JP2014013186A - Surface inspection device and method of flow casting support, and solution film forming method and equipment - Google Patents

Surface inspection device and method of flow casting support, and solution film forming method and equipment Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To accurately detect a defect such as a very small pin hole without any man power.SOLUTION: The surface of a flow casting band 11a wound on a pair of support drums 12 is inspected. The flow casting band 11a of the part wound on the support drums 12 is scanned with a laser in a width direction. A laser 20 reflected on the flow casting band 11a is received by a receiver 16. The receiver 16 blocks unnecessary light by a light blocking plate 21 having a slit opening 21a. By using a positioning unit 18, a scanner 15 and the receiver 16 are positioned at the inspection position of the flow casting band 11a. The scanner 15 and the receiver 16 are arranged to face the circular arc of the flow casting band 11a, and a very small defect such as a pin hole can be accurately inspected.

Description

本発明は、流延支持体の表面検査装置及び方法並びに溶液製膜方法及び設備に関する。   The present invention relates to a surface inspection apparatus and method for a casting support, and a solution casting method and equipment.

光透過性を有する熱可塑性フィルムは、軽量であり、成形が容易であるため、光学フィルムとして多方面に利用されている。中でも、セルロースアシレートなどを用いたセルロースエステル系フィルムは、写真感光用フィルムをはじめとして、近年市場が拡大している液晶表示装置の構成部材である光学フィルム(例えば、位相差フィルムや偏光板保護フィルム等)に用いられている。   A thermoplastic film having light permeability is lightweight and easy to mold, and thus is used in various fields as an optical film. Among them, cellulose ester films using cellulose acylate and the like are optical films (for example, retardation film and polarizing plate protection) which are constituent members of liquid crystal display devices whose market has been expanding in recent years, including photographic photosensitive films. Used in film, etc.).

このようなフィルムは、溶液製膜方法によりつくられる。溶液製膜方法は、ポリマーと溶剤とを含むポリマー溶液(ドープ)を支持体上に流し、流延膜を形成する。次に、流延膜が搬送可能な程度に固くなった後、これを湿潤フィルムとして支持体から剥がす。そして、この湿潤フィルムを乾燥室へ送る。乾燥室では、湿潤フィルムをローラに巻きかけて搬送しながら、湿潤フィルムから溶剤を蒸発させてフィルムとする。また、流延膜を冷却により固化させる冷却流延方式の場合には、乾燥室の代わりにピンテンタに送り、ピンテンタで湿潤フィルムを乾燥させる。   Such a film is produced by a solution casting method. In the solution casting method, a polymer solution (dope) containing a polymer and a solvent is allowed to flow on a support to form a cast film. Next, after the cast film becomes hard enough to be transported, it is peeled off from the support as a wet film. Then, this wet film is sent to the drying chamber. In the drying chamber, while the wet film is wound around a roller and conveyed, the solvent is evaporated from the wet film to form a film. In the case of the cooling casting method in which the casting film is solidified by cooling, it is sent to a pin tenter instead of the drying chamber, and the wet film is dried by the pin tenter.

ところで、近年の液晶ディスプレイ(LCD)の高精細化や、スマートフォン(多機能携帯電話)、タブレット型コンピュータなどのモバイル型端末装置の普及に伴って、これらの表示装置に用いられる光学フィルムには、今まで以上に表面に微細な突起や穴などが無いものが要求される。   By the way, with recent high-definition liquid crystal displays (LCDs) and the spread of mobile terminal devices such as smartphones (multifunction mobile phones) and tablet computers, optical films used in these display devices include: What has no fine protrusions or holes on the surface is required.

これら光学フィルムの表面上の微細な突起や穴などの欠陥については、特許文献1に記載されているように、連続走行するフィルムにその幅方向に光ビームを走査し、フィルムを透過もしくは反射した検査光を光ビームの径以下のスリット幅をもち、光ビームの走行方向と平行に配置した受光窓を通して受光器に入射させ、この受光器からの光電変換出力により被検査体の表面欠陥を検査している。また、特許文献2では、検査光のビーム径に対してスリットの開口幅をその(1/10)以上(2/3)以下の範囲に設定して、表面欠陥を精度良く検査している。   For defects such as fine protrusions and holes on the surface of these optical films, as described in Patent Document 1, a continuous running film was scanned with a light beam in the width direction and transmitted or reflected through the film. The inspection light has a slit width less than the diameter of the light beam and enters the light receiver through a light receiving window arranged parallel to the traveling direction of the light beam, and the surface defect of the inspection object is inspected by the photoelectric conversion output from this light receiver. doing. Further, in Patent Document 2, the surface defect is inspected with high accuracy by setting the opening width of the slit within the range of (1/10) to (2/3) of the beam diameter of the inspection light.

特開平6−207910号公報JP-A-6-207910 特開平8−261949号公報JP-A-8-261949 韓国特許公開公報第2009−110082号公報Korean Patent Publication No. 2009-110082

しかしながら、上記特許文献1及び2のものでは、製品としてのフィルムの欠陥を検査するものである。そして、欠陥検査データに基づきフィルム上の欠陥部分を特定し、表示装置などにこの欠陥部分が使用されることがないように表示する。製品化に際しては、欠陥部分を除外して使用する。したがって、上記特許文献1及び2のものでは、欠陥部分の使用は避けられるものの、フィルム自体の欠陥部分を少なくするという根本的な解決は図られていない。   However, in Patent Documents 1 and 2, the film as a product is inspected for defects. And the defective part on a film is specified based on defect inspection data, and it displays so that this defective part may not be used on a display apparatus. When commercializing, exclude defective parts. Therefore, in Patent Documents 1 and 2, the use of a defective portion can be avoided, but a fundamental solution of reducing the defective portion of the film itself has not been achieved.

溶液製膜方法では、流延支持体に流延した流延膜を剥がして乾燥しフィルムとする関係上、フィルムの面状態は、流延支持体の面状態に依存する。したがって、流延支持体の製造段階において、その面状態を検査し、微細な凹凸が発見されると、凸の場合にはこの部分を研磨し、凹の場合にはスポット溶接した後に研磨して、製品としてのフィルムに微細な欠陥が発生することがないように、微細な凹凸を無くす表面仕上げを行う。   In the solution casting method, the surface state of the film depends on the surface state of the casting support because the casting film cast on the casting support is peeled off and dried to form a film. Therefore, in the production stage of the casting support, the surface state is inspected, and if fine irregularities are found, this portion is polished if it is convex, and is polished after spot welding if it is concave. In order to prevent fine defects from occurring in the film as a product, surface finishing is performed to eliminate fine irregularities.

従来では、このような流延支持体の検査は、熟練した検査者が表面を目視により観察し、微細な凹凸欠陥を発見する。しかしながら、LCDの高精細化や、スマートフォン、タブレット型コンピュータなどのモバイル型端末装置の普及に伴って、これら装置に用いられる光学フィルムの品質要求レベルは年々向上している。したがって、これまで、熟練者が行ってきた面状態保証に求められる欠陥サイズが目視レベルを下回るものになってきている。このため、熟練者による検査に限界が出てきており、新たな流延支持体の検査方法が求められている。   Conventionally, inspecting such a casting support, a skilled inspector visually observes the surface and finds a fine uneven defect. However, with the high definition of LCDs and the spread of mobile terminal devices such as smartphones and tablet computers, the quality requirement level of optical films used in these devices is increasing year by year. Therefore, until now, the defect size required for the surface condition assurance performed by a skilled person has become lower than the visual level. For this reason, there is a limit to the inspection by skilled workers, and a new inspection method for casting supports is required.

また、近年のLCDの大画面化の要請により、溶液製膜における流延支持体も広幅のものが求められている。しかしながら、流延支持体の材料である帯鋼はその幅が帯鋼の製造ラインの設備幅によって限界があり、広幅化には容易に対応することができない。このため、特許文献3に記載のように、従来の流延支持体の両側に新たな側板を縦溶接し、側板分だけ幅を広げた縦溶接バンドも提案されている。また、従来の流延バンドにあっても、エンドレスバンドを製造する際に帯鋼の両端部を幅方向に溶接(横溶接)し、環状に連結している。このため、従来の流延バンドでも、幅方向に延びた横溶接ラインが存在する。このような縦溶接ラインや横溶接ラインなどの溶接部を含む流延バンドでは、流延バンドの納入時に、熟練者による厳重なる表面の欠陥検査が行われている。そして、溶接部のピンホールやクラックは厳重な検査によって発見され、この発見された欠陥はスポット溶接やその後の研磨等の仕上げ処理によって、消滅する。したがって、溶液製膜設備に流延バンドとして導入直後には、フィルムの欠陥として面写りするサイズの欠陥は排除されており、得られるフィルムに微細な凹凸欠陥が現れることはない。   In addition, due to the recent demand for larger LCD screens, the casting support in solution casting is required to have a wide width. However, the width of the steel strip, which is the material of the casting support, is limited by the equipment width of the production line of the steel strip, and cannot easily cope with widening. For this reason, as described in Patent Document 3, a vertical welding band is proposed in which new side plates are vertically welded on both sides of a conventional casting support and the width is increased by the side plate. Further, even in a conventional casting band, when manufacturing an endless band, both end portions of the steel strip are welded in the width direction (lateral welding) and connected in an annular shape. For this reason, even in the conventional casting band, there exists a horizontal welding line extending in the width direction. In a casting band including a welded portion such as a vertical welding line or a horizontal welding line, a strict inspection of a surface defect is performed by a skilled worker when the casting band is delivered. And the pinhole and crack of a welding part are discovered by a strict inspection, and this discovered defect disappears by finishing processes, such as spot welding and subsequent grinding | polishing. Therefore, immediately after being introduced as a casting band to the solution casting apparatus, defects having a size that appears as a film defect are eliminated, and fine uneven defects do not appear in the obtained film.

しかしながら、溶液製膜後の研磨補修などによって流延バンドが研磨されると、流延バンドの納入時には微小であり、欠陥と判定されなかった例えば壺状のピンホール等の場合には、研磨によってピンホールが大きく開口することになって欠陥に発展する場合もある。したがって、流延バンドの納入時における面欠陥の検査では、後の研磨補修も考慮して、研磨後に欠陥に発展する壺状の微細なピンホールも欠陥として判定する必要があり、熟練者による目視検査に代わる検出精度が高い検査方法や検査装置の開発が望まれている。   However, when the casting band is polished by polishing repair after solution film formation, it is very small at the time of delivery of the casting band. In some cases, pinholes are greatly opened, which leads to defects. Therefore, in the inspection of surface defects at the time of delivery of the casting band, it is necessary to determine the pin-shaped fine pinholes that develop into defects after polishing as defects in consideration of subsequent polishing repairs. Development of inspection methods and inspection devices with high detection accuracy instead of inspection is desired.

このため、上記特許文献1及び2のようなフィルムを対象とした欠陥検査方法を流延支持体の表面の欠陥検査に適用することも可能である。しかしながら、流延バンドや流延ドラムのような流延支持体は鏡面仕上げとなっており、フィルムに対するような欠陥検出方法をそのまま適用しても、表面の欠陥を精度よく検出することができないという問題がある。   For this reason, it is also possible to apply the defect inspection method for the films as described in Patent Documents 1 and 2 to the defect inspection of the surface of the casting support. However, casting supports such as casting bands and casting drums have a mirror finish, and even if a defect detection method for a film is applied as it is, surface defects cannot be detected accurately. There's a problem.

本発明はこのような課題を解決するものであり、流延支持体の微細な凹凸による欠陥を精度良く検査することができる流延支持体の表面検査装置及び方法並びに溶液製膜方法及び設備を提供することを目的とする。   The present invention solves such problems, and provides a casting support surface inspection apparatus and method, and a solution casting method and equipment capable of accurately inspecting defects due to fine irregularities of the casting support. The purpose is to provide.

本発明の流延支持体の表面検査装置では、連続走行する流延支持体に対してその幅方向にレーザーを走査するスキャナと、流延支持体で反射したレーザーを光電変換するレシーバと、レシーバからの光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する欠陥判定部とを有する。レーザーの流延支持体上でのスポット径は20μm以上50μm以下であり、レシーバは、流延支持体で反射したレーザーの走査ラインに沿って配されるスリット開口を持つ遮光板を有する。スリット開口のスリット幅はスポット径に対して30倍以上200倍以下である。   In the surface inspection apparatus for a casting support according to the present invention, a scanner that scans a laser in the width direction of a continuously running casting support, a receiver that photoelectrically converts a laser reflected by the casting support, and a receiver And a defect determination unit that detects a defect based on the binarized signal and determines a defect when the detected defect is larger than a preset value. The spot diameter of the laser on the casting support is 20 μm or more and 50 μm or less, and the receiver has a light shielding plate having a slit opening arranged along the scanning line of the laser reflected by the casting support. The slit width of the slit opening is 30 to 200 times the spot diameter.

なお、流延支持体は、1対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、レーザーによる走査ラインは支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び流延ドラムの周面のいずれか一方に形成され、この走査ラインが形成される流延支持体の曲率半径は100mm以上4000mm以下であることが好ましい。この場合には、支持ドラムにより支持された流延バンドや流延ドラムに対してレーザーを照射するため、流延バンドが振動することが少なくなり、精度のよい欠陥検出が可能になる。   The casting support is either one of an endless casting band and a casting drum wound around a pair of supporting drums, and the scanning line by the laser is a portion of the casting band wound around the supporting drum. It is preferable that the radius of curvature of the casting support formed on either one of the peripheral surfaces of the casting drum and the scanning line is 100 mm or more and 4000 mm or less. In this case, since the laser is applied to the casting band and the casting drum supported by the support drum, the casting band is less likely to vibrate, and the defect can be detected with high accuracy.

また、スキャナとレシーバとを流延支持体に対し位置決めする位置決めユニットを備えることが好ましい。位置決めユニットは、流延支持体に対面するように配されるフレームと、レーザーの流延支持体上における走査ラインと平行なX軸の回りにスキャナを回動し、任意回動位置でスキャナを固定するスキャナ保持部と、流延支持体から反射したレーザーをスリット開口で受けるように、レシーバをX軸回りに回動し、任意回動位置でレシーバを固定するレシーバ保持部とを有することが好ましい。この場合には、検査対象である流延支持体に対して、スキャナ及びレシーバを迅速に位置決めすることができる。   Moreover, it is preferable to provide the positioning unit which positions a scanner and a receiver with respect to a casting support body. The positioning unit rotates the scanner around a frame arranged so as to face the casting support, and the X axis parallel to the scanning line on the casting support of the laser. A scanner holding unit for fixing, and a receiver holding unit for rotating the receiver around the X axis so that the laser reflected from the casting support is received by the slit opening and fixing the receiver at an arbitrary rotation position preferable. In this case, the scanner and the receiver can be quickly positioned with respect to the casting support to be inspected.

スキャナ保持部は流延支持体における設計時走査ラインを中心にスキャナを回動し、レシーバ保持部は設計時走査ラインを中心にレシーバを回動することが好ましい。なお、設計時走査ラインとは、スキャナからのレーザーが流延支持体の表面で反射し、この反射光がレシーバに到達する設計時走査ラインのことを言い、この設計時走査ラインを検査対象の流延支持体の表面に位置決めユニットにより合わせることで、スキャナ及びレシーバが正規検査位置に精度良く設定される。   It is preferable that the scanner holding unit rotates the scanner about the design scanning line in the casting support, and the receiver holding unit rotates the receiver about the design scanning line. The design-time scan line is a design-time scan line in which the laser from the scanner is reflected on the surface of the casting support and this reflected light reaches the receiver. By aligning the surface of the casting support with the positioning unit, the scanner and the receiver are accurately set at the regular inspection position.

スキャナ及びレシーバをX軸に直交するY軸に沿って並べてスキャナ保持部及びレシーバ保持部を一体化し、この一体化したスキャナ保持部及びレシーバ保持部を、X軸及びY軸を含むXY面に直交するZ軸回りに回動し、任意回動位置でスキャナ保持部及びレシーバ保持部をフレームに固定するスキャナ及びレシーバの回動保持部を有することが好ましい。この場合には、スキャナ及びレシーバをY軸に対して傾斜して配置させることができ、流延支持体の走行方向に沿った縦スジからなる微細な凹凸を検出することができる。この縦スジからなる微細な凹凸はその形状からストリア(stria)と称している。このストリアは流延バンドの素材自体の結晶構造に起因すると思われる硬度差の分布が研磨によって、軟らかい部分が深く研磨され、固い部分が浅く研磨されることで発生するものと思われる。従来はこれを検査者の目視によって確認しているだけであり、基準となる指標が得られていない状態であった。スキャナ及びレシーバをY軸に対して傾斜して配置させることにより、微細な縦スジであるストリアを画像としてとらえることや、各画素の輝度レベルから各ストリアの深さの表示も可能となり、基準とする指標の作成も可能になる。   The scanner holding unit and the receiver holding unit are integrated by arranging the scanner and the receiver along the Y axis orthogonal to the X axis, and the integrated scanner holding unit and receiver holding unit are orthogonal to the XY plane including the X axis and the Y axis. It is preferable to have a scanner and receiver rotation holding unit that rotates about the Z axis and fixes the scanner holding unit and the receiver holding unit to the frame at an arbitrary rotation position. In this case, the scanner and the receiver can be arranged to be inclined with respect to the Y axis, and fine unevenness including vertical stripes along the traveling direction of the casting support can be detected. The fine irregularities formed by the vertical stripes are called “stria” because of their shape. This stria is considered to be caused by the distribution of the hardness difference, which seems to be caused by the crystal structure of the material of the casting band itself, by polishing the soft part deeply and polishing the hard part shallowly. Conventionally, this has only been confirmed by an inspector's visual observation, and a standard index has not been obtained. By arranging the scanner and receiver to be inclined with respect to the Y axis, it is possible to capture the streaks, which are fine vertical streaks, as an image, and to display the depth of each stria from the luminance level of each pixel. It is also possible to create an index to be used.

スキャナ及びレシーバの回動保持部をY軸方向でフレームに対し移動自在に保持するY軸スライド部と、フレームをX軸回りに回動し、任意回動位置でフレームを固定するフレームX軸回動保持部と、フレームX軸回動保持部をZ軸方向に移動自在に保持するZ軸スライド部とを有することが好ましい。これらスライド部や回動保持部を有することにより、流延支持体の湾曲度合いに応じて、その適宜位置での表面検査が可能になる。   A Y-axis slide part that holds the rotation holding part of the scanner and the receiver movably with respect to the frame in the Y-axis direction, and a frame X-axis rotation that rotates the frame around the X axis and fixes the frame at an arbitrary rotation position. It is preferable to have a moving holding portion and a Z-axis slide portion that holds the frame X-axis rotation holding portion so as to be movable in the Z-axis direction. By having these slide part and rotation holding part, surface inspection at an appropriate position can be performed according to the degree of curvature of the casting support.

さらに、Z軸スライド部をX軸方向に移動自在に保持するX軸スライド部を有することが好ましい。この場合には、スキャナによる走査ライン長さが流延支持体の幅に対して短い場合に、流延支持体の幅方向であるX軸方向にスキャナ及びレシーバを移動することにより、流延支持体の全面について表面検査が可能になる。   Furthermore, it is preferable to have an X-axis slide portion that holds the Z-axis slide portion movably in the X-axis direction. In this case, when the scanning line length by the scanner is shorter than the width of the casting support, the casting support is performed by moving the scanner and the receiver in the X-axis direction that is the width direction of the casting support. Surface inspection can be performed on the entire body.

流延支持体上で離間する二点にスポット光を照射して、レーザーの走査方向を決定するレーザーポインタを有することが好ましい。この場合には、このレーザーポインタで照射されたスポット光上にスキャナの走査光が位置するように、位置決めユニットの各部を微調整することにより、被検査面に触れる事なく精度よくスキャナやレシーバの位置合わせが可能になる。   It is preferable to have a laser pointer that determines the laser scanning direction by irradiating two spots separated on the casting support with spot light. In this case, by finely adjusting each part of the positioning unit so that the scanning light of the scanner is positioned on the spot light irradiated by this laser pointer, the scanner or receiver can be accurately adjusted without touching the surface to be inspected. Alignment becomes possible.

走査ラインに対し、流延支持体の走行方向上流側に、流延支持体を除塵する除塵装置を有することが好ましい。この場合には、流延支持体に微細な塵埃が付着することを防止し、これら付着した塵埃による誤判定を無くすことができる。   It is preferable to have a dust removing device for removing dust from the casting support upstream of the scanning support in the running direction of the casting support. In this case, it is possible to prevent fine dust from adhering to the casting support and to eliminate erroneous determination due to these adhering dust.

本発明の流延支持体の表面検査方法では、連続走行する流延支持体に対してその幅方向にレーザーを走査し、流延支持体で反射したレーザーを光電変換し、この光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する。レーザーの流延支持体上におけるスポット径を20μm以上50μm以下とし、流延支持体で反射したレーザーの走査方向に沿って配されるスリット開口を有する遮光板によりレーザーを遮光し、スリット開口のスリット幅を、スポット径に対して30倍以上200倍以下とする。   In the surface inspection method for a casting support according to the present invention, a laser is scanned in the width direction with respect to a continuously running casting support, the laser reflected by the casting support is photoelectrically converted, and this photoelectric conversion signal is converted into a photoelectric conversion signal. Binarization is performed, a defect is detected based on the binarized signal, and it is determined as a defect when the detected defect is larger than a preset value. The spot diameter of the laser on the casting support is 20 μm or more and 50 μm or less, and the laser is shielded by a light shielding plate having a slit opening arranged along the scanning direction of the laser reflected by the casting support. The width is not less than 30 times and not more than 200 times the spot diameter.

なお、流延支持体は、1対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、レーザーによる走査ラインは支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び流延ドラムの周面のいずれか一方に形成され、この走査ラインが形成される流延支持体の曲率半径は100mm以上4000mm以下であることが好ましい。また、レーザーの流延支持体上における走査ラインと平行なX軸の回りにスキャナを回動し、任意回動位置でスキャナを固定するスキャナ保持ステップと、流延支持体から反射したレーザーをスリット開口で受けるように、レシーバをX軸回りに回動し、任意回動位置でレシーバを固定するレシーバ保持ステップとを行うことが好ましい。   The casting support is either one of an endless casting band and a casting drum wound around a pair of supporting drums, and the scanning line by the laser is a portion of the casting band wound around the supporting drum. It is preferable that the radius of curvature of the casting support formed on either one of the peripheral surfaces of the casting drum and the scanning line is 100 mm or more and 4000 mm or less. In addition, a scanner holding step for rotating the scanner around the X axis parallel to the scanning line on the laser casting support and fixing the scanner at an arbitrary rotation position, and slitting the laser reflected from the casting support. It is preferable to perform a receiver holding step of rotating the receiver around the X axis so as to be received by the opening and fixing the receiver at an arbitrary rotation position.

スキャナ及びレシーバをX軸に直交するY軸に沿って並べてスキャナ及びレシーバを一体化し、これらスキャナ及びレシーバを、X軸及びY軸を含むXY面上で回動し、スキャナとレシーバとを結ぶ中心線がY軸に対して任意の傾斜角度となるように、スキャナ及びレシーバを保持するスキャナ及びレシーバの回動保持ステップを含むことが好ましい。   The scanner and the receiver are arranged along the Y axis perpendicular to the X axis to integrate the scanner and the receiver, and the scanner and the receiver are rotated on the XY plane including the X axis and the Y axis to connect the scanner and the receiver. It is preferable to include a rotation holding step of the scanner and the receiver for holding the scanner and the receiver so that the line has an arbitrary inclination angle with respect to the Y axis.

スキャナ及びレシーバの回動保持ステップの後に、スキャナ及びレシーバをY軸方向に移動自在に保持するY軸スライドステップと、Y軸スライドステップを経たスキャナ及びレシーバをX軸回りに回動した後に任意回動位置で固定するフレームX軸回動保持ステップと、フレームX軸回動保持ステップを経たスキャナ及びレシーバをXY面に交差するZ軸方向で移動自在に保持するZ軸スライドステップとを含むことが好ましい。   After the rotation holding step of the scanner and the receiver, a Y-axis slide step for holding the scanner and the receiver movably in the Y-axis direction, and an arbitrary number of times after the scanner and receiver that have passed through the Y-axis slide step are rotated about the X axis. A frame X-axis rotation holding step for fixing at the moving position, and a Z-axis slide step for holding the scanner and receiver that have undergone the frame X-axis rotation holding step so as to be movable in the Z-axis direction intersecting the XY plane. preferable.

本発明の溶液製膜方法は、上記流延支持体の表面検査方法により適正と評価された流延支持体を用い、この流延支持体上に流延ダイからポリマー及び溶剤を含むドープを流して流延膜を形成し、この流延膜から前記溶剤を蒸発させて湿潤フィルムとして剥ぎ取ることを特徴とする。   The solution casting method of the present invention uses a casting support evaluated as appropriate by the above-described surface inspection method for a casting support, and a dope containing a polymer and a solvent is poured onto the casting support from a casting die. Thus, a cast film is formed, and the solvent is evaporated from the cast film and peeled off as a wet film.

本発明の溶液製膜設備は、上記流延支持体の表面検査方法により適正と評価された流延支持体と、流延支持体を回転させて、流延支持面を走行させる駆動源と、駆動源により走行する流延支持体に向けてポリマー及び溶剤を含むドープを流出する流延ダイと、流延支持体上に流出したドープからなる流延膜を固化させる膜固化機と、流延膜を流延支持体から剥がす剥離ローラを備えることを特徴とする。   The solution casting apparatus of the present invention includes a casting support that has been evaluated as appropriate by the surface inspection method of the casting support, a driving source that rotates the casting support and travels on the casting support surface, A casting die that flows out a dope containing a polymer and a solvent toward a casting support that is driven by a driving source, a membrane solidifying machine that solidifies a casting film made of the dope that has flowed out onto the casting support, and casting. A peeling roller for peeling the membrane from the casting support is provided.

本発明によれば、従来は人手による目視検査に頼っていた流延支持体の欠陥検査を精度良く自動的に行うことができる。これにより、微細な凹凸による欠陥が少ない溶液製膜が可能になる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the defect inspection of the casting support body which has conventionally relied on the visual inspection by hand can be automatically performed with high accuracy. Thereby, solution film formation with few defects by fine unevenness | corrugation is attained.

本発明の表面検査装置の使用状態を示す側面図である。It is a side view which shows the use condition of the surface inspection apparatus of this invention. 検査原理を説明する側面図である。It is a side view explaining an inspection principle. 図2AにおけるエリアA1の正面図である。It is a front view of area A1 in FIG. 2A. 位置決めユニットの概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure of a positioning unit. 同正面図である。It is the same front view. 同背面図である。It is the same rear view. 同フローチャートである。It is the same flowchart. 溶液製膜設備の概略構成を示す側面図である。It is a side view which shows schematic structure of solution casting apparatus.

図1に示すように、流延支持体の表面検査装置10は、流延支持体11、例えば1対の支持ドラム12間に巻き掛けたエンドレスの流延バンド11aの表面を検査し、微細なピンホールやストリアなどの欠陥を見つける。このため、表面検査装置10は、スキャナ15、レシーバ16、欠陥判定部17(図2A参照)、位置決めユニット18を備え、可搬タイプとして構成されている。したがって、測定する場所に移動して、適宜タイミングで欠陥検査を行うことができる。例えば、溶液製膜設備の流延室の他に、流延支持体メーカーの工場などの適宜場所にて測定が可能になる。   As shown in FIG. 1, a casting support surface inspection apparatus 10 inspects the surface of a casting support 11, for example, an endless casting band 11 a wound between a pair of support drums 12. Find defects such as pinholes and stria. For this reason, the surface inspection apparatus 10 includes a scanner 15, a receiver 16, a defect determination unit 17 (see FIG. 2A), and a positioning unit 18, and is configured as a portable type. Therefore, it is possible to move to a place to be measured and perform defect inspection at an appropriate timing. For example, in addition to the casting chamber of the solution casting equipment, measurement can be performed at an appropriate place such as a factory of a casting support manufacturer.

図2Aに示すように、スキャナ15は、連続走行する流延支持体11に対してその幅方向にレーザー20を走査する。レシーバ16は、流延支持体11で反射したレーザー20を光電変換する。レシーバ16からの光電変換信号はケーブル22によって欠陥判定部17に送られる。欠陥判定部17は、光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥候補を検出する。そして、検出した欠陥候補が予め設定されているしきい値(基準値)よりも大きい場合に欠陥と判定する。判定された欠陥は、その位置データとともに、メモリに記憶される。この欠陥位置データは、オペレータによって、メモリから読み出すことができる。この場合にはディスプレイ17aに、流延支持体の位置データとともに、欠陥画像やその欠陥画像部の輝度差信号をグラフ化したものが表示される。   As shown in FIG. 2A, the scanner 15 scans the laser beam 20 in the width direction of the casting support 11 that runs continuously. The receiver 16 photoelectrically converts the laser 20 reflected by the casting support 11. The photoelectric conversion signal from the receiver 16 is sent to the defect determination unit 17 through the cable 22. The defect determination unit 17 binarizes the photoelectric conversion signal and detects a defect candidate based on the binarized signal. Then, if the detected defect candidate is larger than a preset threshold value (reference value), it is determined as a defect. The determined defect is stored in the memory together with its position data. This defect position data can be read from the memory by the operator. In this case, a graph showing the defect image and the luminance difference signal of the defect image portion is displayed on the display 17a together with the position data of the casting support.

本実施形態では、欠陥検査位置を、支持ドラム12に巻き掛けられている部位の流延バンド11aとしている。これにより、支持ドラム12に密着した状態で流延バンド11aが保持される。したがって、厚み方向(Z軸方向)に流延支持体11が振れることがなく、精度の良い欠陥検査が可能になる。なお、本実施形態では、欠陥検査位置でのレーザー20による走査ラインSLに平行な水平軸をX軸とし、これに交差する鉛直軸をY軸とし、これらX軸及びY軸を含むXY面に直交する軸をZ軸として、位置決めユニット18の構成を説明する。   In the present embodiment, the defect inspection position is the casting band 11a of the portion wound around the support drum 12. Thereby, the casting band 11a is held in a state of being in close contact with the support drum 12. Therefore, the casting support 11 is not shaken in the thickness direction (Z-axis direction), and an accurate defect inspection can be performed. In the present embodiment, the horizontal axis parallel to the scanning line SL by the laser 20 at the defect inspection position is defined as the X axis, the vertical axis intersecting this is defined as the Y axis, and the XY plane including these X axis and Y axis is defined. The configuration of the positioning unit 18 will be described using the orthogonal axis as the Z axis.

本実施形態のスキャナ15、レシーバ16、欠陥判定部17などの詳細な構成は、特許文献1、2などに記載の従来のものと基本的には同じである。ただし、欠陥検査対象物が鏡面仕上げされた金属(例えばSUS316製)バンド11aからなる流延支持体11である点で、レシーバ16の遮光板21の構成が従来のものと異なり、本願独自の構成となっている。   Detailed configurations of the scanner 15, the receiver 16, the defect determination unit 17, and the like of the present embodiment are basically the same as the conventional ones described in Patent Documents 1 and 2 and the like. However, the configuration of the light shielding plate 21 of the receiver 16 is different from the conventional configuration in that the defect inspection target is a casting support 11 made of a mirror-finished metal (for example, SUS316) band 11a. It has become.

スキャナ15は、周知のように、レーザー発振器,レンズ群,ポリゴンミラー,光路折り曲げ用ミラーなどを有する。レーザー発振器から放射されたレーザーはレンズ群に入射し、そのスポット径が調節される。この後、ミラーを介して高速回転するポリゴンミラーに入射し、ここで反射する。この反射したレーザー20は、流延バンド11aの走行方向と直交する方向(X軸)の検査光となって、流延バンド11aを幅方向に走査する。   As is well known, the scanner 15 includes a laser oscillator, a lens group, a polygon mirror, an optical path bending mirror, and the like. The laser emitted from the laser oscillator enters the lens group, and its spot diameter is adjusted. Thereafter, the light enters the polygon mirror that rotates at high speed via the mirror and is reflected there. The reflected laser 20 becomes inspection light in a direction (X axis) perpendicular to the traveling direction of the casting band 11a, and scans the casting band 11a in the width direction.

図2Bに示すように、スキャナ15から照射されたレーザー20は流延バンド11a上では一定のスポットとなる。レーザー20は、走査ラインSLの幅方向中心から流延バンド11aに対し垂直に伸ばした法線に対し、傾斜角度θ1にて流延バンド11aの走行方向上流からレーザー20を照射し、法線CL1に対して傾斜角度θ2にて流延バンド11aの走行方向下流にレーザー20を反射させている。したがって、図2Aにおけるスポット光が照射された流延バンド11a上のエリアA1を拡大して正面から見ると、図2Bのような状態になり、Y軸方向に長い楕円となる。本発明でいう流延バンド11a上でのスポット径Dsは、X方向には変化しない短軸径を言う。この流延バンド11a上でのレーザー20のスポット径Dsは20μm以上50μm以下である。スポット径Dsが20μm未満であると、検査範囲が狭くなり、好ましくない。また、スポット径Dsが50μmを超えると、欠陥検出の精度が低下し、好ましくない。   As shown in FIG. 2B, the laser 20 emitted from the scanner 15 becomes a constant spot on the casting band 11a. The laser 20 irradiates the laser 20 from the upstream in the running direction of the casting band 11a at an inclination angle θ1 with respect to the normal extending perpendicularly to the casting band 11a from the center in the width direction of the scanning line SL. In contrast, the laser 20 is reflected downstream in the traveling direction of the casting band 11a at an inclination angle θ2. Therefore, when the area A1 on the casting band 11a irradiated with the spot light in FIG. 2A is enlarged and viewed from the front, it becomes a state as shown in FIG. 2B, and becomes an ellipse that is long in the Y-axis direction. The spot diameter Ds on the casting band 11a in the present invention refers to a short axis diameter that does not change in the X direction. The spot diameter Ds of the laser 20 on the casting band 11a is 20 μm or more and 50 μm or less. If the spot diameter Ds is less than 20 μm, the inspection range becomes narrow, which is not preferable. On the other hand, if the spot diameter Ds exceeds 50 μm, the accuracy of defect detection decreases, which is not preferable.

スキャナ15及びレシーバ16がY軸方向に一直線上に並べて配置されている関係で、走査ラインSLのレーザー20によるスポットは、スポット径Dsが大きい場合には、シリンドリカルな凸面鏡により、Y軸方向に反射するときに、スポットが円弧面の曲率分に応じて細長く拡散し、レシーバ16の受光面では略楕円状になる。しかし、スポット径Dsが20μm以上50μm以下と微小なため、スポットが照射された流延バンド部分は略平面状であり、凸面鏡としての作用は微小であり、無視することができる。   Since the scanner 15 and the receiver 16 are arranged in a straight line in the Y-axis direction, the spot by the laser 20 on the scanning line SL is reflected in the Y-axis direction by a cylindrical convex mirror when the spot diameter Ds is large. In this case, the spot is elongated and elongated in accordance with the curvature of the arc surface, and becomes substantially elliptical on the light receiving surface of the receiver 16. However, since the spot diameter Ds is as small as 20 μm or more and 50 μm or less, the cast band portion irradiated with the spot is substantially planar, and the action as a convex mirror is minute and can be ignored.

流延バンド11aで反射したレーザーは、レシーバ16に入る。レシーバ16は遮光板21を有する。遮光板21にはスリット開口21aが形成されている。このスリット開口21aは、流延バンド11aで反射したレーザーの走査ラインと平行に配される。   The laser reflected by the casting band 11 a enters the receiver 16. The receiver 16 has a light shielding plate 21. A slit opening 21 a is formed in the light shielding plate 21. The slit opening 21a is arranged in parallel with the laser scanning line reflected by the casting band 11a.

スリット開口21aの幅Wsは、支持ドラム12の半径Rd、流延バンド11aからレシーバ16の遮光板21までの距離Lrや、スポット径Dsに応じて決定される。例えば、支持ドラム12の半径Rdが100mm以上4000mm以下の場合で、流延バンド11aからレシーバ16の遮光板21までの距離Lrが40mm以上100mm以下である場合には、スポット径Dsの30倍以上200倍以下であることが好ましい。特に好ましくは、支持ドラム12の半径Rdが800mm以上3000mm以下のときには、スポット径Dsの50倍以上150倍以下である。   The width Ws of the slit opening 21a is determined according to the radius Rd of the support drum 12, the distance Lr from the casting band 11a to the light shielding plate 21 of the receiver 16, and the spot diameter Ds. For example, when the radius Rd of the support drum 12 is 100 mm or more and 4000 mm or less and the distance Lr from the casting band 11a to the light shielding plate 21 of the receiver 16 is 40 mm or more and 100 mm or less, it is 30 times or more the spot diameter Ds. It is preferable that it is 200 times or less. Particularly preferably, when the radius Rd of the support drum 12 is not less than 800 mm and not more than 3000 mm, it is not less than 50 times and not more than 150 times the spot diameter Ds.

スリット開口21aのスリット幅Wsがスポット径Dsに対し、30倍未満であると流延支持体で反射したレーザーがスリット開口21aに入光しないことがあり、欠陥検出の精度が低下する。また、スリット幅Wsがスポット径Dsに対し200倍を越えると、コントラストがの低下し、同じく欠陥検出の精度が低下するので好ましくない。   When the slit width Ws of the slit opening 21a is less than 30 times the spot diameter Ds, the laser reflected by the casting support may not enter the slit opening 21a, and the accuracy of defect detection is lowered. Further, if the slit width Ws exceeds 200 times the spot diameter Ds, the contrast is lowered and the accuracy of defect detection is also lowered, which is not preferable.

図1に示すように、位置決めユニット18は、支持ドラム12に巻き掛けられた部位の流延バンド11aや、流延ドラム(図示せず)などの任意の検査対象面に対し、スキャナ15及びレシーバ16を正確に位置決めすることができるように、構成されている。このため、図3に示すように、位置決めユニット18は、フレーム31と、このフレーム31に取り付けられるスキャナ保持部32、レシーバ保持部33、Z軸回動保持部(スキャナ及びレシーバの回動保持部)34、Y軸スライド部35、X軸回動保持部36、Z軸スライド部37、X軸スライド部38、レーザーポインタ39(図1参照)を有する。   As shown in FIG. 1, the positioning unit 18 includes a scanner 15 and a receiver with respect to an arbitrary inspection target surface such as a casting band 11a wound around the support drum 12 or a casting drum (not shown). It is configured so that 16 can be accurately positioned. Therefore, as shown in FIG. 3, the positioning unit 18 includes a frame 31, a scanner holding unit 32 attached to the frame 31, a receiver holding unit 33, a Z-axis rotation holding unit (a rotation holding unit for the scanner and the receiver). 34, a Y-axis slide part 35, an X-axis rotation holding part 36, a Z-axis slide part 37, an X-axis slide part 38, and a laser pointer 39 (see FIG. 1).

図4,図5に示すように、フレーム31は矩形枠に形成されており、図1に示すように流延バンド11aに対面するように配される。図3に示すように、フレーム31には、スキャナ保持部32,レシーバ保持部33,Z軸回動保持部34,Y軸スライド部35が配される。そして、スキャナ15は、スキャナ保持部32,Z軸回動保持部34,Y軸スライド部35により、フレーム31に取り付けられる。同様にして、レシーバ16は、レシーバ保持部33,Z軸回動保持部34,Y軸スライド部35により、フレーム31に取り付けられる。   As shown in FIGS. 4 and 5, the frame 31 is formed in a rectangular frame, and is arranged so as to face the casting band 11a as shown in FIG. As shown in FIG. 3, the frame 31 is provided with a scanner holding portion 32, a receiver holding portion 33, a Z-axis rotation holding portion 34, and a Y-axis slide portion 35. The scanner 15 is attached to the frame 31 by a scanner holding part 32, a Z-axis rotation holding part 34, and a Y-axis slide part 35. Similarly, the receiver 16 is attached to the frame 31 by a receiver holding part 33, a Z-axis rotation holding part 34, and a Y-axis slide part 35.

図4に示すように、スキャナ保持部32は、1対の側板40と1対の支持板41とを有する。側板40は、スキャナ15を両側から挟持固定する。支持板41は側板40を両側から支持するもので、Z軸方向に延びるように背板42から突出して形成されている。   As shown in FIG. 4, the scanner holding unit 32 includes a pair of side plates 40 and a pair of support plates 41. The side plate 40 clamps and fixes the scanner 15 from both sides. The support plate 41 supports the side plate 40 from both sides, and is formed to protrude from the back plate 42 so as to extend in the Z-axis direction.

図1に示すように、支持板41には、2個の円弧状長孔43が形成してある。円弧状長孔43は、欠陥検査位置にセットされた検査状態のときに、流延バンド11a上の走査ラインSL(以下、単に走査ラインSLという)を中心とする円上に形成されている。これら円弧状長孔43は、円上で離間して形成されている。なお、図1において走査ラインSLは紙面に直交する方向であるため、点として描かれている。   As shown in FIG. 1, the support plate 41 is formed with two arc-shaped long holes 43. The arc-shaped elongated hole 43 is formed on a circle centering on a scanning line SL (hereinafter simply referred to as a scanning line SL) on the casting band 11a in the inspection state set at the defect inspection position. These arc-shaped long holes 43 are formed so as to be spaced apart from each other on a circle. In FIG. 1, the scanning line SL is drawn as a point because it is in a direction perpendicular to the paper surface.

側板40には、取付ネジ44が取り付けられる。取付ネジ44は、各長孔43に入り、この長孔43内を移動する。そして、長孔43内で取付ネジ44の位置を変更することにより、スキャナ15からのレーザー20の流延支持体11に対する入射角度θ1が変更可能になる。長孔43は例えば15°の角度分の長さで形成してある。これにより、スキャナ15からのレーザーの入射角度θ1を、走査ラインSLを中心として15°の角度範囲で変更することができる。取り付け角度の変更後は、取付ネジ44を締める方向に回すことにより、側板40を支持板41に固定することができる。   An attachment screw 44 is attached to the side plate 40. The attachment screw 44 enters each elongated hole 43 and moves in the elongated hole 43. Then, by changing the position of the mounting screw 44 in the long hole 43, the incident angle θ1 of the laser 20 from the scanner 15 with respect to the casting support 11 can be changed. The long hole 43 is formed with a length corresponding to an angle of 15 °, for example. Thereby, the incident angle θ1 of the laser from the scanner 15 can be changed within an angle range of 15 ° with the scanning line SL as the center. After changing the mounting angle, the side plate 40 can be fixed to the support plate 41 by turning the mounting screw 44 in the tightening direction.

同様にして、図3に示すように、フレーム31には、レシーバ16がレシーバ保持部33,Z軸回動保持部34,Y軸スライド部35により、取り付けられる。図4に示すように、レシーバ保持部33は、スキャナ保持部32と同様な構成であり、レシーバ16が固定される1対の側板45と、この側板45が取り付けられる1対の支持板46とを有する。支持板46はZ軸方向に突出するように背板42に取り付けられている。   Similarly, as shown in FIG. 3, the receiver 16 is attached to the frame 31 by a receiver holding portion 33, a Z-axis rotation holding portion 34, and a Y-axis slide portion 35. As shown in FIG. 4, the receiver holding unit 33 has the same configuration as the scanner holding unit 32, and a pair of side plates 45 to which the receiver 16 is fixed, and a pair of support plates 46 to which the side plates 45 are attached. Have The support plate 46 is attached to the back plate 42 so as to protrude in the Z-axis direction.

図1に示すように、支持板46には2個の円弧状長孔47が形成してある。これら円弧状長孔47は、検査位置にセットされた検査状態のときに、流延バンド11a上の走査ラインSLを中心とした同心円上に形成されるもので、これらは離間して2個形成されている。   As shown in FIG. 1, the support plate 46 is formed with two arc-shaped long holes 47. These arc-shaped long holes 47 are formed on concentric circles centering on the scanning line SL on the casting band 11a in the inspection state set at the inspection position, and these two are formed apart from each other. Has been.

側板45には、取付ネジ48が取り付けられる。取付ネジ48は、各長孔47に入り、この長孔47内を移動する。そして、長孔47内で取付ネジ48の位置を変更することにより、流延バンド11aで反射するレーザー20の反射角度θ2が変更される。長孔47は15°の角度分の長さで形成してあり、走査ラインSLを中心としてレシーバ16を15°の角度範囲で取付角度を変更することができる。取り付け角度の変更後は、取付ネジ48を締める方向に回すことにより、側板45を支持板46に固定することができる。   An attachment screw 48 is attached to the side plate 45. The attachment screw 48 enters each elongated hole 47 and moves in the elongated hole 47. Then, by changing the position of the mounting screw 48 in the long hole 47, the reflection angle θ2 of the laser 20 reflected by the casting band 11a is changed. The long hole 47 is formed with a length corresponding to an angle of 15 °, and the mounting angle of the receiver 16 can be changed within an angle range of 15 ° around the scanning line SL. After changing the attachment angle, the side plate 45 can be fixed to the support plate 46 by turning the attachment screw 48 in the tightening direction.

両側板45の外側面には、レーザーポインタ39が取り付けられている。レーザーポインタ39は、走査ラインSLの両端部に向けてレーザーを照射する。このレーザーポインタ39により流延バンド11a上に投影されたポイントと、スキャナ15の走査ラインとが重なるように、各部32,33,34,35の固定位置を調節して位置合わせする。両者が流延バンド11a上で重なり合うことにより、スキャナ15による走査ラインと、レシーバ16による受光ラインとが流延バンド11a上で同一位置となり、スキャナ15及びレシーバ16の位置決めが完了する。   A laser pointer 39 is attached to the outer surface of the both side plates 45. The laser pointer 39 irradiates the laser toward both ends of the scanning line SL. The fixed positions of the respective portions 32, 33, 34, and 35 are adjusted and aligned so that the point projected on the casting band 11a by the laser pointer 39 and the scanning line of the scanner 15 overlap. Since the two overlap on the casting band 11a, the scanning line by the scanner 15 and the light receiving line by the receiver 16 become the same position on the casting band 11a, and the positioning of the scanner 15 and the receiver 16 is completed.

図5に示すように、背板42には2個の取付ネジ52が取り付けられる。この取付ネジ52により、背板42はY軸スライド部35の支持板54に取り付けられる。支持板54には2個の円弧状長孔55が形成してある。2個の円弧状長孔55は、走査ラインSLの幅方向中間位置を通るZ軸に平行な走査中心線CL1を中心とする円に沿って形成されている。この円弧状長孔55内に取付ネジ52が入り、背板42は、走査中心線CL1を中心として、長孔55の長さ分である90度の角度で回動可能になる。そして、取付ネジ52を回して締めつけることにより、背板42を走査中心線CL1の回りに90°の角度範囲内で任意の取付角度で支持板54に固定することができる。   As shown in FIG. 5, two mounting screws 52 are attached to the back plate 42. With this attachment screw 52, the back plate 42 is attached to the support plate 54 of the Y-axis slide portion 35. Two arc-shaped long holes 55 are formed in the support plate 54. The two arc-shaped long holes 55 are formed along a circle centering on the scanning center line CL1 parallel to the Z axis passing through the intermediate position in the width direction of the scanning line SL. The mounting screw 52 is inserted into the arc-shaped elongated hole 55, and the back plate 42 can be rotated at an angle of 90 degrees that is the length of the elongated hole 55 around the scanning center line CL1. The back plate 42 can be fixed to the support plate 54 at an arbitrary mounting angle within an angle range of 90 ° around the scanning center line CL1 by turning and tightening the mounting screw 52.

これら背板42、支持板54、2個の円弧状長孔55、取付ネジ52によって、Z軸回動保持部34が構成される。   The back plate 42, the support plate 54, the two arc-shaped elongated holes 55, and the mounting screw 52 constitute the Z-axis rotation holding portion 34.

支持板54の2個の円弧状長孔55の両側にはY軸方向に長い長孔60が形成してあり、これに取付ネジ61が入れられる。フレーム31の内側で両サイドには基板62が取り付けられている。この基板62には、支持板54の長孔60に対応する位置にネジ孔63が形成してある。取付ネジ61は長孔60内に挿入された後に、ネジ孔63に取り付けられる。このように長孔60及び取付ネジ61により支持板54が、フレーム31の基板62に取り付けられるため、支持板54をY軸方向で長孔55の長さ分だけスライドさせることができる。したがって、スキャナ15及びレシーバ16を一体化した状態でY軸方向に移動させることができる。これら支持板54、長孔60、取付ネジ61、基板62、ネジ孔63によってY軸スライド部35(図3参照)が構成される。   Long holes 60 that are long in the Y-axis direction are formed on both sides of the two arc-shaped long holes 55 of the support plate 54, and mounting screws 61 are inserted into the long holes 60. A substrate 62 is attached to both sides of the frame 31. A screw hole 63 is formed in the substrate 62 at a position corresponding to the long hole 60 of the support plate 54. The attachment screw 61 is inserted into the elongated hole 60 and then attached to the screw hole 63. As described above, since the support plate 54 is attached to the substrate 62 of the frame 31 by the long hole 60 and the mounting screw 61, the support plate 54 can be slid by the length of the long hole 55 in the Y-axis direction. Therefore, the scanner 15 and the receiver 16 can be moved in the Y-axis direction in an integrated state. These support plate 54, long hole 60, mounting screw 61, substrate 62, and screw hole 63 constitute a Y-axis slide portion 35 (see FIG. 3).

図1に示すように、フレーム31の下端部は基台65の一端部でX軸方向の取付軸66により、X軸回りに回動自在に取り付けられている。基台65は、水平方向に長い矩形枠から構成されている。   As shown in FIG. 1, the lower end portion of the frame 31 is attached to one end portion of a base 65 so as to be rotatable around the X axis by an attachment shaft 66 in the X axis direction. The base 65 is composed of a rectangular frame that is long in the horizontal direction.

基台65とフレーム31との間には、揺動規制レバー67が斜めに取り付けられている。揺動規制レバー67は、一端部が基台65の一端近くに、取付軸68により揺動可能に取り付けられている。また、揺動規制レバー67の他端部には、長手方向に長孔69が形成してある。この長孔69内には、取付ネジ70が入れられる。取付ネジ70はフレーム31にネジ止めされる。したがって、取付ネジ70を弛めて取付軸68を中心にフレーム31を回動し、フレーム31をX軸回りに任意の傾斜で取り付けることができる。これら取付軸68及び揺動規制レバー67、取付ネジ70によって、X軸回動保持部36(図3参照)が構成される。   Between the base 65 and the frame 31, a rocking restriction lever 67 is attached obliquely. The swing regulating lever 67 is attached at one end near the one end of the base 65 so as to be swingable by a mounting shaft 68. In addition, a long hole 69 is formed in the longitudinal direction at the other end of the swing restricting lever 67. A mounting screw 70 is placed in the long hole 69. The attachment screw 70 is screwed to the frame 31. Therefore, it is possible to loosen the attachment screw 70 and rotate the frame 31 around the attachment shaft 68 so that the frame 31 can be attached with an arbitrary inclination around the X axis. The attachment shaft 68, the rocking restriction lever 67, and the attachment screw 70 constitute the X-axis rotation holding portion 36 (see FIG. 3).

基台65の下面にZ軸スライド部37が設けられている。Z軸スライド部37は、基台65を図示しないレールによりZ軸方向に移動案内する。   A Z-axis slide portion 37 is provided on the lower surface of the base 65. The Z-axis slide part 37 moves and guides the base 65 in the Z-axis direction by a rail (not shown).

Z軸スライド部37の底板には自在車輪75が取り付けられている。また、Z軸スライド部37のZ軸方向先端部には、ガイド部材76が配される。このガイド部材76は、X軸方向に延びており、支持ドラム12の下方位置で、支持ドラム12の軸に平行に取り付けられる。ガイド部材76にはZ軸スライド部37の先端が係合する。したがって、Z軸スライド部37は、ガイド部材76によってX軸方向に案内されて自在車輪75により移動する。   A free wheel 75 is attached to the bottom plate of the Z-axis slide portion 37. In addition, a guide member 76 is disposed at the distal end of the Z-axis slide portion 37 in the Z-axis direction. The guide member 76 extends in the X-axis direction, and is attached parallel to the axis of the support drum 12 at a position below the support drum 12. The tip of the Z-axis slide part 37 is engaged with the guide member 76. Therefore, the Z-axis slide part 37 is guided by the guide member 76 in the X-axis direction and is moved by the free wheel 75.

Z軸スライド部37には支柱80を介して、除塵装置81が取り付けられている。除塵装置81は、イオナイザを有する送風機を備え、流延バンド11aに付着した塵埃を吹き飛ばす。なお、除塵装置81は、支柱80を介してZ軸スライド部37に取り付けたが、この他に、フレーム31の上下端部に取り付けてもよい。この場合には、流延バンド11aの走行方向が図1に示す反時計方向の場合には、フレーム31の下端部近くに取り付け、時計方向の場合にはフレーム31の上端部近くに取り付ける。   A dust removing device 81 is attached to the Z-axis slide portion 37 via a column 80. The dust removing device 81 includes a blower having an ionizer, and blows off dust attached to the casting band 11a. Although the dust removing device 81 is attached to the Z-axis slide portion 37 via the support column 80, it may be attached to the upper and lower ends of the frame 31. In this case, when the traveling direction of the casting band 11a is counterclockwise as shown in FIG. 1, it is attached near the lower end of the frame 31, and when it is clockwise, it is attached near the upper end of the frame 31.

次に、図6に示すフローチャートを参照しながら、本実施形態の作用を説明する。使用に際しては、検査対象物である流延バンド11aが設置されている設備に、表面検査装置10を搬入する。本実施形態では、新たな流延バンド11aのメーカーからの受け入れ前の最終検査に実施した場合で説明する。なお、この他に、溶液流延設備(図7参照)に流延バンド11aを取り付けて、溶液製膜を行い、定期的な修理時に、流延バンド11aの表面欠陥を検査する場合に、本発明装置を用いてもよい。   Next, the operation of the present embodiment will be described with reference to the flowchart shown in FIG. In use, the surface inspection apparatus 10 is carried into a facility in which the casting band 11a that is an inspection object is installed. In the present embodiment, a case will be described where the final inspection is performed before receiving a new casting band 11a from the manufacturer. In addition to this, when the casting band 11a is attached to the solution casting equipment (see FIG. 7), solution film formation is performed, and surface defects of the casting band 11a are inspected at the time of periodic repair, Inventive devices may be used.

まず、検査対象部位の近くで、先ずX軸方向にガイド部材76を取り付ける。このガイド部材76にZ軸スライド部37を取り付けて、X軸方向にZ軸スライド部37を移動自在とする。   First, the guide member 76 is first attached in the X-axis direction near the site to be examined. The Z-axis slide part 37 is attached to the guide member 76 so that the Z-axis slide part 37 is movable in the X-axis direction.

Z軸スライド部37やY軸スライド部35をスライドさせて、スキャナ15及びレシーバ16を流延バンドの走査ラインに位置決めする。この時、レーザーポインタ39で走査ラインSL上の例えば両端部近くの二点にレーザーを照射し、スポットを形成する。次に、スキャナ15をONにして、レーザー20による走査を行うと、流延バンド11aの表面上に、例えば赤色レーザーにより走査ラインSLが表示される。この走査ラインSLがレーザーポインタ39による例えば赤色スポット光と重なるように、Y軸スライド部35、Z軸スライド部37、X軸回動保持部36などを微調整する。   The Z-axis slide part 37 and the Y-axis slide part 35 are slid to position the scanner 15 and the receiver 16 on the scanning line of the casting band. At this time, the laser pointer 39 irradiates, for example, two points on the scanning line SL near the both ends to form spots. Next, when the scanner 15 is turned on and scanning with the laser 20 is performed, the scanning line SL is displayed on the surface of the casting band 11a by, for example, a red laser. The Y-axis slide part 35, the Z-axis slide part 37, the X-axis rotation holding part 36, etc. are finely adjusted so that the scanning line SL overlaps, for example, red spot light by the laser pointer 39.

スキャナ保持部32及びレシーバ保持部33は、設計走査ラインに合わせて入射角θ1と出射角θ2とが流延バンド面に対する法線CL1に対して45度振り分けとなるように設定されている。したがって、X軸回動保持部36、Y軸スライド部35、Z軸スライド部37を微調整して、図1に示すような位置関係になると、レシーバ16へ入射する信号レベルが検査可能レベルになっていることを自動判定し、位置決め完了をディスプレイ17aやアラームなどによりオペレータに知らせる。このため、欠陥判定部17には、位置決めのための受光信号レベルが適正か否かを判定する位置決め判定モードが選択可能になっている。   The scanner holding unit 32 and the receiver holding unit 33 are set so that the incident angle θ1 and the emission angle θ2 are distributed 45 degrees with respect to the normal line CL1 with respect to the casting band surface in accordance with the design scanning line. Therefore, when the X-axis rotation holding part 36, the Y-axis slide part 35, and the Z-axis slide part 37 are finely adjusted and the positional relationship shown in FIG. 1 is obtained, the signal level incident on the receiver 16 becomes a testable level. Is automatically determined, and the operator is notified of the completion of positioning through the display 17a or an alarm. For this reason, the defect determination unit 17 can select a positioning determination mode for determining whether or not the light reception signal level for positioning is appropriate.

また、除塵装置81の向きや位置を変更し、流延バンド11a上の塵埃などが走査ラインSLの位置に到達することがないように、吹き飛ばす。なお、この吹き飛ばした塵埃を吸入する吸入機を塵埃装置の近くに設けてもよい。   Further, the direction and position of the dust removing device 81 are changed so that dust on the casting band 11a is blown away so as not to reach the position of the scanning line SL. Note that an inhaler for sucking the blown dust may be provided near the dust device.

流延バンド11aを支持する支持ドラム12の直径が変更になった場合や特殊な欠陥を検査する場合などで、入射角θ1や出射角θ2を変更する必要がある場合には、スキャナ保持部32やレシーバ保持部33の取り付け位置を変更して微調整を行う。この場合には、それぞれの取付ネジ44,48を弛めて、各保持部32,33の取付角度を変更する。   When the diameter of the support drum 12 that supports the casting band 11a is changed or when a special defect is inspected, the incident angle θ1 and the emission angle θ2 need to be changed. Further, fine adjustment is performed by changing the mounting position of the receiver holding portion 33. In this case, the mounting screws 44 and 48 are loosened, and the mounting angles of the holding portions 32 and 33 are changed.

以上のようにして、レーザーポインタのスポット光により流延バンド上の所望の走査ラインに対して、設計走査ラインを合わせて、位置決めが完了すると、欠陥検査を行う。この欠陥検査では、流延バンドを0.5m/min以上5.0m/min以下の範囲内で一定速度、例えば1.0m/minで走行させることができる。   As described above, when the design scanning line is aligned with the desired scanning line on the casting band by the spot light of the laser pointer and the positioning is completed, the defect inspection is performed. In this defect inspection, the casting band can be run at a constant speed within a range of 0.5 m / min to 5.0 m / min, for example, 1.0 m / min.

スキャナ15からは例えば赤色レーザー光が照射され、この赤色レーザー光は流延バンド11aの表面で反射し、レシーバ16に入射する。このとき、遮光板21のスリット開口21aが流延バンド11a状のスポット径Dsに対応させて30倍以上200倍以下に設定されているので、欠陥検査に必要十分な受光量を得られ、精度の良い検査が可能である。   For example, red laser light is emitted from the scanner 15, and the red laser light is reflected by the surface of the casting band 11 a and enters the receiver 16. At this time, since the slit opening 21a of the light shielding plate 21 is set to 30 times or more and 200 times or less corresponding to the spot diameter Ds of the casting band 11a, a sufficient amount of received light necessary for defect inspection can be obtained, and the accuracy Good inspection is possible.

受光信号からの欠陥検査は周知の方法を用いている。例えば、欠陥判定部17では、レシーバ16からの光電変換信号をAGC回路(オート・ゲイン・コントロール回路)、二値化回路を介して欠陥検出部27に送り、欠陥の有無を判定する。そして、欠陥と判定されたときには、この欠陥信号とその位置データとがデータ処理部に送られる。この欠陥信号と位置データとはデータ処理部内のメモリに記憶されて、種々のデータ加工が行われる。また、必要に応じてディスプレイ17aに表示される他にプリンタ(図示せず)を用いてプリントが行われる。そして、この欠陥情報に基づき、欠陥を無くすような仕上げ処理が行われる。例えば、凸状欠陥の場合には研磨処理が、ピンホールやクラックなどの凹状欠陥の場合にはスポット溶接後の研磨処理などが行われて、欠陥を無くす処理が行われる。そして、このような仕上げ処理の後に、再度欠陥検査が行われることにより、欠陥の有無が判定される。このように、欠陥が無くなるまで、検査処理が行われる。   A well-known method is used for defect inspection from the received light signal. For example, the defect determination unit 17 sends the photoelectric conversion signal from the receiver 16 to the defect detection unit 27 via an AGC circuit (auto gain control circuit) and a binarization circuit, and determines the presence or absence of a defect. When the defect is determined, the defect signal and its position data are sent to the data processing unit. The defect signal and the position data are stored in a memory in the data processing unit, and various data processing is performed. In addition to being displayed on the display 17a as required, printing is performed using a printer (not shown). And based on this defect information, the finishing process which eliminates a defect is performed. For example, a polishing process is performed in the case of a convex defect, and a polishing process after spot welding is performed in the case of a concave defect such as a pinhole or a crack, thereby performing a process for eliminating the defect. Then, after such a finishing process, a defect inspection is performed again to determine the presence or absence of a defect. Thus, the inspection process is performed until the defect is eliminated.

なお、流延バンド11aとしては、従来のように、横溶接ラインのみを有する通常幅サイズのものや、中央部材と側部材とを縦溶接により接合して、幅方向に広くした幅広サイズのものなどがあり、いずれのものであっても良い。特に、縦溶接バンドのように、溶接ラインがバンドの周長の2倍の長さを有するものである場合に、検査者の負担を軽減することができる。   In addition, as the casting band 11a, as in the past, a normal width size having only a horizontal welding line, or a wide size widened in the width direction by joining the central member and the side member by vertical welding. Any of these may be used. In particular, the burden on the inspector can be reduced when the welding line has a length twice the circumference of the band, such as a vertical welding band.

上記実施形態では、長孔内での取付ネジの固定位置を変えることで、スキャナ及びレシーバの走査ラインに対する取付角度の変更や、X軸、Y軸、Z軸方向でのスライド位置を変更するようにしたが、長孔や取付ネジによる位置決めの他に、取付軸による揺動角度の調整などにより行うようにしてもよい。また、微調整に際して、ネジの螺合により回転運動を直線運動に変換するアジャスト機構などを用いてもよい。また、これらアジャスト機構をモータにより回転させて自動的に位置決めしてもよい。   In the above embodiment, by changing the fixing position of the mounting screw in the long hole, the mounting angle of the scanner and the receiver with respect to the scanning line is changed, and the sliding position in the X-axis, Y-axis, and Z-axis directions is changed. However, the positioning may be performed by adjusting the swing angle by the mounting shaft in addition to the positioning by the long hole or the mounting screw. Further, for fine adjustment, an adjustment mechanism that converts rotational motion into linear motion by screwing screws may be used. Further, these adjusting mechanisms may be automatically positioned by being rotated by a motor.

なお、図1に示すように、レシーバ保持部33の側板45の外周面にレーザーポインタ39を設けたが、これは、表面検査装置10とは別個に設けてもよい。   As shown in FIG. 1, the laser pointer 39 is provided on the outer peripheral surface of the side plate 45 of the receiver holding portion 33, but this may be provided separately from the surface inspection apparatus 10.

(溶液製膜設備)
以上のようにして欠陥検査に合格した流延バンド11aは溶液製膜設備100に設置されて、溶液製膜が行われる。図7に示すように、溶液製膜設備100は、流延装置101と、第1テンタ102と、ロール乾燥装置103と、第2テンタ104と、スリッタ105と、巻取装置106とを上流側から順に直列に接続して構成される。ポリマーの種類は特に限定されず、溶液製膜でフィルムにすることができる公知のポリマーを用いてよい。以下の実施形態では、ポリマーとしてセルロースアシレートを用いた場合を例にして説明する。
(Solution casting equipment)
The casting band 11a that has passed the defect inspection as described above is installed in the solution casting apparatus 100, and solution casting is performed. As shown in FIG. 7, the solution casting apparatus 100 includes a casting apparatus 101, a first tenter 102, a roll drying apparatus 103, a second tenter 104, a slitter 105, and a winding apparatus 106 on the upstream side. Are connected in series. The kind of polymer is not particularly limited, and a known polymer that can be formed into a film by solution casting may be used. In the following embodiments, a case where cellulose acylate is used as a polymer will be described as an example.

流延装置101は、ドラム111,112に掛け渡された流延バンド11aと、流延ダイ114と、ダクト(膜固化機)115と、減圧チャンバ116と、剥ぎ取りロール117とを備える。流延バンド11aは、環状に形成されたエンドレスの金属製流延支持体であり、第1ドラム111と第2ドラム112との周面に掛け渡される。この流延バンド11aは、上記表面検査装置10により欠陥が無いものと評価されたものである。第1ドラム111はモータ(図示省略)により回転駆動され、これにより流延バンド11aが矢印Aで示す第1方向に走行する。   The casting apparatus 101 includes a casting band 11 a that is stretched around drums 111 and 112, a casting die 114, a duct (film solidifier) 115, a decompression chamber 116, and a peeling roll 117. The casting band 11 a is an endless metal casting support formed in an annular shape, and is stretched around the peripheral surfaces of the first drum 111 and the second drum 112. The casting band 11a is evaluated by the surface inspection apparatus 10 as having no defects. The first drum 111 is rotationally driven by a motor (not shown), whereby the casting band 11a travels in the first direction indicated by the arrow A.

第1ドラム111の上方には流延ダイ114が配置される。流延ダイ114は、走行している流延バンド11aに対し、ドープ120を連続的に流す。これにより、流延バンド11a上には流延膜121が形成される。ドープ120は、例えばセルロースアシレートを溶剤に溶解したものであり、図示しないドープ製造ラインで製造され、流延ダイ114に供給される。   A casting die 114 is disposed above the first drum 111. The casting die 114 continuously flows the dope 120 to the traveling casting band 11a. Thereby, the casting film 121 is formed on the casting band 11a. The dope 120 is obtained by, for example, dissolving cellulose acylate in a solvent, and is produced by a dope production line (not shown) and supplied to the casting die 114.

流延ダイ114からのビード124に対して、流延バンド11aの走行方向における上流には、減圧チャンバ116が設けられる。この減圧チャンバ116は、ビード124の上流側エリアの雰囲気を吸引して前記エリアを減圧し、ビード124の振動を減少させる。   A decompression chamber 116 is provided upstream of the bead 124 from the casting die 114 in the traveling direction of the casting band 11a. The decompression chamber 116 sucks the atmosphere in the upstream area of the bead 124 to decompress the area, and reduces the vibration of the bead 124.

製造速度を向上するために、剥ぎ取りロール117に向かう流延膜121は、第2ドラム112及び流延バンド11aにより加熱される。また、流延位置では、流延バンド11aが過度に昇温することがないように、第1ドラム111により流延バンド11aが冷却される。このため、各ドラム111,112は図示しない温度調節装置を有する。   In order to improve the manufacturing speed, the casting film 121 toward the peeling roll 117 is heated by the second drum 112 and the casting band 11a. Further, at the casting position, the casting band 11a is cooled by the first drum 111 so that the casting band 11a is not excessively heated. For this reason, each drum 111, 112 has a temperature control device (not shown).

ダクト115は流延バンド11aの走行路に沿って、複数が並べて設けられる。各ダクト115はそれぞれ送風機を有する温風コントローラ(共に図示無し)に接続され、流出口から乾燥風を吹き出す。温風コントローラは、乾燥風の温度、湿度、流量を独立して制御する。乾燥風の温度及び流量の制御と、ドラム111,112自体の温度調節装置による温度制御とにより、流延膜121の温度が調節され、流延膜121の乾燥が進行する。そして、第1テンタ102での搬送が可能な程度にまで流延膜121が固化されて自己支持性が付与される。なお、ダクト115に代えて又は加えて、他のヒータなどによって膜固化機を構成してもよい。   A plurality of ducts 115 are provided side by side along the traveling path of the casting band 11a. Each duct 115 is connected to a hot air controller (both not shown) having a blower, and blows dry air from the outlet. The hot air controller controls the temperature, humidity, and flow rate of the drying air independently. The temperature of the casting film 121 is adjusted by controlling the temperature and flow rate of the drying air and the temperature control of the drums 111 and 112 themselves, and the drying of the casting film 121 proceeds. Then, the casting film 121 is solidified to the extent that it can be conveyed by the first tenter 102, and self-supporting property is imparted. In addition, instead of or in addition to the duct 115, the membrane solidifying machine may be configured by another heater or the like.

第1ドラム111の流延ダイ114の走行方向上流側には、剥ぎ取りロール117が設けられる。剥ぎ取りロール117は、溶剤を含む状態の乾燥が進行した流延膜121を流延バンド11aから剥がす際に、流延膜121を支持する。剥ぎ取られた流延膜121、すなわちフィルム122は、第1テンタ102に案内される。   A stripping roll 117 is provided on the upstream side in the traveling direction of the casting die 114 of the first drum 111. The peeling roll 117 supports the casting film 121 when the casting film 121 that has been dried in a state containing a solvent is peeled from the casting band 11a. The cast film 121 that is peeled off, that is, the film 122 is guided to the first tenter 102.

第1テンタ102では、クリップ123によりフィルム122の両側縁部を把持して、フィルム122を搬送しながら、フィルム幅方向への張力を付与し、フィルム122の幅を拡げる。第1テンタ102には、上流側から順に、予熱エリア、延伸エリア、及び緩和エリアが形成される。なお、緩和エリアは必要に応じて設けられる。   In the first tenter 102, both side edges of the film 122 are gripped by the clip 123, and a tension in the film width direction is applied while the film 122 is conveyed to widen the width of the film 122. In the first tenter 102, a preheating area, an extension area, and a relaxation area are formed in order from the upstream side. The relaxation area is provided as necessary.

第1テンタ102は、1対のレール及びチェーン(共に図示無し)を有する。レールはフィルム122の搬送路の両側に、所定の間隔で離間して配される。このレール間隔は、予熱エリアでは一定であり、延伸エリアでは下流に向かうに従って次第に広くなり、緩和エリアでは一定、または下流に向かうに従って次第に狭くなっている。チェーンには一定間隔でクリップ123が取り付けられる。   The first tenter 102 has a pair of rails and a chain (both not shown). The rails are arranged on both sides of the conveyance path of the film 122 with a predetermined interval. This rail interval is constant in the preheating area, gradually becomes wider in the extension area as it goes downstream, and constant in the relaxation area, or becomes gradually narrower as it goes downstream. Clips 123 are attached to the chain at regular intervals.

予熱エリア、延伸エリア、緩和エリアは、ダクト115からの乾燥風の送り出しによって空間として形成されるもので、これら各エリアの間に明確な境界はない。ダクト115のスリットからは、所定の温度や湿度に調整した乾燥風がフィルム122に向けて送られる。   The preheating area, the extension area, and the relaxation area are formed as spaces by sending dry air from the duct 115, and there is no clear boundary between these areas. From the slit of the duct 115, dry air adjusted to a predetermined temperature and humidity is sent toward the film 122.

ロール乾燥装置103では、多数のロール126にフィルム122が巻き掛けられて搬送される。ロール乾燥装置103の内部の雰囲気は、温度や湿度などが図示しない温調機により調節されており、フィルム122が搬送されている間に、フィルム122から溶剤が蒸発する。   In the roll drying apparatus 103, the film 122 is wound around a large number of rolls 126 and conveyed. The atmosphere inside the roll dryer 103 is adjusted by a temperature controller (not shown) such as temperature and humidity, and the solvent evaporates from the film 122 while the film 122 is being transported.

第2テンタ104は、第1テンタ102と同様の構造であり、クリップ128及びダクト129を有する。第2テンタ104は、フィルム122をクリップ128により保持して延伸する。この延伸により、所望の光学特性を有するフィルム122となる。得られるフィルム122は、例えば液晶ディスプレイ用の位相差フィルムとして利用することができる。なお、フィルム122の光学特性によっては、第2テンタ104は用いなくてもよい。   The second tenter 104 has the same structure as the first tenter 102 and includes a clip 128 and a duct 129. The second tenter 104 extends the film 122 while holding the film 122 with the clip 128. By this stretching, a film 122 having desired optical properties is obtained. The obtained film 122 can be used as a retardation film for a liquid crystal display, for example. Note that the second tenter 104 may not be used depending on the optical characteristics of the film 122.

スリッタ105は、第1テンタ102や第2テンタ104の各クリップ123,128による保持跡を含む側部を切除する。側部が切除されたフィルム122は、巻取装置106によりロール状に巻き取られる。本発明により得られるフィルムロール126は、特に、位相差フィルムや偏光板保護フィルムに用いることができる。   The slitter 105 cuts out the side part including the retention marks by the clips 123 and 128 of the first tenter 102 and the second tenter 104. The film 122 whose side portions have been cut off is wound into a roll by the winding device 106. The film roll 126 obtained by the present invention can be used particularly for a retardation film and a polarizing plate protective film.

なお、流延バンド11aの幅は、例えば、ドープ120の流延幅の1.1倍以上2.0倍以下であることが好ましい。流延バンド11aの長さは、例えば、20m以上200m以下であることが好ましい。流延バンド11aの厚みは、例えば、0.5mm以上2.5mm以下であることが好ましい。流延バンド11aの厚みムラは、全体の厚みに対して0.5%以下のものを用いることが好ましい。また、流延膜121が形成される表面の表面粗さは0.05μm以下であることが好ましい。   The width of the casting band 11a is preferably 1.1 times or more and 2.0 times or less of the casting width of the dope 120, for example. The length of the casting band 11a is preferably 20 m or more and 200 m or less, for example. The thickness of the casting band 11a is preferably 0.5 mm or more and 2.5 mm or less, for example. The thickness unevenness of the casting band 11a is preferably 0.5% or less with respect to the total thickness. Further, the surface roughness of the surface on which the casting film 121 is formed is preferably 0.05 μm or less.

製品としてのフィルムの幅は、600mm以上であることが好ましく、1400mm以上2500mm以下であることがより好ましい。また、本発明は、フィルムの幅が2500mmより大きい場合にも効果がある。またフィルムの膜厚は、10μm以上80μm以下であることが好ましい。   The width of the film as a product is preferably 600 mm or more, and more preferably 1400 mm or more and 2500 mm or less. The present invention is also effective when the film width is greater than 2500 mm. The film thickness is preferably 10 μm or more and 80 μm or less.

(ポリマー)
本発明に用いることのできるポリマーは、熱可塑性樹脂であれば特に限定されず、例えば、セルロースアシレート、ラクトン環含有重合体、環状オレフィン、ポリカーボネイト等が挙げられる。中でも好ましいのがセルロースアシレート、環状オレフィンであり、中でも好ましいのがアセテート基、プロピオネート基を含むセルロースアシレート、付加重合によって得られた環状オレフィンであある。
(polymer)
The polymer that can be used in the present invention is not particularly limited as long as it is a thermoplastic resin, and examples thereof include cellulose acylate, a lactone ring-containing polymer, a cyclic olefin, and polycarbonate. Of these, cellulose acylate and cyclic olefin are preferable, and cellulose acylate containing acetate group and propionate group and cyclic olefin obtained by addition polymerization are particularly preferable.

(セルロースアシレート)
本発明のセルロースアシレートに用いられるアシル基は1種類だけでも良いし、あるいは2種類以上のアシル基が使用されていても良い。2種類以上のアシル基を用いるときは、その1つがアセチル基であることが好ましい。セルロースの水酸基をカルボン酸でエステル化している割合、すなわち、アシル基の置換度が下記式(I)〜(III)の全てを満足するものが好ましい。なお、以下の式(I)〜(III)において、A及びBは、アシル基の置換度を表わし、Aはアセチル基の置換度、またBは炭素原子数3〜22のアシル基の置換度である。なお、トリアセチルセルロース(TAC)の90質量%以上が0.1mm〜4mmの粒子であることが好ましい。
(I) 2.0≦A+B≦3.0
(II) 1.0≦ A ≦3.0
(III) 0 ≦ B ≦2.9
(Cellulose acylate)
Only one type of acyl group may be used in the cellulose acylate of the present invention, or two or more types of acyl groups may be used. When two or more kinds of acyl groups are used, it is preferable that one of them is an acetyl group. The ratio in which the hydroxyl group of cellulose is esterified with carboxylic acid, that is, the substitution degree of the acyl group satisfies all of the following formulas (I) to (III) is preferable. In the following formulas (I) to (III), A and B represent the substitution degree of the acyl group, A is the substitution degree of the acetyl group, and B is the substitution degree of the acyl group having 3 to 22 carbon atoms. It is. In addition, it is preferable that 90 mass% or more of triacetyl cellulose (TAC) is a particle | grain of 0.1 mm-4 mm.
(I) 2.0 ≦ A + B ≦ 3.0
(II) 1.0 ≦ A ≦ 3.0
(III) 0 ≦ B ≦ 2.9

アシル基の全置換度A+Bは、2.20以上2.90以下であることがより好ましく、2.40以上2.88以下であることが特に好ましい。また、炭素原子数3〜22のアシル基の置換度Bは、0.30以上であることがより好ましく、0.5以上であることが特に好ましい。   The total substitution degree A + B of the acyl group is more preferably 2.20 or more and 2.90 or less, and particularly preferably 2.40 or more and 2.88 or less. Further, the substitution degree B of the acyl group having 3 to 22 carbon atoms is more preferably 0.30 or more, and particularly preferably 0.5 or more.

なお、セルロースアシレートの詳細については、特開2005−104148号の[0140]段落から[0195]段落に記載されている。これらの記載も本発明にも適用できる。また、溶剤及び可塑剤,劣化防止剤,紫外線吸収剤(UV剤),光学異方性コントロール剤,レターデーション制御剤,染料,マット剤,剥離剤,剥離促進剤などの添加剤についても、同じく特開2005−104148号の[0196]段落から[0516]段落に詳細に記載されている。また、セルロースアシレートの原料であるセルロースは、リンター、パルプのいずれかから得られたものでもよい。   The details of cellulose acylate are described in paragraphs [0140] to [0195] of JP-A-2005-104148. These descriptions are also applicable to the present invention. The same applies to additives such as solvents and plasticizers, deterioration inhibitors, ultraviolet absorbers (UV agents), optical anisotropy control agents, retardation control agents, dyes, matting agents, release agents, and release accelerators. JP-A-2005-104148 describes in detail in paragraphs [0196] to [0516]. Moreover, the cellulose which is a raw material of a cellulose acylate may be obtained from either linter or pulp.

上記実施形態では、流延支持体として、流延バンドについて説明したが、これに代えて、ドラムを流延支持体としてもよい。この場合には、ドラムに対して上記表面検査装置10を用いて表面検査が行われる。また、支持ドラム12に巻き掛けられた流延バンド11aや流延ドラムに対して表面検査したが、この他に、支持ドラム12間の流延バンド11aに対して表面検査してもよい。   In the above embodiment, the casting band has been described as the casting support. However, instead of this, a drum may be used as the casting support. In this case, the surface inspection is performed on the drum using the surface inspection apparatus 10. Further, although the surface inspection is performed on the casting band 11 a and the casting drum wound around the support drum 12, the surface inspection may be performed on the casting band 11 a between the support drums 12.

10 表面検査装置
11 流延支持体
11a 流延バンド
15 スキャナ
16 レシーバ
17 欠陥判定部
21 遮光板
21a スリット開口
31 フレーム
32 スキャナ保持部
33 レシーバ保持部
34 Z軸回転保持部
35 Y軸スライド部
36 X軸回動保持部
37 Z軸スライド部
38 X軸スライド部
39 レーザーポインタ
41 支持板
42 背板
43,47,55,60 長孔
44,48,52,61 取付ネジ
62 基板
67 揺動規制レバー
75 自在車輪
76 ガイド部材
81 除塵装置
100 溶液製膜設備
101 流延装置
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Surface inspection apparatus 11 Casting support body 11a Casting band 15 Scanner 16 Receiver 17 Defect determination part 21 Light-shielding plate 21a Slit opening 31 Frame 32 Scanner holding part 33 Receiver holding part 34 Z-axis rotation holding part 35 Y-axis slide part 36 X Axis rotation holding portion 37 Z-axis slide portion 38 X-axis slide portion 39 Laser pointer 41 Support plate 42 Back plate 43, 47, 55, 60 Long hole 44, 48, 52, 61 Mounting screw 62 Substrate 67 Oscillation regulating lever 75 Swivel wheel 76 Guide member 81 Dust removal device 100 Solution film-forming equipment 101 Casting device

Claims (17)

連続走行する流延支持体に対してその幅方向にレーザーを走査するスキャナと、前記流延支持体で反射した前記レーザーを光電変換するレシーバと、前記レシーバからの光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する欠陥判定部とを有する流延支持体の表面検査装置であって、
前記レーザーの前記流延支持体上のスポット径が20μm以上50μm以下であり、
前記レシーバは、前記流延支持体で反射した前記レーザーの走査ラインに沿って配されるスリット開口を持つ遮光板を有し、
前記スリット開口のスリット幅は前記スポット径に対して30倍以上200倍以下であることを特徴とする流延支持体の表面検査装置。
A scanner that scans a laser in the width direction with respect to a continuously running casting support, a receiver that photoelectrically converts the laser reflected by the casting support, and a photoelectric conversion signal from the receiver is binarized, A surface inspection apparatus for a casting support having a defect determination unit that detects a defect based on the binarized signal and determines a defect when the detected defect is larger than a preset value,
The spot diameter of the laser on the casting support is 20 μm or more and 50 μm or less,
The receiver has a light shielding plate having a slit opening arranged along a scanning line of the laser reflected by the casting support,
A surface inspection apparatus for a casting support, wherein a slit width of the slit opening is 30 to 200 times the spot diameter.
前記流延支持体は、1対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、
前記レーザーによる走査ラインは前記支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び前記流延ドラムの周面のいずれか一方に形成され、
この走査ラインが形成される流延支持体の曲率半径は100mm以上4000mm以下であることを特徴とする請求項1記載の流延支持体の表面検査装置。
The casting support is one of an endless casting band and a casting drum wound around a pair of supporting drums,
The scanning line by the laser is formed on any one of a casting band portion wound around the support drum and a peripheral surface of the casting drum,
2. The surface inspection apparatus for a casting support according to claim 1, wherein a radius of curvature of the casting support on which the scanning line is formed is 100 mm or more and 4000 mm or less.
前記スキャナと前記レシーバとを前記流延支持体に対し位置決めする位置決めユニットを備えることを特徴とする請求項1または2記載の流延支持体の表面検査装置。   The casting support surface inspection apparatus according to claim 1, further comprising a positioning unit that positions the scanner and the receiver with respect to the casting support. 前記位置決めユニットは、
前記流延支持体に対面するように配されるフレームと、
前記レーザーの前記流延支持体上における走査ラインと平行なX軸の回りに前記スキャナを回動し、任意回動位置で前記スキャナを固定するスキャナ保持部と、
前記流延支持体から反射した前記レーザーを前記スリット開口で受けるように、前記レシーバをX軸回りに回動し、任意回動位置で前記レシーバを固定するレシーバ保持部とを有することを特徴とする請求項3記載の流延支持体の表面検査装置。
The positioning unit is
A frame arranged to face the casting support;
A scanner holding unit for rotating the scanner around an X axis parallel to a scanning line on the casting support of the laser, and fixing the scanner at an arbitrary rotation position;
A receiver holding part for rotating the receiver around the X axis so that the laser reflected from the casting support is received by the slit opening, and fixing the receiver at an arbitrary rotation position; A surface inspection apparatus for a casting support according to claim 3.
前記スキャナ保持部は前記流延支持体における設計時走査ラインを中心にスキャナを回動し、前記レシーバ保持部は前記設計時走査ラインを中心にレシーバを回動することを特徴とする請求項4記載の流延支持体の表面検査装置。   5. The scanner holding unit rotates the scanner around a design scanning line in the casting support, and the receiver holding unit rotates a receiver around the design scanning line. The surface inspection apparatus of the casting support body as described. 前記スキャナ及び前記レシーバをX軸に直交するY軸に沿って並べて前記スキャナ保持部及び前記レシーバ保持部を一体化し、この一体化した前記スキャナ保持部及び前記レシーバ保持部を、X軸及びY軸を含むXY面に直交するZ軸回りに回動し、任意回動位置で前記スキャナ保持部及び前記レシーバ保持部を前記フレームに固定するスキャナ及びレシーバの回動保持部を有することを特徴とする請求項4または5記載の流延支持体の表面検査装置。   The scanner holding unit and the receiver holding unit are integrated by arranging the scanner and the receiver along the Y axis perpendicular to the X axis, and the integrated scanner holding unit and the receiver holding unit are connected to the X axis and the Y axis. And a rotation holding portion for the scanner and the receiver for fixing the scanner holding portion and the receiver holding portion to the frame at an arbitrary rotation position. The surface inspection apparatus for a casting support according to claim 4 or 5. 前記スキャナ及びレシーバの回動保持部を前記Y軸方向で前記フレームに対し移動自在に保持するY軸スライド部と、
前記フレームをX軸回りに回動し、任意回動位置で前記フレームを固定するフレームX軸回動保持部と、
前記フレームX軸回動保持部をZ軸方向に移動自在に保持するZ軸スライド部とを有することを特徴とする請求項6記載の流延支持体の表面検査装置。
A Y-axis slide unit that holds the rotation holding unit of the scanner and the receiver movably with respect to the frame in the Y-axis direction;
A frame X-axis rotation holding unit that rotates the frame about the X-axis and fixes the frame at an arbitrary rotation position;
The surface inspection apparatus for a casting support according to claim 6, further comprising a Z-axis slide portion that holds the frame X-axis rotation holding portion so as to be movable in the Z-axis direction.
前記Z軸スライド部をX軸方向に移動自在に保持するX軸スライド部を有することを特徴とする請求項7記載の流延支持体の表面検査装置。   8. The surface inspection apparatus for a casting support according to claim 7, further comprising an X-axis slide portion that holds the Z-axis slide portion so as to be movable in the X-axis direction. 前記流延支持体上で離間する二点にスポット光を照射して、前記レーザーの走査方向を決定するレーザーポインタを有することを特徴とする請求項1から8いずれか1項記載の流延支持体の表面検査装置。   The casting support according to any one of claims 1 to 8, further comprising a laser pointer that determines a scanning direction of the laser by irradiating spot light to two points separated on the casting support. Body surface inspection device. 前記走査ラインに対し、前記流延支持体の走行方向上流側に、前記流延支持体を除塵する除塵装置を有することを特徴とする請求項1から9いずれか1項記載の流延支持体の表面検査装置。   The casting support according to any one of claims 1 to 9, further comprising a dust removing device that removes dust from the casting support upstream of the scanning line in the traveling direction of the casting support. Surface inspection equipment. 連続走行する流延支持体に対してその幅方向にレーザーを走査し、
前記流延支持体で反射したレーザーを光電変換し、この光電変換信号を二値化し、この二値化信号に基づき欠陥を検出し、検出した欠陥が予め設定されている値よりも大きい場合に欠陥と判定する流延支持体の表面検査方法において、
前記レーザーの前記流延支持体上でのスポット径を20μm以上50μm以下とし、
前記流延支持体で反射したレーザーの走査方向に沿って配されるスリット開口を有する遮光板により前記レーザーを遮光し、前記スリット開口のスリット幅Wsを、前記スポット径に対して30倍以上200倍以下とすることを特徴とする流延支持体の表面検査方法。
A laser is scanned in the width direction of a continuously running casting support,
When the laser reflected by the casting support is photoelectrically converted, the photoelectric conversion signal is binarized, a defect is detected based on the binarized signal, and the detected defect is larger than a preset value In the surface inspection method of the casting support to be judged as a defect,
The spot diameter of the laser on the casting support is 20 μm or more and 50 μm or less,
The laser is shielded by a light-shielding plate having a slit opening arranged along the scanning direction of the laser reflected by the casting support, and the slit width Ws of the slit opening is not less than 30 times 200 with respect to the spot diameter. A method for inspecting a surface of a casting support, characterized in that the surface is doubled or less.
前記流延支持体は、1対の支持ドラムに巻き掛けられたエンドレスな流延バンド及び流延ドラムのいずれか一方であり、
前記レーザーによる走査ラインは前記支持ドラムに巻き掛けられた流延バンド部分及び前記流延ドラムの周面のいずれか一方に形成され、
この走査ラインが形成される流延支持体の曲率半径は100mm以上4000mm以下であることを特徴とする請求項11記載の流延支持体の表面検査方法。
The casting support is one of an endless casting band and a casting drum wound around a pair of supporting drums,
The scanning line by the laser is formed on any one of a casting band portion wound around the support drum and a peripheral surface of the casting drum,
12. The surface inspection method for a casting support according to claim 11, wherein the radius of curvature of the casting support on which the scanning line is formed is 100 mm or more and 4000 mm or less.
前記レーザーの前記流延支持体上における走査ラインと平行なX軸の回りに前記スキャナを回動し、任意回動位置で前記スキャナを固定するスキャナ保持ステップと、
前記流延支持体から反射した前記レーザーを前記スリット開口で受けるように、前記レシーバをX軸回りに回動し、任意回動位置で前記レシーバを固定するレシーバ保持ステップと含むことを特徴とする請求項12記載の流延支持体の表面検査方法。
A scanner holding step of rotating the scanner about an X axis parallel to a scanning line on the casting support of the laser, and fixing the scanner at an arbitrary rotation position;
A receiver holding step of rotating the receiver around the X axis so that the laser reflected from the casting support is received by the slit opening, and fixing the receiver at an arbitrary rotation position. The surface inspection method of the casting support body of Claim 12.
前記スキャナ及び前記レシーバをX軸に直交するY軸に沿って並べて前記スキャナ及び前記レシーバを一体化し、これらスキャナ及びレシーバを、X軸及びY軸を含むXY面上で回動し、前記スキャナと前記レシーバとを結ぶ中心線がY軸に対して任意の傾斜角度となるように、前記スキャナ及び前記レシーバを保持するスキャナ及びレシーバの回動保持ステップを含むことを特徴とする請求項13記載の流延支持体の表面検査方法。   The scanner and the receiver are arranged along a Y axis perpendicular to the X axis to integrate the scanner and the receiver, and the scanner and the receiver are rotated on an XY plane including the X axis and the Y axis, 14. The rotation holding step of the scanner and the receiver for holding the scanner and the receiver so that a center line connecting the receiver and the Y-axis has an arbitrary inclination angle is included. Surface inspection method for casting support. 前記スキャナ及びレシーバの回動保持ステップの後に、前記スキャナ及びレシーバをY軸方向に移動自在に保持するY軸スライドステップと、
前記Y軸スライドステップを経た前記スキャナ及びレシーバをX軸回りに回動した後に任意回動位置で固定するフレームX軸回動保持ステップと、
前記フレームX軸回動保持ステップを経た前記スキャナ及びレシーバをXY面に交差するZ軸方向で移動自在に保持するZ軸スライドステップとを含むことを特徴とする請求項14記載の流延支持体の表面検査方法。
A Y-axis slide step for holding the scanner and the receiver movably in the Y-axis direction after the rotation holding step of the scanner and the receiver;
A frame X-axis rotation holding step for fixing the scanner and receiver that have passed through the Y-axis slide step around the X-axis and then fixed at an arbitrary rotation position;
15. The casting support according to claim 14, further comprising a Z-axis slide step that holds the scanner and receiver that have undergone the frame X-axis rotation holding step so as to be movable in the Z-axis direction intersecting the XY plane. Surface inspection method.
請求項11から15いずれか1項記載の流延支持体の表面検査方法により適正と評価された流延支持体を用い、この流延支持体上に流延ダイからポリマー及び溶剤を含むドープを流して流延膜を形成し、この流延膜から前記溶剤を蒸発させて湿潤フィルムとして剥ぎ取ることを特徴とする溶液製膜方法。   A dope containing a polymer and a solvent from a casting die is used on the casting support using the casting support evaluated as appropriate by the surface inspection method for a casting support according to any one of claims 11 to 15. A solution casting method characterized by forming a casting film by pouring, evaporating the solvent from the casting film and stripping it off as a wet film. 請求項11から15いずれか1項記載の流延支持体の表面検査方法により適正と評価された流延支持体と、
前記流延支持体を回転させて、前記流延支持面を走行させる駆動源と、
前記駆動源により走行する前記流延支持体に向けてポリマー及び溶剤を含むドープを流出する流延ダイと、
前記流延支持体上に流出したドープからなる流延膜を固化させる膜固化機と、
前記流延膜を前記流延支持体から剥がす剥離ローラを備えることを特徴とする溶液製膜設備。
A casting support evaluated as appropriate by the surface inspection method for a casting support according to any one of claims 11 to 15,
A driving source for rotating the casting support to travel the casting support surface;
A casting die for draining a dope containing a polymer and a solvent toward the casting support traveling by the drive source;
A film solidifying machine for solidifying a cast film made of the dope flowing out on the casting support;
A solution casting apparatus comprising a peeling roller for peeling the casting film from the casting support.
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