JP2014011329A - 半導体デバイスおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体デバイス1は、Siからなる基板11と、該基板上に形成されたバッファ層12と、バッフャ層12上に積層されたGaN層13と、GaN層13上に積層され、GaNとヘテロ接合された他のGaN系化合物を含むAlGaN層14と、AlGaN層14の表面14aに所定間隔で形成されたショットキー電極3およびオーミック電極4とを備えている。また半導体デバイス1は、電極3,4のそれぞれの対向面3a,4aとAlGaN層14の表面14aとを一体的に覆って形成され、SiO2からなる誘電体構造5と、誘電体構造5上であり且つ電極3,4の間に、SiO2と同じかそれ以上の誘電率を有する材料からなる誘電体構造6とを備えている。
【選択図】図2
Description
先ず、基板としてSi(111)を準備し、この基板をMOCVD装置内に導入して結晶成長を行う。具体的には、AlN層100nmを成長後、AlN/GaN=20/200nmを12回繰り返してバッファ層を成長させた。次に、炭素濃度が1×1019cm-3以上の高抵抗GaN層を1000nm成長させ、その後、炭素濃度が1×1017cm-3以下の低抵抗GaN層を100nm成長させた。次いで、Al組成25%のAlGaN層を25nm成長させ、ヘテロ接合界面を形成した。
実施例1のポリイミドに代えて、ポリイミドより誘電率の高い有機膜を使用した。SiO2の誘電率が3.9であり、有機膜間の誘電率がXの場合、電荷は3.9/X倍となることから、ポリイミドの場合よりも低い電圧が有機膜にかかった。
アルミ配線を形成するまでは、実施例1と同様に作製した。
アルミ配線を形成するまでは、実施例1と同様に作製した。
2 積層体
3 ショットキー電極
3a,4a 対向面
3b,4b 上面
4 オーミック電極
5a 底面部
5b 側面部
5c 側面部
5d 上面部
5e 上面部
6a 層厚部
6b,6c 層薄部
11 基板
12 バッファ層
13 GaN層
13a 2次元電子ガス層
14 AlGaN層
14a 表面
5 誘電体構造
6 誘電体構造
20 誘電体構造
20a 層厚部
20b,20c 層薄部
30 誘電体構造
30a 層厚部
30b,30c 層薄部
50d,50e 上面
Claims (11)
- 横型構造の半導体デバイスであって、
基板と、
前記基板上に積層され、GaN系化合物を含む第1半導体層と、
前記第1半導体層上に積層され、前記GaN系化合物とヘテロ接合された他のGaN系化合物を含む第2半導体層と、
前記第2半導体層の表面に所定間隔で形成された第1電極および第2電極と、
前記第1電極および前記第2電極のそれぞれの対向面と、前記第2半導体層の表面とを一体的に覆って形成され、所定の誘電率を有する第1材料からなる第1誘電体構造と、
前記第1誘電体構造上であり且つ前記第1電極および第2電極の間に形成され、前記第1材料と同じかそれ以上の誘電率を有する第2材料からなる第2誘電体構造と、
を備えることを特徴とする半導体デバイス。 - 前記第1材料はSiO2であることを特徴とする請求項1記載の半導体デバイス。
- 前記第2材料は、ポリイミドと同じかそれ以上の誘電率を有する材料であることを特徴とする、請求項1記載の半導体デバイス。
- 前記第2材料がSiO2であることを特徴とする請求項1記載の半導体デバイス。
- 前記第1電極および前記第2電極が櫛歯型電極構造を形成することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体デバイス。
- 前記第1誘電体構造が、前記第1電極の上面の少なくとも一部と、前記第2電極の上面の少なくとも一部とを覆って形成されることを特徴とする、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体デバイス。
- 前記第1誘電体構造が、前記第1電極の上面および前記第2電極の上面の全面を覆って形成されることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれか1項に記載の半導体デバイス。
- 前記半導体デバイスが、ダイオードまたはトランジスタで構成されることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれか1項に記載の半導体デバイス。
- 横型構造の半導体デバイスの製造方法であって、
基板上に、GaN系化合物を含む第1半導体層を形成するステップと、
前記第1半導体層上に、前記GaN系化合物とヘテロ接合された他のGaN系化合物を含む第2半導体層を形成するステップと、
前記第2半導体層の表面に、第1電極および第2電極を所定の間隔で形成するステップと、
前記第1電極および前記第2電極のそれぞれの対向面と、前記第2半導体層の表面とを一体的に覆う第1誘電体構造を、所定の誘電率を有する第1材料で形成するステップと、
前記第1誘電体構造上であり且つ前記第1電極と前記第2電極との間に、前記第1材料と同じかそれ以上の誘電率を有する材料で第2誘電体構造を形成するステップと、
を備えることを特徴とする半導体デバイスの製造方法。 - 前記第1材料および前記第2材料がSiO2であり、
前記第2誘電体構造は、カソードカップリング型PECVD法にて、前記第1誘電体構造と一体的に成形されることを特徴とする、請求項9記載の製造方法。 - 前記第1誘電体構造が、前記第1電極の上面の少なくとも一部と、前記第2電極の上面の少なくとも一部とを覆って形成されることを特徴とする、請求項9または10に記載の製造方法。
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