JP2014052219A - 異物検査装置、異物検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】異物検査装置1は、フォトマスク等、基材21にパターン22を形成した対象物20上の異物を検査する。異物検査装置1は、対象物20に検査光40を照射する光源部11と、対象物20の法線方向に反射した検査光40を、偏光フィルタ14を介して受光する受光部12と、受光した検査光40の信号強度から、所定の閾値との比較による異物30の検出を行う検出処理部15とを有する。また、光源部11から照射される検査光40の方向は、対象物20の平面方向に近接しており、対象物20の法線方向に対し80°以上90°未満の角度θをなす。
【選択図】図1
Description
本発明では、ローパスフィルタ等を用いた信号処理が特に必要ないので、異物とパターンの相対的なサイズに検出精度が影響されることもない。また、パターンから反射した検査光の受光部での受光量を、上記のようにして抑えることで、検査の対象物のパターンも限定されることがなく、検査時の各種の設定も簡易である。
これにより、上記した異物の検出をより好適に行うことができる。
検査光がパターン上を反射した際には、パターンの形状等に起因して所定の偏光方向の成分が強くなることがある。しかし、上記のように偏光フィルタを設けることで、この成分をカットし、パターンから反射した検査光について、受光部での受光量をさらに抑えることができる。
前記光源部から照射される検査光の方向が、前記対象物の法線方向に対し80°以上90°未満の角度をなすことが望ましい。
また、前記受光部が、偏光フィルタを介して前記検査光を受光することが望ましい。
まず、図1を参照して、本実施形態の異物検査装置1について説明する。図1(a)は異物検査装置1の概略構成を示す図であり、図1(b)は光源部11や受光部12等を示す斜視図である。
Metal-oxide Semiconductor)等の電子撮像部等を備える。このエリアカメラ123は、TDI(Time Delay Integration)等の電子撮像部等を備えるラインカメラに置き換えても何ら支障はない。これにより、受光した検査光40に基づく被写体像を2次元の画像信号、例えば信号強度をグレースケールで表したグレースケール画像に変換する。ただし、受光部12は検査光40を受光しこれを信号に変換するものであれば良く、その構成は上記に限らない。
図2(a)は、検査の対象となる対象物20について示す図である。対象物20は透明の基材21上にパターン22を形成したものである。図に示すように、パターン22の断面は略水平の上面を有する矩形状になっており、パターン22の幅および間隔は0.5μm程度である。なお、対象物20は例えばフォトマスクであり、ガラス基板である基材21上で、金属系薄膜によるパターン22を形成したものである。ただし対象物20の種類、あるいは基材21やパターン22の材質がこれらに限定されることはない。例えば、対象物20は半導体集積回路やカラーフィルタなどであってもよい。
次に、図1に示す異物検査装置1による異物検査方法について説明する。なお、異物検査の前段階では、対象物20のセットとアライメント、検査領域20aの設定、および光学系のキャリブレーションなどが行われる。
11:光源部
12:受光部
14:偏光フィルタ
15:検出処理部
20:対象物
21:基材
22:パターン
30:異物
40:検査光
Claims (6)
- 基材にパターンを形成した対象物上の異物を検査する異物検査装置であって、
前記対象物に検査光を照射する光源部と、
前記対象物の法線方向に反射した前記検査光を受光する受光部と、
受光した前記検査光の信号強度から、所定の閾値との比較による異物の検出を行う検出処理部と、
を有し、
前記光源部から照射される検査光の方向が、前記対象物の平面方向に近接することを特徴とする異物検査装置。 - 前記光源部から照射される検査光の方向が、前記対象物の法線方向に対し80°以上90°未満の角度をなすことを特徴とする請求項1記載の異物検査装置。
- 前記受光部が、偏光フィルタを介して前記検査光を受光することを特徴とする請求項1または請求項2記載の異物検査装置。
- 基材にパターンを形成した対象物上の異物を検査する異物検査方法であって、
光源部から前記対象物に検査光を照射して、前記対象物の法線方向に反射した前記検査光を受光部で受光し、受光した前記検査光の信号強度から、所定の閾値との比較による異物の検出を行い、
前記光源部から照射される検査光の方向が、前記対象物の平面方向に近接することを特徴とする異物検査方法。 - 前記光源部から照射される検査光の方向が、前記対象物の法線方向に対し80°以上90°未満の角度をなすことを特徴とする請求項4記載の異物検査方法。
- 前記受光部が、偏光フィルタを介して前記検査光を受光することを特徴とする請求項4または請求項5記載の異物検査方法。
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2012
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