JP2014041081A - 欠陥検出方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】光学系を構成する光源からの光を照射して、光学系の解像度以下の寸法の繰り返しパターンを有する試料の光学画像を、光学系の条件を変えて複数取得する。次いで、複数の光学画像について、ノイズフィルタおよび畳み込みフィルタの少なくとも一方を用いた補正処理を行う。次に、複数の光学画像のいずれかを基準として他の光学画像の位置をシフトし、他の光学画像のシフト量と、複数の光学画像同士における階調値の相関の変化との関係を求め、相関が最も高くなるときのシフト量を基に複数の光学画像の位置合わせを行う。その後、位置合わせ後の複数の光学画像を用いて、試料の欠陥検出を行う。欠陥検出は、複数の光学画像の各画素を階調値空間にプロットし、欠陥のある画素と欠陥のない画素とを分離することにより行う。
【選択図】図4
Description
前記複数の光学画像について、ノイズフィルタおよび畳み込みフィルタの少なくとも一方を用いた補正処理を行う工程と、
前記複数の光学画像のいずれかを基準として他の光学画像の位置をシフトし、前記他の光学画像のシフト量と、前記複数の光学画像同士における階調値の相関の変化との関係を求め、前記相関が最も高くなるときの前記シフト量を基に前記複数の光学画像の位置合わせを行う工程と、
前記位置合わせ後の前記複数の光学画像を用いて、前記試料の欠陥検出を行う工程とを有することを特徴とする欠陥検出方法に関する。
図1の装置100において、上述の通り、光源5の光を試料1に照射し、その透過光をレンズ104を介して画像センサ105に結像する。これにより、第1の光学画像を得る。また、図1では図示されない光学系を用いて、試料1の下方から光を照射し、その反射光を画像センサ105に結像する。これにより、第2の光学画像を得る。
図1において、光学画像取得部Aは、光源5と、レンズ6,8,104と、ミラー7と、画像センサ105と、センサ回路106とによって構成される光学系を有する。試料1のフォーカス条件は、試料1と光学系との焦点位置によって変えられる。具体的には、図1において、試料1は、垂直方向に移動可能なZテーブル(図示せず)の上に載置されているので、垂直方向におけるZテーブルの位置を変えることで、試料1と光学系との焦点位置を変えることができる。例えば、Zテーブルが所定位置にある状態で第1の光学画像を取得し、次いで、Zテーブルの位置を移動させて第2の光学画像を取得する。
図1において、光源5の光を試料1に照射し、その透過光をレンズ104を介して画像センサ105に結像する。これにより、明視野による第1の光学画像を取得できる。また、図1では図示されない光学系を用いて、試料1に対して斜めから光を照射し、試料1からの散乱光や反射光を画像センサ105に結像する。これにより、暗視野による第2の光学画像を取得する。
試料1に照射する光の偏光状態を変えて、第1の光学画像と第2の光学画像を取得する。光の偏光状態は、図3に示すような光学系を図1の光学画像取得部Aに設けることで変えられる。
光学系は、空間周波数フィルタと考えられ、ある周波数以上の周波数帯域における信号を減衰させる。このため、周波数の高い信号の殆どはノイズ、具体的には、ホワイトノイズと考えられる。一方、光学画像においては、低い周波数の非常に緩やかな変動が見られることがある。こうした高周波の成分や低周波の成分は、ノイズフィルタを用いることで減衰させることができる。ノイズフィルタとしては、例えば、平均化フィルタやバンドパスフィルタなどが挙げられる。
畳み込みフィルタは、第1の光学画像の像プロファイルと、第2の光学画像の像プロファイルとが一致するようにするものである。2つの像プロファイルの違いは、光学的には、PSF(Point Spread Function)の差と解される。そこで、PSFを模したフィルタ、すなわち、畳み込みフィルタによる補正処理を施すことによって、2つの光学画像をある程度まで一致させることができる。
第2の光学画像は、第1の光学画像と異なる光学条件で取得されるため、これらの光学画像には、互いに異なる位置歪が生じている可能性がある。そこで、かかる歪が生じている場合には、例えば、光学画像の面内における歪量、具体的には、位置の移動量を線形に補正する。
第1の光学画像と第2の光学画像のダイナミックレンジ、すなわち、各光学画像における識別可能な信号の最小値と最大値の比率を合わせるための補正を行う。具体的には、第1の光学画像または第2の光学画像に対して、所定の係数を掛ける。例えば、光学画像Aに係数kを掛けて、光学画像A’=kAを得る。光学画像A’は、ダイナミックレンジ補正後の光学画像である。係数kは、予め定められた固定値とすることができる。また、第1の光学画像および第2の光学画像を取得する度に、最適な係数kを求めてもよい。ここで、係数kを求める方法としては、例えば、第1の光学画像の階調値のヒストグラムと、第2の光学画像の階調値のヒストグラムとの差や、これらの光学画像の分散または標準偏差の差を最小にする方法などが挙げられる。
第1の光学画像と第2の光学画像との間に負の相関がある場合、第2の光学画像の階調は、第1の光学画像の階調を白黒反転したものとなる。後述する光学画像の位置合わせや、光学画像同士の比較を容易にするには、いずれか一方の光学画像の階調を反転させて、他の光学画像と合わせることが好ましい。
例えば、各画素に、0階調から255階調のいずれかの値が与えられるとすると、光学画像Aの階調を反転させた光学画像A’を得るには、
とすればよい。
2つの変数(量的と量的)、すなわち、2つのベクトル間の共変動の大きさを示す指標である。一般に、データが(x1,y1),(x2,y2),・・・,(xn,yn)で与えられたときの共分散は、式(5)で表される。
の値は正になる。xiが平均より小さく、yiも平均より小さい場合も同様である。一方、xiが平均より大きく、yiが平均より小さい場合には、
の値は負になる。xiが平均より小さく、yiが平均より大きい場合も同様である。そして、正になる共分散の数が多いほど、つまり、共分散の値が大きいほど、xとyは同じ方向に共変動していると言え、負になる共分散の数が多いほど、つまり、共分散の値が小さいほど、xとyは逆方向に共変動していると言える。例えば、本実施の形態において、第1の光学画像の階調が、第2の光学画像の階調を反転したものである場合、共分散の符号は負になる。
相関係数は、2つの変数間(量的と量的)すなわち、2つのベクトル間の相互関係を表す指標である。相関係数CCは、式(10)で与えられる。尚、式(10)において、std(x)は、xの標準偏差を表す。
第1の光学画像と第2の光学画像との差の2乗和SSDまたは絶対値和SADを、式(11)または式(12)を用いて算出する。尚、式(12)において、abs(x)は、xの絶対値を表す。
既に述べたように、光学画像では、エッジラフネスなどに起因する階調値の変動によって、光学画像の各画素の階調値にばらつきが生まれる。これがベースパターンノイズである。一方、第1の光学画像と第2の光学画像とは、撮像時の光学条件が異なるものの、同一のパターンを撮像したものであるから、2つの光学画像のベースパターンノイズには相関性がある。そこで、各光学画像の画素を階調値空間にプロットすれば、これらには、正または負の相関性が見られるはずである。
により2値の出力値を計算する。ここで、wはパラメータベクトルであり、bはバイアスパラメータである。また、関数sign(u)は、u>0のとき1をとり、u≦0のとき−1をとる符号関数である。このモデルは、入力ベクトルとパラメータベクトルの内積とバイアスパラメータの和が正ならば1を出力し、負ならば−1を出力する。これは、幾何学的には、識別平面により、入力特徴空間を2つに分けることに相当する。
を満たすようなパラメータが存在する。これは、
で表される2枚の超平面によって特徴ベクトルが完全に分離されており、2枚の超平面の間には特徴ベクトルが1つも存在しないことを示している。このとき、識別平面とこれらの超平面との距離(マージンと大きさ)は
となる。したがって、マージンを最大とするパラメータwとbを求めるということは、制約条件
の下で、目的関数
を最小とするパラメータを求めることと等価になる。
3 XYテーブル
5 光源
6,8,104,1003,1005 レンズ
7 ミラー
201,202,203,204 フレーム
100 装置
105 画像センサ
106 センサ回路
107 位置回路
108 画像処理回路
109 磁気ディスク装置
110 制御計算機
112 欠陥検出回路
113 オートローダ制御回路
114 テーブル制御回路
115 ネットワークインターフェイス
116 フレキシブルディスク装置
117 液晶ディスプレイ
118 パターンモニタ
119 プリンタ
120 バス
122 レーザ測長システム
130 オートローダ
1001 ハーフミラー
1002 1/4波長板
1006 センサ
Claims (11)
- 光学系を構成する光源からの光を照射して、前記光学系の解像度以下の寸法の繰り返しパターンを有する試料の光学画像を、前記光学系の条件を変えて複数取得する工程と、
前記複数の光学画像について、ノイズフィルタおよび畳み込みフィルタの少なくとも一方を用いた補正処理を行う工程と、
前記複数の光学画像のいずれかを基準として他の光学画像の位置をシフトし、前記他の光学画像のシフト量と、前記複数の光学画像同士における階調値の相関の変化との関係を求め、前記相関が最も高くなるときの前記シフト量を基に前記複数の光学画像の位置合わせを行う工程と、
前記位置合わせ後の前記複数の光学画像を用いて、前記試料の欠陥検出を行う工程とを有することを特徴とする欠陥検出方法。 - 前記欠陥検出を行う工程は、前記複数の光学画像の各画素を階調値空間にプロットし、欠陥のある画素と欠陥のない画素とを分離する工程であることを特徴とする請求項1に記載の欠陥検出方法。
- 前記欠陥のある画素と欠陥のない画素とを分離する工程は、前記階調値空間における前記各画素のクラスタリング、前記複数の光学画像の相関直線から前記各画素までの距離、および、前記複数の光学画像の差画像の少なくとも1つを用いて行われることを特徴とする請求項2に記載の欠陥検出方法。
- 前記相関は、前記複数の光学画像同士の共分散、前記複数の光学画像同士の相関係数、前記複数の光学画像の差の2乗和および前記複数の光学画像の絶対値和の少なくとも1つを用いて評価されることを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記複数の光学画像は、前記光源からの光が前記試料を透過して撮像された光学画像と、前記光源からの光が前記試料で反射して撮像された光学画像であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記複数の光学画像は、前記光学系と前記試料との焦点位置を変えて撮像されたものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記複数の光学画像は、前記光学系を明視野として撮像された光学画像と、前記光学系を暗視野として撮像された光学画像であることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記複数の光学画像は、前記光源からの光の偏光状態を変えて撮像されたものであることを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記複数の光学画像同士のダイナミックレンジを合わせる補正を行う工程を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記複数の光学画像の階調値の極性を反転させる補正を行う工程を有することを特徴とする請求項1〜9のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
- 前記複数の光学画像の像面歪みを補正する工程を有することを特徴とする請求項1〜10のいずれか1項に記載の欠陥検出方法。
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