JP2014006372A5 - - Google Patents
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Description
本発明の偏光解消素子は、安価かつ省スペースでスペックルの解消を実現できる。
機器。
機器。
光偏光器3は光透過領域3aを有する。光透過領域3aはシリコン基板13の一部分が熱酸化されて形成された二酸化珪素15で形成されている。光偏光器3の光透過領域3aよりも厚みが厚い部分は、表面が二酸化珪素15で形成されており、内部がシリコン基板13で形成されている。
機器。
機器。
弾性体5は、光偏光器3を並進振動させるために光偏光器3に連結されている。この実施例では、一対の弾性体5が設けられている。
支持体7は、弾性体5を介して光偏光器3を支持している。弾性体5及び支持体7は、表面が二酸化珪素15で形成されており、内部がシリコン基板13で形成されている。
機器。
支持体7は、弾性体5を介して光偏光器3を支持している。弾性体5及び支持体7は、表面が二酸化珪素15で形成されており、内部がシリコン基板13で形成されている。
機器。
図4は、光偏光器3を拡大して示した概略的な断面図である。
例えば、サブ波長構造体からなる光偏光素子3bにおいて、凹凸周期(ピッチ)Pは150〜250nm(ナノメートル)、凸条のランドの幅Lは75〜125nm、空気層からなる凹条の溝の幅Sは75〜125nmであり、P=L+Sである。また、溝の深さdは2〜5μm(マイクロメートル)、光透過領域3aの厚みtは7〜15μmである。
機器。
例えば、サブ波長構造体からなる光偏光素子3bにおいて、凹凸周期(ピッチ)Pは150〜250nm(ナノメートル)、凸条のランドの幅Lは75〜125nm、空気層からなる凹条の溝の幅Sは75〜125nmであり、P=L+Sである。また、溝の深さdは2〜5μm(マイクロメートル)、光透過領域3aの厚みtは7〜15μmである。
機器。
偏光解消素子1において、光偏光器3における光透過領域3aとは異なる部分(周囲部分)の厚みは支持体7の厚みと同じ寸法でなくてもよい。また、弾性体5の厚みは支持体7の厚みと同じ寸法でなくてもよい。これらの部分の厚みは、支持体7の厚みよりも小さい寸法であってもよい。その一例を図8及び図9に示す。
機器。
機器。
図8及び図9に示されるように、光偏光器3における光透過領域3aとは異なる部分の厚みは、光透過領域3aの厚みと同じであってもよい。なお、光偏光器3における光透過領域3aとは異なる部分の厚みは、光透過領域3aの厚み及び支持体7の厚みとは異なっていてもよい。このように、光偏光器3における光透過領域3aとは異なる部分の厚みは任意の厚み寸法に形成可能である。
機器。
機器。
また、図8に示されるように、弾性体5の厚みは、光透過領域3aの厚み及び支持体7の厚みとは異なっていてもよい。なお、支持体7の厚みは均一でなくてもよい。また、図9に示されるように、弾性体5の厚みは、光透過領域3aの厚みと同じであってもよい。このように、弾性体5の厚みは任意の厚み寸法に形成可能である。
機器。
機器。
次に、偏光解消素子1の作製手順を説明する。まず、図10及び図11を参照して、1つのシリコン基板から加工される光偏光器3、弾性体5及び支持体7の作成手順について説明する。
機器。
機器。
光偏光器3、弾性体5及び支持体7の製造基本のプロセスは、図10(a)から図11(j)に示すように、シリコン基板13の表面及び裏面を熱酸化炉(拡散炉)によって酸化し、二酸化珪素15(熱酸化シリコン膜)を形成する(熱酸化膜形成ステップ)。二酸化珪素15の厚みは、例えば50μmとする。
機器。
機器。
図11(i)に示すように、基板表裏面のレジスト材料19,23、樹脂材料層21、メタル膜17を剥離する。これにより、パターニングされたシリコン基板13が完成する。
機器。
機器。
図11(j)に示すように、パターニングされたシリコン基板13を熱酸化炉で熱酸化して、シリコン基板13の表面に二酸化珪素15を形成する。シリコン基板13表面から5〜10μmの厚さまで、シリコンが熱酸化されて二酸化珪素15に組成変化する。組成変化した後のパターン形状は、初期の設計の値と同じであった。これにより、二酸化珪素15からなる光透過領域3a及び光偏光素子3bが形成される。
機器。
機器。
台座11と支持体7との固定を接着樹脂で行なう場合には、シリコン基板13上のすべて金属材料、レジスト材料を除去し、表面熱酸化された後に、表面熱酸化されたシリコン基板13を所定の外形にダイサーで切断する。なお、ダイサーによって切断された切断面には二酸化珪素15は形成されていない。この状態で、共振構造を有する光学偏光器チップが完成する。
機器。
機器。
このようにして作成した偏光解消素子1の駆動特性の試験について説明する。
本実施例では、シリコン基板13(二酸化珪素15の厚みを含む)の厚みは、525μm、光透過領域3aを構成する二酸化珪素15の厚みは10μmとした。
機器。
本実施例では、シリコン基板13(二酸化珪素15の厚みを含む)の厚みは、525μm、光透過領域3aを構成する二酸化珪素15の厚みは10μmとした。
機器。
また、本実施例では、光偏光器3の共振周波数が18kHzとなるように設計した。振動子9に振幅電圧Vpp=20V、周波数18kHzの交流電圧を駆動信号として印加し、交流電圧を駆動信号として印加した。振動子9は水平軸走査用で共振駆動とし、振幅50μmを得た。
機器。
機器。
光偏光器3が並進振動されることにより、光偏光素子3bが形成された光透過領域3aを透過する光は、光偏光素子3bのサブ波長構造体に従って位相差の異なる光がサブ波長構造体領域毎に出射されるとともに、サブ波長構造体領域毎に位相差の異なる光が時間分割されて出射される。この光を用いることによって、スペックル成分の内で、『オブジェクティブスペックルを解消する』ことができる。
機器。
機器。
このようにして、スクリーンに画像を表示する際に、偏光解消素子1を動作させる前後、すなわち、振動子9に電圧成分を駆動信号として印加する前後で、スクリーン上の画像のスペックルノイズを計測した。スクリーン上の画像をCCDカメラで捉え、CCD画素毎の輝度を分析処理することよりスペックルコントラストCを求めた。
C=σ/I (σ:輝度ばらつきの標準偏差、I:輝度平均)
その結果、振動子9の駆動前後でスペックルコントラストCは30%低減された。
機器。
C=σ/I (σ:輝度ばらつきの標準偏差、I:輝度平均)
その結果、振動子9の駆動前後でスペックルコントラストCは30%低減された。
機器。
また、偏光解消素子1の振動子9を動作させる前後で、フリッカーノイズの違いは認識されなかった。これは、偏光解消素子1の振動子9が、周波数18kHzという人間の目では追随できない速度で振動しているためにフリッカーノイズの違いが認識されなかったものと推測される。
機器。
機器。
このように、偏光解消素子1は安価に省スペースでスペックル解消の機能発現が可能となる。
また、偏光解消素子1において、弾性体5を構成する材料はシリコン材料である。一方、振動子9は市販の振動子を使用している。したがって、目的の特性に合致した市販の振動子を購入して使用することができる。換言すれば、狙いとする振動数、振幅に応じた振動子を用いることで、偏光解消素子1の目的特性を変更することができる。
機器。
また、偏光解消素子1において、弾性体5を構成する材料はシリコン材料である。一方、振動子9は市販の振動子を使用している。したがって、目的の特性に合致した市販の振動子を購入して使用することができる。換言すれば、狙いとする振動数、振幅に応じた振動子を用いることで、偏光解消素子1の目的特性を変更することができる。
機器。
光量均一化用光学器27は光透過領域27aを有する。光透過領域27aはシリコン基板13の一部分が熱酸化されて形成された二酸化珪素15で形成されている。光量均一化用光学器27の光透過領域27aよりも厚みが厚い部分は、表面が二酸化珪素15で形成されており、内部がシリコン基板13で形成されている。この部分の構成は偏光解消素子1の光偏光器3と同様である。
機器。
機器。
このように、偏光解消素子1と光量均一化素子25を一体化又は同一光路上に配置したものを、レーザ露光装置やレーザ加工装置などの光学系に適用することにより、これらの素子の透過光の偏光状態をランダムにするとともに、光量を均一化することができる。
Claims (4)
- 光透過領域を有する光偏光器と、
前記光偏光器を並進振動させるために前記光偏光器に連結された弾性体と、
前記弾性体を介して前記光偏光器を支持する支持体と、
前記光偏光器を並進振動させるための振動子と、
前記支持体と前記振動子とを位置固定するための台座と、を備え、
前記光偏光器、前記弾性体及び前記支持体は1つのシリコン基板が加工されて形成されたものであり、
前記光偏光器の前記光透過領域は前記シリコン基板の一部分が熱酸化されて形成された二酸化珪素で形成され、
前記光透過領域の一表面に、前記二酸化珪素で形成され、使用する光の波長よりも短い周期で繰り返して配列された溝をもち構造性複屈折を呈するサブ波長構造体からなる光偏光素子が形成されていることを特徴とする偏光解消素子。 - 該偏光解消素子の前記光偏光素子に替えて光量を均一化するための光量均一化用光学素子が形成された光量均一化素子をさらに備え、
前記光量均一化素子の前記光透過領域は該偏光解消素子の前記光透過領域を透過する光の光路上に配置されている請求項1に記載の偏光解消素子。 - 前記光量均一化用光学素子はマイクロレンズアレイ、インテグレータ又はフライアイレンズアレイである請求項2に記載の偏光解消素子。
- レーザ光源から発生するレーザ光を対象物に照射する光学系を備えた光学機器において、
前記レーザ光の偏光状態をランダムな偏光状態にするために請求項1から3のいずれか一項に記載の偏光解消素子を前記光学系の光路上に配置したことを特徴とする光学機器。
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JP2012141772A JP6050618B2 (ja) | 2012-06-25 | 2012-06-25 | 偏光解消素子及びその素子を用いた光学機器 |
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