JP2014022390A - 半導体装置、ピラートランジスタのレイアウト方法及びそのレイアウト方法を用いて製造した半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 50
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 10
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 31
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 abstract description 31
- 239000010703 silicon Substances 0.000 abstract description 31
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 20
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 14
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 4
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 1
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- H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
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- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
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- H01L29/78—Field effect transistors with field effect produced by an insulated gate
- H01L29/7827—Vertical transistors
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/04—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body
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- H01L27/085—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers the substrate being a semiconductor body including only semiconductor components of a single kind including field-effect components only
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/823487—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type with a particular manufacturing method of vertical transistor structures, i.e. with channel vertical to the substrate surface
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0207—Geometrical layout of the components, e.g. computer aided design; custom LSI, semi-custom LSI, standard cell technique
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- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
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- H01L27/118—Masterslice integrated circuits
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Abstract
【課題】セルの面積を縮小する。
【解決手段】ピラートランジスタM4を構成する単位ピラートランジスタ10のシリコンピラー11の間隔が、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下であり、かつ、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしのシリコンピラー11の間隔が、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広い。
【選択図】図1
【解決手段】ピラートランジスタM4を構成する単位ピラートランジスタ10のシリコンピラー11の間隔が、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下であり、かつ、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしのシリコンピラー11の間隔が、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広い。
【選択図】図1
Description
本発明は、ピラートランジスタを複数有する半導体装置に関し、特に、ピラートランジスタのレイアウトに関する。
図6は、一般的な半導体装置の一例を示す図であり、(a)は論理回路を示す図、(b)は具体的な回路図である。
半導体装置として、例えば図6(a)に示すように2つのORゲートと1つのNANDゲートとからなるものが挙げられる。このような半導体装置は図6(b)に示すように、同一ノードに接続される複数のトランジスタPM1〜PM4,NM1〜NM4から実現されることになる。
近年、このように複数のトランジスタから構成される半導体装置として、ピラートランジスタを用いたものが考えられている(例えば、特許文献1参照)。ピラートランジスタは、半導体基板の主面に対して垂直方向に延びるシリコンピラーをチャネルとして用いることによって、半導体装置における集積度を向上させることができるが、その配置方法によっては、面積や特性が異なるものとなる。特に、スタンダードセルのように、トランジスタが繰り返し使用される複数回路セルでは、チップサイズにおいて大きな差が生じてしまう。
図7は、ピラートランジスタを適用したスタンダードセルの構成を説明するための図であり、(a)はメモリセルで構成されるアレイ部周辺の周辺回路部に配置されるセルロウを示す図、(b)はスタンダードセルにおけるセルロウの構成を示す図である。
図7(a)に示すように、半導体装置においては、メモリセルから構成されるアレイ部300に対して周辺回路部200にはセルロウ100が配置されており、このセルロウ100に、トランジスタから構成されるセルが配置される。
例えば、pチャネル型のピラートランジスタと、nチャネル型のピラートランジスタとからなる半導体装置においては、図7(b)に示すように、セルロウには、pチャネル型のピラートランジスタを形成するpチャネル型ピラートランジスタ形成領域(n型不純物が拡散されたウェル領域内のトランジスタ形成領域)と、nチャネル型ピラートランジスタ形成領域(p型不純物が拡散されたウェル領域内のトランジスタ形成領域)と、電源配線領域及びセル内トランジスタの配線領域とが設けられる。
このようなスタンダードセルでは、その入出力の配線を組み合わせることで種々の組み合わせ回路が実現される。スタンダードセルは、同一のトランジスタを複数含むことで組み合わせの自由度が向上するとともに、各素子の配置場所による特性のばらつきを抑制することができる。
以下に、ピラートランジスタのレイアウトについて説明する。
図8は、半導体装置の一例を示す回路図である。
図8に示す例は、4つのトランジスタM1〜M4から構成されており、これらトランジスタM1〜M4をピラートランジスタで構成する場合について考える。
図9は、図8に示した半導体装置をピラートランジスタで構成した場合の1つのセルの構造の一例を示す図であり、(a)は上面図、(b)は(a)に示したA−A’断面図、(c)は(a)に示したB−B’断面図である。
図8に示した半導体装置をピラートランジスタで構成した場合、図9に示すように、ピラートランジスタM1〜M4のそれぞれは、単位ピラートランジスタ10が複数並べられることによって構成される。単位ピラートランジスタ10のそれぞれは、STI50に形成されたピラー部となるシリコンピラー11の側面にゲート絶縁膜13を介してゲート電極12が形成されるとともに、その上部に上部n型拡散層14が形成されている。上部n型拡散層14は、STI50に形成されたスルーホールのコンタクト20を介して表面の電源配線30に接続されている。また、シリコンピラー11の下部には下部n型拡散層15が形成されるとともに、pウェル40が形成されている。なお、ゲート絶縁膜13とゲート電極12とを併せてサイドウォールゲート電極と称する。
ピラートランジスタM1〜M4のそれぞれは、4つの単位ピラートランジスタ10が並べられてなる2つのピラー列からなる。ピラー列を構成する4つの単位ピラートランジスタ10間は、シリコンピラー11の間隔がゲート絶縁膜13及びゲート電極12の膜厚の2倍以下となっていることにより、ゲート電極12が埋め込まれている。ピラートランジスタM1〜M4を構成する2つずつのピラー列は、出力側(または電源側)のピラートランジスタのピラー列を電源側(または出力側)のピラートランジスタのピラー列で挟むように配置することにより、図中破線と一点鎖線とで示すように電流経路に差が生じないようにし、各電流パスに余分な抵抗分をつけないように配置されている。具体的には、ピラートランジスタM2を構成する2つのピラー列のうち一方のピラー列に隣接してピラートランジスタM3を構成する2つのピラー列のうち一方のピラー列が配置され、このピラー列に隣接してピラートランジスタM1を構成する2つのピラー列のうち一方のピラー列が配置され、このピラー列に隣接してピラートランジスタM4を構成する2つのピラー列のうち一方のピラー列が配置され、このピラー列に隣接してピラートランジスタM2を構成する2つのピラー列のうち他方のピラー列が配置され、このピラー列に隣接してピラートランジスタM3を構成する2つのピラー列のうち他方のピラー列が配置され、このピラー列に隣接してピラートランジスタM1を構成する2つのピラー列のうち他方のピラー列が配置され、このピラー列に隣接してピラートランジスタM4を構成する2つのピラー列のうち他方のピラー列が配置されている。これらピラー列は、シリコンピラー11の間隔がゲート絶縁膜13及びゲート電極12の膜厚の2倍よりも広いものとなっている。
ピラートランジスタM1〜M4のそれぞれを構成する2つのピラー列には、ゲート給電用絶縁ピラー61が設けられており、コンタクトプラグ62を介してゲート配線63と接続され、同一のピラートランジスタを構成するピラー列どうしが、ゲート引き出し線70a〜70dによって接続されている。
シリコンピラー11の下部に形成された下部n型拡散層15は、隣接するピラー列どうしを接続しており、その下部に、単位ピラートランジスタ10の全てを覆うようにpウェル40が形成されている。
上述したようにピラートランジスタが配置された半導体装置においては、ピラー列の数が多くなった場合、面積が広くなってしまう。半導体装置においては、高集積化が望まれているため、面積が広くなることは好ましくはない。また、面積が広くなることに伴って、下部拡散層の抵抗が高くなってしまうという問題点がある。
上記目的を達成するために本発明は、
ピラー部の側面にサイドウォールゲート電極が形成された単位ピラートランジスタが複数並べられることによって構成されるピラートランジスタを複数有する半導体装置において、
前記複数のピラートランジスタのうち、少なくとも1つのピラートランジスタは、当該ピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタの前記ピラー部の間隔が、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下であり、かつ、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔が、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広いことを特徴とする。
ピラー部の側面にサイドウォールゲート電極が形成された単位ピラートランジスタが複数並べられることによって構成されるピラートランジスタを複数有する半導体装置において、
前記複数のピラートランジスタのうち、少なくとも1つのピラートランジスタは、当該ピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタの前記ピラー部の間隔が、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下であり、かつ、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔が、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広いことを特徴とする。
また、ピラー部の側面にサイドウォールゲート電極が形成された単位ピラートランジスタが複数並べられることによって構成されるピラートランジスタを複数有する半導体装置における前記ピラートランジスタのレイアウト方法であって、
前記複数の単位ピラートランジスタのうち、同一のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔を、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下とし、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔を、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広くする。
前記複数の単位ピラートランジスタのうち、同一のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔を、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下とし、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔を、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広くする。
上記のように構成された本発明においては、同一のピラートランジスタを構成するピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタ間は、サイドウォールゲート電極で埋め込まれていてもよいことから、複数のピラートランジスタのうち少なくとも1つのピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタのピラー部の間隔を、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下とすることにより、面積を狭くできる。
本発明によれば、複数のピラートランジスタのうち少なくとも1つのピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタのピラー部の間隔を、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下とすることにより、面積を狭くでき、それに伴って、下部拡散層の抵抗が高くなることを抑制できる。
以下に、本発明の実施の形態について図面を参照して説明する。
(第1の実施の形態)
図1は、本発明の半導体装置の第1の実施の形態の構造を示す図であり、(a)は上面図、(b)は(a)に示したA−A’断面図、(c)は(a)に示したB−B’断面図である。
図1は、本発明の半導体装置の第1の実施の形態の構造を示す図であり、(a)は上面図、(b)は(a)に示したA−A’断面図、(c)は(a)に示したB−B’断面図である。
本形態は、図8に示した半導体装置をピラートランジスタで構成したものに本発明を適用した構造である。そのため、図9に示したものと同様に、ピラートランジスタM1〜M4のそれぞれは、単位ピラートランジスタ10が複数並べられることによって構成されており、単位ピラートランジスタ10の構造は、図9に示したものと同様なものとなっている。また、4つの単位ピラートランジスタ10が並べられてなるピラー列のそれぞれには、図9に示したものと同様に、ゲート給電用絶縁ピラー61が設けられており、コンタクトプラグ62を介してゲート配線63と接続され、同一のピラートランジスタを構成するピラー列どうしが、ゲート引き出し線70a〜70dによって接続されている。
本形態は、図9に示したものに対して、ピラー列の配置が異なっている。ピラートランジスタM1〜M4のうちピラートランジスタM4のピラー列は、シリコンピラー11の間隔がサイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下となっている。これは、同一のピラートランジスタを構成するピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタ間は、サイドウォールゲート電極で埋め込まれていてもよいことを利用したものである。また、ピラー列を構成する単位ピラートランジスタ10のシリコンピラー11の間隔が、上述したようにサイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下となっていることにより、ピラートランジスタM4を構成する全ての単位ピラートランジスタ10は、シリコンピラー11の間隔がサイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下となっている。
また、その他のピラートランジスタM1〜M3のピラー列は、図9に示したものと同様に2つずつ設けられているが、これらは、ピラートランジスタM4のピラー列を中心として、同一のピラートランジスタM1〜M3のピラー列が左右対称に配置されている。具体的には、ピラートランジスタM4のピラー列を挟んで、ピラートランジスタM1のピラー列が配置され、このピラートランジスタM1のピラー列のピラートランジスタM4のピラー列とは反対側に、ピラートランジスタM3のピラー列が配置され、このピラートランジスタM3のピラー列のピラートランジスタM1のピラー列とは反対側に、ピラートランジスタM2のピラー列が配置されている。
シリコンピラー11の下部に形成された下部n型拡散層15は、上記のように配置されたピラー列どうしを接続しており、その下部に、単位ピラートランジスタ10の全てを覆うようにpウェル40が形成されている。
以下に、上述したゲート電極12の形成方法について説明する。
図2は、図1に示した半導体装置におけるゲート電極12の形成方法を説明するための図である。
図1に示した半導体装置におけるゲート電極12の形成する際は、まず、エッチングによって形成されたシリコンピラー11(図2(a))の側面を酸化して、シリコン酸化膜16を形成し、また、シリコン酸化膜16上にシリコン窒化膜によってサイドウォール部17を形成する。また、シリコンピラー11の基端側に不純物注入を行い、下部n型拡散層14を形成する(図2(b))。
次に、ウェットエッチング法により、シリコン窒化膜からなるサイドウォール部17及びシリコン酸化膜16を除去し、シリコンピラー11の側面にゲート絶縁膜13を数nmの厚さで形成する。そして、ゲート電極材料を用いて、シリコンピラー11の側面に、ゲート絶縁膜13を覆うように略筒状のゲート電極12を形成する(図2(c))。この際、ピラートランジスタM4のピラー列間においては、ゲート電極12が埋め込まれた状態となる。
その後、シリコンピラー11の上部にシリコンを選択的エピタキシャル成長させてから、この選択的エピタキシャル成長させたシリコンに不純物を注入して、上部n型拡散層14を形成する(図2(d))。
以下に、本形態の半導体装置による効果について説明する。
上記のように構成された半導体装置においては、ピラートランジスタM1〜M4のうちピラートランジスタM4のピラー列のシリコンピラー11の間隔がサイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下となっていることにより、ピラートランジスタM4を構成する全ての単位ピラートランジスタ10のシリコンピラー11の間隔がサイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下となっているため、図9に示したものに対して、面積を狭くすることができる。例えば、1つのチップ内で1000個のセルを使用している場合、1つのセルあたり1μm2の面積の削減が可能であるとすると、チップ全体では、1mm2の面積の削減が可能となる。またそれに伴い、下部n型拡散層15の面積が狭くなることでその抵抗値を低くすることができるとともに、側面容量を小さく設計することができる。
また、図9に示したものにおいては、出力側(または電源側)のピラートランジスタのピラー列を電源側(または出力側)のピラートランジスタのピラー列で挟むように配置することにより、ゲート引き出し線70a〜70dの引き回しが複雑となっているが、本形態は、ピラートランジスタM4のピラー列を中心として、同一のピラートランジスタM1〜M3のピラー列が左右対称に配置されていることにより、ゲート引き出し線70a〜70dの引き回しが複雑とならない。
(第2の実施の形態)
図3は、本発明の半導体装置の第2の実施の形態の構造を示す図であり、(a)は上面図、(b)は(a)に示したA−A’断面図、(c)は(a)に示したB−B’断面図である。
図3は、本発明の半導体装置の第2の実施の形態の構造を示す図であり、(a)は上面図、(b)は(a)に示したA−A’断面図、(c)は(a)に示したB−B’断面図である。
本形態は図3に示すように、図1に示したものに対して、全てのピラートランジスタM1〜M4それぞれの2つのピラー列が隣接して配置され、これら隣接した配置された2つのピラー列のシリコンピラー11の間隔がサイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下となっている点が異なるものである。それにより、全てのピラートランジスタM1〜M4について、同一のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしのシリコンピラー11の間隔が、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下となっており、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしのシリコンピラー11の間隔が、サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広くなっている。
ここで、同一のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタ10どうしのシリコンピラー11の間隔をaとし、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタ10どうしのシリコンピラー11の間隔をb(b>a)として、図9に示したものと比較する。
図9に示したものは、図中左端に配置されたピラートランジスタM2のピラー列のシリコンピラー11と、図中右端に配置されたピラートランジスタM4のピラー列のシリコンピラー11との間隔は、それらの間に介在する単位ピラートランジスタの径を無視した場合、7bとなる。
一方、本形態の半導体装置においては、図中左端に配置されたピラートランジスタM2のピラー列のシリコンピラー11と、図中右端に配置されたピラートランジスタM4のピラー列のシリコンピラー11との間隔は、4a+3bとなる。
すなわち、本形態の半導体装置は図9に示したものに対して、4×(b−a)だけ、両端に配置されたピラー列のシリコンピラー11の間隔が狭くなる。この間隔の差がそのまま面積の差として生じることになるため、面積を狭くすることができ、それに伴い、下部n型拡散層15の面積が狭くなることでその抵抗値を低くすることができる。
また、ピラートランジスタM1〜M4のそれぞれの2つのピラー列が隣接して配置されていることにより、ゲート引き出し線70a〜70dによるゲート給電用ピラー61間の接続が不要となる。
(第3の実施の形態)
図4は、本発明の半導体装置の第3の実施の形態の構造を示す上面図である。
図4は、本発明の半導体装置の第3の実施の形態の構造を示す上面図である。
本形態は図4に示すように、図3に示したものに対して、単位ピラートランジスタ10が並んで構成されるピラー列が、ピラートランジスタM1〜M4のそれぞれについて3つずつ設けられている点が異なるものである。
本形態のように、ピラー列が多いピラートランジスタを用いたものほど、図9に示したように、ピラー列のシリコンピラー11の間隔をサイドウォールゲート電極の2倍よりも広くしたものに対して面積の差が大きくなり、上述した効果が大きくなる。
(第4の実施の形態)
図5は、本発明の半導体装置の第4の実施の形態を示す図であり、(a)は論理回路を示す図、(b)は具体的な回路図、(c)は(b)に示した3つのn型トランジスタNM1〜NM3の構造を示す上面図である。
図5は、本発明の半導体装置の第4の実施の形態を示す図であり、(a)は論理回路を示す図、(b)は具体的な回路図、(c)は(b)に示した3つのn型トランジスタNM1〜NM3の構造を示す上面図である。
本形態は図5に示すように、1つのNORゲートと1つのNANDゲートとからなる論理回路を構成するために、3つのpチャネル型のトランジスタPM1〜PM3と、3つのnチャネル型のトランジスタNM1〜NM3とから構成されている。
ここで、トランジスタPM1〜PM3,NM1〜NM3のそれぞれは、上述した実施の形態に示したピラートランジスタと同様の構造を有しているが、本形態においては、さらに、第1のピラートランジスタとなるトランジスタNM1と、第2のピラートランジスタとなるトランジスタNM2と、第3のピラートランジスタとなるトランジスタNM3の配置に特徴を有している。
トランジスタNM1〜NM3は図5(b)に示すように、トランジスタNM1を流れた電流がトランジスタNM2,NM3に供給されることになるが、図5(c)に示すように、トランジスタNM1を構成する単位ピラートランジスタ10が、トランジスタNM2を構成する単位ピラートランジスタ10と、トランジスタNM3を構成する単位ピラートランジスタ10とに挟まれて配置されている。
このような構成とすることにより、下部n型拡散層15の抵抗を下げることができる。
10 単位ピラートランジスタ
11 シリコンピラー
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁膜
14 上部n型拡散層
15 下部n型拡散層
16 シリコン酸化膜
17 サイドウォール部
20 コンタクト
30 電源配線
40 pウェル
50 STI
61 給電用ピラー
62 コンタクトプラグ
63 ゲート配線
70a〜70d ゲート引き出し線
11 シリコンピラー
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁膜
14 上部n型拡散層
15 下部n型拡散層
16 シリコン酸化膜
17 サイドウォール部
20 コンタクト
30 電源配線
40 pウェル
50 STI
61 給電用ピラー
62 コンタクトプラグ
63 ゲート配線
70a〜70d ゲート引き出し線
Claims (6)
- ピラー部の側面にサイドウォールゲート電極が形成された単位ピラートランジスタが複数並べられることによって構成されるピラートランジスタを複数有する半導体装置において、
前記複数のピラートランジスタのうち、少なくとも1つのピラートランジスタは、当該ピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタの前記ピラー部の間隔が、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下であり、かつ、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔が、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広いことを特徴とする半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記単位ピラートランジスタの前記ピラー部の間隔が前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下であるピラートランジスタは1つであり、
前記1つのピラートランジスタ以外のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタは、前記1つのピラートランジスタを中心として、同一のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタが左右対称に配置されている半導体装置。 - 請求項1に記載の半導体装置において、
前記複数のピラートランジスタのそれぞれは、当該ピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタの前記ピラー部の間隔が、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下である半導体装置。 - 請求項3に記載の半導体装置において、
前記ピラートランジスタは、第1のピラートランジスタと、前記第1のピラートランジスタを流れた電流が供給される第2及び第3のピラートランジスタとを有し、
前記単位ピラートランジスタは、前記第1のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタが、前記第2のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタと、前記第3のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタとに挟まれて配置されている半導体装置。 - ピラー部の側面にサイドウォールゲート電極が形成された単位ピラートランジスタが複数並べられることによって構成されるピラートランジスタを複数有する半導体装置における前記ピラートランジスタのレイアウト方法であって、
前記複数の単位ピラートランジスタのうち、同一のピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔を、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍以下とし、異なるピラートランジスタを構成する単位ピラートランジスタどうしの前記ピラー部の間隔を、前記サイドウォールゲート電極の膜厚の2倍よりも広くする、レイアウト方法。 - 請求項5に記載のレイアウト方法を用いて製造した半導体装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012156483A JP2014022390A (ja) | 2012-07-12 | 2012-07-12 | 半導体装置、ピラートランジスタのレイアウト方法及びそのレイアウト方法を用いて製造した半導体装置 |
US13/938,446 US8994098B2 (en) | 2012-07-12 | 2013-07-10 | Semiconductor device including pillar transistors |
US14/643,249 US20150187935A1 (en) | 2012-07-12 | 2015-03-10 | Semiconductor device including pillar transistors |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012156483A JP2014022390A (ja) | 2012-07-12 | 2012-07-12 | 半導体装置、ピラートランジスタのレイアウト方法及びそのレイアウト方法を用いて製造した半導体装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014022390A true JP2014022390A (ja) | 2014-02-03 |
Family
ID=49913262
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2012156483A Pending JP2014022390A (ja) | 2012-07-12 | 2012-07-12 | 半導体装置、ピラートランジスタのレイアウト方法及びそのレイアウト方法を用いて製造した半導体装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US8994098B2 (ja) |
JP (1) | JP2014022390A (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014104354B3 (de) * | 2014-03-28 | 2015-04-02 | Thyssenkrupp Presta Ag | Lenksäule für ein Kraftfahrzeug |
KR102399023B1 (ko) | 2015-06-22 | 2022-05-16 | 삼성전자주식회사 | 반도체 장치 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101379508B1 (ko) * | 2008-03-28 | 2014-03-27 | 삼성전자주식회사 | 수직 채널 트랜지스터 및 이의 제조 방법 |
KR20090126077A (ko) * | 2008-06-03 | 2009-12-08 | 삼성전자주식회사 | 메모리 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
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JP2011103339A (ja) | 2009-11-10 | 2011-05-26 | Elpida Memory Inc | 半導体装置およびその製造方法 |
KR20110101876A (ko) * | 2010-03-10 | 2011-09-16 | 삼성전자주식회사 | 매립 비트 라인을 갖는 반도체 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 |
-
2012
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-
2013
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-
2015
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---|---|
US20140015059A1 (en) | 2014-01-16 |
US8994098B2 (en) | 2015-03-31 |
US20150187935A1 (en) | 2015-07-02 |
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