポリブタジエンジカルボン酸(CI−1000、日本曹達株式会社製、商品名)309.5gを入れ、10分間撹拌した。撹拌終了後、ジイソシアネートとして4,4´−ジフェニルメタンジイソシアネート(MDI)119.7gを添加し、フラスコ内の温度を160℃に上昇させて2時間反応させ、樹脂溶液を得た。このポリアミドイミド樹脂溶液の重量平均分子量(Mw)をゲルパーミエーションクロマトグラフィーにより測定したところ47000であった。ポリアミドイミド1分子あたりの平均反応性官能基数Nは4.4であった。本硬化剤を30質量部配合した。無機フィラー成分としては、熱硬化性樹脂組成物Aと同様のものを用いた。
<熱硬化性樹脂組成物C>
エポキシ樹脂としては、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、製品名エピクロンN660(DIC株式会社製)70質量部を用いた。
硬化剤として、フェノキシ樹脂YP−55(新日鉄化学株式会社製)、メラミン変性フェノールノボラック樹脂LA7054(DIC株式会社製)30質量部を用いた。無機フィラー成分としては、平均粒径が2μmの硫酸バリウムを、スターミルLMZ(アシザワファインテック株式会社製)で、直径1.0mmのジルコニアビーズを用い、周速12m/sにて3時間分散して調整した。分散状態を、樹脂Aと同様の方法で測定し、最大粒径が10μmであることを確認した。
エポキシ樹脂としては、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、製品名エピクロンN660(DIC株式会社製)70質量部を用いた。
硬化剤として、フェノキシ樹脂YP−55(新日鉄化学株式会社製)、メラミン変性フェノールノボラック樹脂LA7054(DIC株式会社製)30質量部を用いた。無機フィラー成分としては、平均粒径が2μmの硫酸バリウムを、スターミルLMZ(アシザワファインテック株式会社製)で、直径1.0mmのジルコニアビーズを用い、周速12m/sにて3時間分散して調整した。分散状態を、樹脂Aと同様の方法で測定し、最大粒径が10μmであることを確認した。
上述のように得た各熱硬化性樹脂組成物の溶液を支持体である16μm厚のポリエチレンテレフタレートフィルム(G2−16、帝人株式会社製、商品名)上に均一に塗布することにより熱硬化性樹脂組成物層を形成した。その後、熱風対流式乾燥機を用いて熱硬化性樹脂組成物層を100℃で約10分間乾燥することによって支持体上に熱硬化性樹脂フィルムを得た。熱硬化性樹脂フィルムの膜厚は20〜400μmのものを準備した。
次いで、熱硬化性樹脂フィルムに埃等が付着しないように、支持体と接している側とは反対側の表面上にポリエチレンフィルム(NF−15、タマポリ株式会社製、商品名)を保護フィルムとして貼り合わせ、熱硬化性樹脂フィルムを得た。
得られた熱硬化性樹脂フィルムを用いて、半導体素子を覆うように封止し、半導体素子の能動面(表面)上に熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層を形成した(図5(c)参照)。詳細には、まず、熱硬化性樹脂組成物A、B又はCからなる熱硬化性樹脂フィルムの保護フィルムのみを剥がし、銅ポストが形成された半導体素子の能動面(表面)上に熱硬化性樹脂フィルムを載置した。プレス式真空ラミネータ(MVLP−500、株式会社名機製作所製、商品名)を用いて半導体素子の能動面(表面)上、及び半導体素子間に熱硬化性樹脂組成物を充填した。プレス条件は、プレス熱板温度50〜80℃、真空引き時間20秒、ラミネートプレス時間5〜30秒、気圧4kPa以下、圧着圧力0.1〜0.4MPaとした。次いで、クリーンオーブンで120〜170℃、30分〜1時間の熱硬化を行った。
実施例における半導体装置の仕様及び製造時における封止条件を表1、2にそれぞれ示した。
その後、図6(d)及び(e)に示すように、支持体、及び仮固定用フィルムを200℃のホットプレート上ではく離した。支持体、及び仮固定用フィルムのはく離は、クリーンオーブンの熱硬化前に行ってもよい。次いで、図6(f)に示すように、表3に示す条件でデスミア処理を施し、熱硬化性樹脂組成物表面の研削を行い、銅ポストの表面を露出させた。その後、図6(g)に示すように、無電解銅めっき法により、熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層上に1μmの厚みのシード層を形成した。
次いで、図6(h)に示すように、回路形成用レジスト(日立化成工業株式会社製、Photec RY−3525)をロールラミネータで熱硬化性樹脂組成物上に貼着し、パターンを形成したフォトツールを密着させ、株式会社オーク製作所製EXM‐1201型露光機を使用して、100mJ/cm2のエネルギー量で露光を行った。次いで、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、90秒間スプレー現像を行い、回路形成用レジストを開口させ、レジストパターンを形成した。次いで、図7(j)に示すように、電気めっき法により、シード層上に、5μmの厚みの銅の配線パターンを形成した。次いで、図7(k)に示すように、はく離液により回路形成用レジストをはく離した後、図7(m)に示すように、第一絶縁層表面に露出しているシード層をエッチング液により除去した。
次いで、図8(n)に示すように、配線パターン上に、感光性樹脂組成物からなる第二の絶縁層としてのソルダーレジストフィルム(日立化成工業株式会社製、SR−2700G)を保護フィルムのポリエチレンフィルムを剥離して、プレス式真空ラミネータ(MVLP−500、株式会社名機製作所製、商品名)を用いて積層した。プレス条件は、プレス熱板温度80℃、真空引き時間20秒、ラミネートプレス時間30秒、気圧4kPa以下、圧着圧力0.4MPaの下で行った。パターンを形成したフォトツールを密着させ、株式会社オーク製作所社製EXM‐1201型露光機を使用して、150mJ/cm2のエネルギー量で露光を行った。次いで、30℃の1質量%炭酸ナトリウム水溶液で、90秒間スプレー現像を行い、感光性樹脂組成物からなるレジストパターンを形成した(図8(p)参照)。その後、株式会社オーク製作所製紫外線照射装置を使用して1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、160℃で1時間の熱硬化を行った。ソルダーレジストフィルムは、厚み20μmのものを用いた。その後、市販の無電解ニッケル/金めっき液を用いて、ニッケルめっき厚3μm、金めっき厚0.1μmとなるように配線パターン上にめっき処理を行った(図8(r)参照)。次いで、金めっき上に外部接続端子となるSn−Ag−Cu系のはんだボールをリフロー搭載した(図8(s)参照)。次いで、ダイシング(ブレード幅0.3mm)により、9.3mm×9.3mmの大きさに個片化し、図8(t)に示す半導体装置を得た。
第一の絶縁層を形成し、所定の熱硬化を行った後の成形物の反りについては、直径200mmの範囲を室温下(25℃)で測定し、以下の基準に基づいて評価した。
○:反り量が1mm未満。
△:反り量が1mm以上、2mm未満。
×:反り量が2mm以上。
○:反り量が1mm未満。
△:反り量が1mm以上、2mm未満。
×:反り量が2mm以上。
第一の絶縁層を形成し、所定の熱硬化を行った後の熱硬化性樹脂組成物の埋め込み性については、目視で確認して以下の基準に基づいて評価した。
○:半導体素子間に充分に樹脂が埋め込まれており、未充填部がないもの。
×:半導体素子間に未充填部があるもの。
○:半導体素子間に充分に樹脂が埋め込まれており、未充填部がないもの。
×:半導体素子間に未充填部があるもの。
第一の絶縁層の形成及び所定の熱硬化を行った後の半導体素子の能動面(表面)側の熱硬化性樹脂組成物の段差については、表面粗さ計を用いて半導体素子の能動面の段差を測定し、以下の基準に基づいて評価した。
○:熱硬化性樹脂組成物の表面の段差が2μm未満。
△:熱硬化性樹脂組成物の表面の段差が2μm以上、5μm未満。
×:熱硬化性樹脂組成物の表面の段差が5μm以上。
○:熱硬化性樹脂組成物の表面の段差が2μm未満。
△:熱硬化性樹脂組成物の表面の段差が2μm以上、5μm未満。
×:熱硬化性樹脂組成物の表面の段差が5μm以上。
銅ポストの露出については、金属顕微鏡で確認して以下の基準に基づいて評価した。
○:露出したもの。
×:露出しないもの。
○:露出したもの。
×:露出しないもの。
第一の絶縁層の表面平滑性については、電子顕微鏡で観察して以下の基準に基づいて評価した。
○:表面が平滑なもの。
×:表面にフィラーの欠落や段差があるもの。
○:表面が平滑なもの。
×:表面にフィラーの欠落や段差があるもの。
これらの測定、観察結果を表4、5に纏めて示した。
本処理はウェハレベル半導体装置に限定するものでなく、パッケージ・オン・パッケージの再配線プロセス等、小型化及び薄型化が必要な全ての半導体装置、部品内蔵基板に適用することができる。
本処理はウェハレベル半導体装置に限定するものでなく、パッケージ・オン・パッケージの再配線プロセス等、小型化及び薄型化が必要な全ての半導体装置、部品内蔵基板に適用することができる。
実施例4、5は、反りが見られ、銅ポストの露出に劣る例であり、絶縁層の厚みT2と半導体素子の厚みT1の差T2−T1が50μmを超えており、これを5〜50μmになるようにすると実施例1〜3のように改善される。また、実施例9のように半導体素子の厚みT1が薄い場合、反りが見られる例であるが、実施例10のようにT2−T1を小さくする方向(27μm→17μm)にすると改善される。さらに、実施例14は、反りに劣る例であるが、後硬化温度が低く(120℃、30分)、実施例3のように170℃と高くすることで改善できる。
実施例11〜13は、埋め込み性に劣る例であるが、ラミネート温度を低く(実施例11)、時間を短く(実施例13)、圧力を低く(実施例12)した例であり、これらを高めたり、長くすることで改善できる。実施例7は、表面平滑性に劣る例であり、2μmの平均粒子径の無機フィラーを他の実施例のように平均粒径300nmの無機フィラーを用いることで改善できる。
製造方法の条件を調整することにより、薄型化が可能で、反りが小さく、放熱性に優れたウェハレベル半導体装置を低コストで効率よく提供することができる。
実施例11〜13は、埋め込み性に劣る例であるが、ラミネート温度を低く(実施例11)、時間を短く(実施例13)、圧力を低く(実施例12)した例であり、これらを高めたり、長くすることで改善できる。実施例7は、表面平滑性に劣る例であり、2μmの平均粒子径の無機フィラーを他の実施例のように平均粒径300nmの無機フィラーを用いることで改善できる。
製造方法の条件を調整することにより、薄型化が可能で、反りが小さく、放熱性に優れたウェハレベル半導体装置を低コストで効率よく提供することができる。
1 支持体
2 仮固定用フィルム
3 半導体素子
3a 電極突起
4 第一の絶縁層
5 シード層
6 回路形成用レジスト
7 配線パターン
8 第二の絶縁層
9 無電解ニッケル/金めっき
10 外部接続用端子
2 仮固定用フィルム
3 半導体素子
3a 電極突起
4 第一の絶縁層
5 シード層
6 回路形成用レジスト
7 配線パターン
8 第二の絶縁層
9 無電解ニッケル/金めっき
10 外部接続用端子
Claims (9)
- (I)支持体上に仮固定層を形成後、電極突起を有する少なくとも1つ以上の半導体素子を、半導体素子の受動面(裏面、電極突起が形成された面の反対面)と仮固定層が貼り合わさるように配置する工程と、
(II)前記少なくとも1つ以上の半導体素子の能動面(表面、電極突起が形成された面)を覆うように、熱硬化性樹脂組成物で封止し、第一の絶縁層を形成する工程と、
(III)支持体と仮固定層をはく離し、半導体素子の受動面(裏面)を露出させる工程と、
(IV)半導体素子の能動面(表面)上の熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層を研削し、前記電極突起の一部を露出する工程と、
(V)熱硬化性樹脂組成物からなる第一の絶縁層上にシード層を形成する工程と、
(VI)シード層上に回路形成用レジストを形成し、露光処理及び現像処理を施して再配線用のレジストパターンを形成する工程と、
(VII)めっき法により配線パターンを形成し、はく離処理によりレジストパターンを除去する工程と、
(VIII)シード層を除去する工程と、
(IX)配線パターン上に第二の絶縁層を形成し、配線パターンにまで至る開口を形成する工程と、
(X)外部接続用端子を形成する工程を、備える半導体装置の製造方法。 - 前記(II)の工程における熱硬化性樹脂組成物の封止温度が50〜140℃であり、且つ加熱時間が10〜300秒の範囲である請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記(II)の工程における熱硬化性樹脂組成物の封止圧力が、0.2〜2.0MPaである請求項1又は2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記(II)の工程における熱硬化性樹脂組成物の厚みT2が、50〜750μmである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記(II)の工程における熱硬化性樹脂組成物層の厚みT2と半導体素子の厚みT1の差(T2−T1)が、5〜50μmの範囲である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の半導体装置の製造方法により得られる半導体装置。
- 請求項1〜5のいずれか一項に記載の方法において使用される熱硬化性樹脂組成物であって、前記熱硬化性樹脂組成物が、
エポキシ樹脂、フェノール樹脂、シアネート樹脂、ポリアミドイミド樹脂及び熱硬化性ポリイミド樹脂からなる群より選択される少なくとも一種を含む樹脂と、
最大粒径が5μm以下で、平均粒径が1μm以下の無機フィラーとを、含有する熱硬化性樹脂組成物。 - 請求項7に記載の熱硬化性樹脂組成物を支持体上に塗布、乾燥して得られる熱硬化性樹脂フィルム。
- 請求項8に記載の熱硬化性樹脂フィルムを用いてなる半導体装置。
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160623 |
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