JP2014031558A - 基板処理装置、固体電解質膜の形成装置、及び、固体電解質膜の形成方法 - Google Patents
基板処理装置、固体電解質膜の形成装置、及び、固体電解質膜の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014031558A JP2014031558A JP2012173964A JP2012173964A JP2014031558A JP 2014031558 A JP2014031558 A JP 2014031558A JP 2012173964 A JP2012173964 A JP 2012173964A JP 2012173964 A JP2012173964 A JP 2012173964A JP 2014031558 A JP2014031558 A JP 2014031558A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- electrode
- transport direction
- width
- unit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims abstract description 234
- 239000007784 solid electrolyte Substances 0.000 title claims abstract description 48
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 32
- 239000012528 membrane Substances 0.000 title claims abstract description 28
- 230000032258 transport Effects 0.000 claims description 151
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 105
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 64
- 229910012305 LiPON Inorganic materials 0.000 description 26
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 10
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 5
- 229910018119 Li 3 PO 4 Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 4
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 4
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 229910019142 PO4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- IDBFBDSKYCUNPW-UHFFFAOYSA-N lithium nitride Chemical compound [Li]N([Li])[Li] IDBFBDSKYCUNPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001386 lithium phosphate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K phosphate Chemical compound [O-]P([O-])([O-])=O NBIIXXVUZAFLBC-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 239000010452 phosphate Substances 0.000 description 1
- 230000002195 synergetic effect Effects 0.000 description 1
- TWQULNDIKKJZPH-UHFFFAOYSA-K trilithium;phosphate Chemical compound [Li+].[Li+].[Li+].[O-]P([O-])([O-])=O TWQULNDIKKJZPH-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】電極と、基板13が載置される載置部と、前記電極と向かい合う空間に対し前記載置部を搬送方向Dtrsに沿って搬送する搬送部と、を備える。そして、前記載置部は、前記基板よりも前記搬送方向に端部を有し、前記搬送方向における前記電極の長さが、電極幅WPと設定され、前記搬送方向における前記端部の長さが、端部幅WEと設定され、WE≧WPを満たす。
【選択図】図2
Description
本開示における基板処理装置の一例である固体電解質膜の形成装置と固体電解質膜の形成方法とが具体化された第1実施形態について図1から図4を参照して以下に説明する。なお、第1実施形態では、固体電解質膜の形成装置に搭載される電極の数が1つである例について説明する。
図2に示されるように、ステージ端部11Eにおける搬送方向Dtrsの幅は、端部幅WEとして設定される。カソード電極17における搬送方向Dtrsの幅は、電極幅WPとして設定される。また、基板ステージ11に載置される基板13とターゲット16との距離は、基板13の法線方向において、距離TSとして設定される。
(1)端部幅WEが電極幅WP以上であるから、基板先端部13Fに対して成膜が開始される際の対向領域Sの状態と、基板中央部13Cに対して成膜が開始される際の対向領域Sの状態とが相互に近くなる。結果として、基板先端部13Fと基板中央部13Cとの間での成膜結果の差異が抑えられる。
(第2実施形態)
本開示における基板処理装置の一例である固体電解質膜の形成装置と固体電解質膜の形成方法とが具体化された第2実施形態について図5から図7を参照して以下に説明する。なお、第2実施形態は、固体電解質膜の形成装置に搭載される電極の数と端部幅WEとが第1実施形態とは異なり、その他の主たる構成は第1実施形態と同様である。そこで、第2実施形態では、第1実施形態とは異なる構成について主に説明し、第1実施形態と同様の構成については、第1実施形態の構成と同一の符号を付してその説明を省略する。
(4)隙間SEと向かい合う重畳領域S3での成膜の状態は、基板先端部13Fに対して成膜が始まる際と、基板中央部13Cに対して成膜が始まる際とにおいて、相互に近くなる。結果として、基板先端部13Fと基板中央部13Cとの間での成膜結果の差異が抑えられる。
(第3実施形態)
本開示における基板処理装置の一例である固体電解質膜の形成装置と固体電解質膜の形成方法とが具体化された第3実施形態について図面を参照して以下に説明する。なお、第3実施形態は、基板ステージ11の搬送方向と基板ステージ11における搬送方向の両端部の構成とが第2実施形態とは異なり、その他の主たる構成は第1実施形態と同様である。そこで、第3実施形態では、第2実施形態とは異なる構成について主に説明し、第2実施形態と同様の構成については、第2実施形態の構成と同一の符号を付してその説明を割愛する。
(6)基板13の端部から成膜が始まる際の単位対向領域SAの状態と、基板中央部13Cに対して成膜が始まる際の単位対向領域SAの状態とが近くなるため、基板13の端部と基板中央部13Cとの間での成膜結果の差異が抑えられる。
(実施例)
第4実施形態に記載の固体電解質膜の形成方法によって得られるLiPON膜の膜厚均一性について図9を参照して以下に説明する。
・ターゲット:Li3PO4
・電極幅WP:110mm
・電極間幅WB:30mm
・供給電力:3.0kW(13.56MHz)
・プロセスガス:窒素ガス
・プロセスガス流量:50sccm
・プロセス圧力:0.25Pa
・距離TS:120mm
・先端幅WEF:250mm(>110mm+30mm)
・基端幅WEB:250mm(>110mm+30mm)
図9に示されるように、実施例のLiPON膜における膜厚は、搬送方向にて3850nm以上3950nm以下であり、搬送方向における成膜対象での中央部と搬送方向における成膜対象での端部との間において膜厚分布の偏りは認められなかった。一方で、比較例のLiPON膜における膜厚は、搬送方向にて3800nm以上4030nm以下であり、実施例に比べてばらつきが大きく、また、搬送方向における成膜対象での中央部にて膜厚は薄く、且つ、搬送方向における成膜対象での端部にて膜厚は厚いという分布の偏りが認められた。結果として、成膜条件に記載のステージ端部が設けられることによって、搬送方向における膜厚分布の偏りを軽減することが可能であることが認められた。
・各実施形態の基板処理装置にて、搬送方向に沿って並べられる電極の数は、3以上であってもよい。
・第1実施形態、及び、第2実施形態にて、搬送部は、搬送方向Dtrsとは反対方向と搬送方向Dtrsとの双方向に載置部を搬送してもよい。
・ステージ端部11Eは、載置部分11Cにおける幅方向の全体に形成される構成に限らず、載置部分11Cにおける幅方向の一部にのみ形成される構成であってもよい。こうした構成であっても、基板13におけるステージ端部11Eの近傍では、上記(1)から(4)に準じた効果を得ることは可能である。なお、ステージ先端部11EF、及び、ステージ基端部11EBも同様に、載置部分11Cにおける幅方向の一部にのみ形成される構成であってもよい。
・基板処理装置は、固体電解質膜の形成装置に限られず、例えば、金属製のターゲットを用いて金属膜を形成する金属膜の形成装置であってもよい。また、基板処理装置は、気相中で化学反応を進めることによって膜を形成するCVD装置やエッチング装置であってもよく、要するに、載置部に載置された基板が電極と向かい合う位置に搬送されることによって基板に処理が施される装置であればよい。
Claims (6)
- 電極と、
基板が載置される載置部と、
搬送方向に沿って前記載置部を搬送して前記載置部と前記電極とを向かい合わせる搬送部と、を備え、
前記載置部は、当該載置部に載置された基板の前記搬送方向にはみ出す端部を有し、
前記電極における前記搬送方向の長さが、電極幅WPとして設定され、
前記端部における前記搬送方向の長さが、端部幅WEとして設定され、
WE≧WPが満たされる
基板処理装置。 - 前記電極が、第1電極として設定され、
前記第1電極の前記搬送方向に配置された第2電極をさらに備え、
前記第1電極と前記第2電極との間には隙間が形成され、
前記隙間における前記搬送方向の長さが、電極間幅WBとして設定され、
WE≧WP+WBが満たされる
請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記端部が、先端部として設定され、
前記端部幅WEが、先端幅WEFとして設定され、
前記載置部は、当該載置部に載置された基板の前記搬送方向とは反対方向にはみ出す基端部を有し、
前記基端部における前記搬送方向の長さが、基端幅WEBとして設定され、
WEB≧WPが満たされ、
前記搬送部は、前記搬送方向に沿って前記載置部を搬送して前記電極と向かい合う位置を前記載置部に通過させる
請求項1又は2に記載の基板処理装置。 - 前記搬送部は、
前記電極と向かい合う位置を前記搬送方向に沿って前記載置部に通過させ、且つ、
前記電極と向かい合う位置を前記搬送方向とは反対方向に沿って前記載置部に通過させる
請求項3に記載の基板処理装置。 - 固体電解質の構成元素を含むターゲットが搭載された電極と、
基板が載置される載置部と、
搬送方向に沿って前記載置部を搬送して前記載置部と前記電極とを向かい合わせる搬送部と、を備え、
前記載置部は、当該載置部に載置された基板の前記搬送方向にはみ出す端部を有し、
前記電極における前記搬送方向の長さが、電極幅WPとして設定され、
前記端部における前記搬送方向の長さが、端部幅WEとして設定され、
WE≧WPが満たされる
固体電解質膜の形成装置。 - 基板が載置された載置部を搬送部が搬送方向に沿って搬送して、固体電解質の構成元素を含むターゲットが搭載された電極と前記載置部とが向かい合う工程を含み、
前記載置部は、当該載置部に載置された基板の前記搬送方向にはみ出す端部を有し、
前記電極における前記搬送方向の長さが、電極幅WPとして設定され、
前記端部における前記搬送方向の長さが、端部幅WEとして設定され、
WE≧WPが満たされる
固体電解質膜の形成方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012173964A JP5889746B2 (ja) | 2012-08-06 | 2012-08-06 | 基板処理装置、固体電解質膜の形成装置、及び、固体電解質膜の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012173964A JP5889746B2 (ja) | 2012-08-06 | 2012-08-06 | 基板処理装置、固体電解質膜の形成装置、及び、固体電解質膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014031558A true JP2014031558A (ja) | 2014-02-20 |
JP5889746B2 JP5889746B2 (ja) | 2016-03-22 |
Family
ID=50281617
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012173964A Active JP5889746B2 (ja) | 2012-08-06 | 2012-08-06 | 基板処理装置、固体電解質膜の形成装置、及び、固体電解質膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5889746B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016219186A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | 株式会社アルバック | 正極活物質膜、および、成膜方法 |
WO2020179097A1 (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 配線構造体、半導体装置、能動素子の動作方法、配線構造体の製造方法、配線構造体の使用方法及び配線構造体の配線抵抗の制御方法 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04173974A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-22 | Tdk Corp | 反応性連続スパッタ方法、磁気ディスクの製造方法および基板搬送用トレー |
JPH0641732A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-15 | Mitsubishi Kasei Corp | スパッタリング方法 |
JP2001011611A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Suzuki Motor Corp | LiMn2O4薄膜の合成方法、リチウム電池の製造方法及びスパッタ装置 |
-
2012
- 2012-08-06 JP JP2012173964A patent/JP5889746B2/ja active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04173974A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-22 | Tdk Corp | 反応性連続スパッタ方法、磁気ディスクの製造方法および基板搬送用トレー |
JPH0641732A (ja) * | 1992-07-23 | 1994-02-15 | Mitsubishi Kasei Corp | スパッタリング方法 |
JP2001011611A (ja) * | 1999-06-24 | 2001-01-16 | Suzuki Motor Corp | LiMn2O4薄膜の合成方法、リチウム電池の製造方法及びスパッタ装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016219186A (ja) * | 2015-05-18 | 2016-12-22 | 株式会社アルバック | 正極活物質膜、および、成膜方法 |
WO2020179097A1 (ja) * | 2019-03-04 | 2020-09-10 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 配線構造体、半導体装置、能動素子の動作方法、配線構造体の製造方法、配線構造体の使用方法及び配線構造体の配線抵抗の制御方法 |
JPWO2020179097A1 (ja) * | 2019-03-04 | 2021-10-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 配線構造体、半導体装置、能動素子の動作方法、配線構造体の製造方法、配線構造体の使用方法及び配線構造体の配線抵抗の制御方法 |
JP7033715B2 (ja) | 2019-03-04 | 2022-03-11 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 配線構造体、半導体装置、能動素子の動作方法、配線構造体の製造方法、配線構造体の使用方法及び配線構造体の配線抵抗の制御方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5889746B2 (ja) | 2016-03-22 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US8441772B2 (en) | Substrate for electrostatic chuck and electrostatic chuck | |
US8221594B2 (en) | Magnetron sputtering apparatus and magnetron sputtering method | |
US20100078309A1 (en) | Sputtering method and sputtering apparatus | |
WO2009142016A1 (ja) | プラズマ生成装置およびプラズマ処理装置 | |
JP2001257199A (ja) | プラズマ処理方法及び装置 | |
JP4707693B2 (ja) | スパッタリング装置及びスパッタリング方法 | |
US20160289815A1 (en) | Method and apparatus for depositing a material | |
JP5889746B2 (ja) | 基板処理装置、固体電解質膜の形成装置、及び、固体電解質膜の形成方法 | |
KR20190140059A (ko) | 스퍼터링 장치 | |
JP4491363B2 (ja) | 成膜装置 | |
JP2011068970A (ja) | 機能膜の製造装置および製造方法 | |
JP6645856B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP4576190B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
KR20100089541A (ko) | 플라즈마 화학 기상 증착 장치 | |
JP2013129871A (ja) | マグネトロンスパッタリングカソード及びこれを備えたスパッタリング装置 | |
JP5265309B2 (ja) | スパッタリング方法 | |
JP5095087B2 (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
JP2006283135A (ja) | 成膜装置及び成膜方法 | |
KR102376098B1 (ko) | 성막 방법 | |
US20130333617A1 (en) | Plasma processing apparatus | |
TWI770331B (zh) | 反應性離子蝕刻裝置 | |
KR20100089540A (ko) | 플라즈마 화학 기상 증착 장치 | |
JP5282538B2 (ja) | 容量結合型プラズマcvd装置 | |
JP2010070816A (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
JP2020161264A (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150529 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160128 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160202 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160217 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5889746 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |