JP2014002377A - 反射屈折光学素子及び反射屈折光学素子を含む光学系 - Google Patents
反射屈折光学素子及び反射屈折光学素子を含む光学系 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】光線を反射屈折レンズ内に導くように構成された第1の面501と、反射膜を有し、第1の反射領域及び前記第1の反射領域に包囲された第2の反射領域を有し、前記導かれた光線を前記第1の面501へ反射するように構成された第2の面502とを備え、前記第1の面501から導かれて前記第1の反射領域に進んだ前記光線は前記第1の反射領域において全反射により反射され、前記第1の面501から導かれて前記第2の反射領域に進んだ前記光線は前記反射膜により反射される。
【選択図】図3
Description
h2= -2・d1・tanql ・・・(8)
h3= -d1・tanql' ・・・(9)
次に、光学素子500の屈折率Nを考慮すると、第1の面501の屈折力は、φ=2N/r1(式中、Nは光学素子の屈折率)として定義される。入射角θlを有し且つ始点(物体Oの位置)から点「a」及び「b」まで進んだ光線R1の角度は、上述のように第1の面501により変更される。角度変化量(α’−α)は、式(10)〜(12)により以下で導出されるように「h2・φ」に等しい。
α'= N・tanql' ・・・(11)
α= N・tanql ・・・・(12)
図7において、点「c」における光線が第2の面502を通過して光学素子500の外部に出るように、点「c」の高さは「h1」以上である必要がある。簡潔には、以下の式(13)が満たされる必要がある。
式(13)及び図7により確立された値を使用することにより、以下の式(14)〜(16)が更に導出される。
(-2・d1・tanql) + (-d1)(tanql-4tanql・d1/r) ≧ -d1・tanqc ・・・(15)
4・tanql・d1/r1 ≧3・tanql-tanqc ・・・(16)
式(16)により定義される不等式において、左側が負であるため、右側は負である必要がある(すなわち、3・tanθl−tanθc<0)。最後に、式(17)により定義される以下の関係式が得られる。これは、上記の仮定された式(6)である。
<変更例>
上記の説明において、第2の面502のTIR領域510を光軸AXに向けて拡張するのに有利なものとして環状反射領域550を説明した。しかし、オプションとして、環状反射領域550はTIR領域510の領域を越えて拡張されてもよい。
Claims (11)
- 光線を反射屈折レンズ内に導くように構成された第1の面と、
反射膜を有し、第1の反射領域及び前記第1の反射領域に包囲された第2の反射領域を有し、前記導かれた光線を前記第1の面へ反射するように構成された第2の面とを備え、 前記第1の面から導かれて前記第1の反射領域に進んだ前記光線は前記第1の反射領域において全反射により反射され、前記第1の面から導かれて前記第2の反射領域に進んだ前記光線は前記反射膜により反射されることを特徴とする反射屈折レンズ。 - 第1の中心位置を有する前記第1の面は凹面であり、第2の中心位置を有する前記第2の面は平面であることを特徴とする請求項1記載の反射屈折レンズ。
- 前記第1の中心位置及び前記第2の中心位置を通過する線は前記第2の面に対して垂直であることを特徴とする請求項1記載の反射屈折レンズ。
- 前記第2の反射領域は環状であり、θcが前記線と前記第2の面に進む前記光線との間の臨界角であり、θlが前記線と前記第2の面の前記第2の反射領域に進む前記光線との間の角度であり、r1が前記レンズの曲率半径であり且つd1が前記線に沿う前記レンズの厚さである場合、条件
- 像を形成する光学系であって、
請求項1記載の反射屈折レンズと、前記反射屈折レンズにより集められた光線から物体の像を形成するレンズユニットとを備えることを特徴とする光学系。 - 反射屈折光学素子の光軸を中心とする円形透過部分及び前記円形透過部分の周囲の回転対称の範囲内の反射部分を有する前記光学素子の物体側の第1の面と、
前記第1の面に対向し、前記光軸を同様に中心とする中央透過領域、前記中央透過領域の周囲の環状反射領域、並びに前記環状反射領域の周囲の全反射(TIR)領域を含む第2の面とを備え、
前記第1の面は前記第2の面に対して凹面であり、
前記第1の面において、前記円形透過部分は光を透過するように構成され、前記反射部分は光を前記第2の面に向けて反射するように構成され、
前記第2の面において、前記TIR領域は前記第1の面の前記円形透過部分を透過され且つ全反射に対する臨界角θcより大きい入射角を有する光を反射するように構成され、前記環状反射領域は前記第1の面の前記円形透過部分を透過され且つ前記臨界角θcより小さい入射角を有する光を反射するように構成されることを特徴とする反射屈折光学素子。 - 前記環状反射領域は反射膜で被覆されることを特徴とする請求項6記載の反射屈折光学素子。
- 前記第2の面において、前記中央透過領域は遮光率を判定するように構成されることを特徴とする請求項6記載の反射屈折光学素子。
- 前記第2の面において、前記TIR領域は臨界角θcより大きく且つ周辺角θm以下である入射角を有する前記光を反射するように構成されることを特徴とする請求項6記載の反射屈折光学素子。
- 前記環状反射領域は、前記臨界角θcより小さく且つ最小遮光角θl以上である入射角を有する前記光を反射するように構成されることを特徴とする請求項6記載の反射屈折光学素子。
- r1が前記第1の面の曲率半径であり且つd1が前記光学素子の前記光軸に沿う前記第1の面と前記第2の面との間の距離である場合、条件
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---|---|---|---|---|
JPH09179199A (ja) * | 1995-12-22 | 1997-07-11 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 光源用ミラー |
US5930055A (en) * | 1994-09-29 | 1999-07-27 | Eisenberg; Yeshayahu S. | Lens apparatus |
JP2002230817A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-16 | Minolta Co Ltd | 情報記録再生装置 |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5930055A (en) * | 1994-09-29 | 1999-07-27 | Eisenberg; Yeshayahu S. | Lens apparatus |
JPH09179199A (ja) * | 1995-12-22 | 1997-07-11 | Fuji Photo Optical Co Ltd | 光源用ミラー |
JP2002230817A (ja) * | 2001-01-29 | 2002-08-16 | Minolta Co Ltd | 情報記録再生装置 |
WO2008101676A2 (en) * | 2007-02-23 | 2008-08-28 | Carl Zeiss Smt Ag | Catadioptric projection objective |
JP2009300994A (ja) * | 2008-05-12 | 2009-12-24 | Olympus Corp | 光学系及びそれを用いた内視鏡 |
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