JP2014153719A5 - - Google Patents

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本発明の1つの側面によれば、反射屈折光学系は、物体の中間像を形成する第1の反射屈折群と、前記中間像に基づいて前記物体の像を形成する第2の反射屈折群及びレンズ群と、を備え、前記第1の反射屈折群は、物体側面及び像側面を有する単一の固体レンズからなり、前記レンズ群は、視野レンズ群及び屈折群を含み、前記物体側面は、光軸側から周辺側に向けて順に入射面と物体側反射面とを含み、前記像側面は、光軸側から周辺側に向けて順に射出面と像側反射面とを含み、前記物体からの光束は、前記入射面から前記固体レンズの内部に入射し、前記像側反射面及び前記物体側反射面により4回以上反射されて、前記射出面から射出されており、前記第1の反射屈折群は、正の屈折力を有し、外向きペッツヴァル湾曲を発生させ、前記第2の反射屈折群は、正の屈折力を有し、外向きペッツヴァル湾曲を発生させ、補正過多の軸上色収差を発生させ、前記視野レンズ群は、正の屈折力を有し、内向きペッツヴァル湾曲を発生させ、補正過多の軸上色収差を発生させ、前記屈折群は、正の屈折力を有し、外向きペッツヴァル湾曲を発生させ、補正不足の軸上色収差を発生させることを特徴とする

Claims (13)

  1. 物体の中間像を形成する第1の反射屈折群と、前記中間像に基づいて前記物体の像を形成する第2の反射屈折群及びレンズ群と、備え、
    前記第1の反射屈折群は、物体側面及び像側面を有する単一の固体レンズからなり
    前記レンズ群は、視野レンズ群及び屈折群を含み、
    前記物体側面は、光軸側から周辺側に向けて順に入射面と物体側反射面とを含み、
    前記像側面は、光軸側から周辺側に向けて順に射出面と像側反射面とを含み、
    前記物体からの光束は、前記入射面から前記固体レンズの内部に入射し、前記像側反射面及び前記物体側反射面により4回以上反射されて、前記射出面から射出されており、
    前記第1の反射屈折群は、正の屈折力を有し、外向きペッツヴァル湾曲を発生させ、
    前記第2の反射屈折群は、正の屈折力を有し、外向きペッツヴァル湾曲を発生させ、補正過多の軸上色収差を発生させ、
    前記視野レンズ群は、正の屈折力を有し、内向きペッツヴァル湾曲を発生させ、補正過多の軸上色収差を発生させ、
    前記屈折群は、正の屈折力を有し、外向きペッツヴァル湾曲を発生させ、補正不足の軸上色収差を発生させることを特徴とする反射屈折光学系。
  2. 前記第1の反射屈折群と前記第2の反射屈折群との間には、屈折率が1よりも大きい物質が配置されていることを特徴とする請求項1記載の反射屈折光学系。
  3. 前記入射面に入射した光束は、前記射出面を通って射出する前に、前記像側反射面で第1の反射を受け、前記物体側反射面で第2の反射を受け、前記像側反射面で第3の反射を受け、且つ、前記物体側反射面で第4の反射を受けることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射屈折光学系。
  4. 前記像側面に形成された前記像側反射面の曲率半径をRとし、前記物体側面に形成された前記物体側反射面の曲率半径をRとし、且つ、前記像側面に形成された前記像側反射面の母線と前記物体側面に形成された前記物体側反射面の母線との間の前記光軸に沿った距離をTとすると、以下の条件
    Figure 2014153719
    を満たすことを特徴とする請求項3に記載の反射屈折光学系。
  5. 前記入射面に入射した光束は、前記射出面を通って射出する前に、前記像側反射面で第1の反射を受け、前記物体側反射面で第2の反射を受け、前記像側反射面で第3の反射を受け、前記物体側反射面で第4の反射を受け、前記像側反射面で第5の反射を受け、且つ、前記物体側反射面で第6の反射を受けることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射屈折光学系。
  6. 前記像側面に形成された前記像側反射面の曲率半径をRとし、前記物体側面に形成された前記物体側反射面の曲率半径をRとし、且つ、前記像側面に形成された前記像側反射面の母線と前記物体側面に形成された前記物体側反射面の母線との間の前記光軸に沿った距離をTとすると、以下の条件
    Figure 2014153719
    を満たすことを特徴とする請求項5に記載の反射屈折光学系。
  7. 前記入射面に入射した光束は、前記射出面を通って射出する前に、前記像側反射面で第1の反射を受け、前記物体側反射面で第2の反射を受け、前記像側反射面で第3の反射を受け、前記物体側反射面で第4の反射を受け、前記像側反射面で第5の反射を受け、前記物体側反射面で第6の反射を受け、前記像側反射面で第7の反射を受け、且つ、前記物体側反射面で第8の反射を受けることを特徴とする請求項1又は2に記載の反射屈折光学系。
  8. 前記像側面に形成された前記像側反射面の曲率半径をRとし、前記物体側面に形成された前記物体側反射面の曲率半径をRとし、且つ、前記像側面に形成された前記像側反射面の母線と前記物体側面に形成された前記物体側反射面の母線との間の前記光軸に沿った距離をTとすると、以下の条件
    Figure 2014153719
    を満たすことを特徴とする請求項7に記載の反射屈折光学系。
  9. 前記像側反射面は、前記射出面から前記固体レンズの縁部まで続く連続した位相プロファイルを有し、
    前記像側反射面及び前記物体側反射面のそれぞれは、反射膜を含むことを特徴とする請求項1乃至8のうちいずれか1項に記載の反射屈折光学系。
  10. 前記第2の反射屈折群は、前記像側に位置する第1のミラーと、前記物体側に位置する第2のミラーとを含み、
    前記第1のミラーは、前記光軸に沿った中心を有する射出瞳を備える凹面反射面を含み、
    前記第2のミラーは、前記光軸に沿った中心を有する入射瞳を備える凸面反射面を含むことを特徴とする請求項1乃至9のうちいずれか1項に記載の反射屈折光学系。
  11. 前記第1のミラーは、前記像側面を前記凹面反射面として有する第1のマンジャンミラーであり、
    前記第2のミラーは、前記像側面を前記凸面反射面として有する第2のマンジャンミラーであることを特徴とする請求項10に記載の反射屈折光学系。
  12. 前記第1の反射屈折群は、物体面に配置された物体の第1の中間像を第1の中間像面に形成し、
    前記第2の反射屈折群及び前記レンズ群は、前記第1の中間像に基づいて、前記物体の最終像を像面に形成し、
    前記第2の反射屈折群は、少なくとも1つのマンジャンミラーを含み、且つ、第3の光学群は、複数のレンズを含むことを特徴とする請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の反射屈折光学系。
  13. 記第1の反射屈折群は、物体面に配置された物体の第1の中間像を第1の中間像面に形成し、
    前記第2の反射屈折群及び前記視野レンズ群は、前記第1の中間像に基づいて、第2の中間像を第2の中間像面に形成し、
    前記屈折群は、前記第2の中間像を拡大し、且つ、前記拡大された第2の中間像に基づいて、前記物体の最終像を像面に形成し、
    前記第2の反射屈折群は、少なくとも1つのマンジャンミラーを含み、且つ、前記視野レンズ群及び前記屈折群のそれぞれは、複数のレンズを含むことを特徴とする請求項1乃至11のうちいずれか1項に記載の反射屈折光学系。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2012170916A2 (en) * 2011-06-10 2012-12-13 Canon Kabushiki Kaisha Optical system with catadioptric optical subsystem
KR20150141820A (ko) * 2014-06-10 2015-12-21 삼성전자주식회사 카타디옵트릭 그룹을 포함하는 대물 렌즈 조립체
US11038600B2 (en) * 2016-12-30 2021-06-15 Finnovate Group LLC Wireless audio streaming system for swimmers and under water applications
CN108873289B (zh) * 2018-09-04 2024-02-09 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 显微物镜光学系统及光学设备
CN110045492B (zh) * 2019-04-26 2024-03-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 宽谱段大数值孔径超高通量的显微物镜光学系统
CN113050244B (zh) * 2021-03-22 2023-03-17 业成科技(成都)有限公司 镜片组件及显示装置
NL2027950B1 (en) 2021-04-12 2022-10-21 Nearfield Instr B V Compact optical microscope, metrology device comprising the optical microscope and a wafer positioning metrology apparatus comprising the metrology device
CN117352527B (zh) * 2023-10-08 2024-04-26 同济大学 一种六通道阵列式Schwarzschild极紫外成像系统
CN117270185B (zh) * 2023-11-17 2024-02-20 长春长光智欧科技有限公司 一种大数值孔径宽光谱的显微光学系统

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4863253A (en) 1987-09-25 1989-09-05 Spectra-Tech, Inc. High magnification reflecting microscope objective having a dual magnification mode and zoom magnification capability
CA2177424C (en) 1995-06-06 2001-02-13 Bruce A. Cameron Solid catadioptric lens
US5650877A (en) 1995-08-14 1997-07-22 Tropel Corporation Imaging system for deep ultraviolet lithography
US6064517A (en) * 1996-07-22 2000-05-16 Kla-Tencor Corporation High NA system for multiple mode imaging
US6600608B1 (en) 1999-11-05 2003-07-29 Carl-Zeiss-Stiftung Catadioptric objective comprising two intermediate images
KR100350990B1 (ko) 2000-12-14 2002-08-29 삼성전자 주식회사 고체함침미러형 대물렌즈 및 이를 채용한 광픽업장치
US7884998B2 (en) * 2003-02-21 2011-02-08 Kla - Tencor Corporation Catadioptric microscope objective employing immersion liquid for use in broad band microscopy
US8675276B2 (en) * 2003-02-21 2014-03-18 Kla-Tencor Corporation Catadioptric imaging system for broad band microscopy
US7646533B2 (en) * 2003-02-21 2010-01-12 Kla-Tencor Technologies Corporation Small ultra-high NA catadioptric objective
US7712905B2 (en) * 2004-04-08 2010-05-11 Carl Zeiss Smt Ag Imaging system with mirror group
WO2007055742A2 (en) 2005-06-03 2007-05-18 The Regents Of The University Of California Multiple reflective lenses and lens systems
WO2008101676A2 (en) 2007-02-23 2008-08-28 Carl Zeiss Smt Ag Catadioptric projection objective
JP5331813B2 (ja) 2007-10-02 2013-10-30 ケーエルエー−テンカー・コーポレーション 反射対物鏡、ミラーを有する広帯域対物光学系、及び屈折レンズを有する光学撮像システム、及び2つ以上の結像経路を有する広帯域光学撮像システム
DE102008049589A1 (de) * 2008-09-30 2010-04-08 Carl Zeiss Smt Ag Optische Abbildungseinrichtung und Abbildungsverfahren für die Mikroskopie
US8238042B2 (en) * 2009-06-05 2012-08-07 CVI Melles Griot, Inc. Reflective axicon systems and methods
US8223443B2 (en) * 2010-09-01 2012-07-17 Kla-Tencor Corporation Collection optics

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