JP2014037970A5 - - Google Patents
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Claims (9)
- 主面を有する基板と、
前記主面上に形成され、複数の凸部を有する微細構造部と、
前記微細構造部上に形成され、表面増強ラマン散乱を生じさせる光学機能部を構成する導電体層と、を備え、
前記導電体層は、前記主面に沿うように形成されたベース部と、前記凸部に対応する位置において前記ベース部の上面から突出する突出部と、を有し、
前記突出部の前記基板側の端部は、前記ベース部の前記上面よりも前記基板側に入り込んでおり、
前記導電体層には、前記ベース部と前記突出部とによって、前記凸部が突出する方向に垂直な方向における間隔が漸減するギャップが形成されており、
前記凸部が突出する方向における前記ギャップの深さは、前記ベース部の厚さ以下である、表面増強ラマン散乱ユニット。 - 前記凸部は、前記主面に沿って周期的に配列されている、請求項１記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記ギャップは、前記凸部が突出する方向から見た場合に、前記凸部を包囲するように形成されており、前記基板側の端部において前記間隔が漸減している、請求項１又は２記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記ギャップの前記間隔は、連続的に漸減している、請求項１〜３のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記突出部は、前記基板側の端部において括れた形状を有している、請求項１〜４のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記ベース部の厚さは、前記凸部の高さよりも小さくなっている、請求項１〜５のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記ベース部の厚さは、前記凸部の高さよりも大きくなっている、請求項１〜５のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記ベース部と前記突出部とは、前記ギャップの最深部において繋がっている、請求項１〜７のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記ベース部と前記突出部とは、前記ギャップの最深部において離れている、請求項１〜７のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
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