JP2012173525A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012173525A5 JP2012173525A5 JP2011035746A JP2011035746A JP2012173525A5 JP 2012173525 A5 JP2012173525 A5 JP 2012173525A5 JP 2011035746 A JP2011035746 A JP 2011035746A JP 2011035746 A JP2011035746 A JP 2011035746A JP 2012173525 A5 JP2012173525 A5 JP 2012173525A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical element
- optical system
- image
- negative lens
- catadioptric
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
本発明の反射屈折光学系は、物体からの光束を集光して該物体の中間像を形成する第1結像光学系と、該中間像を像面に結像する第2結像光学系と、を有する反射屈折光学系であって、
前記第1結像光学系は、光軸周辺に設けられた光透過部と物体側の面に設けられた反射部とを含む第1の光学素子と、光軸周辺に設けられた光透過部と像側の面に設けられた反射部とを含む第2の光学素子と、前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との間の光路中に配置された負レンズと、を有し、
前記物体からの光束は、前記第1の光学素子の光透過部、前記負レンズ、前記第2の光学素子の反射部、前記負レンズ、前記第1の光学素子の反射部、前記負レンズ、前記第2の光学素子の光透過部、を順に介した後に前記第2結像光学系側に出射しており、
前記負レンズのパワーをφn、前記負レンズの物体側及び像側の面の曲率半径を各々R1n及びR2n、前記第1結像光学系のパワーをφ1、とするとき、
0.1<|φn/φ1|<0.3
0.3<R1n/R2n<0.8
なる条件を満足することを特徴としている。
前記第1結像光学系は、光軸周辺に設けられた光透過部と物体側の面に設けられた反射部とを含む第1の光学素子と、光軸周辺に設けられた光透過部と像側の面に設けられた反射部とを含む第2の光学素子と、前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との間の光路中に配置された負レンズと、を有し、
前記物体からの光束は、前記第1の光学素子の光透過部、前記負レンズ、前記第2の光学素子の反射部、前記負レンズ、前記第1の光学素子の反射部、前記負レンズ、前記第2の光学素子の光透過部、を順に介した後に前記第2結像光学系側に出射しており、
前記負レンズのパワーをφn、前記負レンズの物体側及び像側の面の曲率半径を各々R1n及びR2n、前記第1結像光学系のパワーをφ1、とするとき、
0.1<|φn/φ1|<0.3
0.3<R1n/R2n<0.8
なる条件を満足することを特徴としている。
本発明の反射屈折光学系104は、物体103からの光束を集光して物体の中間像IMを形成する第1結像光学系G1と、中間像IMを像面105に結像する第2結像光学系G2を有する。本発明の撮像装置1000は、光源手段101と、光源手段101からの光束で物体103を照明する照明光学系102と、物体103の像を結像する反射屈折光学系104を有している。更に撮像装置1000は反射屈折光学系104によって結像された物体の像を光電変換する撮像素子105と、撮像素子105からのデータより画像情報を生成する画像処理系106と画像処理系106で生成した画像データを表示する表示手段107とを有する。
本発明の反射屈折光学系104を構成する第1結像光学系G1は、光軸周辺に設けられた光透過部と、物体側の面に設けられた反射部とを含む第1の光学素子M1を有する。更に光軸周辺に設けられた光透過部、像側の面に設けられた反射部を含む第2の光学素子M2とを有する。更に反射屈折光学系104は第1の光学素子M1と第2の光学素子M2との間の光路中に負レンズL1とを有する。この負レンズL1の材料のアッベ数は、第2の光学素子M2の材料のアッベ数よりも大きい。
第1結像光学系G1は、物体側から順に第1の光学素子(マンジャンミラー)M1、負レンズL1、第2の光学素子(マンジャンミラー)M2を有している。第1の光学素子M1は同心形状又は略同心形状のメニスカス形状より成っている。負レンズL1の材料のアッベ数は第2の光学素子M2の材料のアッベ数よりも大きい。第2結像光学系G2は、物体側から順にレンズ群G21、遮光部OBS、レンズ群G22を有している。
図2は、物体面103から像面105に至る光束が示されている。第1結像光学系G1の第1の光学素子M1は、物体103側の面M1aが凸形状で、像側の面M1bが凹形状で光軸付近及び光軸周辺が正の屈折力の光透過部M1T、周辺部のうち物体側の面M1aに反射膜を施し、裏面反射部(反射部)としている。面M1aは非球面形状より成っている。負レンズL1は物体側の面が凹で非球面形状である。負レンズL1はメニスカス形状で面全体が光透過面となっている。
第2の光学素子M2は物体側に凹面を向けたメニスカス形状で、光軸周辺が正の屈折力の光透過部M2T、周辺部のうち像側の面M2bに反射膜を施し、裏面反射部(反射部)としている。M2aは第2の光学素子M2の物体側の面である。面M2bは非球面形状である。第1の光学素子M1と第2の光学素子M2は互いに裏面反射部M1a、M2bが対向するように配置されている。第2の結像光学系G2は物体103からの光束のうち光軸近傍の光束を遮光し、撮像素子105に入射するのを防止する遮光板OBSが第2結像光学系G2中又は開口絞り若しくはその近傍に配置されている。
図2に示す反射屈折光学系104Aでは、照明光学系102からの光束で照明され、試料103から出射した光束は第1の光学素子M1の中央透過部(透過部)M1Tを通過する。その後、負レンズL1を通過し、発散され第2の光学素子M2の屈折面M2aに入射する。その後裏面反射部(反射部)M2bで反射し集光されて、屈折面M2a、負レンズL1を通過して第1の光学素子M1の屈折面M1bに入射する。その後、第1の光学素子M1の裏面反射部(反射部)M1aで反射する。そして屈折面M1b、負レンズL1を通過し、第2の光学素子M2の中央透過部(透過部)M2Tを通過し、第2結像光学系G2側へ出射する。その後フィールドレンズ群FLの近傍に試料103の中間像IMを形成する。
各実施例において、負レンズL1のパワーをφn、負レンズL1の物体側及び像側のレンズ面の曲率半径を各々R1n及びR2nとする。第1結像光学系G1のパワーをφ1とする。このとき、
0.1<|φn/φ1|<0.3 ・・・(1)
0.3<R1n/R2n<0.8 ・・・(2)
を満足している。
0.1<|φn/φ1|<0.3 ・・・(1)
0.3<R1n/R2n<0.8 ・・・(2)
を満足している。
第1の光学素子M1の反射部の曲率半径をM1Rとする。第2の光学素子M2の反射部の曲率半径をM2Rとする。第1結像光学系G1の焦点距離をf1とする。第1の光学素子M1の像側の面から負レンズL1の物体側の面までの距離をt1、負レンズL1の像側の面から第2の光学素子M2の物体側の面までの距離をt2とする。第1、第2の光学素子M1、M2、負レンズL1の材料のアッベ数を各々ν1、ν2、νnとする。負レンズL1の材料の屈折率をnとする。第1の光学素子M1の物体側及び像面側の面の曲率半径を各々r1及びr2とする。第2結像光学系G2のパワーをφ2とする。
図3は実施例1の像面(撮像素子面)における横収差を示しており、軸上、軸外とも、可視域の広い波長帯域で収差が良好に補正されている。収差図においてYは像高である。また、負レンズL1の材料のアッベ数νnと第2の光学素子M2の材料のアッベ数ν2の比、ν2/νnは0.60となり、条件式(7)の範囲内である。さらに、負レンズL1のパワーφnの値は−0.0018であり、第1結像光学系G1のパワーφ1は0.01181であり、条件式(1)の範囲内である。
図5は実施例2の像面(撮像素子面)における横収差を示しており、軸上、軸外とも、可視域の広い波長帯域で収差が良好に補正されている。また、負レンズL1の材料のアッベ数νnと第2の光学素子M2の材料のアッベ数ν2の比、ν2/νnは0.84となり、条件式(7)の範囲内である。さらに、負レンズL1のパワーφnの値は−0.0021、第1結像光学系G1のパワーφ1は0.01099であり、条件式(1)の範囲内である。
図7は実施例3の像面(撮像素子面)における横収差を示しており、軸上、軸外とも、可視域の広い波長帯域で収差が良好に補正されている。また、負レンズL1の材料のアッベ数νnと第2の光学素子M2の材料のアッベ数ν2の比、ν2/νnは0.71となり、条件式(7)の範囲内である。さらに、負レンズL1のパワーφnの値は−0.0027、第1結像光学系G1のパワーφ1は0.011588であり、条件式(1)の範囲内である。
Claims (9)
- 物体からの光束を集光して該物体の中間像を形成する第1結像光学系と、該中間像を像面に結像する第2結像光学系と、を有する反射屈折光学系であって、
前記第1結像光学系は、光軸周辺に設けられた光透過部と物体側の面に設けられた反射部とを含む第1の光学素子と、光軸周辺に設けられた光透過部と像側の面に設けられた反射部とを含む第2の光学素子と、前記第1の光学素子と前記第2の光学素子との間の光路中に配置された負レンズと、を有し、
前記物体からの光束は、前記第1の光学素子の光透過部、前記負レンズ、前記第2の光学素子の反射部、前記負レンズ、前記第1の光学素子の反射部、前記負レンズ、前記第2の光学素子の光透過部、を順に介した後に前記第2結像光学系側に出射しており、
前記負レンズのパワーをφn、前記負レンズの物体側及び像側の面の曲率半径を各々R1n及びR2n、前記第1結像光学系のパワーをφ1、とするとき、
0.1<|φn/φ1|<0.3
0.3<R1n/R2n<0.8
なる条件を満足することを特徴とする反射屈折光学系。 - 前記第1の光学素子の反射部の曲率半径をM1R、前記第2の光学素子の反射部の曲率半径をM2R、とするとき、
−3.5<M1R/M2R<−2.0
なる条件を満足することを特徴とする請求項1に記載の反射屈折光学系。 - 前記第1結像光学系の焦点距離をf1、前記第1の光学素子の像側の面から前記負レンズの物体側の面までの距離をt1、前記負レンズの像側の面から前記第2の光学素子の物体側の面までの距離をt2、とするとき、
0.6<t1/f1<1.0
0.01<t2/t1<0.20
なる条件を満足することを特徴とする請求項1又は2に記載の反射屈折光学系。 - 前記第1の光学素子の材料のアッベ数をν1、前記第2の光学素子の材料のアッベ数をν2、前記負レンズの材料のアッベ数をνn、前記負レンズの材料の屈折率をn、とするとき、
0.40<ν1/ν2<1.60
0.5<ν2/νn≦1.0
1.50<n<1.70
なる条件を満足することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の反射屈折光学系。 - 前記第1の光学素子の物体側及び像面側の面の曲率半径を各々r1及びr2とするとき、
0.40<r1/r2<1.00
なる条件を満たすことを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の反射屈折光学系。 - 前記第2結像光学系のパワーをφ2とするとき、
0.10<φ2/φ1<0.30
なる条件を満足することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の反射屈折光学系。 - 前記第1の光学素子は物体側の面が凸面のメニスカス形状であり、前記負レンズは物体側の面が凹面のメニスカス形状であり、前記第2の光学素子は像面側の面が凸面のメニスカス形状であり、前記第1及び第2の光学素子の前記透過部は正の屈折力を有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の反射屈折光学系。
- 光源手段と、前記光源手段からの光束により前記物体を照明する照明光学系と、前記物体の像を形成する請求項1乃至7のいずれか1項に記載の反射屈折光学系と、該反射屈折光学系により形成された前記物体の像を光電変換する撮像素子と、該撮像素子からのデータより画像情報を生成する画像処理系と、を有することを特徴とする撮像装置。
- 前記物体における視野領域がφ3mm以上であることを特徴とする請求項8に記載の撮像装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011035746A JP5656682B2 (ja) | 2011-02-22 | 2011-02-22 | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 |
US13/401,999 US8947774B2 (en) | 2011-02-22 | 2012-02-22 | Catadioptric optical system and image pickup apparatus having the same |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011035746A JP5656682B2 (ja) | 2011-02-22 | 2011-02-22 | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012173525A JP2012173525A (ja) | 2012-09-10 |
JP2012173525A5 true JP2012173525A5 (ja) | 2014-03-06 |
JP5656682B2 JP5656682B2 (ja) | 2015-01-21 |
Family
ID=46652404
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011035746A Expired - Fee Related JP5656682B2 (ja) | 2011-02-22 | 2011-02-22 | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8947774B2 (ja) |
JP (1) | JP5656682B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5915489B2 (ja) * | 2012-10-04 | 2016-05-11 | ソニー株式会社 | 反射屈折型レンズ系および撮像装置 |
CN108873289B (zh) * | 2018-09-04 | 2024-02-09 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 显微物镜光学系统及光学设备 |
Family Cites Families (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7017A (en) * | 1850-01-15 | Brick-pbess | ||
US4346989A (en) * | 1976-11-18 | 1982-08-31 | Hewlett-Packard Company | Surveying instrument |
JPS6034737B2 (ja) | 1977-03-14 | 1985-08-10 | オリンパス光学工業株式会社 | 顕微鏡対物レンズ |
US5031976A (en) * | 1990-09-24 | 1991-07-16 | Kla Instruments, Corporation | Catadioptric imaging system |
US5717518A (en) * | 1996-07-22 | 1998-02-10 | Kla Instruments Corporation | Broad spectrum ultraviolet catadioptric imaging system |
US5999310A (en) * | 1996-07-22 | 1999-12-07 | Shafer; David Ross | Ultra-broadband UV microscope imaging system with wide range zoom capability |
US6483638B1 (en) * | 1996-07-22 | 2002-11-19 | Kla-Tencor Corporation | Ultra-broadband UV microscope imaging system with wide range zoom capability |
EP1079253A4 (en) * | 1998-04-07 | 2004-09-01 | Nikon Corp | DEVICE AND PROCESS FOR PROJECTION EXPOSURE, AND OPTICAL SYSTEM WITH REFLECTION AND REFRACTION |
KR20010041257A (ko) | 1998-12-25 | 2001-05-15 | 오노 시게오 | 반사굴절 결상 광학계 및 그 광학계를 구비한 투영 노광장치 |
US6862142B2 (en) * | 2000-03-10 | 2005-03-01 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Multi-detector microscopic inspection system |
US6842298B1 (en) | 2000-09-12 | 2005-01-11 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Broad band DUV, VUV long-working distance catadioptric imaging system |
US7136159B2 (en) * | 2000-09-12 | 2006-11-14 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Excimer laser inspection system |
US7136234B2 (en) * | 2000-09-12 | 2006-11-14 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Broad band DUV, VUV long-working distance catadioptric imaging system |
US8675276B2 (en) * | 2003-02-21 | 2014-03-18 | Kla-Tencor Corporation | Catadioptric imaging system for broad band microscopy |
US7672043B2 (en) * | 2003-02-21 | 2010-03-02 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Catadioptric imaging system exhibiting enhanced deep ultraviolet spectral bandwidth |
US7646533B2 (en) * | 2003-02-21 | 2010-01-12 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Small ultra-high NA catadioptric objective |
DE102005042005A1 (de) * | 2004-12-23 | 2006-07-06 | Carl Zeiss Smt Ag | Hochaperturiges Objektiv mit obskurierter Pupille |
TWI454731B (zh) * | 2005-05-27 | 2014-10-01 | Zeiss Carl Smt Gmbh | 用於改進投影物鏡的成像性質之方法以及該投影物鏡 |
US7345825B2 (en) * | 2005-06-30 | 2008-03-18 | Kla-Tencor Technologies Corporation | Beam delivery system for laser dark-field illumination in a catadioptric optical system |
EP2294471A4 (en) * | 2008-06-17 | 2014-01-22 | Kla Tencor Corp | EXTERNAL BEAM DELIVERY SYSTEM USING A CATADIOPTRIC OBJECTIVE WITH ASPHEREIC SURFACES |
JP5836686B2 (ja) * | 2011-07-28 | 2015-12-24 | キヤノン株式会社 | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 |
-
2011
- 2011-02-22 JP JP2011035746A patent/JP5656682B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2012
- 2012-02-22 US US13/401,999 patent/US8947774B2/en not_active Expired - Fee Related
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP7148334B2 (ja) | 投射光学系及び画像投射装置 | |
JP5479818B2 (ja) | 光学系及びそれを備えた内視鏡装置 | |
JP6255268B2 (ja) | 大開口数で撮像するための多重反射素子を有する反射屈折光学系 | |
US11422343B2 (en) | Catadioptric system and optical device | |
JP6185825B2 (ja) | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 | |
US9001420B2 (en) | Microscope optical system and microscope system | |
JP2014153719A5 (ja) | ||
JP2021135498A (ja) | 光学レンズ | |
JP2014109741A (ja) | 集光光学系、照明光学系および画像投射装置 | |
JP2011232610A5 (ja) | ||
KR101387823B1 (ko) | 반사굴절 광학계 및 촬상 장치 | |
JP2011248122A5 (ja) | ||
JP4212721B2 (ja) | 広角反射光学系 | |
JP2003161886A (ja) | 対物レンズ及びそれを用いた光学装置 | |
JP2020034690A (ja) | 投射光学系および画像投射装置 | |
JP2013029654A5 (ja) | ||
JP5836686B2 (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
JP2012173525A5 (ja) | ||
CN111868600A (zh) | 成像光学系统及成像设备 | |
RU2517760C1 (ru) | Объектив коллиматора | |
JP6392947B2 (ja) | 液浸顕微鏡対物レンズ及びそれを用いた顕微鏡 | |
JP5656682B2 (ja) | 反射屈折光学系及びそれを有する撮像装置 | |
US20150043063A1 (en) | Catadioptric system and image pickup apparatus including the system | |
JPH09197283A (ja) | 対物レンズ | |
JP2015036706A5 (ja) |