JP2014036201A - 半導体装置とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明に係る半導体装置は、表面にデバイス14が形成又は実装された基板12と、該基板12の裏面に形成された、圧縮応力を有する裏面電極20と、該基板12の表面に該デバイス14を囲むように形成された、圧縮応力を有する応力緩和層18と、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図1
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る半導体装置の斜視図である。半導体装置10はGaAsで形成された基板12を備えている。基板12の表面には例えばFETなどのデバイス14が形成されている。デバイス14は複数形成されており、それぞれが配線16で接続されている。基板12の表面にはデバイス14を囲むように応力緩和層18が形成されている。応力緩和層18は圧縮応力を有するAuで形成されている。応力緩和層18の幅は5−10μmであり、厚さは数μmであることが好ましいが特にこれらに限定されない。
本発明の実施の形態2に係る半導体装置は、応力緩和層が複数のデバイスを個別に囲むことを特徴とする。以後、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図8は、本発明の実施の形態2に係る半導体装置の斜視図である。デバイス14は複数形成されている。そして、応力緩和層80はデバイス14を個別に囲むように形成されている。
本発明の実施の形態3に係る半導体装置は、断続的な応力緩和層を形成したことを特徴とする。以後、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図9は、本発明の実施の形態3に係る半導体装置の斜視図である。平面視で、応力緩和層90はデバイス14を2回囲み、かつ断続的に島状に形成されている。より具体的には、応力緩和層90は、1周目部分90aと2周目部分90bとがそれぞれデバイス14を囲むように形成されている。そして、デバイス14側から応力緩和層90を見たときに1周目部分90aの島の間を遮るように2周目部分90bの島が形成されている。これにより応力緩和層90は全体としては一連の構造となっている。
本発明の実施の形態4に係る半導体装置は、基板の表面に形成されたパッドの形状に特徴がある。以後、実施の形態1との相違点を中心に説明する。図11は、本発明の実施の形態4に係る半導体装置のパッド等の平面図である。基板12の表面にはパッド50が形成されている。パッド50の断面図は例えば図7に示されている。パッド50の直下にはビアホール60が形成されている。そして、図11に示すようにビアホール60は平面視で円形に形成されている。
Claims (7)
- 表面にデバイスが形成又は実装された基板と、
前記基板の裏面に形成された、圧縮応力を有する裏面電極と、
前記基板の表面に前記デバイスを囲むように形成された、圧縮応力を有する応力緩和層と、を備えたことを特徴とする半導体装置。 - 前記デバイスを複数有し、
前記応力緩和層は前記デバイスを個別に囲むように形成されたことを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 平面視で、前記応力緩和層は前記デバイスを複数回囲み、かつ断続的に島状に形成されたことを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記応力緩和層は、1周目部分と2周目部分を有し、
前記デバイス側から前記応力緩和層を見たときに前記1周目部分の島の間を遮るように前記2周目部分の島が形成されたことを特徴とする請求項3に記載の半導体装置。 - 前記基板の表面に形成されたパッドと、
前記基板の裏面に開口を有するように前記パッドの直下に形成されたビアホールと、を備え、
平面視で、前記パッドの外周は前記基板の結晶方位と平行でない線分又は曲線で構成されたことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体装置。 - 基板の表面にデバイスを形成又は搭載する工程と、
前記基板の表面のうち、前記デバイスの周りの切断予定部と前記デバイスとの間に、前記デバイスを囲むように圧縮応力を有する応力緩和層を形成する工程と、
前記基板の裏面に、圧縮応力を有する裏面電極を形成する工程と、
前記応力緩和層と前記裏面電極を形成した後に、前記基板をステージに固定して前記デバイスの電気的特性を測定する工程と、
前記電気的特性を測定する工程の後に、前記切断予定部を切断する工程と、を備えたことを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記応力緩和層を形成する工程は、
前記基板の表面にレジストを形成する工程と、
前記レジストに露光する工程と、
前記レジストに現像液を塗布して、断続的なレジスト開口を形成する工程と、
前記レジスト開口により表面に露出した部分に前記応力緩和層を形成する工程と、
前記レジストを剥離する工程と、をこの順に備えたことを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
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JP2005116962A (ja) * | 2003-10-10 | 2005-04-28 | Denso Corp | パッケージ型半導体装置 |
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