JP2014056172A - 対物光学装置および撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】温度変化にかかわらず、広い波長域において収差を良好に低減する。
【解決手段】対物光学系104Aを構成する複数の光学素子を保持部材Kにより保持する装置において、i〜i+1番目の光学面間の媒質の屈折率をNi、該光学面間の距離をDi、i番目の光学面の近軸曲率半径をRi、温度がΔT変化したときの屈折率、距離および近軸曲率半径の変化量をΔNi、ΔDi、ΔRi、光学面間隔の数をd_numとし、ΔT変化の前後における各光学面間隔の変化比率の平均Aを、A=(Σi=1〜d_num{[(Di+ΔDi)/(Ni+ΔNi)]/(Di/Ni)})/d_numとし、曲面光学面の数をr_numとし、ΔT変化の前後における曲面光学面のパワーの変化比率の平均Bを、B=(Σi=1〜r_num{[1/(Ri+ΔRi)]×[(Ni+ΔNi)−(Ni−1+ΔNi−1)]}/[(1/Ri)×(Ni−Ni−1)])/r_numとする。
【選択図】図3
【解決手段】対物光学系104Aを構成する複数の光学素子を保持部材Kにより保持する装置において、i〜i+1番目の光学面間の媒質の屈折率をNi、該光学面間の距離をDi、i番目の光学面の近軸曲率半径をRi、温度がΔT変化したときの屈折率、距離および近軸曲率半径の変化量をΔNi、ΔDi、ΔRi、光学面間隔の数をd_numとし、ΔT変化の前後における各光学面間隔の変化比率の平均Aを、A=(Σi=1〜d_num{[(Di+ΔDi)/(Ni+ΔNi)]/(Di/Ni)})/d_numとし、曲面光学面の数をr_numとし、ΔT変化の前後における曲面光学面のパワーの変化比率の平均Bを、B=(Σi=1〜r_num{[1/(Ri+ΔRi)]×[(Ni+ΔNi)−(Ni−1+ΔNi−1)]}/[(1/Ri)×(Ni−Ni−1)])/r_numとする。
【選択図】図3
Description
本発明は、対物光学系を含む対物光学装置およびこれを用いた顕微鏡等の撮像装置に関する。
最近の病理検査では、病理標本を画像データとして取り込み、ディスプレイに表示して観察するバーチャル顕微鏡と呼ばれるものが利用されている。バーチャル顕微鏡には、ディスプレイ上に表示した病理標本の画像データを複数人で同時に観察したり、画像データを遠方の病理医と共有して診断を仰いだりすることができる等、多くの利点がある。ただし、バーチャル顕微鏡には、病理標本を撮像して画像データとして取り込むために時間がかかるという問題がある。
時間がかかる原因の1つとして、大きな範囲に広がる病理標本を狭い撮像領域しか持たない顕微鏡を用いて画像データとして取り込まなければならないことが挙げられる。すなわち、狭い撮像領域を順次シフトさせて複数回の撮像を行ったり撮像領域をスキャン移動させながら連続的な撮像を行ったりして得られた画像データを1つに繋げることで病理標本全体の画像を得るために、時間がかかる。
そこで、撮像回数を少なくして画像データを取り込む時間を短縮することができるように、広い撮像領域を実現可能な対物光学系(撮像光学系)が求められている。この対物光学系には、撮像領域が広いだけでなく、可視光領域において高い解像力を持つことも求められる。
しかも、使用環境の温度の変化によって対物光学系の性能が変化しないことも求められている。特に、高い解像力を持ち、かつ広い撮像領域を有する対物光学系を備えた顕微鏡では、使用環境の温度の変化によるコマ収差や非点収差の画質への影響が無視できないため、温度変化にかかわらず撮像領域全域にわたって諸収差が良好に低減されていることが望ましい。
特許文献1には、半導体露光装置に搭載された収差測定装置において、環境温度が変化した場合や異なる設定温度にて使用した場合に発生する焦点位置の変動を低減できるようにした対物光学系が開示されている。また、特許文献2には、自動車に搭載された赤外線カメラにおいて、温度変化に伴う焦点位置の変動を補償することができる赤外光光学系が開示されている。さらに、特許文献3には、半導体露光装置の投影光学系において、露光に伴って発生する熱による収差を効果的に低減する方法が開示されている。
特許文献1にて開示された対物光学系では、屈折率温度係数の符号が正である正レンズの温度変化による焦点位置の変動を、屈折率温度係数の符号が負である正レンズの温度変化による焦点位置の変動により打ち消して、対物光学系での焦点位置の変動を低減する。しかしながら、この対物光学系では、焦点位置の変動しか補正することができず、広い波長範囲で良好に収差を低減することはできない。
また、特許文献2にて開示された赤外光光学系では、温度変化に伴うZnSレンズの屈折率と曲率半径の変動による焦点距離の変化を、スペーサの熱膨張収縮によって打ち消し、広い温度範囲で光学性能の劣化を低減する。しかしながら、この赤外光光学系も、赤外光に対する光学性能しか補正できず、広い波長域(例えば、可視波長域)の全域で良好な光学性能を得ることができない。
さらに、特許文献3にて開示された投影光学系では、温度変化に伴う面変形により発生する収差と温度変化に伴う屈折率の変化によって発生する収差とが相殺し合うことで、投影光学系で発生する収差を低減する。しかしながら、この投影光学系では、光学素子を保持する鏡筒材料の熱膨張係数によって発生する収差までは補正することができず、鏡筒材料も含めた全系での温度変化により発生する収差を良好に低減できない。
本発明は、温度変化にかかわらず、広い波長域において収差を良好に低減できるようにした対物光学装置およびこれを用いた撮像装置を提供する。
本発明の一側面としての対物光学装置は、対物光学系を構成する複数の光学素子を保持部材により保持する。複数の光学素子が有する複数の光学面のうち、物体面から像面に向かう光線が通過する順に物体面側から数えてi番目の光学面とi+1番目の光学面との間の媒質の屈折率をNiとし、i番目の光学面とi+1番目の光学面との間の距離をDiとし、i番目の光学面の近軸曲率半径をRiとし、該装置の温度がΔTだけ変化したときの屈折率、距離および近軸曲率半径の変化量をそれぞれΔNi、ΔDiおよびΔRiとし、対物光学系に含まれる光学面間隔の数をd_numとし、温度のΔTの変化の前後における各光学面間隔の変化比率の平均Aを、
A=(Σi=1〜d_num{[(Di+ΔDi)/(Ni+ΔNi)]/(Di/Ni)})/d_num
とし、複数の光学面のうち平面を除いた曲面光学面の数をr_numとし、温度のΔTの変化の前後における曲面光学面のパワーの変化比率の平均Bを、
B=(Σi=1〜r_num{[1/(Ri+ΔRi)]×[(Ni+ΔNi)−(Ni−1+ΔNi−1)]}
/[(1/Ri)×(Ni−Ni−1)])/r_num
とするとき、保持部材が、
0.9999≦A×B≦1.0001
なる条件を満足する材料により形成されていることを特徴とする。
A=(Σi=1〜d_num{[(Di+ΔDi)/(Ni+ΔNi)]/(Di/Ni)})/d_num
とし、複数の光学面のうち平面を除いた曲面光学面の数をr_numとし、温度のΔTの変化の前後における曲面光学面のパワーの変化比率の平均Bを、
B=(Σi=1〜r_num{[1/(Ri+ΔRi)]×[(Ni+ΔNi)−(Ni−1+ΔNi−1)]}
/[(1/Ri)×(Ni−Ni−1)])/r_num
とするとき、保持部材が、
0.9999≦A×B≦1.0001
なる条件を満足する材料により形成されていることを特徴とする。
なお、上記対物光学装置を用いた顕微鏡等の撮像装置も、本発明の他の一側面を構成する。
本発明によれば、上記条件を満足する材料により形成した保持部材を用いて対物光学系を構成する光学素子を保持することで、広い波長域において温度変化による光学性能の変動が小さい対物光学装置を実現することができる。このため、使用環境の温度によらず良好な画質の画像を取得可能な撮像装置を実現することができる。
以下、本発明の実施例について図面を参照しながら説明する。
図1には、本発明の実施例である撮像装置としての顕微鏡装置の構成を示す。顕微鏡装置1000は、光源101と、光源101からの光束により物体面に配置された試料(物体)103を均一に照明する照明光学系102とを有する。光源101は、可視光(例えば、波長400nm〜700nm)を照明光として射出する。また、顕微鏡装置1000は、試料103からの光束に該試料103の光学像(物体像)を形成させる対物光学系(結像光学系)104を含む対物光学装置200を有する。
さらに、顕微鏡装置1000は、対物光学系104により形成された物体像を光電変換するCCDセンサ又はCMOSセンサ等の撮像素子105と、撮像素子105から出力された電気信号を処理して画像データを生成する画像処理系106とを含む。画像処理系106で生成された画像データは、LCD等の表示デバイス107によって表示される。画像処理系106は、対物光学系104では補正しきれなかった収差を画像処理によって補正したり、撮像領域を順次シフトまたはスキャン移動させながら取得した画像データを1つに繋げたり(合成したり)する処理を行う。
なお、本実施例では顕微鏡装置について説明しているが、本発明の他の実施例には、対物光学系により形成した光学像を撮像素子により撮像する各種撮像装置が含まれる。
図2には、実施例1の対物光学装置200に用いられる対物光学系104としての反射屈折光学系の構成を示している。図3には、対物光学系104の数値例1の構成を示しており、図4には、数値例1の収差図を示している。図6には、対物光学系104の数値例2の構成を示しており、図7には、数値例2の収差図を示している。図8には、対物光学系104の数値例3の構成を示しており、図9には、数値例3の収差図を示している。
さらに、図12には、対物光学系(反射屈折光学系)の比較例1の構成を示しており、図13には、比較例1の収差図を示している。また、図14には、対物光学系(反射屈折光学系)の比較例2の構成を示しており、図15には、比較例2の収差図を示している。
図2に示す対物光学系104において、103aは図1に示した試料103が配置される物体面を示し、105aは図1に示した撮像素子105が配置される像面を示す。AXは対物光学系104の光軸である。
対物光学系104は、物体面103aからの光束を集光して該光束に物体面(試料)103aの中間像IMを所定の中間像面に形成させる反射面(M1a,M2b)と開口絞りASとを含む第1の結像光学系(反射屈折部)G1を有する。また、対物光学系104は、中間像IMからの光束を像面(撮像素子)105a上に結像させる屈折面を含む第2の結像光学系(屈折部)G2を有する。
第1の結像光学系G1は、物体面側から順に、第1の光学素子(マンジャンミラー)M1と、開口絞りASと、第2の光学素子(マンジャンミラー)M2と、フィールドレンズ群F1とにより構成されている。第2の結像光学系G2は、レンズ群により構成されている。図2には、物体面103aから像面105aに至る軸外光束を模式的に示している。
第1の結像光学系G1の第1の光学素子M1は、物体面側の面が凸形状を有し、光軸側から周辺側に順に、正の屈折力を有して光を透過させる透過部(第1の透過部)M1Tと、物体面側の面M1aに反射膜が形成された裏面反射部(第1の裏面反射部)とを有する。第1の光学素子M1のうち裏面反射部とは反対側の像面側の面M1aは、屈折面として形成されている。
また、第2の光学素子M2は、物体面側に凹面を向けたメニスカス形状を有し、光軸側から周辺側に順に、負の屈折力を有して光を透過させる透過部(第2の透過部)M2Tと、像面側の面M2bに反射膜が形成された裏面反射部(第2の裏面反射部)とを有する。第2の光学素子M2のうち裏面反射部とは反対側の物体側の面M2aは、屈折面として形成されている。フィールドレンズ群F1は、正の屈折力を有する。
第1の光学素子M1と第2の光学素子M2は、それぞれの裏面反射部の反射面が互いに対向するように配置されている。開口絞りASは、第1の光学素子M1と第2の光学素子M2の間に配置されている。
第2の結像光学系G2は、全体として正の屈折力を有するレンズ群Lにより構成されている。第2の結像光学系G2内には、物体面(試料)103aからの光束のうち光軸近傍の光束を遮光する遮光板SHが配置されている。
上記のように構成された対物光学系104において、試料103は照明光学系102からの光束により照明される。試料103から射出した光束は、第1の光学素子M1の透過部M1Tを透過した後、第2の光学素子M2の屈折面M2aを透過してその裏面である像面側の面(反射膜)M2bで反射する。そして、光束は再び屈折面M2aを透過して、第1の光学素子M1の屈折面M1bを透過し、その裏面である物体側の面(反射膜)M1aで反射する。物体側の面M1aで反射した光束は、再び屈折面M1bを透過し、第2の光学素子M2の透過部M2Tを透過して、フィールドレンズ群F1を透過した後、第2の結像光学系G2に入射する前に物体面(試料)103aの中間像IMを形成する。
なお、図2に示した第1の結像光学系G1の構成は例に過ぎず、他の構成を採用することもできる。例えば、マンジャンミラーにより構成される第1および第2の光学素子M1,M2に代えて、光軸側に透過部を設けた表面反射ミラーとレンズとを組み合わせた光学素子を用いてもよい。また、フィールドレンズ群F1を配置することなく中間像IMを形成する構成としてもよい。
中間像IMからの光束(発散光束)は、第2の結像光学系G2を構成する正の屈折力のレンズ群Lを透過して、像面105a上に結像する。このとき、像面105a上には、物体面(試料)103aの拡大像が形成される。このため、図1に示した撮像素子105を介して該拡大像の画像データを取得することができる。遮光板SHは、物体面103aからの光束のうち光軸近傍の光束が、第1の光学素子M1および第2の光学素子M2で反射されずにこれらの光学素子M1,M2の透過部M1T,M2Tを透過して直接、撮像素子105に到達することを防いでいる。
対物光学系104を構成する光学素子(M1,M2,F1,L)は、図3に示すように、保持部材としての鏡筒Kにより保持されて、光軸AXに対する径方向での位置が決められたり光軸方向での位置(光学素子間の間隔)が決められたりしている。対物光学系104およびこれを保持する鏡筒Kにより、対物光学装置が構成される。
このような顕微鏡装置の使用環境温度が変化すると、対物光学系104を構成する光学素子や該光学素子を保持する鏡筒の温度も変化し、光学素子の屈折率の変化や形状の変化(膨張/収縮)だけでなく、鏡筒の形状の変化(膨張/収縮)も生じる。通常、光学素子の材料であるガラスの温度変化に対する屈折率の変化率dn/dtは、10−6/℃のオーダーであり、ガラスの熱膨張係数σTは、10−5〜10−7/℃のオーダーである。ここで形状の変化のみに着目すると、例えば、光学素子の材料と鏡筒の材料の熱膨張係数σT(>0)がすべて同じである場合、温度の上昇によってこれらの形状は設計値に対して全体的に一様に(同じ膨張率で)膨張する。このため、対物光学系104にて発生する収差が、熱膨張係数σTに応じた10−5〜10−7/℃のオーダーで拡大される。
一般に、複数枚のレンズ(およびミラー)により構成される光学系の設計では、各レンズで生じる収差を複数枚のレンズ同士でキャンセルさせることにより、光学系全系で良好な光学性能を得る。光学系が設計値に対して全体的に一様に膨張する場合、設計値における複数枚のレンズによる収差のキャンセル関係は維持されたまま、形状が膨張した分だけ収差も拡大される。
一方、広い波長域で良好な光学性能を得るためには、色収差が補正されていることが好ましい。色収差を補正するためには、複数枚のレンズに対して分散が異なる複数種類のガラス材料を使用する必要がある。具体的には、3種類以上の種類のガラス材料を使用すると、設計の自由度が増加し、良好な光学性能を得るのに有利である。
しかし、レンズ毎にガラス材料が異なり、温度変化に対する屈折率の変化率dn/dtや熱膨張係数σTが異なると、温度変化による収差の変化の仕方がレンズ毎に異なってしまう。したがって、温度変化によって光学系の設計値における複数枚のレンズによる収差のキャンセル関係が崩れてしまい、光学系全系で良好な光学性能を得ることが困難になる。
このため、本実施例では、対物光学系104を構成する光学素子(M1,M2,F1,L)を保持する鏡筒の材料として、以下の条件(1)を満足する材料を選択する。鏡筒の材料としては、金属材料やセラミックス材料であることが望ましい。
複数の光学素子(M1,M2,F1,L)が有する複数の光学面(屈折面および反射面)のうち、物体面103aから像面105aに向かう光線が通過する順に物体面側から数えてi番目の光学面とi+1番目の光学面との間の媒質の屈折率をNiとする。i番目の光学面とi+1番目の光学面との間の距離をDiとし、i番目の光学面の近軸曲率半径をRiとする。また、対物光学装置(顕微鏡装置)の温度がΔTだけ変化したときの屈折率Ni、距離Diおよび近軸曲率半径Riの変化量をそれぞれΔNi、ΔDiおよびΔRiとする。対物光学系104に含まれる光学面間隔の数をd_numとし、上記温度のΔTの変化の前後における各光学面間隔の変化比率の平均Aを、
A=(Σi=1〜d_num{[(Di+ΔDi)/(Ni+ΔNi)]/(Di/Ni)})/d_num
とする。さらに、上記複数の光学面のうち平面を除いた曲面光学面の数をr_numとし、上記温度のΔTの変化の前後における曲面光学面のパワーの変化比率の平均Bを、
B=(Σi=1〜r_num{[1/(Ri+ΔRi)]×[(Ni+ΔNi)−(Ni−1+ΔNi−1)]}
/[(1/Ri)×(Ni−Ni−1)])/r_num
とする。このとき、
鏡筒を、
0.9999≦A×B≦1.0001 ...(1)
なる条件を満足する材料により形成する。
A×Bが条件(1)を満足すると、温度変化後の対物光学系104が、その設計値を一様に拡大または縮小した状態に近くなる。このため、設計値における光学素子間の収差のキャンセル関係を維持することができ、温度変化による収差変動を小さく抑えることができる。
A=(Σi=1〜d_num{[(Di+ΔDi)/(Ni+ΔNi)]/(Di/Ni)})/d_num
とする。さらに、上記複数の光学面のうち平面を除いた曲面光学面の数をr_numとし、上記温度のΔTの変化の前後における曲面光学面のパワーの変化比率の平均Bを、
B=(Σi=1〜r_num{[1/(Ri+ΔRi)]×[(Ni+ΔNi)−(Ni−1+ΔNi−1)]}
/[(1/Ri)×(Ni−Ni−1)])/r_num
とする。このとき、
鏡筒を、
0.9999≦A×B≦1.0001 ...(1)
なる条件を満足する材料により形成する。
A×Bが条件(1)を満足すると、温度変化後の対物光学系104が、その設計値を一様に拡大または縮小した状態に近くなる。このため、設計値における光学素子間の収差のキャンセル関係を維持することができ、温度変化による収差変動を小さく抑えることができる。
A×Bが条件(1)の上限値を超えると、各曲面光学面のパワーの変化比率に比べて各光学面間隔の変化比率が大きくなり過ぎ、温度変化後の対物光学系104が、その設計値を一様に拡大または縮小した状態からかけ離れてしまう。このため、温度変化による収差変動が大きくなり、広い使用温度範囲において良好な光学性能を得ることが困難となる。
一方、A×Bが条件(1)の下限値を下回ると、各曲面光学面のパワーの変化比率に比べて各光学面間隔の変化比率が小さくなり過ぎ、温度変化後の対物光学系104が、その設計値を一様に拡大または縮小した状態からかけ離れてしまう。このため、温度変化による収差変動が大きくなり、広い使用温度範囲において良好な光学性能を得ることが困難となる。
ここで、より好ましくは、条件(1)の数値範囲を以下のように設定するとよい。
0.99995≦A×B≦1.00005 ...(2)
以下、上記実施例1をより具体的に示す数値例について説明する。
[数値例1]
図3に示す数値例1の対物光学系104Aにおいて、第1の結像光学系G1は、第1の光学素子(マンジャンミラー)M1と、第2の光学素子(マジャンミラー)M2と、開口絞りASと、フィールドレンズL1,L2とにより構成されている。第2の結像光学系G2は、レンズL3〜L15により構成されている。第1の結像光学系G1および第2の結像光学系G2は、鏡筒Kによって保持されている。対物光学系104Aにおける物体面(試料)103aから像面(撮像素子)105aに至る光束の光路は、上記実施例にて説明した通りである。表Aには、本数値例の諸数値を示している。
以下、上記実施例1をより具体的に示す数値例について説明する。
[数値例1]
図3に示す数値例1の対物光学系104Aにおいて、第1の結像光学系G1は、第1の光学素子(マンジャンミラー)M1と、第2の光学素子(マジャンミラー)M2と、開口絞りASと、フィールドレンズL1,L2とにより構成されている。第2の結像光学系G2は、レンズL3〜L15により構成されている。第1の結像光学系G1および第2の結像光学系G2は、鏡筒Kによって保持されている。対物光学系104Aにおける物体面(試料)103aから像面(撮像素子)105aに至る光束の光路は、上記実施例にて説明した通りである。表Aには、本数値例の諸数値を示している。
本数値例では、第1の結像光学系G1に含まれる第1の光学素子M1における物体面側の面M1aと第2の光学素子M2における像面側の面M2bはいずれも非球面形状を有する。これにより、色収差の発生を抑えつつ球面収差を良好に補正することができ、高NAでも、可視光の広い波長域にわたって対物光学系104Aの諸収差を良好に低減している。
また、第1の光学素子M1における物体面側の面M1aと第2の光学素子M2における像面側の面M2bには、いずれも正の屈折力が与えられている。これにより、第2の結像光学系G2のレンズ群の正の屈折力を強くして光学系全長を短くしても、ペッツバール和が増大しないようにしている。これは、ペッツバール和への効き方が、反射面と屈折面で反対となるためである。
さらに、第2の結像光学系G2内に設けられた遮光板SHは、レンズL6の像面側の面上に配置されている。
本数値例において、物体面側の開口数NAは0.7であり、視野領域は直径14.2mmである。瞳の中抜けの割合は面積比で3割以下に抑えられている。
図4には、本数値例の軸上物高(Y=0mm)および最軸外物高(Y=7.1mm)での収差を示している。本数値例では、656.3nm、587.6nm、486.1nm、435.8nmの各波長において収差は良好に抑えられており、白色光での波面収差も30mλrms以下に抑えられている。
また、本数値例では、鏡筒Kの材料の熱膨張率を7×10−6/℃としている。熱膨張率が7×10−6/℃程度の材料としては、酸化アルミニウム(Al2O3)等を用いることができる。
図5には、本数値例の対物光学系104A(つまりは対物光学装置)の温度が10℃上昇したときの白色波面収差の増加量を示している。d線波長(587.6nm)におけるA×Bの値は1.000064であり、条件(1)を満足する。このため、収差増加量は25.4mλrmsに抑えられている。この収差増加量は、例えば、温度が10℃上昇したときの第1の光学素子(マンジャンミラー)M1の膨張による収差増加量である35.4mλrmsに対して、それよりも小さい。すなわち、A×Bの値を1に近づけたことにより、温度変化によって各光学素子で生じる収差変動を複数の光学素子同士でキャンセルすることができ、温度変化による光学系全系の収差増加量を小さく抑えることができている。
なお、温度変化によるフォーカス変動については、物体距離を変更して補正している。
[数値例2]
図6に示す数値例2の対物光学系104Bにおいて、図3と同じ構成要素には同符号を付している。本数値例は、数値例1に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。また、図6では、図3に示した鏡筒Kの図示を省略している。表Bには、本数値例の諸数値を示している。
[数値例2]
図6に示す数値例2の対物光学系104Bにおいて、図3と同じ構成要素には同符号を付している。本数値例は、数値例1に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。また、図6では、図3に示した鏡筒Kの図示を省略している。表Bには、本数値例の諸数値を示している。
本数値例でも、物体面側の開口数NAは0.7であり、視野領域は直径14.2mmである。瞳の中抜けの割合は面積比で3割以下に抑えられている。
図7には、本数値例の軸上物高(Y=0mm)および最軸外物高(Y=7.1mm)での収差を示している。本数値例でも、656.3nm、587.6nm、486.1nm、435.8nmの各波長において収差は良好に抑えられており、白色光での波面収差も30mλrms以下に抑えられている。
本数値例では、鏡筒の材料の熱膨張率を11×10−6/℃としている。熱膨張率が11×10−6/℃程度の材料としては、ステンレス鋼等を用いることができる。
図5には、本数値例の対物光学系104B(つまりは対物光学装置)の温度が10℃上昇したときの白色波面収差の増加量を示している。d線波長(587.6nm)におけるA×Bの値は0.999906であり、条件(1)を満足する。このため、収差増加量は17.3mλrmsに抑えられている。温度変化によるフォーカス変動については、物体距離を変更して補正している。
[数値例3]
図8に示す数値例3の対物光学系104Cにおいて、図2および図3と同じ構成要素には同符号を付している。本数値例は、数値例1に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。また、図8では、図3に示した鏡筒Kの図示を省略している。表Cには、本数値例の諸数値を示している。
[数値例3]
図8に示す数値例3の対物光学系104Cにおいて、図2および図3と同じ構成要素には同符号を付している。本数値例は、数値例1に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。また、図8では、図3に示した鏡筒Kの図示を省略している。表Cには、本数値例の諸数値を示している。
本数値例でも、物体面側の開口数NAは0.7であり、視野領域は直径14.2mmである。瞳の中抜けの割合は面積比で3割以下に抑えられている。
図9には、本数値例の軸上物高(Y=0mm)および最軸外物高(Y=7.1mm)での収差を示している。本数値例でも、656.3nm、587.6nm、486.1nm、435.8nmの各波長において収差は良好に抑えられており、白色光での波面収差も30mλrms以下に抑えられている。
本数値例では、鏡筒の材料の熱膨張率を9×10−6/℃としている。熱膨張率が9×10−6/℃程度の材料としては、チタン合金(Ti−6Al−4V)等を用いることができる。
図5には、本数値例の対物光学系104C(つまりは対物光学装置)の温度が10℃上昇したときの白色波面収差の増加量を示している。d線波長(587.6nm)におけるA×Bの値は0.999971であり、条件(1)(さらには条件(2))を満足する。このため、収差増加量は13.5mλrmsに抑えられている。温度変化によるフォーカス変動については、物体距離を変更して補正している。
図10には、本発明の実施例2(数値例4)としての対物光学系104Dの構成を示している。本実施例は、実施例1と異なり、反射面を用いない屈折光学系として構成されている。図10において、図2および図3と同じ構成要素には同符号を付している。また、図10において、各光学素子を保持する鏡筒の図示は省略している。表Dには、本数値例の諸数値を示している。
本実施例(数値例)において、物体面側の開口数NAは0.7であり、視野領域は直径1.4mmである。
図11には、本実施例(数値例)の軸上物高(Y=0mm)および最軸外物高(Y=7.1mm)での収差を示している。本実施例では、656.3nm、587.6nm、486.1nm、435.8nmの各波長において収差は良好に抑えられており、白色光での波面収差も30mλrms以下に抑えられている。
本数値例では、鏡筒の材料の熱膨張率を13×10−6/℃としている。熱膨張率が13×10−6/℃程度の材料としては、ニッケル鋼等を用いることができる。
図5には、本数値例の対物光学系104D(つまりは対物光学装置)の温度が10℃上昇したときの白色波面収差の増加量を示している。d線波長(587.6nm)におけるA×Bの値は1.000095であり、条件(1)(さらには条件(2))を満足する。このため、収差増加量は39.2mλrmsに抑えられている。なお、このとき、温度によるフォーカス変動については、物体距離を変更して補正している。
[比較例1]
図12には、本発明の実施例1に対する比較例1としての対物光学系(反射屈折光学系)の構成を示している。図12において、図2および図3と同じ構成要素には同符号を付している。図12において、各光学素子を保持する鏡筒の図示は省略している。本数値例は、数値例1〜3に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。表Eには、本比較例の諸数値を示している。
[比較例1]
図12には、本発明の実施例1に対する比較例1としての対物光学系(反射屈折光学系)の構成を示している。図12において、図2および図3と同じ構成要素には同符号を付している。図12において、各光学素子を保持する鏡筒の図示は省略している。本数値例は、数値例1〜3に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。表Eには、本比較例の諸数値を示している。
この比較例でも、物体面側の開口数NAは0.7であり、視野領域は直径14.2mmである。瞳の中抜けの割合は面積比で3割以下に抑えられている。
図13には、本比較例の軸上物高(Y=0mm)および最軸外物高(Y=7.1mm)での収差を示している。本比較例では、設計基準温度において、656.3nm、587.6nm、486.1nm、435.8nmの各波長における収差は良好に抑えられており、白色光での波面収差は30mλrms以下に抑えられている。
本比較例では、鏡筒の材料の熱膨張率を13×10−6/℃としている。熱膨張率が13×10−6/℃程度の材料としてはニッケル鋼等を用いることができる。
図5に示すように、本比較例では、d線波長(587.6nm)においてA×Bの値は0.999813であり、収差増加量は45.4mλrmsである。本比較例では、数値例1〜4とは異なり、A×Bの値が1に対して小さくなり過ぎているため、温度変化による収差増加量が大きくなっている。なお、温度変化によるフォーカス変動については、物体距離を変更して補正している。
[比較例2]
図14には、本発明の実施例1に対する比較例2としての対物光学系(反射屈折光学系)の構成を示している。図14において、図2および図3と同じ構成要素には同符号を付している。図14において、各光学素子を保持する鏡筒の図示は省略している。本数値例は、数値例1〜3に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。数値表Fには、本比較例の諸数値を示している。
[比較例2]
図14には、本発明の実施例1に対する比較例2としての対物光学系(反射屈折光学系)の構成を示している。図14において、図2および図3と同じ構成要素には同符号を付している。図14において、各光学素子を保持する鏡筒の図示は省略している。本数値例は、数値例1〜3に対して、各光学素子の数値は異なるが、光学系の構成は同じである。数値表Fには、本比較例の諸数値を示している。
この比較例でも、物体面側の開口数NAは0.7であり、視野領域は直径14.2mmである。瞳の中抜けの割合は面積比で3割以下に抑えられている。
図15には、本比較例の軸上物高(Y=0mm)および最軸外物高(Y=7.1mm)での収差を示している。本比較例では、設計基準温度において、656.3nm、587.6nm、486.1nm、435.8nmの各波長における収差は良好に抑えられており、白色光での波面収差は30mλrms以下に抑えられている。
本比較例では、鏡筒の材料の熱膨張率を5×10−6/℃としている。熱膨張率が5×10−6/℃程度の材料としては窒化アルミニウム(AlN)等を用いることができる。
図5に示すように、本比較例では、d線波長(587.6nm)においてA×Bの値は1.000118であり、収差増加量は64.0mλrmsである。本比較例では、数値例1〜4とは異なり、A×Bの値が1に対して大きくなり過ぎているため、温度変化による収差増加量が大きくなっている。なお、温度変化によるフォーカス変動については、物体距離を変更して補正している。
以上説明したように、条件(1)(又は(2))を満足するようにA×Bの値を1に近づける、つまり温度変化後の対物光学系をその設計値を一様に拡大または縮小した状態に近づけることで、広い波長域において温度変化による収差変動を小さく抑えることができる。したがって、可視光領域のように広い波長域にわたって、かつ広い使用温度範囲において収差を良好に低減し、高い光学性能を有する対物光学装置を実現することができる。そして、このような対物光学装置を用いることで、使用環境の温度によらず良好な画質の画像を取得可能な撮像装置を実現することができる。
表A〜Fにおいて、面番号は物体面から像面に向かって数えた光学面の順番である。rはi番目の光学面の曲率半径である。dはi番目の光学面とi+1番目の光学面との間の間隔である。符号は物体面側から像面側に向かって(光が進行する方向を)正とし、その逆方向を負としている。
Ndおよびνdはそれぞれ、d線波長(587.6nm)に対する材料の屈折率とアッベ数である。
非球面の形状は、以下の式(3)に示す非球面式で表される。式(3)において、Zは光軸方向の座標、cは曲率(曲率半径rの逆数)、hは光軸からの高さ、kは円錐係数である。A、B、C、D、E、F、G、H、J・・・はそれぞれ、4次、6次、8次、10次、12次、14次、16次、18次、20次、・・・の非球面係数である。「E−X」は「10-X」を意味する。
(表A)
数値例1
A×B=1.000064
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 56.4
2 1.00E+18 2.00
3 612.52 9.82 1.52 64.1
4 -1140.27 71.98
5 -85.94 7.41 1.52 64.1
6 -115.91 -7.41 1.52 64.1
7 -85.94 -71.98
8 1.00E+18 0.00
9 -1140.27 -9.82 1.52 64.1
10 612.52 9.82 1.52 64.1
11 -1140.27 71.98
12 -85.94 7.41 1.52 64.1
13 -115.91 3.00
14 -342.00 9.40 1.62 63.3
15 -23.62 5.01 1.74 32.3
16 -56.49 0.50
17 55.27 10.08 1.64 55.4
18 -50.09 10.05
19 29.87 8.18 1.50 81.5
20 52.17 5.09
21 61.67 9.31 1.70 41.2
22 -57.26 5.88
23 -27.73 5.00 1.67 38.1
24 145.95 8.68
25 261.22 11.37 1.49 70.2
26 -106.50 0.89
27 243.92 13.49 1.72 47.9
28 -54.01 0.50
29 48.69 16.80 1.56 60.7
30 -422.92 0.62
31 61.00 5.01 1.75 35.3
32 40.09 23.27
33 -30.22 5.00 1.72 43.7
34 135.45 21.33
35 -39.24 5.00 1.49 70.2
36 -252.57 12.14
37 -97.30 18.00 1.74 44.8
38 -62.93 0.50
39 -126.53 22.00 1.81 40.9
40 -78.63 1.56
41 -3700.33 22.67 1.71 53.9
42 -267.36 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0.00
数値例1
A×B=1.000064
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 56.4
2 1.00E+18 2.00
3 612.52 9.82 1.52 64.1
4 -1140.27 71.98
5 -85.94 7.41 1.52 64.1
6 -115.91 -7.41 1.52 64.1
7 -85.94 -71.98
8 1.00E+18 0.00
9 -1140.27 -9.82 1.52 64.1
10 612.52 9.82 1.52 64.1
11 -1140.27 71.98
12 -85.94 7.41 1.52 64.1
13 -115.91 3.00
14 -342.00 9.40 1.62 63.3
15 -23.62 5.01 1.74 32.3
16 -56.49 0.50
17 55.27 10.08 1.64 55.4
18 -50.09 10.05
19 29.87 8.18 1.50 81.5
20 52.17 5.09
21 61.67 9.31 1.70 41.2
22 -57.26 5.88
23 -27.73 5.00 1.67 38.1
24 145.95 8.68
25 261.22 11.37 1.49 70.2
26 -106.50 0.89
27 243.92 13.49 1.72 47.9
28 -54.01 0.50
29 48.69 16.80 1.56 60.7
30 -422.92 0.62
31 61.00 5.01 1.75 35.3
32 40.09 23.27
33 -30.22 5.00 1.72 43.7
34 135.45 21.33
35 -39.24 5.00 1.49 70.2
36 -252.57 12.14
37 -97.30 18.00 1.74 44.8
38 -62.93 0.50
39 -126.53 22.00 1.81 40.9
40 -78.63 1.56
41 -3700.33 22.67 1.71 53.9
42 -267.36 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0.00
(表B)
数値例2
A×B=0.999906
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 64.1
2 1.00E+18 2.00
3 631.40 9.43 1.52 64.1
4 -1503.69 72.79
5 -85.20 7.29 1.52 64.1
6 -115.24 -7.29 1.52 64.1
7 -85.20 -72.79
8 1.00E+18 0.00
9 -1503.69 -9.43 1.52 64.1
10 631.40 9.43 1.52 64.1
11 -1503.69 72.79
12 -85.20 7.29 1.52 64.1
13 -115.24 3.00
14 -167.37 7.91 1.62 63.3
15 -21.50 5.00 1.74 32.3
16 -47.44 0.50
17 66.72 9.00 1.64 55.4
18 -57.74 8.59
19 41.09 10.46 1.49 70.2
20 -125.56 4.31
21 -256.72 7.42 1.75 35.3
22 -46.00 6.77
23 -25.97 5.73 1.62 36.3
24 -350.49 13.67
25 86.68 9.99 1.49 70.2
26 -2000.00 0.89
27 97.04 14.83 1.76 47.8
28 -61.65 0.50
29 48.86 7.72 1.59 61.1
30 60.41 8.69
31 64.22 10.31 1.74 32.3
32 51.76 20.56
33 -28.48 5.00 1.72 38.0
34 897.46 20.79
35 -40.36 5.00 1.52 64.1
36 -310.17 11.11
37 -116.86 16.12 1.74 44.8
38 -75.67 0.50
39 -168.54 20.71 1.71 53.9
40 -87.61 0.50
41 -4163.50 24.44 1.81 40.9
42 -171.08 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
数値例2
A×B=0.999906
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 64.1
2 1.00E+18 2.00
3 631.40 9.43 1.52 64.1
4 -1503.69 72.79
5 -85.20 7.29 1.52 64.1
6 -115.24 -7.29 1.52 64.1
7 -85.20 -72.79
8 1.00E+18 0.00
9 -1503.69 -9.43 1.52 64.1
10 631.40 9.43 1.52 64.1
11 -1503.69 72.79
12 -85.20 7.29 1.52 64.1
13 -115.24 3.00
14 -167.37 7.91 1.62 63.3
15 -21.50 5.00 1.74 32.3
16 -47.44 0.50
17 66.72 9.00 1.64 55.4
18 -57.74 8.59
19 41.09 10.46 1.49 70.2
20 -125.56 4.31
21 -256.72 7.42 1.75 35.3
22 -46.00 6.77
23 -25.97 5.73 1.62 36.3
24 -350.49 13.67
25 86.68 9.99 1.49 70.2
26 -2000.00 0.89
27 97.04 14.83 1.76 47.8
28 -61.65 0.50
29 48.86 7.72 1.59 61.1
30 60.41 8.69
31 64.22 10.31 1.74 32.3
32 51.76 20.56
33 -28.48 5.00 1.72 38.0
34 897.46 20.79
35 -40.36 5.00 1.52 64.1
36 -310.17 11.11
37 -116.86 16.12 1.74 44.8
38 -75.67 0.50
39 -168.54 20.71 1.71 53.9
40 -87.61 0.50
41 -4163.50 24.44 1.81 40.9
42 -171.08 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
(表C)
数値例3
A×B=0.999971
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 56.4
2 1.00E+18 2.00
3 608.77 9.82 1.52 64.1
4 -1165.33 72.05
5 -85.98 7.41 1.52 64.1
6 -116.06 -7.41 1.52 64.1
7 -85.98 -72.05
8 1.00E+18 0.00
9 -1165.33 -9.82 1.52 64.1
10 608.77 9.82 1.52 64.1
11 -1165.33 72.05
12 -85.98 7.41 1.52 64.1
13 -116.06 3.00
14 -368.14 10.24 1.62 63.3
15 -22.92 5.00 1.74 32.3
16 -52.30 0.50
17 53.63 10.00 1.64 55.4
18 -55.39 9.31
19 30.29 8.07 1.50 81.5
20 52.26 5.96
21 63.51 9.26 1.70 41.2
22 -55.04 5.88
23 -28.18 5.00 1.67 38.1
24 143.94 8.72
25 398.99 11.15 1.49 70.2
26 -111.19 0.89
27 217.81 13.86 1.72 47.9
28 -55.29 0.50
29 44.47 16.04 1.56 60.7
30 500.65 1.25
31 65.43 5.01 1.75 35.3
32 47.55 22.88
33 -30.03 5.00 1.72 38.0
34 130.12 21.78
35 -39.45 5.00 1.49 70.2
36 -149.98 11.82
37 -79.05 18.00 1.75 35.3
38 -62.43 0.50
39 -120.92 22.00 1.75 35.3
40 -75.37 0.50
41 1768.63 23.10 1.74 44.8
42 -299.87 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
数値例3
A×B=0.999971
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 56.4
2 1.00E+18 2.00
3 608.77 9.82 1.52 64.1
4 -1165.33 72.05
5 -85.98 7.41 1.52 64.1
6 -116.06 -7.41 1.52 64.1
7 -85.98 -72.05
8 1.00E+18 0.00
9 -1165.33 -9.82 1.52 64.1
10 608.77 9.82 1.52 64.1
11 -1165.33 72.05
12 -85.98 7.41 1.52 64.1
13 -116.06 3.00
14 -368.14 10.24 1.62 63.3
15 -22.92 5.00 1.74 32.3
16 -52.30 0.50
17 53.63 10.00 1.64 55.4
18 -55.39 9.31
19 30.29 8.07 1.50 81.5
20 52.26 5.96
21 63.51 9.26 1.70 41.2
22 -55.04 5.88
23 -28.18 5.00 1.67 38.1
24 143.94 8.72
25 398.99 11.15 1.49 70.2
26 -111.19 0.89
27 217.81 13.86 1.72 47.9
28 -55.29 0.50
29 44.47 16.04 1.56 60.7
30 500.65 1.25
31 65.43 5.01 1.75 35.3
32 47.55 22.88
33 -30.03 5.00 1.72 38.0
34 130.12 21.78
35 -39.45 5.00 1.49 70.2
36 -149.98 11.82
37 -79.05 18.00 1.75 35.3
38 -62.43 0.50
39 -120.92 22.00 1.75 35.3
40 -75.37 0.50
41 1768.63 23.10 1.74 44.8
42 -299.87 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
(表D)
数値例4
A×B=1.000095
面番号 r d Nd νd
物体面 5.00
1 -28.72 14.35 1.60 39.2
2 -18.87 0.50
3 -102.93 30.00 1.44 94.9
4 -37.32 21.78
5 -279.40 25.00 1.44 94.9
6 -65.90 -2.00
7 1E+18 2.50
8 3568.77 25.00 1.44 94.9
9 -46.39 5.00 1.49 70.2
10 -159.62 0.50
11 183.29 22.41 1.44 94.9
12 -58.95 5.00 1.76 40.1
13 -94.88 0.50
14 248.09 3.00 1.65 39.7
15 57.27 20.36 1.44 94.9
16 -69.82 4.37
17 -68.92 3.00 1.69 53.2
18 -551.64 97.87
19 135.12 30.00 1.81 25.4
20 -490.23 61.85
21 -74.05 3.00 1.49 70.2
22 41.56 4.01
23 -25.82 3.00 1.60 39.2
24 39.06 18.00
25 479.31 3.00 1.81 25.4
26 76.92 9.10 1.79 47.4
27 -40.42 89.29
像面 0.00
(表E)
比較例1
A×B=0.999813
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 64.1
2 1.00E+18 2.02
3 627.10 9.24 1.52 64.1
4 -2119.98 73.27
5 -85.56 7.33 1.52 64.1
6 -115.52 -7.33 1.52 64.1
7 -85.56 -73.27
8 1.00E+18 0.00
9 -2119.98 -9.24 1.52 64.1
10 627.10 9.24 1.52 64.1
11 -2119.98 73.27
12 -85.56 7.33 1.52 64.1
13 -115.52 2.99
14 -425.28 7.81 1.62 63.3
15 -23.43 5.00 1.74 32.3
16 -59.57 0.50
17 79.43 8.73 1.62 63.3
18 -51.62 7.95
19 35.91 9.80 1.49 70.2
20 2950.92 5.71
21 144.66 8.35 1.75 35.3
22 -56.11 5.53
23 -27.54 7.77 1.62 36.3
24 -13481359.51 13.60
25 100.96 9.49 1.49 70.2
26 -2000.00 0.89
27 96.48 14.57 1.76 47.8
28 -65.43 0.50
29 50.97 11.06 1.59 61.1
30 106.60 6.19
31 58.69 5.00 1.76 27.5
32 44.84 20.23
33 -29.58 5.00 1.74 44.8
34 428.20 22.92
35 -40.19 5.00 1.52 64.1
36 -1000.00 12.55
37 -123.13 17.89 1.74 44.8
38 -73.82 0.50
39 -199.87 22.61 1.71 53.9
40 -89.70 0.50
41 72755.57 21.01 1.81 40.9
42 -243.76 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
数値例4
A×B=1.000095
面番号 r d Nd νd
物体面 5.00
1 -28.72 14.35 1.60 39.2
2 -18.87 0.50
3 -102.93 30.00 1.44 94.9
4 -37.32 21.78
5 -279.40 25.00 1.44 94.9
6 -65.90 -2.00
7 1E+18 2.50
8 3568.77 25.00 1.44 94.9
9 -46.39 5.00 1.49 70.2
10 -159.62 0.50
11 183.29 22.41 1.44 94.9
12 -58.95 5.00 1.76 40.1
13 -94.88 0.50
14 248.09 3.00 1.65 39.7
15 57.27 20.36 1.44 94.9
16 -69.82 4.37
17 -68.92 3.00 1.69 53.2
18 -551.64 97.87
19 135.12 30.00 1.81 25.4
20 -490.23 61.85
21 -74.05 3.00 1.49 70.2
22 41.56 4.01
23 -25.82 3.00 1.60 39.2
24 39.06 18.00
25 479.31 3.00 1.81 25.4
26 76.92 9.10 1.79 47.4
27 -40.42 89.29
像面 0.00
(表E)
比較例1
A×B=0.999813
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 64.1
2 1.00E+18 2.02
3 627.10 9.24 1.52 64.1
4 -2119.98 73.27
5 -85.56 7.33 1.52 64.1
6 -115.52 -7.33 1.52 64.1
7 -85.56 -73.27
8 1.00E+18 0.00
9 -2119.98 -9.24 1.52 64.1
10 627.10 9.24 1.52 64.1
11 -2119.98 73.27
12 -85.56 7.33 1.52 64.1
13 -115.52 2.99
14 -425.28 7.81 1.62 63.3
15 -23.43 5.00 1.74 32.3
16 -59.57 0.50
17 79.43 8.73 1.62 63.3
18 -51.62 7.95
19 35.91 9.80 1.49 70.2
20 2950.92 5.71
21 144.66 8.35 1.75 35.3
22 -56.11 5.53
23 -27.54 7.77 1.62 36.3
24 -13481359.51 13.60
25 100.96 9.49 1.49 70.2
26 -2000.00 0.89
27 96.48 14.57 1.76 47.8
28 -65.43 0.50
29 50.97 11.06 1.59 61.1
30 106.60 6.19
31 58.69 5.00 1.76 27.5
32 44.84 20.23
33 -29.58 5.00 1.74 44.8
34 428.20 22.92
35 -40.19 5.00 1.52 64.1
36 -1000.00 12.55
37 -123.13 17.89 1.74 44.8
38 -73.82 0.50
39 -199.87 22.61 1.71 53.9
40 -89.70 0.50
41 72755.57 21.01 1.81 40.9
42 -243.76 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
(表F)
比較例2
A×B=1.000118
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 64.1
2 1.00E+18 2.00
3 624.09 9.33 1.52 64.1
4 -1764.54 72.81
5 -86.09 7.30 1.52 64.1
6 -115.63 -7.30 1.52 64.1
7 -86.09 -72.81
8 1.00E+18 0.00
9 -1764.54 -9.33 1.52 64.1
10 624.09 9.33 1.52 64.1
11 -1764.54 72.81
12 -86.09 7.30 1.52 64.1
13 -115.63 3.00
14 -115.57 7.67 1.62 63.3
15 -22.21 5.00 1.74 32.3
16 -46.43 0.50
17 56.20 10.42 1.62 63.3
18 -57.91 8.63
19 40.18 10.30 1.49 70.2
20 -157.51 4.05
21 -252.10 7.34 1.75 35.3
22 -47.38 7.07
23 -25.85 5.36 1.62 36.3
24 -265.08 13.16
25 82.91 10.18 1.49 70.2
26 -1254.93 0.89
27 101.38 14.42 1.76 47.8
28 -60.77 0.50
29 46.20 7.62 1.59 61.1
30 55.07 9.15
31 63.06 9.28 1.75 35.3
32 51.57 20.56
33 -28.35 5.00 1.72 38.0
34 -1518.24 19.70
35 -39.82 8.22 1.52 64.1
36 -757.72 11.92
37 -138.55 15.47 1.74 44.8
38 -73.08 0.50
39 -185.64 21.71 1.71 53.9
40 -89.67 0.50
41 -1337.65 21.95 1.81 40.9
42 -202.62 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
比較例2
A×B=1.000118
面番号 r d Nd νd
物体面 2.00
1 1.00E+18 1.00 1.52 64.1
2 1.00E+18 2.00
3 624.09 9.33 1.52 64.1
4 -1764.54 72.81
5 -86.09 7.30 1.52 64.1
6 -115.63 -7.30 1.52 64.1
7 -86.09 -72.81
8 1.00E+18 0.00
9 -1764.54 -9.33 1.52 64.1
10 624.09 9.33 1.52 64.1
11 -1764.54 72.81
12 -86.09 7.30 1.52 64.1
13 -115.63 3.00
14 -115.57 7.67 1.62 63.3
15 -22.21 5.00 1.74 32.3
16 -46.43 0.50
17 56.20 10.42 1.62 63.3
18 -57.91 8.63
19 40.18 10.30 1.49 70.2
20 -157.51 4.05
21 -252.10 7.34 1.75 35.3
22 -47.38 7.07
23 -25.85 5.36 1.62 36.3
24 -265.08 13.16
25 82.91 10.18 1.49 70.2
26 -1254.93 0.89
27 101.38 14.42 1.76 47.8
28 -60.77 0.50
29 46.20 7.62 1.59 61.1
30 55.07 9.15
31 63.06 9.28 1.75 35.3
32 51.57 20.56
33 -28.35 5.00 1.72 38.0
34 -1518.24 19.70
35 -39.82 8.22 1.52 64.1
36 -757.72 11.92
37 -138.55 15.47 1.74 44.8
38 -73.08 0.50
39 -185.64 21.71 1.71 53.9
40 -89.67 0.50
41 -1337.65 21.95 1.81 40.9
42 -202.62 1.50
43 1.00E+18 6.00 1.52 64.1
44 1.00E+18 3.00
像面 0
以上説明した各実施例は代表的な例にすぎず、本発明の実施に際しては、各実施例に対して種々の変形や変更が可能である。
高い光学性能を有する対物光学系を備えた光学装置や撮像装置を提供できる。
103a 物体面
104 対物光学系
105a 像面
IM 中間像
G1 第1の結像光学系
G2 第2の結像光学系
M1 第1の光学素子
M2 第2の光学素子
K 鏡筒
104 対物光学系
105a 像面
IM 中間像
G1 第1の結像光学系
G2 第2の結像光学系
M1 第1の光学素子
M2 第2の光学素子
K 鏡筒
Claims (4)
- 対物光学系を構成する複数の光学素子を保持部材により保持した対物光学装置であって、
前記複数の光学素子が有する複数の光学面のうち、物体面から像面に向かう光線が通過する順に前記物体面側から数えてi番目の光学面とi+1番目の光学面との間の媒質の屈折率をNiとし、前記i番目の光学面と前記i+1番目の光学面との間の距離をDiとし、前記i番目の光学面の近軸曲率半径をRiとし、該装置の温度がΔTだけ変化したときの前記屈折率、前記距離および前記近軸曲率半径の変化量をそれぞれΔNi、ΔDiおよびΔRiとし、前記対物光学系に含まれる光学面間隔の数をd_numとし、前記温度のΔTの変化の前後における前記各光学面間隔の変化比率の平均Aを、
A=(Σi=1〜d_num{[(Di+ΔDi)/(Ni+ΔNi)]/(Di/Ni)})/d_num
とし、前記複数の光学面のうち平面を除いた曲面光学面の数をr_numとし、前記温度のΔTの変化の前後における前記曲面光学面のパワーの変化比率の平均Bを、
B=(Σi=1〜r_num{[1/(Ri+ΔRi)]×[(Ni+ΔNi)−(Ni−1+ΔNi−1)]}
/[(1/Ri)×(Ni−Ni−1)])/r_num
とするとき、
前記保持部材は、
0.9999≦A×B≦1.0001
なる条件を満足する材料により形成されていることを特徴とする対物光学装置。 - 前記複数の光学素子がガラス材料により形成されており、
前記保持部材が、前記条件を満足する金属材料またはセラミックス材料により形成されていることを特徴とする請求項1に記載の対物光学装置。 - 前記対物光学系は、前記物体面からの光束に該物体面の中間像を形成させる反射屈折部を含む第1の結像光学系と、前記中間像からの光束を前記像面に結像させる屈折部を含む第2の結像光学系とを有する反射屈折光学系であり、
前記第1の結像光学系は、前記物体面側から順に、第1の光学素子と第2の光学素子とを有し、
前記第1の光学素子は、光軸側から周辺側に向かって順に、光を透過する第1の透過部と、前記物体側の面に反射膜を形成した第1の裏面反射部とを有し、
前記第2の光学素子は、光軸側から周辺側に向かって順に、光を透過する第2の透過部と、前記像面側の面に反射膜を形成した第2の裏面反射部とを有し、
前記第1および第2の光学素子は、前記第1および第2の裏面反射部の反射面が互いに対向するように配置されており、
前記物体面からの光束が、前記第1の透過部、前記第2の裏面反射部、前記第1の裏面反射部および前記第2の透過部をこの順で通って前記第2の結像光学系に向かって射出し、
前記第2の結像光学系は、正の屈折力を有することを特徴とする請求項1または2に記載の対物光学装置。 - 請求項1から3のいずれか1項に記載の対物光学装置と、
該対物光学装置により形成された光学像を光電変換する撮像素子とを有することを特徴とする撮像装置。
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JP2012201840A JP2014056172A (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | 対物光学装置および撮像装置 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012201840A JP2014056172A (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | 対物光学装置および撮像装置 |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
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JP2012201840A Pending JP2014056172A (ja) | 2012-09-13 | 2012-09-13 | 対物光学装置および撮像装置 |
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---|---|
JP (1) | JP2014056172A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105022149A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-04 | 梧州奥卡光学仪器有限公司 | 25倍长工作距离平场消色差物镜 |
-
2012
- 2012-09-13 JP JP2012201840A patent/JP2014056172A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN105022149A (zh) * | 2015-07-31 | 2015-11-04 | 梧州奥卡光学仪器有限公司 | 25倍长工作距离平场消色差物镜 |
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