JP2014055859A - ガスセンサ素子、及びガスセンサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ガスセンサ素子は、測定室内に導入されたガスに晒される露出電極部、又は外部空間に存在するガスに晒される露出電極部を少なくとも有する複数の電極部と、複数の電極部とガスセンサ素子の後端側の外表面に配置される複数の電極パッドとを電気的に接続する複数の配線ユニットと、を備え、複数の配線ユニットは、露出電極部に接続すると共に、露出電極部よりも緻密である緻密部を少なくとも一部に有する緻密配線ユニットを備え、緻密部は、SiO2を主成分としたガラスが空隙を閉塞してなる。
【選択図】図5
Description
前記複数の配線ユニットのうち、前記露出電極部に接続すると共に、前記露出電極部よりも緻密である緻密部を少なくとも一部に有する緻密配線ユニットを備え、前記緻密部は、SiO2を主成分としたガラスが空隙を閉塞してなることを特徴とする。
前記複数の配線ユニットは、前記露出電極部に接続すると共に、前記露出電極部よりも緻密である緻密部を少なくとも一部に有する緻密配線ユニットを有し、前記緻密部は、SiO2を主成分としたガラスが空隙を閉塞してなることを特徴とする。
また、第1リード部20bを緻密部599の形成予定位置以外の部位に印刷した後、第1リード部20bの緻密部599の形成予定位置にPtとガラスを含むペーストを印刷し、印刷したペーストを加熱してガラスを溶融させ、その後、ガラスを固化させることで形成してもよい。
また、第2実施形態では、第1リード部20b、第3リード部20c、第4リード部21b、及び第5リード部23bにそれぞれ緻密部599が設けられていたが、これに限られず、第1リード部20bのみに緻密部599を設けてもよいし、第3リード部20cのみに緻密部599を設けてもよいし、第4リード部21bのみに緻密部599を設けてもよいし、第5リード部23bのみに緻密部599を設けていてもよい。さらには、第3配線ユニットL3に接続する、第3リード部20c、第4リード部21b、第5リード部23bに緻密部599を設け、さらには、第1配線ユニットL1に接続する、第1リード部20bに緻密部599を設けていない形態であってもよい。
19…露出電極部
20…ガスセンサ素子
20b…第1リード部
20c…第3リード部
21b…第4リード部
21c…第2リード部
23b…第5リード部
23c…第6リード部
31…第1スルーホール導体部
31p,32p,33p…一端側開口
32…第2スルーホール導体部
33…第3スルーホール導体部
50…ヒータ
99、599…緻密部
200…ガスセンサ
Claims (7)
- 長手方向に延びる板状の積層型ガスセンサ素子であって、
前記長手方向先端側に配置され、外部空間からガス導入部を介してガスが導入された少なくとも1つの測定室と、
該測定室に面するように設けられた固体電解質層と、
前記固体電解質層の表面上に対をなして配置された複数の電極部であって、前記測定室内に導入されたガスに直接又は他部材を介して晒される露出電極部を少なくとも有する複数の電極部と、
前記複数の電極部と前記積層型ガスセンサ素子の前記長手方向後端側の外表面に配置される複数の電極パッドとを電気的に接続する複数の配線ユニットと、
を備える積層型ガスセンサ素子において、
前記複数の配線ユニットは、前記露出電極部に接続すると共に、前記露出電極部よりも緻密である緻密部を少なくとも一部に有する緻密配線ユニットを有し、
前記緻密部は、SiO2を主成分としたガラスが空隙を閉塞してなることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。 - 長手方向に延びる板状の積層型ガスセンサ素子であって、
固体電解質層と、
前記固体電解質層の前記長手方向先端側の表面上に対をなして配置された複数の電極部であって、外部空間に存在するガスに直接又は他部材を介して晒される露出電極部を少なくとも有する複数の電極部と、
前記複数の電極部と前記積層型ガスセンサ素子の前記長手方向後端側の外表面に配置される複数の電極パッドとを電気的に接続する複数の配線ユニットと、
を備える積層型ガスセンサ素子において、
前記複数の配線ユニットは、前記露出電極部に接続すると共に、前記露出電極部よりも緻密である緻密部を少なくとも一部に有する緻密配線ユニットを有し、
前記緻密部は、SiO2を主成分としたガラスが空隙を閉塞してなることを特徴とする、積層型ガスセンサ素子。 - 請求項1又は請求項2に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記積層型ガスセンサ素子の前記長手方向先端側をHeガスに晒した時に、前記前記積層型ガスセンサ素子の前記長手方向後端側から外部に漏れ出す前記Heガスのリーク量は、1×10−8cc/sec以下である、ことを特徴とする積層型ガスセンサ素子。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記配線ユニットは、前記電極部に接続するリード部と、該リード部と前記電極パッドとを接続し、前記積層型ガスセンサ素子の積層方向に貫通するスルーホール導体部と、を備えており、
前記緻密部は、前記スルーホール導体部の空隙を前記ガラスが閉塞してなる、ことを特徴とするガスセンサ素子。 - 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記配線ユニットは、前記電極部に接続するリード部と、該リード部と前記電極パッドとを接続し、前記積層型ガスセンサ素子の積層方向に貫通するスルーホール導体部と、を備えており、
前記緻密部は、前記リード部の空隙を前記ガラスが閉塞してなる、ことを特徴とする積層型ガスセンサ素子。 - 請求項5に記載の積層型ガスセンサ素子において、
前記緻密部は、前記リード部の中央よりも前記長手方向後端側に設けられてなる、ことを特徴とする積層型ガスセンサ素子。 - 請求項1乃至請求項6のいずれか一項に記載の積層型ガスセンサ素子と、
前記ガスセンサ素子の長手方向前記先端側が自身の先端から突出するようにして前記ガスセンサ素子を保持する筒状の主体金具と、
前記主体金具に取り付けられ、前記外気導入部を含む前記ガスセンサ素子の先端側の周囲を取り囲むプロテクタと、を備えることを特徴とするガスセンサ。
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Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015212685A (ja) * | 2014-04-15 | 2015-11-26 | アークレイ株式会社 | センサおよび測定装置 |
JP2016070740A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 株式会社デンソー | 積層型ガスセンサ素子およびその製造方法 |
JP2016180696A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子 |
WO2019155866A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2019-08-15 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
WO2019155867A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2019-08-15 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
WO2019155865A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2019-08-15 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
JP2021156647A (ja) * | 2020-03-25 | 2021-10-07 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6091248A (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス成分検出栓 |
JPH01257256A (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-13 | Hitachi Ltd | 空燃比センサの信号取出し構造 |
JPH10267893A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Ngk Insulators Ltd | ガスセンサ |
JP2008020282A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
-
2012
- 2012-09-13 JP JP2012201032A patent/JP5996981B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6091248A (ja) * | 1983-10-26 | 1985-05-22 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガス成分検出栓 |
JPH01257256A (ja) * | 1988-04-06 | 1989-10-13 | Hitachi Ltd | 空燃比センサの信号取出し構造 |
JPH10267893A (ja) * | 1997-03-27 | 1998-10-09 | Ngk Insulators Ltd | ガスセンサ |
JP2008020282A (ja) * | 2006-07-12 | 2008-01-31 | Ngk Spark Plug Co Ltd | ガスセンサ素子およびガスセンサ |
Cited By (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015212685A (ja) * | 2014-04-15 | 2015-11-26 | アークレイ株式会社 | センサおよび測定装置 |
JP2016070740A (ja) * | 2014-09-29 | 2016-05-09 | 株式会社デンソー | 積層型ガスセンサ素子およびその製造方法 |
JP2016180696A (ja) * | 2015-03-24 | 2016-10-13 | 日本特殊陶業株式会社 | ガスセンサ素子 |
JPWO2019155865A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2020-12-03 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
JP2021043224A (ja) * | 2018-02-06 | 2021-03-18 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
WO2019155865A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2019-08-15 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
CN111656177A (zh) * | 2018-02-06 | 2020-09-11 | 日本碍子株式会社 | 气体传感器 |
CN111699383A (zh) * | 2018-02-06 | 2020-09-22 | 日本碍子株式会社 | 气体传感器 |
WO2019155866A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2019-08-15 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
JPWO2019155866A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2020-12-03 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
WO2019155867A1 (ja) * | 2018-02-06 | 2019-08-15 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
US11692986B2 (en) | 2018-02-06 | 2023-07-04 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
US11391691B2 (en) | 2018-02-06 | 2022-07-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor |
US11391689B2 (en) | 2018-02-06 | 2022-07-19 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor |
US11474089B2 (en) | 2018-02-06 | 2022-10-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
JP2021156647A (ja) * | 2020-03-25 | 2021-10-07 | 日本碍子株式会社 | センサ素子及びガスセンサ |
US11774398B2 (en) | 2020-03-25 | 2023-10-03 | Ngk Insulators, Ltd. | Sensor element and gas sensor |
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