JP2014049454A - チップ抵抗器の抵抗値測定方法およびチップ抵抗器の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】本発明は、精度良く抵抗値測定ができるチップ抵抗器の抵抗値測定方法およびチップ抵抗器の製造方法を提供することを目的とするものである。
【解決手段】本発明のチップ抵抗器の抵抗値測定方法は、縦分割部１１ａ、横分割部１１ｂで１つのチップ抵抗器に相当する素子部分１２が区切られたシート状の絶縁基板１１を用意し、前記素子部分１２は、一対の上面電極１３ａ、１３ｂを２つに分割して設けられた第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄを上面に有する第１の素子部分１２ａと、前記複数の縦分割部１１ａを介して前記第１の素子部分１２ａと交互に設けられた第２の素子部分１２ｂとからなり、また、前記第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄを前記縦分割部１１ａを跨いで前記第２の素子部分１２ｂまで延出し、前記第２の素子部分１２ｂに位置する前記第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８を接触させたものである。
【選択図】図１

Description

本発明は、各種電子機器に使用される小形のチップ抵抗器の抵抗値測定方法およびチップ抵抗器の製造方法に関するものである。

従来のこの種のチップ抵抗器の抵抗値測定方法は、図４、図５において、複数の縦分割部１ａ、横分割部１ｂで１つのチップ抵抗器に相当する素子部分２が区切られた絶縁基板３を用意し、各素子部分２の上面の両端部に一対の上面電極４、５を形成し、さらに一対の上面電極４、５間に抵抗体６を形成する。このとき、一対の上面電極４、５をそれぞれ、縦分割部１ａの周囲で２つに分割し、第１〜第４の電極４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂを形成する。その後、素子部分２の第１、第３の電極４ａ、５ａそれぞれの上面に、電流通電用プローブ７を接触させ、かつその素子部分２の第２、第４の電極４ｂ、５ｂそれぞれの上面に電圧測定用プローブ８を接触させ、電流通電用プローブ７から定電流を流しながら、電圧測定用プローブ８で電圧値を測定して抵抗体６の抵抗値を測定するようにしていた。さらに、このように抵抗体６の抵抗値を測定し、そして、規定の抵抗値になるように抵抗体６にトリミング溝（図示せず）を形成して抵抗値調整をしていた。

なお、図４、図５では、説明を簡単にするために４つの素子部分２が横方向に連続して形成された絶縁基板３を示している。

さらに、複数の縦分割部１ａと横分割部１ｂで分割して個片状の素子部分２を得るようにしていた。

なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。

特開２００７−７３７５５号公報

上記した従来のチップ抵抗器の抵抗値測定方法においては、電流通電用プローブ７、電圧測定用プローブ８は一対の上面電極４、５の２つに分割された部分である第１〜第４の電極４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂに接触させる必要があるが、チップ抵抗器が小型化された場合、電流通電用プローブ７、電圧測定用プローブ８の第１〜第４の電極４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂに接触できる箇所の面積が小さくなるため、電流通電用プローブ７、電圧測定用プローブ８が位置ずれすると、この第１〜第４の電極４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂに接触しない可能性があり、さらに、電流通電用プローブ７、電圧測定用プローブ８は抵抗体６近傍の第１〜第４の電極４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂに接触するため、抵抗体６を構成する金属が第１〜第４の電極４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂに拡散して第１〜第４の電極４ａ、４ｂ、５ａ、５ｂの抵抗値が高くなったとき、電流通電用プローブ７、電圧測定用プローブ８が位置ずれすると、測定抵抗値も変動する可能性があり、これらの結果、精度の良い抵抗値測定ができないという課題を有していた。

本発明は上記従来の課題を解決するもので、精度良く抵抗値測定ができるチップ抵抗器の抵抗値測定方法を提供することを目的とするものである。

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。

本発明の請求項１に記載の発明は、複数の縦分割部と横分割部を有し、前記縦分割部、横分割部で１つのチップ抵抗器に相当する素子部分が区切られたシート状の絶縁基板を用意し、前記素子部分は、その上面の両端部に形成された一対の上面電極と、前記一対の上面電極間に形成された抵抗体を有する第１の素子部分と、その上面には抵抗体が形成されない第２の素子部分とからなり、前記第１の素子部分と第２の素子部分は前記複数の縦分割部を介して交互に設けられ、また、前記一対の上面電極を２つに分割して第１〜第４の電極を形成し、さらに、前記第１〜第４の電極は前記縦分割部を跨いで前記第２の素子部分まで延出し、前記第２の素子部分に位置する前記第１〜第４の電極に、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブを接触させて、前記抵抗体の抵抗値を測定したもので、この方法によれば、チップ抵抗器が小型化された場合でも、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブの第１〜第４の電極に接触できる面積を広げることができるため、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブが位置ずれしても、第１〜第４の電極に接触できるようになり、また、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブは抵抗体近傍の第１〜第４の電極から離れた箇所で接触されるため、抵抗体を構成する金属が第１〜第４の電極に拡散しても、その影響はほとんど受けず、これにより、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブが位置ずれしても、測定抵抗値はほとんど変動せず、これらの結果、精度良く抵抗値測定ができるという作用効果が得られるものである。

本発明の請求項２に記載の発明は、複数の縦分割部と横分割部を有し、前記縦分割部、横分割部で１つのチップ抵抗器に相当する素子部分が区切られたシート状の絶縁基板を用意する工程と、前記素子部分を、その上面の両端部に形成された一対の上面電極と前記一対の上面電極間に形成された抵抗体とを有する第１の素子部分と、その上面に抵抗体が形成されない第２の素子部分を設け、前記第１の素子部分と第２の素子部分を前記複数の縦分割部を介して交互に構成する工程とを備え、前記第２の素子部分における下面に、その両端部に他の一対の上面電極を形成し、前記他の一対の上面電極間に他の抵抗体を形成し、また、それぞれの前記一対の上面電極を２つに分割して第１〜第４の電極を形成し、さらに、前記第１〜第４の電極は前記縦分割部を跨いで他方の素子部分まで延出したもので、この方法によれば、第１の素子部分、第２の素子部分ともに一対の上面電極、抵抗体を形成できるため、無駄になる部分を減らし、生産性を向上させることができるという作用効果が得られるものである。

以上のように本発明のチップ抵抗器の抵抗値測定方法は、第１〜第４の電極を縦分割部を跨いで第２の素子部分まで延出し、第２の素子部分に位置する第１〜第４の電極に、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブを接触させて、抵抗体の抵抗値を測定するようにしているため、チップ抵抗器が小型化された場合でも、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブの第１〜第４の電極に接触できる面積を広げることができ、これにより、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブが位置ずれしても第１〜第４の電極に接触できるようになるため、精度良く抵抗値測定ができるという優れた効果を奏するものである。

本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器の抵抗値測定方法を説明する上面図 同チップ抵抗器の抵抗値測定方法を説明する側面図 同チップ抵抗器の側面図 従来のチップ抵抗器の抵抗値測定方法を説明する上面図 同チップ抵抗器の抵抗値測定方法を説明する側面図

以下、本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器の抵抗値測定方法およびチップ抵抗器の製造方法について、図面を参照しながら説明する。

図１は本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器の抵抗値測定方法を説明する上面図、図２は同チップ抵抗器の抵抗値測定方法を説明する側面図である。

本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器の抵抗値測定方法は、図１、図２において、まず、Ａｌ₂Ｏ₃を９６％含有するアルミナでシート状に構成された絶縁基板１１を用意する。

なお、絶縁基板１１は通常、表面に予め分割のための複数の縦分割部１１ａと横分割部１１ｂを有し、この縦分割部１１ａ、横分割部１１ｂで１つのチップ抵抗器に相当する素子部分１２が区切られたものを用いるが、説明を簡単にするために、以降は、４つの素子部分１２が横に連続して形成されたものを用いて説明する。なお、縦分割部１１ａと横分割部１１ｂは分割用のスリット、またはダイシングやスクライブの中心部である。

次に、それぞれの素子部分１２において絶縁基板１１の上面および下面の両端部に、銀ペーストを印刷して焼成することにより一対の上面電極１３ａ、１３ｂを形成する。このとき、絶縁基板１１の上面の一対の上面電極１３ａ、１３ｂの先端部、絶縁基板１１の下面の一対の上面電極１３ａ、１３ｂの先端部はともに２つに分割して構成し、それぞれ一方の上面電極１３ａには第１、第２の電極１４ａ、１４ｂ、他方の上面電極１３ｂには第３、第４の電極１４ｃ、１４ｄが構成され、４端子の電極とする。また、分割された第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄは縦分割部１１ａを跨ぐように形成し、隣接する素子部分１２に延びている。なお、図２では、隣接する素子部分１２に延びた第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄの長さは、素子部分１２に形成された第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄの長さより短くなっているが、必ずしもその必要はない。

次に、絶縁基板１１の上面および下面に、銀パラジウムからなる合金のペーストを印刷して抵抗体１５を形成する。なお、この抵抗体１５は一対の上面電極１３ａ、１３ｂ間を橋絡して一対の上面電極１３ａ、１３ｂと接続されるように矩形状に構成する。したがって、抵抗体１５は第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄと電気的に接続される。

そして、この抵抗体１５は、絶縁基板１１の上面と絶縁基板１１の下面に交互に形成する。すなわち、絶縁基板１１の上面に抵抗体１５を構成した素子部分１２（第１の素子部分１２ａとする）に隣接する素子部分１２（第２の素子部分１２ｂとする）には、絶縁基板１１の下面に他の抵抗体１５が形成される。

次に、抵抗体１５の一部をレーザで切削してトリミング溝１６を形成することによって抵抗体１５をトリミングし、チップ抵抗器が所定の抵抗値になるように抵抗値修正する。

このとき、図１に示すように、第１の素子部分１２ａにおける第１の電極１４ａ、第３の電極１４ｃに一対の電流通電用プローブ１７、第２の電極１４ｂ、第４の電極１４ｄに一対の電圧測定用プローブ１８を接触させるとともに、一対の電流通電用プローブ１７から定電流を流し、一対の電圧測定用プローブ１８で電圧値を測定することによって抵抗値を測定しながら、抵抗体１５に直線状、Ｌ字状などの形状のトリミング溝１６を形成する。

また、一対の電流通電用プローブ１７、一対の電圧測定用プローブ１８は、第２の素子部分１２ｂの上面に位置する第１の素子部分１２ａの第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに接触させる。さらに、電圧測定用プローブ１８および電流通電用プローブ１７は、図２のように、第１の素子部分１２ａの外側から第１の素子部分１２ａの中心部へ向かう方向に斜め上方から第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに押し付けるようにする。このとき、縦分割部１１ａをスリットで形成すれば、一対の電流通電用プローブ１７、一対の電圧測定用プローブ１８が第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄ上を滑っても、縦分割部１１ａで留まり、接触位置が固定される。

そして、他の第１の素子部分１２ａ、第２の素子部分１２ｂについても同様にする。また、第２の素子部分１２ｂについては、一対の電流通電用プローブ１７、一対の電圧測定用プローブ１８は、第１の素子部分１２ａの下面に位置する第２の素子部分１２ｂの第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに接触させるようにする。

なお、図１、図２では、電圧測定用プローブ１８、電流通電用プローブ１７は模式的に表しており、実際の大きさ、位置とは異なる。

次に、複数の縦分割部１１ａと横分割部１１ｂに沿って分割し、図３に示すような個片状にする。

このとき、第２の素子部分１２ｂの表裏を逆にすれば、第１の素子部分１２ａ、第２の素子部分１２ｂは図３のように同様の形状になる。すなわち、第１の素子部分１２ａの下面は、隣接する第２の素子部分１２ｂの上面と同じ形状になり、第２の素子部分１２ｂの上面は、隣接する第１の素子部分１２ａの下面と同じ形状になる。

この後、プリコートガラス、保護膜、側面電極、めっき層等を適宜形成して、本発明の一実施の形態におけるチップ抵抗器が製造される。

なお、本発明では、一対の電流通電用プローブ１７、一対の電圧測定用プローブ１８を、隣り合う素子部分の上面に位置する第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに接触させて抵抗値を測定、修正しているため、抵抗値修正後の抵抗値は完成品の抵抗値からずれる可能性がある。この場合は、あらかじめ、抵抗値修正後の抵抗値と完成品の抵抗値の差を求め、この差の分だけ抵抗値修正後の抵抗値を規定の値より高い抵抗値になるようにすればよい。

上記したように本発明の一実施の形態においては、第１の素子部分１２ａの上面に形成された抵抗体１５と接続する第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄを縦分割部１１ａを跨いで第２の素子部分１２ｂまで延出し、第２の素子部分１２ｂに位置するこの第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８を接触させて、第１の素子部分１２ａにおける抵抗体１５の抵抗値を測定するようにしているため、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８の第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに接触する面積を広げることができ、これにより、チップ抵抗器が小型化された場合でも、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８が位置ずれしても第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに接触できるようになるため、精度良く抵抗値測定ができるという効果が得られるものである。

すなわち、第１の素子部分１２ａの上面に形成された第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄは面積が小さいため、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８が位置ずれを起こすと、第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８が接触せず、正確な抵抗値を測定できなくなる可能性があるが、本発明のように、隣り合う第２の素子部分１２ｂにも第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄを形成すれば、この第２の素子部分１２ｂの上面には抵抗体１５が無いため、第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄの長さを長くしたり、幅を広くしたりできるため、接触する面積を広げることができ、これにより、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８が位置ずれを起こしても、第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄから外れることを抑制できるため、正確な抵抗値を測定できる。

また、第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄの第２の素子部分１２ｂに延びた部分は、他の部分と別々に形成することもできるため、その厚みを厚くしたり、導電率の高い材料で構成したりすることができ、これにより、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８が位置ずれしても、抵抗値の変化がほとんど無いため、精度良く抵抗値測定ができる。

さらに、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８は第１の素子部分１２ａの抵抗体１５近傍から離れた第２の素子部分１２ｂに位置する第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに接触させているため、抵抗体１５を構成する金属が第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄに拡散して抵抗体１５近傍の抵抗値が高くなっても、その影響はほとんど受けず、これにより、電流通電用プローブ１７、電圧測定用プローブ１８が位置ずれしても、測定抵抗値はほとんど変動せず、この結果、精度良く抵抗値測定ができる。

そして、第１の素子部分１２ａの第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄが形成された隣接する第２の素子部分１２ｂも、第１の素子部分１２ａの第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄが形成されていない面において、他の一対の上面電極１３ａ、１３ｂ、他の抵抗体１５を形成できるため、無駄になる部分を減らし、生産性を向上させることができる。

このとき、第２の素子部分１２ｂの上面に形成された第１の素子部分１２ａの第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄが、第２の素子部分１２ｂの裏面電極になり、第１の素子部分１２ａの下面に形成された第２の素子部分１２ｂの第１〜第４の電極１４ａ〜１４ｄが、第１の素子部分１２ａの裏面電極になる。

また、第１の素子部分１２ａ、第２の素子部分１２ｂのいずれにおいても、縦分割部１１ａにおいて、上面電極１３ａ、１３ｂ、裏面電極は２分割されているため、分割する際のバリの発生を抑制できる。

本発明に係るチップ抵抗器の抵抗値測定方法およびチップ抵抗器の製造方法は、精度良く抵抗値測定ができるという効果を有するものであり、特に各種電子機器に使用されるチップ抵抗器等において有用となるものである。

１１ 絶縁基板
１１ａ 縦分割部
１１ｂ 横分割部
１２ 素子部分
１２ａ 第１の素子部分
１２ｂ 第２の素子部分
１３ａ、１３ｂ 一対の上面電極
１４ａ〜１４ｄ 第１〜第４の電極
１５ 抵抗体
１６ トリミング溝
１７ 電流通電用プローブ
１８ 電圧測定用プローブ

Claims (2)

1. 複数の縦分割部と横分割部を有し、前記縦分割部、横分割部で１つのチップ抵抗器に相当する素子部分が区切られたシート状の絶縁基板を用意し、前記素子部分は、その上面の両端部に形成された一対の上面電極と、前記一対の上面電極間に形成された抵抗体を有する第１の素子部分と、その上面には抵抗体が形成されない第２の素子部分とからなり、前記第１の素子部分と第２の素子部分は前記複数の縦分割部を介して交互に設けられ、また、前記一対の上面電極を２つに分割して第１〜第４の電極を形成し、さらに、前記第１〜第４の電極は前記縦分割部を跨いで前記第２の素子部分まで延出し、前記第２の素子部分に位置する前記第１〜第４の電極に、電流通電用プローブ、電圧測定用プローブを接触させて、前記抵抗体の抵抗値を測定したチップ抵抗器の抵抗値測定方法。
2. 複数の縦分割部と横分割部を有し、前記縦分割部、横分割部で１つのチップ抵抗器に相当する素子部分が区切られたシート状の絶縁基板を用意する工程と、前記素子部分を、その上面の両端部に形成された一対の上面電極と前記一対の上面電極間に形成された抵抗体とを有する第１の素子部分と、その上面に抵抗体が形成されない第２の素子部分を設け、前記第１の素子部分と第２の素子部分を前記複数の縦分割部を介して交互に構成する工程とを備え、前記第２の素子部分における下面に、その両端部に他の一対の上面電極を形成し、前記他の一対の上面電極間に他の抵抗体を形成し、また、それぞれの前記一対の上面電極を２つに分割して第１〜第４の電極を形成し、さらに、前記第１〜第４の電極は前記縦分割部を跨いで他方の素子部分まで延出したチップ抵抗器の製造方法。

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