JP6055234B2 - 表面増強ラマン散乱ユニット - Google Patents
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Claims (6)
- 主面を有する基板と、
前記主面上に形成された支持部、及び前記支持部上に形成された微細構造部を含む成形層と、
前記微細構造部上に堆積され、表面増強ラマン散乱を生じさせる光学機能部を構成する導電体層と、を備え、
前記微細構造部は、前記支持部上に立設された複数のピラーを有し、
前記支持部には、前記ピラーの側面と対向する複数の対向部が設けられており、
前記対向部は、前記ピラーが突出する方向において、前記ピラーの先端部に対して前記基板側に位置しており、
前記支持部、前記ピラー及び前記対向部は、同一材料により一体的に形成されている、表面増強ラマン散乱ユニット。 - 前記ピラーは、前記主面に沿って周期的に配列されている、請求項1記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記支持部には、複数の凹部が形成されており、
前記対向部は、前記凹部の内面である、請求項1又は2記載の表面増強ラマン散乱ユニット。 - 前記対向部は、前記ピラーが突出する前記方向から見た場合に、前記ピラーの側面の一部分に沿うように延在している、請求項1〜3のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 前記対向部は、1つの前記ピラーに対して複数設けられている、請求項1〜4のいずれか一項記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
- 1つの前記ピラーに対して設けられた複数の前記対向部は、互いに異なる形状を有している、請求項5記載の表面増強ラマン散乱ユニット。
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